JPH07144815A - Ｔａｂテープ移動用スプロケットの偏心影響の補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スプロケット１・２を回転させ、ＴＡＢテー
プ３をピッチ送りする装置において、インデックスタイ
ムが短く、位置補正精度の高い方法を提供する。 【構成】 準備段階では、スプロケット２の回転開始位
置での基準撮像データと、ＴＡＢをピッチ送りしたとき
の各読取撮像データを比較し、回転開始位置からのＴＡ
Ｂの偏位値を制御部２０に送出する。制御部２０は回転
開始位置からの経過がスプロケット２の回転角度と前記
偏位値との関係式として格納する。稼動動段階では、ス
プロケット２の回転開始位置からの回転角度が制御部に
送出され、制御部は前記関係式からＴＡＢの補正量を算
出し、スプロケット１とスプロケット２を偏位分回転制
御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＴＡＢ（テープ・オ
ートメイデッド・ボンディング）用オートハンドラにお
いて、ＴＡＢ移動用スプロケットが回転してＴＡＢテー
プを搬送する場合に、前記スプロケットの回転軸が偏心
していることにより、ＴＡＢテープのピッチ送り量がば
らつく影響を補正する方法についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢ用オートハンドラは、リール状に
巻かれたＴＡＢテープを自動的に測定位置まで逐次搬送
し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に選別す
る装置である。なお、ＴＡＢと電極の精密位置決め機構
については、実開昭64-34576号公報、実開平1-163335号
公報、実願平2-106251号明細書などに記載されている。

【０００３】次に、従来技術によるＴＡＢテープ用オー
トハンドラの構成を図５により説明する。図５の１と２
はスプロケット、３はＴＡＢテープ、４は画像処理用の
カメラ、６はプローブカード、９はテープクランプ、１
０はプッシャ、１１は供給リール、１２と１３はテンシ
ョンプーリ、１４は収容リール、１５はＩＣテスタのテ
ストヘッド、１６はアタッチメントユニットである。

【０００４】ＴＡＢテープ３はスプロケット１・２が同
期して回転することによりＴＡＢのピッチ分送られ、供
給リール１１からテンションプーリ１２、スプロケット
１・２、テンションプーリ１３、収容リール１４の順に
移動する。

【０００５】位置決めされたＴＡＢテープ３は、プッシ
ャ１０とテープクランプ９によりコンタクト位置まで下
降し、プローブカード６のコンタクトに押し付けられ
る。ＴＡＢテープ３がコンタクトに押し付けられた状態
で、テスタ側にテストスタート要求信号を送り、ＩＣテ
スタのテストが開始される。テスト後、テスタから送信
された結果がオープン不良（ＴＡＢのテストパッドとプ
ローブカード６の針が位置ずれ等により接触していな
い。）であった場合、この位置でカメラ４による画像デ
ータが取り込まれ、ＴＡＢテープ３の位置の補正量を算
出する。画像データ取り込み後、テープクランプ９、プ
ッシャ１０を上昇させ、補正後再下降し、プローブカー
ド６にＴＡＢテープ３を押し付け、再度テスタ側にテス
トスタート要求信号を送る。テスト後、テスト終了信号
によりテープクランプ９、プッシャ１０が上昇し、スプ
ロケット１・２が回転して次のＴＡＢまでＴＡＢテープ
３は送られる。

【０００６】図５では、スプロケット１・２が反時計方
向に同期して回転することにより、ＴＡＢテープ３は図
５の左側から右側に送られていく。図５では、ＴＡＢテ
ープ３に無理な力が加わらないようにしているので、プ
ッシャ１０が降下前にはＴＡＢテープ３はたわんでい
る。ＴＡＢテープ３のたわみをとって測定するため、図
５では、スプロケット２の回転を停止し、スプロケット
１を時計方向に逆回転する。

【０００７】前述のＴＡＢテープ測定時のたわみ取り機
構は、この出願人が実願平1-131293号で開示している。
このたわみ取り機構を装置に採用することにより、ＴＡ
Ｂのテストパッドとプローブカード６のプローブは±60
μｍの位置合せ精度が確保される。スプロケット１を進
行方向と逆方向に移動してＴＡＢを位置決めする処理
を、この明細書では、バックテンション処理と呼び、補
正量をバックテンション量と呼ぶこととする。図５にお
いて、ＴＡＢを±60μｍの位置合わせ精度より高い精度
で位置合わせするためには、図６に示されるアライメン
ト機能が必要となる。

【０００８】次に、ＴＡＢテープ３の位置決め手段を図
６により説明する。図６アは位置補正機構の構成図であ
る。図６のスプロケット１・２、テープクランプ９、プ
ッシャ１０は一体となってＸＹステージ７上に配置され
る。

【０００９】図６イはＴＡＢテープ３のパターン図であ
り、パターン図の一隅に基準マーク３Ａがある。中央部
にはＩＣチップ３Ｂが実装され、ＩＣチップ３Ｂの両側
にはＩＣチップとパターンで接続するテストパッド３Ｃ
が配置される。ＴＡＢテープ３には図６イのパターン図
が等間隔で連続して形成される。図６イのパターン図の
単位をＴＡＢと呼ぶこととする。

【００１０】図６では、ＴＡＢを次の手順で位置補正す
る。最初に、テープクランプ９とプッシャ１０をコンタ
クト位置まで下降させる。次に、カメラ４を移動してＴ
ＡＢテープ３のテストパッド１Ｃとプローブカード６の
プローブ６Ａとの接触状態をカメラ４で確認する。次
に、テープクランプ９、プッシャ１０を上昇させる。次
に、プローブ６Ａの接触端がテストパッド３Ｃの中央に
位置するようプローブカード６を微小移動またはスプロ
ケット１・２を微少回転し、位置補正する。

【００１１】次に、カメラ４で基準マーク３Ａを撮像
し、撮像データを装置に記憶する。この撮像データがＴ
ＡＢテープ３とプローブカード６が接触する位置の基準
となる。装置が稼動するときは、カメラ４で基準マーク
３Ａを撮像し、基準となる撮像データと比較する。次
に、前記比較値から補正値を演算し、ＸＹステージ７を
移動してＴＡＢのテストパッド３Ｃとプローブ６Ａを位
置合わする。図６ではアライメント機能を採用している
ので±10μｍ以内の高精度で位置合わせできる。なお、
図５と図６は実願平3−14672号明細書に記載の図２・３
と技術的に同じものである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】次に、図５のスプロケ
ット１・２の回転中心が偏心していることによる影響を
図７と図８により説明する。図７のＡはスプロケット２
を円板とした場合の中心、Ｎはスプロケット２の回転中
心であり、ｅは偏心量である。図７では、説明を容易に
するため、中心Ａと回転中心Ｎが同一鉛直線上にあり、
回転開始するものとする。また、図７では、スプロケッ
ト２が１回転してＴＡＢを４回測定するものとする。

【００１３】図７アの状態では、ＴＡＢは正規の位置で
測定される。図７アの状態からスプロケット２が90度回
転すると、図７イの状態になる。図７イでは、ＴＡＢテ
ープ３は偏心量ｅ分だけ正規の測定位置より進行する。
図７イの状態からスプロケット２が更に90度回転する
と、図７ウの状態になる。図７ウでは、ＴＡＢテープ３
は正規の位置で測定される。図７ウの状態からスプロケ
ット２が90度回転すると、図７エの状態になる。図７エ
では、ＴＡＢテープ３は偏心量ｅ分だけ正規の測定位置
より後退する。図７エの状態からスプロケット２が90度
回転すると、図７アの状態に戻る。

【００１４】図８はスプロケット２の回転角度とＴＡＢ
テープ３の送り方向の偏位の関係を示したものである。
図８の横軸はスプロケット２の回転角度、縦軸はＴＡＢ
テープ３の偏位量Δｘを示している。図８に示される偏
位量Δｘとは、この発明では、スプロケット２が偏心が
無い場合に対するＴＡＢテープ３の正規の測定位置から
の進行量または後退量をいう。すなわち、スプロケット
２が真の中心Ａで回転する場合は、ＴＡＢテープ３はス
プロケット２の回転角に比例して移動するが、スプロケ
ット２が回転中心Ｎで回転する場合はＴＡＢテープ３は
図８に示されるように正弦波的に移動する。

【００１５】図８アは、図７に示されるスプロケット２
の回転開始位置における回転角度と偏位量を示したもの
である。図８アでは、正弦波の山の頂点ＰU と正弦波の
谷の底点ＰD の中間点ＰO で、基準となるＴＡＢが位置
合わせされるので、スプロケットが１回転中にＴＡＢが
幾つ存在しても、ＴＡＢとプローブの位置ずれの最大値
はスプロケット２の偏心値ｅ＝Δｘである。一方、スプ
ロケット２の回転開始位置によっては、図８イに示され
るように、正弦波の山の頂点ＰU で、基準となるＴＡＢ
が位置合わせされるので、スプロケット２が１回転中の
ＴＡＢとプローブの位置ずれの最大値は２Δｘとなる可
能性がある。

【００１６】図５の装置ではスプロケットの偏心を完全
に回避することは困難である。しかも、図５の装置でス
プロケットが１回転する間に、図８イにパターンが複数
位置合わせされるので、スプロケットの回転開始位置と
スプロケットが１回転中のＴＡＢ数の組み合わせでは位
置合わせの偏位が最大になる可能性がある。

【００１７】図５の装置において、偏心量ｅは実測値で
は40μｍであった。また、スプロケット２のピッチ円直
径が75mm、歯数は50、ＴＡＢテープ３が10歯分ピッチ送
りされたのとき、ＴＡＢの最大偏位量Δｘは実測値では
±60μｍであった。このようなスプロケットの偏心の影
響を排除するため、図６アでは、ＴＡＢを画像認識して
ＴＡＢの偏位を補正している。図６アの装置ではスプロ
ケット１・２は歯車減速器つきパルスモータが連結さ
れ、ＴＡＢを±10μｍ単位で微小補正することが可能で
ある。

【００１８】しかし、ＴＡＢを画像認識し、ＸＹステー
ジを移動して位置補正し、ＴＡＢを測定するのには処理
時間を多く要し、インデックタイムが長くなるという問
題がある。実機では、画像認識した場合、インデックタ
イムに３秒を要し、機械的にインデック送りする場合の
５割以上の時間を要する。

【００１９】この発明は、第１のスプロケットと第２の
スプロケットを回転させ、ＴＡＢテープをピッチ送りし
て測定する場合に、ＴＡＢテープのパターン上の基準マ
ークを撮像するカメラと、カメラに接続される画像処理
装置と、第２のスプロケットの回転開始位置を検出する
検出手段をあらかじめ備えている。

【００２０】準備段階では、第２のスプロケットの回転
開始位置での基準マークをカメラで撮像し、第２のスプ
ロケットが１回転する間に、順次、基準マークをカメラ
で撮像し、前記各撮像データを各読取値として回転開始
位置での基準値と比較して各偏位値を画像処理装置で算
出し、前記各偏位値を撮像順に第１のメモリに格納し、
第１のメモリから前記各偏位値を読み込み、第２のスプ
ロケットの回転角度と前記偏位値と関係式を演算手段で
演算し、前記演算式を第２のメモリに格納する。

【００２１】この発明の装置が稼動するときは、ＣＰＵ
は第２のスプロケットの回転開始位置からの回転角度を
算出し、第２のメモリから前記関係式を読み込み、回転
角度を代入してＴＡＢの偏位値を算出し、前記ＴＡＢの
偏位値に見合う分、第１のスプロケットと第２のスプロ
ケットを回転させてＴＡＢを前後進行させてから測定す
る。この発明は、前述の方法により、インデックスタイ
ムが短く、ＴＡＢの位置補正精度の高いＴＡＢテープ移
動用スプロケットの偏心影響の補正方法を提供すること
を目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、スプロケット１とスプロケット２を回
転させ、ＴＡＢテープ３をピッチ送りして測定するＴＡ
Ｂ用オートハンドラにおいて、ＴＡＢテープ３のパター
ン上の基準マーク３Ａを撮像するカメラ４と、カメラ４
に接続される画像処理装置５と、スプロケット２の回転
開始位置を検出する検出手段８とを備え、制御部２０は
メモリ２１と演算手段２２とメモリ２３とＣＰＵ２４で
構成され、スプロケット２の回転開始位置でＴＡＢテー
プ３のパターン上の基準マーク３Ａをカメラ４で撮像
し、回転開始位置での基準マーク３Ａの前記撮像データ
を基準値として画像処理装置５に登録し、スプロケット
２が１回転する間に、順次、基準マーク３Ａをカメラ４
で撮像し、前記各撮像データを各読取値として前記基準
値と比較して各偏位値を画像処理装置５で算出し、前記
各偏位値を基準マーク３Ａの撮像順にメモリ２１に格納
し、メモリ２１から前記各偏位値を読み込み、スプロケ
ット２の回転角度と前記偏位値と関係式を演算手段２２
で演算し、前記演算式をメモリ２３に格納し、ＴＡＢ用
オートハンドラが稼動するときは、ＣＰＵ２４はスプロ
ケット２の回転開始位置からの回転角度を算出し、メモ
リ２３から前記関係式を読み込み、回転角度を代入して
ＴＡＢの偏位値を算出し、前記ＴＡＢの偏位値に見合う
分、スプロケット１とスプロケット２を回転させてＴＡ
Ｂを進行方向あるいは後退方向に微小走行させてから測
定する。

【００２３】

【作用】前述の構成によれば、スプロケット１とスプロ
ケット２が回転することにより、ＴＡＢテープ３をピッ
チ送りする。カメラ４はＴＡＢテープ３のパターン上の
基準マーク３Ａを撮像する。画像処理装置５はカメラ４
に接続される。制御部２０はメモリ２１と演算手段２２
とメモリ２３とＣＰＵ２４で構成される。

【００２４】準備段階では、スプロケット２の回転開始
位置でＴＡＢテープ３のパターン上の基準マーク３Ａを
カメラ４で撮像し、回転開始位置での基準マーク３Ａの
前記撮像データを基準値として画像処理装置５に登録
し、スプロケット２が１回転する間に、順次、基準マー
ク３Ａをカメラ４で撮像し、前記各撮像データを各読取
値として前記基準値と比較して各偏位値を画像処理装置
５で算出し、前記各偏位値を基準マーク３Ａの撮像順に
メモリ２１に格納し、メモリ２１から前記各偏位値を読
み込み、スプロケット２の回転角度と前記偏位値と関係
式を演算手段２２で演算し、前記演算式をメモリ２３に
格納する。

【００２５】ＴＡＢ用オートハンドラが稼動するとき
は、ＣＰＵ２４はスプロケット２の回転開始位置からの
回転角度を算出し、メモリ２３から前記関係式を読み込
み、回転角度を代入してＴＡＢの偏位値を算出し、前記
ＴＡＢの偏位値に見合う分、スプロケット１とスプロケ
ット２を回転させてＴＡＢを進行方向あるいは後退方向
に微小走行させてから測定する。

【００２６】すなわち、この発明では、第１のスプロケ
ットと第２のスプロケットを回転させ、ＴＡＢテープを
ピッチ送りして測定する場合に、ＴＡＢテープのパター
ン上の基準マークを撮像するカメラと、カメラに接続さ
れる画像処理装置と、第２のスプロケットの回転開始位
置を検出する検出手段をあらかじめ備えている。

【００２７】準備段階では、第２のスプロケットの回転
開始位置での基準撮像データと、ＴＡＢをピッチ送りし
たときの各読取撮像データが比較され、回転開始位置か
らのＴＡＢの偏位値が制御部に送出される。制御部では
回転開始位置からの経過が第２のスプロケットの回転角
度と前記偏位値との関係式として格納される。

【００２８】稼動段階では、第２のスプロケットの回転
開始位置からの回転角度が制御部に送出されると、制御
部は前記関係式からＴＡＢの補正量を算出し、第１のス
プロケットと第２のスプロケットを偏位分回転制御す
る。このように画像処理でＴＡＢを位置補正することが
ないので、インデックスタイムが短く、しかも位置補正
精度の高いＴＡＢの搬送が可能となる。

【００２９】

【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例につ
いて説明する。図１はこの発明によるＴＡＢ用オートハ
ンドラのブロック構成図であり、図５または図６に示し
た従来例に対応する部分には同一の符号を付している。
図１の１Ａと２Ａはモータ、１Ｂと２Ｂはモータ駆動回
路、８は検出手段である。また、２０は制御部であり、
制御部２０はメモリ２１と演算手段２２とメモリ２３と
ＣＰＵ２４で構成される。

【００３０】図１のモータ１Ａ・２Ａは、例えば、パル
スモータであり、歯車減速器を仲介してスプロケット１
・２にそれぞれ連結される。モータ駆動回路１Ｂ・２Ｂ
はモータ１Ａ・２Ａにそれぞれ接続され、ＣＰＵ２４の
指令がモータ駆動回路１Ｂ・２Ｂに送出され、モータ駆
動回路１Ｂ・２Ｂはモータ１Ａ・２Ａを回転制御する。
検出手段８と画像処理装置５はＣＰＵ２４に接続され
る。制御部２０内では、メモリ２１と演算手段２２とメ
モリ２３はＣＰＵ２４にそれぞれ接続される。図１にお
けるＣＰＵ２４は制御部２０外に信号を入出力するとも
に制御部２０外の機器を指令制御する。また、制御部２
０内にあっては、メモリの読み込みまたは書き込みおよ
び入出力を統括制御する。

【００３１】次に、検出手段８の構成を図２により説明
する。図２は図１におけるスプロケット２の近傍の要部
拡大斜視図である。図２では、スプロケット２の半径面
には、スプロケット２の歯単位で検出される微小な検出
穴２Ｃが形成される。検出手段８はセンサ８Ａと検出回
路８Ｂで構成され、センサ８Ａは検出穴２Ｃの軸の延長
線上に配置される。センサ８Ａは、例えば光ファイバ反
射式センサであり、スプロケット２の回転開始位置を歯
単位で検出する。検出回路８ＢはＣＰＵ２４に接続さ
れ、検出穴２Ｃの有無の信号をＣＰＵ２４に送出する。

【００３２】図２のモータ２Ａは歯車減速器つきのパル
スモータであり、スプロケット２の取付軸と反対の軸に
は回転検出板２Ｄが取り付けられる。回転検出板２Ｄの
半径方向には微細なスリット２Ｅが切り欠かれ、回転検
出板２Ｄの半径方向を囲う形で回転検出手段２Ｆが配置
される。回転検出手段２Ｆは投光器と受光器が一対にな
った光検出ユニットであり、回転検出板２Ｄの回転位置
を検出する。すなわち、図２ではスプロケット２の歯数
に対応した歯車減速器が組み込まれており、回転検出板
２Ｄが１回転すると、スプロケット２は１歯分回転す
る。また、実施例では、パルスモータに１パルス付与す
るとＴＡＢテープ３を10μｍ単位で走行制御することが
可能である。さらに、スプロケット１の構成について
は、検出穴２Ｃと検出手段８が組み込まれていない点を
除き、スプロケット２と機能は同じであるので、説明を
省略する。

【００３３】次に、この発明の動作を準備段階での動作
と、装置が稼動中の動作に分けて説明する。図３は準備
段階での動作手順を示すフローチャートである。

【００３４】図３のステップ１０１では、スプロケット
１・２を同期して回転し、検出手段８が検出穴２Ｃを検
出するまでＴＡＢテープ３を走行するようＣＰＵ２４は
指令する。なお、ＴＡＢテープ３は装置にあらかじめ装
着されているものとし、検出穴２Ｃを検出したときがス
プロケット２の回転開始位置となり、スプロケット２は
回転を停止する。ステップ１０２では、スプロケット１
を時計方向に逆回転する。すなわち、従来技術に示され
たバックテンション処理を行う。

【００３５】ステップ１０３では、テープクランプ９と
プッシャ１０を下げ、スプロケット２が回転開始位置に
あるときの基準マーク３Ａをカメラ４で撮像し、このと
きの撮像データを基準値として画像処理装置５に登録す
る。ステップ１０４では、スプロケット１をバックテン
ション量分戻す。

【００３６】ステップ１０５では、スプロケット１・２
を同期して回転し、ＴＡＢテープ３の１ＴＡＢ分をピッ
チ分搬送する。ステップ１０６では、スプロケット１を
バックテンション処理する。

【００３７】ステップ１０７では、ＴＡＢをピッチ分搬
送後の基準マーク３Ａをカメラ４で撮像し、このときの
撮像データを読取値として画像処理装置５に送出し、画
像処理位置５は読取値として前記基準値と比較して偏位
値を算出する。

【００３８】ステップ１０８では、ＣＰＵ２４は画像処
理装置５で求められた偏位値をメモリ２１に格納する。
ステップ１０９では、スプロケット１をバックテンショ
ン量戻す。

【００３９】ステップ１１０では、スプロケット２が回
転開始位置から１回転したかを検出手段８で確認する。
ステップ１１０でスプロケット２が回転開始位置から１
回転していないときはスッテプ１０５の前段に戻り、１
回転終了時はステップ１１１に進む。

【００４０】ステップ１１１では、ＣＰＵ２４はメモリ
２１に格納されている各偏位値を読み込み、前記偏位値
を演算手段２２に送出する。

【００４１】演算手段２２には、あらかじめ、従来技術
の図８に示されスプロケット２の回転角度とＴＡＢテー
プ３の送り方向の偏位の関係を表す疑似的な関係式Ｙ＝
ａ×ｓｉｎ（Ｘ＋ｂ）が設定されている。ちなみに、前
記関係式のＹはＴＡＢの偏位量であり、Ｘはスプロケッ
ト２の回転開始位置からの回転角度である。

【００４２】ステップ１１１では前述の関係式に前記偏
位値が代入され、定数ａ・ｂの値が算出される。ステッ
プ１１２ではＣＰＵ２４はステップ１１１で算出された
定数ａ、ｂの値をメモリ２３に格納し、一連の動作を終
了する。

【００４３】次に、この発明による装置が稼動中の動作
を図４のフローチャートにより説明する。図４のステッ
プ２０１では、スプロケット２の回転開始位置からの回
転角度ＸをＣＰＵ２４は算出する。

【００４４】ステップ２０２では、メモリ２３に格納さ
れている定数ａ・ｂを読み込み、スプロケット２の回転
角度Ｘと定数ａ・ｂを演算手段２２に送出し、演算手段
２２は回転角度ＸにおけるＴＡＢの偏位量Ｙを求める。

【００４５】ステップ２０３では、ステップ２０２で求
められたＴＡＢの偏位量Ｙ分をスプロケット１・２が同
期して回転するようＣＰＵ２４はモータ駆動回路１Ｂ・
２Ｂに指令する。

【００４６】ステップ２０４では、スプロケット２をバ
ックテンション処理し、一連の動作を終了する。このよ
うに、この発明はＴＡＢを順次補正しながら測定してい
く。

【００４７】

【発明の効果】この発明は、第１のスプロケットと第２
のスプロケットを回転させ、ＴＡＢテープをピッチ送り
して測定する場合に、ＴＡＢテープのパターン上の基準
マークを撮像するカメラと、カメラに接続される画像処
理装置と、第２のスプロケットの回転開始位置を検出す
る検出手段をあらかじめ備えている。

【００４８】準備段階では、第２のスプロケットの回転
開始位置での基準撮像データと、ＴＡＢをピッチ送りし
たときの各読取撮像データが比較され、回転開始位置か
らのＴＡＢの偏位値が制御部に送出される。制御部では
回転開始位置からの経過が第２のスプロケットの回転角
度と前記偏位値との関係式として格納される。

【００４９】稼動段階では、第２のスプロケットの回転
開始位置からの回転角度が制御部に送出されると、制御
部は前記関係式からＴＡＢの補正量を算出し、第１のス
プロケットと第２のスプロケットを偏位分回転制御す
る。このように、この発明は画像処理でＴＡＢを位置補
正することがないので、インデックスタイムが短く、し
かも位置補正精度の高いＴＡＢの搬送が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるＴＡＢ用オートハンドラのブロ
ック構成図である。

【図２】図１におけるスプロケット２の近傍の要部拡大
斜視図である。

【図３】この発明による準備段階での動作手順を示すフ
ローチャートである。

【図４】この発明による装置が稼動中の動作を示すフロ
ーチャートである。

【図５】従来技術によるＴＡＢテープ用オートハンドラ
の構成図である。

【図６】図５におけるＴＡＢテープ３の位置決め手段の
説明図である。

【図７】スプロケットの偏心影響の説明図である。

【図８】スプロケットの回転角度とＴＡＢテープの送り
方向の偏位の関係図である。

【符号の説明】

１ スプロケット ２ スプロケット ２Ｃ 検出穴 ３ ＴＡＢテープ ３Ａ 基準マーク ４ カメラ ５ 画像処理装置 ８ 検出手段 ８Ａ センサ ８Ｂ 検出回路 ２０ 制御部 ２１ メモリ ２２ 演算手段 ２３ メモリ ２４ ＣＰＵ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｈ 43/00 9037−3Ｆ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のスプロケット(1) と第２のスプロ
   ケット(2) を回転させ、ＴＡＢテープ(3) をピッチ送り
   して測定するＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 ＴＡＢテープ(3) のパターン上の基準マーク(3A)を撮像
   するカメラ(4) と、 カメラ(4) に接続される画像処理装置(5) と、 第２のスプロケット(2) の回転開始位置を検出する検出
   手段(8) とを備え、 制御部(20)は第１のメモリ(21)と演算手段(22)と第２の
   メモリ(23)とＣＰＵ(24)で構成され、 第２のスプロケット(2) の回転開始位置でＴＡＢテープ
   (3) のパターン上の基準マーク(3A)をカメラ(4) で撮像
   し、 回転開始位置での基準マーク(3A)の前記撮像データを基
   準値として画像処理装置(5) に登録し、 第２のスプロケット(2) が１回転する間に、順次、基準
   マーク(3A)をカメラ(4) で撮像し、 前記各撮像データを各読取値として前記基準値と比較し
   て各偏位値を画像処理装置(5) で算出し、 前記各偏位値を基準マーク(3A)の撮像順に第１のメモリ
   (21)に格納し、 第１のメモリ(21)から前記各偏位値を読み込み、第２の
   スプロケット(2) の回転角度と前記偏位値と関係式を演
   算手段(22)で演算し、 前記演算式を第２のメモリ(23)に格納し、 ＴＡＢ用オートハンドラが稼動するときは、ＣＰＵ(24)
   は第２のスプロケット(2) の回転開始位置からの回転角
   度を算出し、第２のメモリ(23)から前記関係式を読み込
   み、回転角度を代入してＴＡＢの偏位値を算出し、前記
   ＴＡＢの偏位値に見合う分、第１のスプロケット(1) と
   第２のスプロケット(2) を回転させてＴＡＢを進行方向
   あるいは後退方向に微小走行させてから測定することを
   特徴とするＴＡＢテープ移動用スプロケットの偏心影響
   の補正方法。
2. 【請求項２】 ＴＡＢの偏位量をＹとし、第２のスプロ
   ケット(2) の回転開始位置からの回転角度をＸとし、第
   ２のスプロケット(2) の回転角度と前記偏位値と関係式
   をＹ＝ａ×（Ｘ＋ｂ）とし、演算手段(22)で定数ａおよ
   び定数ｂを算出し、定数ａおよび定数ｂの値を第２のメ
   モリ(23)に格納することを特徴とする請求項１記載のＴ
   ＡＢテープ移動用スプロケットの偏心影響の補正方法。
3. 【請求項３】 第２のスプロケット(2) の半径面には微
   小検出穴(2C)が形成され、検出手段(8) は光ファイバ反
   射式センサ(8A)と検出回路(8B)とで構成され、センサ(8
   A)は第２のスプロケット(2) の回転開始位置を第２のス
   プロケット(2) の歯単位で微小検出穴(2C)を検出するこ
   とを特徴とする請求項１記載の第２のスプロケットおよ
   び検出手段。