JP2556386Y2 - Ｔａｂテープ用オートハンドラ - Google Patents
Ｔａｂテープ用オートハンドラInfo
- Publication number
- JP2556386Y2 JP2556386Y2 JP1991014672U JP1467291U JP2556386Y2 JP 2556386 Y2 JP2556386 Y2 JP 2556386Y2 JP 1991014672 U JP1991014672 U JP 1991014672U JP 1467291 U JP1467291 U JP 1467291U JP 2556386 Y2 JP2556386 Y2 JP 2556386Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- tab tape
- sprocket
- tab
- pusher
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- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ＴＡＢ（テープ・オ
ートメイテッド・ボンディング）テープ用オートハンド
ラについてのものである。
ートメイテッド・ボンディング）テープ用オートハンド
ラについてのものである。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢテープ用オートハンドラは、リー
ル状に巻かれたＴＡＢテープを自動的に測定位置まで逐
次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に
選別する装置である。なお、ＴＡＢと電極の精密位置決
め機構については実開昭64-34576号公報、実開平1-1633
35号公報、実願平2-106251号明細書などにも記載されて
いる。
ル状に巻かれたＴＡＢテープを自動的に測定位置まで逐
次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に
選別する装置である。なお、ＴＡＢと電極の精密位置決
め機構については実開昭64-34576号公報、実開平1-1633
35号公報、実願平2-106251号明細書などにも記載されて
いる。
【０００３】次に、従来技術によるＴＡＢテープ用オー
トハンドラの構成を図２により説明する。図２の１はＴ
ＡＢテープ、３と４はスプロケット、５はカメラ、６は
プローブカード、７はＩＣテスタのテストヘッド、８は
テープクランプ、９はアタッチメントユニット、１０は
プッシャ、１１は供給リール、１２と１３はテンション
プーリ、１４は収容リールである。
トハンドラの構成を図２により説明する。図２の１はＴ
ＡＢテープ、３と４はスプロケット、５はカメラ、６は
プローブカード、７はＩＣテスタのテストヘッド、８は
テープクランプ、９はアタッチメントユニット、１０は
プッシャ、１１は供給リール、１２と１３はテンション
プーリ、１４は収容リールである。
【０００４】ＴＡＢテープ１は、スプロケット３・４の
スプロケットホールでデバイスのピッチ分送られ、供給
リール１１からテンションプーリ１２、スプロケット３
・４、テンションローラ１３、収容リール１４の順に移
動する。
スプロケットホールでデバイスのピッチ分送られ、供給
リール１１からテンションプーリ１２、スプロケット３
・４、テンションローラ１３、収容リール１４の順に移
動する。
【０００５】位置決めされたＴＡＢテープ１は、プッシ
ャ１０、テープクランパ８によりアライメント位置まで
下降する。この位置でカメラ５による画像データが取り
込まれ、位置が比較される。位置の補正が必要な場合
は、クランパ８・プッシャ１０を上昇させ、補正後再下
降し、コンタクト位置でプローブカード６のコンタクト
に押し付けられる。この状態でテスタ側にテストスター
ト要求信号を送り、ＩＣテスタのテストが開始される。
テスト後、テスト終了信号により、クランパ８・プッシ
ャ１０が上昇し、スプロケット３・４により次のデバイ
スまでＴＡＢテープ１は送られる。
ャ１０、テープクランパ８によりアライメント位置まで
下降する。この位置でカメラ５による画像データが取り
込まれ、位置が比較される。位置の補正が必要な場合
は、クランパ８・プッシャ１０を上昇させ、補正後再下
降し、コンタクト位置でプローブカード６のコンタクト
に押し付けられる。この状態でテスタ側にテストスター
ト要求信号を送り、ＩＣテスタのテストが開始される。
テスト後、テスト終了信号により、クランパ８・プッシ
ャ１０が上昇し、スプロケット３・４により次のデバイ
スまでＴＡＢテープ１は送られる。
【０００６】次に、ＴＡＢテープ１の位置決め手段を図
３により説明する。図３アは位置補正機構の構成図であ
る。図３アのスプロケット３・４、テープクランプ８、
プッシャ１０は一体となってＸＹステージ２上に配置さ
れる。図２のプローブカード６の針合わせの精度を確保
するため、より精度の高い位置決めが必要であり、図２
のカメラ５による画像処理の位置検出と、図３のＸＹス
テージ２により位置決めをする。
３により説明する。図３アは位置補正機構の構成図であ
る。図３アのスプロケット３・４、テープクランプ８、
プッシャ１０は一体となってＸＹステージ２上に配置さ
れる。図２のプローブカード６の針合わせの精度を確保
するため、より精度の高い位置決めが必要であり、図２
のカメラ５による画像処理の位置検出と、図３のＸＹス
テージ２により位置決めをする。
【０００７】図３イはデバイスのパターン図であり、パ
ターン図の一隅に位置決め基準となる基準マークがあ
る。この基準マークの位置（図３ウのＸａ、Ｘｂ、Ｙ
ａ、Ｙｂ）を準備操作の段階で記憶させ、運転状態で記
憶パターンとの差分を検出し、補正を演算し、ＸＹステ
ージ２を制御して基準位置に合わせる。アライメント機
能の搭載により１０μｍ以内の位置決め精度を得てい
る。なお、基準マークによる位置決めについては、前述
の実願平2-106251号明細書にも記載されている。
ターン図の一隅に位置決め基準となる基準マークがあ
る。この基準マークの位置（図３ウのＸａ、Ｘｂ、Ｙ
ａ、Ｙｂ）を準備操作の段階で記憶させ、運転状態で記
憶パターンとの差分を検出し、補正を演算し、ＸＹステ
ージ２を制御して基準位置に合わせる。アライメント機
能の搭載により１０μｍ以内の位置決め精度を得てい
る。なお、基準マークによる位置決めについては、前述
の実願平2-106251号明細書にも記載されている。
【０００８】しかし、図２ではアライメント用のカメラ
５がアタッチメントユニット９内に配置されているの
で、プローブカード６とテストヘッド７間の配線が長
い。
５がアタッチメントユニット９内に配置されているの
で、プローブカード６とテストヘッド７間の配線が長
い。
【０００９】
【考案が解決しようとする課題】図２では、ＴＡＢテー
プ１のパターン位置決め精度を確保するため、画像処理
用のカメラ５が下方に配置されているので、プローブカ
ード６とテストヘッド７間の配線が長く、デバイスの測
定周波数の上限が制限される。
プ１のパターン位置決め精度を確保するため、画像処理
用のカメラ５が下方に配置されているので、プローブカ
ード６とテストヘッド７間の配線が長く、デバイスの測
定周波数の上限が制限される。
【００１０】この考案は、ＸＹステージ２上にスプロケ
ット３・４とカメラ５を配置し、プローブカード６とテ
ストヘッド７を直結することにより、デバイスの測定周
波数の制限を減らすことを目的とする。
ット３・４とカメラ５を配置し、プローブカード６とテ
ストヘッド７を直結することにより、デバイスの測定周
波数の制限を減らすことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この考案では、スプロケット３とスプロケット４間
に位置決めと測定時のＴＡＢテープ１をクランプするた
めのテープクランプ８とプッシャ１０が配置され、スプ
ロケット３・４とテープクランプ８とプッシャ１０が一
体となってＸＹステージ２上に配置され、ＴＡＢテープ
１のパターン上の基準マークを参照してＸＹステージ２
が移動することによりＴＡＢテープ１とプローブカード
６の接触位置を補正するＴＡＢテープ用オートハンドラ
であって、スプロケット３とスプロケット４間のＴＡＢ
テープ１の上方に配置される画像処理用カメラ５と、強
い光をＴＡＢテープ１に照射して透過光を作り、画像処
理用カメラ５に取り込まれる画像データによりアライメ
ント機能を維持する照明用ランプ５Ａとを備え、前記Ｔ
ＡＢテープ１の下方に配置されるプローブカード（６に
テストヘッド７が直結する。
め、この考案では、スプロケット３とスプロケット４間
に位置決めと測定時のＴＡＢテープ１をクランプするた
めのテープクランプ８とプッシャ１０が配置され、スプ
ロケット３・４とテープクランプ８とプッシャ１０が一
体となってＸＹステージ２上に配置され、ＴＡＢテープ
１のパターン上の基準マークを参照してＸＹステージ２
が移動することによりＴＡＢテープ１とプローブカード
６の接触位置を補正するＴＡＢテープ用オートハンドラ
であって、スプロケット３とスプロケット４間のＴＡＢ
テープ１の上方に配置される画像処理用カメラ５と、強
い光をＴＡＢテープ１に照射して透過光を作り、画像処
理用カメラ５に取り込まれる画像データによりアライメ
ント機能を維持する照明用ランプ５Ａとを備え、前記Ｔ
ＡＢテープ１の下方に配置されるプローブカード（６に
テストヘッド７が直結する。
【００１２】
【作用】次に、この考案によるＴＡＢテープ用オートハ
ンドラの構成を図１により説明する。ＴＡＢテープ１の
搬送機構は図２と同じである。図１ではカメラ５と照明
用ランプ５Ａは上方に配置し、位置決めと測定時のＴＡ
Ｂテープ１をクランプするためのプッシャ１０はアライ
メント時は後方に退避させる。アライメントはＴＡＢテ
ープ１の裏面を使用し、ランプ５Ａをファイバ光とし、
強い光をＴＡＢテープ１に照射して透過光を作り、アラ
イメント機能を維持する。プローブカード６の下にテス
トヘッド７を配置し、プローブカード６とテストヘッド
７を直結する。
ンドラの構成を図１により説明する。ＴＡＢテープ１の
搬送機構は図２と同じである。図１ではカメラ５と照明
用ランプ５Ａは上方に配置し、位置決めと測定時のＴＡ
Ｂテープ１をクランプするためのプッシャ１０はアライ
メント時は後方に退避させる。アライメントはＴＡＢテ
ープ１の裏面を使用し、ランプ５Ａをファイバ光とし、
強い光をＴＡＢテープ１に照射して透過光を作り、アラ
イメント機能を維持する。プローブカード６の下にテス
トヘッド７を配置し、プローブカード６とテストヘッド
７を直結する。
【００１３】
【考案の効果】この考案によれば、ＸＹステージ上にス
プロケットと画像処理用カメラを配置し、プローブカー
ドとテストヘッドを直結するので、プローブカードとテ
ストヘッドの配線が短くなり、デバイスの測定周波数を
上げることができる。
プロケットと画像処理用カメラを配置し、プローブカー
ドとテストヘッドを直結するので、プローブカードとテ
ストヘッドの配線が短くなり、デバイスの測定周波数を
上げることができる。
【図１】この考案によるＴＡＢテープ用オートハンドラ
の構成図である。
の構成図である。
【図２】 従来技術によるＴＡＢテープ用オートハン
ドラの構成図である。
ドラの構成図である。
【図３】ＴＡＢテープ１の位置決め手段説明図である。
【符号の説明】 １ ＴＡＢテープ ２ ＸＹステージ ３ スプロケット ４ スプロケット ５ カメラ ５Ａ ランプ ５Ｂ ランプ ６ プローブカード ７ テストヘッド ８ テープクランプ ９ アタッチメントユニット １０ プッシャ １１ 供給リール １２ テンションプーリ １３ テンションプーリ １４ 収容リール
Claims (1)
- 【請求項１】 第１のスプロケット(3) と第２のスプロ
ケット(4) 間に位置決めと測定時のＴＡＢテープ(1) を
クランプするためのテープクランプ(8) とプッシャ(10)
が配置され、 第１と第２のスプロケット(3) ・(4) とテープクランプ
(8) とプッシャ(10)が一体となってＸＹステージ(2) 上
に配置され、 ＴＡＢテープ(1) のパターン上の基準マークを参照して
ＸＹステージ(2) が移動することによりＴＡＢテープ
(1) とプローブカード(6) の接触位置を補正するＴＡＢ
テープ用オートハンドラであって、 第１のスプロケット(3) と第２のスプロケット(4) 間の
ＴＡＢテープ(1) の上方に配置される画像処理用カメラ
(5) と、 強い光をＴＡＢテープ(1) に照射して透過光を作り、画
像処理用カメラ(5) に取り込まれる画像データによりア
ライメント機能を維持する照明用ランプ(5A)とを備え、 前記ＴＡＢテープ(1) の下方に配置されるプローブカー
ド(6) にテストヘッド(7) が 直結することを特徴とする
ＴＡＢテープ用オートハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991014672U JP2556386Y2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | Ｔａｂテープ用オートハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991014672U JP2556386Y2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | Ｔａｂテープ用オートハンドラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04105541U JPH04105541U (ja) | 1992-09-10 |
| JP2556386Y2 true JP2556386Y2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=31902113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991014672U Expired - Lifetime JP2556386Y2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | Ｔａｂテープ用オートハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2556386Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5236556B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-07-17 | 株式会社日本マイクロニクス | アライメント機能を有する半導体検査装置とアライメント方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01140075A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Tokyo Electron Ltd | テープキャリヤの検査方法 |
| JPH062271Y2 (ja) * | 1988-04-30 | 1994-01-19 | 安藤電気株式会社 | Ｔａｂと電極の精密位置決め機構 |
| JPH0271143A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-09 | Teru Tohoku Kk | テープキャリアの検査方法 |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP1991014672U patent/JP2556386Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04105541U (ja) | 1992-09-10 |
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