JPH06338546A - Ｔａｂテープ移動用スプロケットの偏心影響の緩和方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＴＡＢ用オートハンドラにおいて、ＴＡＢテ
ープ移動用のスプロケットの偏心による影響を緩和させ
る。 【構成】 画像処理用カメラ４で基準撮像データ２０を
画像処理装置６に記憶する。スプロケット１・２を１回
転させる間に逐次ＴＡＢテープ３を撮像して撮像データ
２１を画像処理装置６に記憶する。基準撮像データ２０
と撮像データ２１の差データ２２からスプロケット１・
２の偏心値を求め、スプロケット１・２の回転開始位置
を補正する。また、ＸＹステージ５をＹ方向に補正す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＴＡＢ（テープ・オ
ートメイテッド・ボンディング）用オートハンドラにお
いて、ＴＡＢ移動用スプロケットでＴＡＢテープを搬送
する場合に、スプロケットの偏心による影響を緩和する
方法についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢ用オートハンドラは、リール状に
巻かれたＴＡＢテープを自動的に測定位置まで逐次搬送
し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に選別す
る装置である。なお、ＴＡＢと電極の精密位置決め機構
については、実開昭64-34576号公報、実開平1-163335号
公報、実願平2-106251号明細書などにも記載されてい
る。

【０００３】次に、従来技術によるＴＡＢテープ用オー
トハンドラの構成を図４により説明する。図４の１と２
はスプロケット、３はＴＡＢテープ、４は画像処理用の
カメラ、、１０はプッシャ、９はテープクランプ、１１
は供給リール、１２と１３はテンションプーリ、１４は
収容リール、１６はプローブカード、１７はＩＣテスタ
のテストヘッド、１９はアタッチメントユニットであ
る。

【０００４】ＴＡＢテープ３はスプロケット１・２が同
期して回転することによりデバイスのピッチ分送られ、
供給リール１１からテンションプーリ１２、スプロケッ
ト１・２、テンションプーリ１３、収容リール１４の順
に移動する。

【０００５】位置決めされたＴＡＢテープ３は、プッシ
ャ１０、テープクランプ９によりコンタクト位置まで下
降し、プローブカード１６のコンタクトに押し付けられ
る。この状態でテスタ側にテストスタート要求信号を送
り、ＩＣテスタのテストが開始される。テスト後、テス
タから送信された結果がオープン不良（ＴＡＢの電極と
プローブカード１６の針が位置ずれ等により接触してい
ない。）であった場合、この位置でカメラ４による画像
データが取り込まれ、位置の補正量を算出する。画像デ
ータ取り込み後、テープクランプ９、プッシャ１０を上
昇させ、補正後再下降し、プローブカード１６にＴＡＢ
テープ３を押し付け、再度テスタ側にテストスタート要
求信号を送る。テスト後、テスト終了信号によりテープ
クランプ９、プッシャ１０が上昇し、スプロケット１・
２により次のデバイスまでＴＡＢテープ３は送られる。

【０００６】次に、ＴＡＢテープ３の位置決め手段を図
５により説明する。図５アは位置補正機構の構成図であ
る。図５のスプロケット１・２、テープクランプ９、プ
ッシャ１０は一体となってＸＹステージ５上に配置され
る。

【０００７】図５イはＴＡＢテープ３のパターン図であ
り、パターン図の一隅に基準マーク３Ａがある。中央部
にはＩＣチップ３Ｂが実装され、ＩＣチップ３Ｂの両側
にはＩＣチップとパターンで接続するテストパッド３Ｃ
が配置される。ＴＡＢテープ３には図５イのパターン図
が等間隔で連続して形成される。

【０００８】図５では、次の手順で位置補正する。最初
に、テープクランプ９とプッシャ１０をコンタクト位置
まで下降させる。次に、カメラ４を移動してＴＡＢテー
プ３のテストパッド１Ｃとプローブカード１６のプロー
ブ１６Ａとの接触状態を確認する。プローブ１６Ａの接
触端がテストパッド１Ｃの中央に位置するように、テー
プクランプ９、プッシャ１０を上昇させた後、プローブ
カード１６を移動またはスプロケット１・２を微少回転
し、補正する。

【０００９】次に、カメラ４で基準マーク３Ａを撮像
し、撮像データを装置に記憶する。この撮像データがＴ
ＡＢテープ３とプローブカード１６が接触する位置の基
準となる。なお、図４と図５は実願平3−14672号明細書
に記載の図２・３と技術的におなじものである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図４のスプロケット１
・２の回転中心が偏心していることによる影響を図６に
より説明する。図６の横軸はスプロケットの回転角度を
示している。縦軸はスプロケットが真の中心で回転する
場合と、スプロケットが偏心位置で回転する場合とのＴ
ＡＢテープの送り方向の偏差値を示している。すなわ
ち、スプロケットが真の中心で回転する場合は、ＴＡＢ
テープはスプロケットの回転角に比例して移動するが、
スプロケットが偏心している場合はＴＡＢテープは図６
アに示されるように正弦波的に移動する。

【００１１】図４の装置ではスプロケットの偏心を完全
に回避することは困難である。しかし、図４の装置でス
プロケットが１回転する間に、図５イにパターンが複数
位置合わせされるので、スプロケットの回転開始位置と
スプロケットが１回転中のＴＡＢ数の組み合わせでは位
置合わせの偏位が最大になる可能性がある。

【００１２】図６アでは、正弦波の山の頂点ＰU と正弦
波の谷の底点ＰD の中間点ＰO で、基準となるＴＡＢが
位置合わせされるので、スプロケットが１回転中のＴＡ
Ｂが幾つ存在しても、ＴＡＢとプローブの位置ずれの最
大値はスプロケットの偏心値Δｘである。一方、図６イ
では、正弦波の山の頂点ＰU で、基準となるＴＡＢが位
置合わせされるので、スプロケットが１回転中のＴＡＢ
とプローブの位置ずれの最大値は２Δｘとなる可能性が
ある。

【００１３】また、ＴＡＢテープが移動する間には、ス
プロケット１・２で案内されるので、ＴＡＢテープは送
り方向と直交する方向にも、ばらつく可能性がある。

【００１４】この発明は、画像処理用カメラで基準撮像
データを画像処理装置に記憶し、スプロケットを１回転
させる間に逐次ＴＡＢを撮像して撮像データを画像処理
装置に記憶し、基準撮像データと撮像データの差データ
からスプロケットの偏心値を求め、スプロケットの回転
開始位置を補正することによりＴＡＢテープ移動用スプ
ロケットの偏心影響を緩和する方法を提供することを目
的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、画像処理用カメラ４で基準マーク３Ａ
を撮像して基準撮像データ２０を画像処理装置６に記憶
し、スプロケット１・２を１回転させる間に逐次基準マ
ーク３Ａを撮像して撮像データ２１を画像処理装置６に
記憶し、ＣＰＵ７Ａは基準撮像データ２０と撮像データ
２１の差データ２２を算出し、演算部７Ｂは差データ２
２が送出され、差データ２２の最大値と最小値からスプ
ロケットの偏心値Δｘを求め、ＴＡＢテープ３の送り方
向の偏心値Δｘ分だけ前記スプロケット１・２の回転開
始位置を補正する。

【００１６】

【作用】次に、この発明によるＴＡＢ用オートハンドラ
の構成を図１の実施例により説明する。図１の６は画像
処理装置、７はＣＰＵ７Ａと演算部７Ｂで構成される制
御部であり、その他のものは図５アと同じである。

【００１７】図１では、モータ１Ａはスプロケット１を
回転し、モータ２Ａはスプロケット２を回転する。Ｘス
テージ５はモータ５ＸでＸ方向に移動し、モータ５Ｙで
Ｙ方向に移動する。図１でいうＸ方向とはＴＡＢテープ
３の送り方向であり、Ｙ方向とはＸ方向と直交する方向
である。モータ１Ａ・１Ｂ・５Ｘ・５ＹはＣＰＵ７Ａの
指令で回転制御される。

【００１８】画像処理用カメラ４は画像処理装置６に接
続され、画像処理用カメラ４の撮像データは画像処理装
置６に送出される。画像処理装置６は撮像データをＣＰ
Ｕ７Ａの指令で内部メモリに書き込む。ＣＰＵ７Ａは撮
像データを読み込み、演算部７Ｂに補正指令し、演算部
７Ｂは補正演算し、演算データをＣＰＵ７Ａに送出す
る。ＣＰＵ７Ａは演算データに基づき、各モータを制御
する。

【００１９】次に、図１の処理手順を図２のフローチャ
ートにより説明する。図２のステップ１０１では、ＴＡ
Ｂテープ３のテストパッド３Ｃとプローブカード６のプ
ローブ１６Ａが接触した状態で、カメラ４でＴＡＢテー
プ３上の基準マーク３Ａを撮像する。ステップ１０２で
は、基準マーク３Ａの撮像を基準撮像データ２０として
画像処理装置６に記憶する。

【００２０】ステップ１０３では、テープクランプ９、
プッシャ１０を上昇させ、ステップ１０４では、スプロ
ケット１・２を回転し、ＴＡＢテープ３を１ＴＡＢ分ピ
ッチ分送りする。ステップ１０５では、テープクランプ
９、プッシャ１０を下降させ、ステップ１０６では、カ
メラ４でＴＡＢテープ３上の基準マーク３Ａを撮像す
る。ステップ１０７では、基準マーク３Ａの撮像を撮像
データ２１として画像処理装置６に記憶する。

【００２１】ステップ１０８では、スプロケット１・２
が１回転したかを判断し、１回転していないときはステ
ップ１０３の前段に戻り、１回転終了したときはステッ
プ１０９に進む。

【００２２】ステップ１０９では、ＣＰＵ７Ａは基準撮
像データ２０と撮像データ２１の差データ２２を算出
し、ステップ１１０では、差データ２２を演算部７Ｂに
送出する。

【００２３】ステップ１１１では、演算部７Ｂは差デー
タ２２の最大値と最小値からスプロケット１・２の偏心
値Δｘを算出する。ステップ１１２では、ＣＰＵ７Ａは
ＴＡＢテープ３の送り方向の偏心値Δｘ分だけスプロケ
ット１・２の回転開始位置を補正指令する。

【００２４】ステップ１１３では、演算部７Ｂは差デー
タ２２からＹ方向の平均値ＹAVE を算出し、ステップ１
１４ではＣＰＵ７Ａはモータ５Ｙに平均値ＹAVE 分移動
するよう指令し、一連の処理を終了する。

【００２５】図２の補正処理で、スプロケット１・２は
回転開始位置が補正され、この補正位置を回転基準位置
としてＴＡＢテープ３の一定量送りとなる。図２の処理
で、スプロケット１・２の回転角とＴＡＢの偏位の関係
は、例えば、図３のようになる。図３では、ＴＡＢは正
弦波の山の頂点ＰU と正弦波の谷の底点ＰD の中間点Ｐ
O で、回転開始する。図３ではスプロケット１・２が１
回転中にＴＡＢが幾つ存在しても偏位Δｘを超えること
はない。

【００２６】

【発明の効果】この発明は、画像処理用カメラで基準撮
像データを画像処理装置に記憶し、スプロケットを１回
転させる間に逐次ＴＡＢを撮像して撮像データを画像処
理装置に記憶し、基準撮像データと撮像データの差デー
タからスプロケットの偏心値を求め、スプロケットの回
転開始位置を補正しているので、ＴＡＢテープ移動用ス
プロケットの偏心による影響を緩和することができる。
さらに、ＴＡＢテープの送り方向と直交する方向も補正
しているので、ＴＡＢの接触不良の影響を緩和できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるＴＡＢテープ用オートハンドラ
の構成図である。

【図２】図１の処理手順を示すフローチャートである。

【図３】スプロケット１・２の回転角とＴＡＢの偏位に
よる関係図である。

【図４】従来技術によるＴＡＢテープ用オートハンドラ
の構成図である。

【図５】ＴＡＢテープ３の位置決め手段説明図である。

【図６】スプロケット１・２の回転角とＴＡＢの偏位の
従来の関係図である。

【符号の説明】

１ スプロケット ２ スプロケット ３ ＴＡＢテープ ３Ａ 基準マーク ４ カメラ ５ ＸＹステージ ６ 画像処理装置 ７Ａ ＣＰＵ ７Ｂ 演算部 ２０ 基準撮像データ ２１ 撮像データ ２２ 差データ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のスプロケット(1) と第２のスプロ
   ケット(2) を同期して回転することによりＴＡＢテープ
   (3) をピッチ送りし、ＴＡＢテープ(3) のパターン上の
   基準マーク(3A)を画像処理用カメラ(4) で参照し、ＸＹ
   ステージ(5)を移動して、ＴＡＢテープ(3) の位置を補
   正するＴＡＢ用オートハンドラにおいて、 画像処理用カメラ(4) で基準マーク(3A)を撮像して基準
   撮像データ(20)を画像処理装置(6)に記憶し、 前記スプロケット(1) ・(2) を１回転させる間に逐次基
   準マーク(3A)を撮像して撮像データ(21)を画像処理装置
   (6) に記憶し、 ＣＰＵ(7A) は基準撮像データ(20)と撮像データ(21)の
   差データ(22)を算出し、 演算部(7B)は差データ(22)が
   送出され、差データ(22)の最大値と最小値からスプロケ
   ットの偏心値Δｘを求め、 ＴＡＢテープ(3) の送り方向の偏心値Δｘ分だけ前記ス
   プロケット(1) ・(2)の回転開始位置を補正するをこと
   を特徴とするＴＡＢテープ移動用スプロケットの偏心影
   響の緩和方法。
2. 【請求項２】 演算部(7B)は差データ(22)からＴＡＢテ
   ープ(3) の送り方向と直交する方向の平均値ＹAVE を算
   出し、平均値ＹAVE 分をＸＹステージ(5) をＹ方向に補
   正すること特徴とする請求項１記載のＴＡＢテープ移動
   用スプロケットの偏心影響の緩和方法