JPH05341491A - マスクフィルムの欠陥検査及び修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マスクフィルムに形成されたパターンの欠陥
をマスクフィルムに投影表示し、この欠陥の修正作業を
正確にしかも容易に行うことを可能にしたマスクフィル
ム検査装置を得る。 【構成】 マスクフィルムＭＦに形成されたパターンの
欠陥を検出する手段（検査機）Ａと、検出された欠陥情
報に基づいてマスクフィルムの欠陥位置を投影表示する
ための手段（修正機）Ｂとを備える。検査機Ａで検出さ
れた欠陥情報をマイクロフィルムμＦにパターン化し、
修正機Ｂではこのマイクロフィルムを用いて欠陥情報
（欠陥表示マーク）を投影し、その投影パターンを利用
してマスクフィルムの欠陥位置を表示させ、かつ修正を
行うことで、修正作業を容易なものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は透明フィルムに所要パタ
ーンが形成されたマスクフィルムのパターン欠陥を検査
するための検査装置に関し、特にマスクフィルムの欠陥
箇所を投影表示して欠陥修正を容易に行なうことを可能
にしたマスクフィルムの欠陥検査及び修正装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の小型化，高集積化に伴
って、これらの機器に使用されるプリント配線板もより
一層の高集積化、高密度化が要求されている。このた
め、プリント配線板を写真蝕刻法により形成する際に使
用されるマスクフィルムのパターンも微細化が進められ
ており、そのパターン欠陥の検査に際しても高精度が要
求されている。従来、この種のマスクフィルムのパター
ン欠陥検査として、画像読取カメラでパターンの画像デ
ータを読み取り、この画像データを所要のアルゴリズム
で処理することでパターン欠陥を自動的に検出する方法
が提案されている。

【０００３】このような検査方法では、マスクフィルム
の欠陥データとしてマスクフィルム上における欠陥の座
標位置や欠陥種類等の情報を得ることができるため、こ
の欠陥情報に基づいてマスクフィルムと略同じ大きさの
用紙の対応する欠陥箇所に点等を描画して欠陥箇所を表
示させることができる。そして、マスクフィルムの欠陥
の修正に際しては、この欠陥箇所が表示された用紙の上
に該当するマスクフィルムを重ね、このマスクフィルム
を透して見える描画点を基準としてマスクフィルム上の
欠陥箇所を見つけ、その修正作業を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな修正作業では、用紙とマスクフィルムを正確に位置
合わせしないと正しい欠陥位置を表示させることができ
ないため、両者を位置合わせするための作業が修正作業
の前工程として必要になり、修正作業が面倒になるとい
う問題がある。又、マスクフィルムに対応して同じ大き
さの用紙が必要とされ、しかもこの用紙は欠陥修正後に
は不要となるものであるため、省資源上及び経済的に無
駄なものになるという問題もある。本発明の目的は、パ
ターン欠陥の修正作業を正確にしかも容易に行うことを
可能にし、しかも欠陥箇所を表示するための同寸法の用
紙を不要にした欠陥検査及び修正装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、マスクフィル
ムに形成されたパターンの欠陥を検出する手段と、検出
された欠陥情報に基づいてマスクフィルムの欠陥位置を
投影表示するための投影表示手段とを備える。欠陥検査
手段は、マスクフィルムのパターン欠陥位置を表示する
欠陥表示マークを形成したマイクロフィルムを形成する
手段を備え、欠陥位置投影表示手段は、マスクフィルム
を載置して欠陥を修正する修正ガラスの裏面側から前記
マイクロフィルムの欠陥表示マークを修正ガラス面に投
影する手段を備える。又、欠陥検査手段は、形成したマ
イクロフィルムを当該マスクフィルムの一部に貼り付け
る手段を備える。

【０００６】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明のマスクフィルムの欠陥検査及び修正
装置を示す図であり、同図（ａ）に示す検査機Ａと、同
図（ｂ）に示す修正機Ｂとで構成される。検査機Ａはマ
スクフィルムのパターン欠陥を検出するためのものであ
り、修正機Ｂは検出されたパターン欠陥をマスクフィル
ムに対して表示させ、かつその欠陥の修正作業を行うた
めのものである。

【０００７】図２は前記検査機Ａの一実施例の正面構成
図であり、図３はその平面構成図である。尚、図３は構
成を判り易くするために一部を省略した状態で図示して
いる。これらの図において、平面形状が一方向に長い矩
形をしたベースプレート１上には、長手方向の一端側に
方形の浅皿状をしたフィルム供給カセット２Ａが配置さ
れ、サイズ設定ストッパ２１により区画された領域内に
は複数枚の被検査マスクフィルムＭＦが重ねて収納され
る。又、他端側には同様に構成されたフィルム収納カセ
ット２Ｂが配置され、検査済マスクフィルムＭＦが重ね
て収納される。そして、これらのカセット間には長手方
向に沿って一対のレール状の検査テーブルガイド３が延
設され、このガイド３に沿って検査テーブル４が往復移
動される。

【０００８】前記検査テーブル４は光透過性の板材４２
と枠材４３で形成されており、ベースプレート１の幅方
向両側に延設された検査テーブルガイド３に両側部が支
持される。そして、一方のガイドにはベースプレートの
全長にわたってスクリューボルト３１を延長配置してお
り、検査テーブル４に固定的に設けた雌ネジ部（図示せ
ず）をスクリューボルト３１に螺合させている。このス
クリューボルト３１はベースプレートの一端部に設けた
駆動モータ３２によって軸転駆動され、軸転駆動された
ときに雌ネジ部に螺合されたネジ機構によって検査テー
ブル４をガイド３に沿って往復移動させる。又、検査テ
ーブル４の一端部の表面には複数個のフィルム吸着穴４
１が並んで開設されており、詳細を後述するように搭載
されるマスクフィルムＭＦの一端縁を真空吸着して検査
テーブル４上に固定することができる。

【０００９】又、前記フィルム供給カセット２Ａの上側
には、被検査マスクフィルムＭＦを検査テーブル４に搭
載するためのフィルム搭載部５Ａが設けられ、前記フィ
ルム収納カセット２Ｂの上側には検査済マスクフィルム
ＭＦを検査テーブル４から降載するためのフィルム降載
部５Ｂが設けられる。フィルム搭載部５Ａはフィルム昇
降モータ５３によって固定枠体５１に対して上下移動さ
れるフィルム昇降アーム５２が設けられ、このアーム５
２に設けた吸着ノズル５４によって被検査マスクフィル
ムＭＦが真空吸着され、フィルム供給カセット２Ａから
検査テーブル４上に搭載される。又、フィルム降載部５
Ｂも同様に構成され、検査テーブル４上の検査済マスク
フィルムをフィルム収納カセット２Ｂに降載する。

【００１０】又、前記フィルム搭載部５Ａの枠体５１の
一側にはフィルム押え部８が設けられる。このフィルム
押え部８は前記枠体５１から幅方向に対向する一対のブ
ラケット８１間にフィルム押えローラ８２を配設し、か
つスプリング８３によりフィルム押えローラ８２を検査
テーブル４面に押圧させるように付勢している。

【００１１】前記フィルム搭載部５Ａとフィルム降載部
５Ｂとの間には検査テーブル４に搭載されたマスクフィ
ルムＭＦのパターンを画像を読み取って欠陥を検査する
ための欠陥検査部６が設けられる。この画像読取部とし
ての欠陥検査部６は、前記ベースプレート１の長手方向
の中間位置で前記検査テーブル４よりも下側の位置に、
幅方向に延びる蛍光灯等の照明光源６１を有し、この照
明光源６１によって検査テーブル４上のマスクフィルム
を透過照明する。又、この照明光源６１に対向する検査
テーブルの上側には、前記ガイド３間に跨がるように幅
方向にカメラ搬送ガイド６２が延長され、ＣＣＤライン
センサからなる画像読取カメラ６３が支持されている。
この画像読取カメラ６３は、カメラ搬送モータ６４を駆
動することでカメラ搬送ガイド６２に沿って往復移動さ
れる。

【００１２】又、前記欠陥検査部６と隣接する位置に
は、検査されたマスクフィルムＭＦに対してマイクロフ
ィルムμＦを貼り付けるマイクロフィルム貼付部７が設
けられる。このマイクロフィルム貼付部７は、前記カメ
ラ搬送ガイド６２と平行にフィルム搬送ガイド７１が延
長され、フィルム吸着ノズルを有するフィルム搬送器７
２が支持されている。そして、フィルム搬送モータ７４
を駆動することでフィルム搬送器７２をフィルム搬送ガ
イドに沿って往復移動させ、フィルム吸着ノズル７３に
真空吸着したマイクロフィルムをマスクフィルムの所定
箇所に貼り付けることができる。

【００１３】前記マイクロフィルムは、前記フィルム搬
送ガイド７１の一側に設けたマイクロフィルム作成器９
により形成される。このマイクロフィルム作成器９は、
前記マスクフィルムＭＦを縮小した外形状のマイクロフ
ィルムμＦを写真法によって作成でき、しかもこのマイ
クロフィルムμＦには前記欠陥検査部６で検出されたマ
スクフィルムＭＦのパターン欠陥と対応する箇所に欠陥
表示を顕像化させることができる。又、この実施例では
マイクロフィルムの一部には両面テープが付着され、マ
イクロフィルムはこの両面テープによりマスクフィルム
の一側部に貼り付けられるようになっている。又、１０
０は真空ポンプであり、切換弁１０１の切り換え動作に
よって前記フィルム吸着穴４１、吸着ノズル５４、フィ
ルム吸着ノズル７３等を選択的、或いは同時に真空状態
とし、マスクフィルムやマイクロフィルムを真空吸着さ
せる。

【００１４】一方、前記修正機Ｂは、図４に概略内部構
成を示すように、その一部にマイクロフィルムμＦを装
着でき、装着されたマイクロフィルムμＦを照明する光
源２０１と、コンデンサレンズ２０２と、照明されたマ
イクロフィルムμＦを拡大投影する投影レンズ２０４
と、２枚の反射鏡２０５，２０６と、マイクロフィルム
像が投影される半透過性の投影ガラス２０７とで構成さ
れる。前記投影レンズ２０４はここではズームレンズで
構成され、マイクロフィルムμＦのパターンを任意の倍
率で投影ガラス２０７の裏面に投影するように構成して
いる。又、前記投影ガラス２０７は修正作業テーブルと
して構成され、この投影ガラス２０７の表面上にパター
ン欠陥が検出されたマスクフィルムＭＦが載置され、か
つこの投影ガラス２０７に投影されたマイクロフィルム
μＦのパターン像がマスクフィルムＭＦを透して確認さ
れる。そして、このパターン像を利用することで、検出
されたマクスフィルムのパターン欠陥を手作業によって
修正することができるように構成されている。

【００１５】尚、図５（ａ）及び（ｂ）は前記検査機と
修正機のそれぞれのブロック構成図である。検査機Ａに
おいては、前記フィルム供給カセット２Ａ，フィルム収
納カセット２Ｂ，照明光源６１等は機構制御部３００に
より駆動制御される。又、画像読取カメラ６３の出力は
画像処理部４００において処理され、判定部５００で欠
陥が判定された後、その出力に基づいてマイクロフィル
ム作成器９においてマイクロフィルムμＦを作成する。
又、修正機Ｂにおいては、マイクロフィルムμＦのパタ
ーンは投影光学系２００により投影ガラス２０７上のマ
スクフィルムＭＦの裏面に投影される。

【００１６】次に、以上の構成の検査機の検査工程と、
修正機におけるパターン修正作業を図６のフローチャー
トを参照して説明する。先ず、検査機Ａにおいて、被検
査フィルムＭＦはフィルム供給カセット２Ａに重ねて入
れられ、検査テーブル４がフィルム収納カセット２Ｂ側
に移動されているときに、検査されるフィルムがフィル
ム搭載部５Ａのフィルム昇降アーム５２によって真空吸
着されて持ち上げられる。そして、検査テーブル４がフ
ィルム供給カセット２Ａ上の始点位置に戻されたときに
検査テーブル４上に搭載される。

【００１７】検査テーブル４上に搭載された被検査フィ
ルムＭＦは、検査テーブル４の一端部に設けたフィルム
吸着穴４１にその先端部が真空吸着されて固定される。
又、フィルム押え部８により後端部側が検査テーブル４
の表面に押圧されて密接される。そして、検査テーブル
４は間欠的に移動を開始する。この検査テーブル４の移
動開始に同期させて照明光源６１を点灯し、被検査フィ
ルムの照明を開始する。同時にカメラ搬送モータ６４を
駆動して画像読取カメラ６３を検査テーブル４の移動方
向と直交する方向に移動させる。これにより、画像読取
カメラ６３は所要の幅寸法で走査し、被検査フィルムの
パターンを画像データとして読み取ることになる。以
後、検査テーブル４を画像読取カメラ６３が読み取った
幅寸法毎に間欠的に移動させ、かつこれに対応して画像
読取カメラ６３を繰り返して往復移動させることで、被
検査マスクフィルムＭＦの全面のパターンを画像データ
として読み取ることができる。

【００１８】検査テーブル４が終点位置まで移動されて
マスクフィルムＭＦの検査が終了されると、画像読取カ
メラ６３により読み取られた画像データは画像処理部４
００で処理され、かつ判定部５００で欠陥が検出された
上で、マイクロフィルム作成器９において検出された欠
陥箇所に対応する箇所に欠陥表示マークが顕像化された
マイクロフィルムμＦが形成される。このマイクロフィ
ルムμＦはマスクフィルムＭＦと相似形をした縮小フィ
ルムとして形成され、その複数箇所にはマスクフィルム
と対応する箇所にそれぞれ欠陥表示マークが顕像化され
ている。そして、作成されたマイクロフィルムμＦは、
フィルム貼付部７のフィルム吸着ノズル７３によって真
空吸着された上で、フィルム搬送器７２によってそのマ
スクフィルムＭＦの所定箇所にまで搬送され、その箇所
に貼り付けられる。この貼り付け位置はマスクフィルム
の寸法等によって任意に設定することができる。その
後、検査テーブル４上の検査済の被検査フィルム（検査
済フィルム）ＭＦはフィルム降載部５Ｂのフィルム昇降
アーム５２によって検査テーブル４の上方に持ち上げら
れる。そして、検査テーブル４が次の被検査フィルムを
搭載すべく始点位置まで戻されたときに、検査済フィル
ムＭＦはフィルム収納カセット２Ｂに納められる。

【００１９】このようにして検査された検査済のマスク
フィルムＭＦは、フィルム収納カセット２Ｂから取り出
され、修正機Ｂの投影ガラス２０７の所要箇所に載置さ
れる。又、このマスクフィルムＭＦに貼り付けられてい
るマイクロフィルムμＦを剥がした上で、修正機Ｂの装
着部に装着する。そして、光源２０１を点灯すると、投
影レンズ２０４によってマイクロフィルムμＦに顕像化
された欠陥表示マークが投影ガラス２０７に投影され
る。この投影レンズ２０４の倍率を調整すれば、図７に
示すように、投影ガラス２０７にはマスクフィルムＭＦ
と等倍にマイクロフィルムμＦが投影され、欠陥表示マ
ークＤＭが投影される。

【００２０】これにより、投影ガラス２０７に載置した
マスクフィルムＭＦを透して投影された欠陥表示マーク
ＤＭを観察することができる。このため、修正作業者
は、この欠陥表示マークを確認しながらマスクフィルム
の欠陥箇所を見い出し、所要の修正を行うことができ
る。したがって、欠陥箇所を探す作業を容易にし、欠陥
修正作業を正確に、しかも迅速に行うことができる。こ
れにより、従来のような欠陥箇所を表示するためのマス
クフィルムと同じ大きさの用紙が不要となり、省資源的
にも経済的にも有利となる。

【００２１】又、本発明においては、欠陥表示マークＤ
ＭをマスクフィルムＭＦを載置した投影ガラス２０７の
裏面側から、即ちマスクフィルムＭＦの裏面側から投影
しているので、例えば欠陥表示マークをマスクフィルム
の表面側、即ち作業者の背後側から投影する場合に比べ
れば、投影される欠陥表示マークが修正作業者によって
けられて見難くなることもなく、修正作業に制約を受け
ることもない。更に、マイクロフィルムには各欠陥表示
マークと隣接する位置に、欠陥種類や欠陥番号等を表示
させておけば、作業者がこれらを確認することで修正作
業を一層容易に行うことができる。ここで、前記実施例
ではマイクロフィルムは写真法により形成しているが、
電子写真法或いは印刷法によってマイクロフィルムを形
成してもよい。又、マイクロフィルム貼付部は単にマス
クフィルムの決められた一部に貼り付けるように構成し
てもよく、この場合にはフィルム搬送ガイド，フィルム
搬送器，フィルム搬送モータ等の機構は不要にできる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、被検査フ
ィルムの欠陥を検出し、この検出された欠陥を被検査フ
ィルム面に対して投影表示するようにしているので、マ
スクフィルムの欠陥を投影パターンによって一目で確認
することができ、マスクフィルムの欠陥修正作業を適切
かつ迅速に行うことが可能となる。又、欠陥位置を表示
するマークをマイクロフィルムに形成し、このマイクロ
フィルムを被検査フィルム面に投影することで、従来の
ような被検査フィルムと同じ寸法の用紙が不要となり、
取扱いの上でも経済的にも有利になる。更に、マイクロ
フィルムに設けた欠陥表示マークを被検査フィルムの裏
面側から投影しているので、修正作業時に投影パターン
が作業者によってけられることがなく、修正作業に制約
を与えることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる検査機と修正機の外観図であ
る。

【図２】検査機の構造を示す概略正面図である。

【図３】図２の平面図である。

【図４】修正機の構造を示す概略構成図である。

【図５】検査機と修正機のブロック図である。

【図６】検査及び修正作業を示すフローチャートであ
る。

【図７】マイクロフィルムによる欠陥表示マークの投影
図である。

【符号の説明】

Ａ 検査機 Ｂ 修正機 ４ 検査テーブル ６ 欠陥検査部 ７ マイクロフィルム貼付部 ９ マイクロフィルム作成器 ＭＦ マスクフィルム μＦ マイクロフィルム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクフィルムに形成されたパターンの
   欠陥を検出する手段と、検出された欠陥情報に基づいて
   マスクフィルムの欠陥位置を投影表示する手段とを備え
   ることを特徴とするマスクフィルムの欠陥検査及び修正
   装置。
2. 【請求項２】 欠陥検査手段は、マスクフィルムのパタ
   ーン欠陥位置を表示する欠陥表示マークを形成したマイ
   クロフィルムを形成する手段を備え、欠陥位置投影表示
   手段は、マスクフィルムを載置して欠陥を修正する修正
   台の裏面側から前記マイクロフィルムの欠陥表示マーク
   をマスクフィルム面に投影する手段を備える請求項１の
   マスクフィルムの欠陥検査及び修正装置。
3. 【請求項３】 欠陥検査手段は、形成したマイクロフィ
   ルムを当該マスクフィルムの一部に貼り付ける手段を備
   える請求項１又は２のマスクフィルムの欠陥検査及び修
   正装置。