JPH05313351A - マスクフィルム検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マスクフィルムに形成されたパターンの欠陥
を修正する作業を正確にしかも容易に行うことを可能に
したマスクフィルム検査装置を得る。 【構成】 マスクフィルムＭＦに形成されたパターンの
欠陥を検出する手段６と、検出された欠陥情報に基づい
てマスクフィルムの欠陥位置に欠陥を表示するためのラ
ベルＬを貼り付ける手段７とを備える。ラベルを貼付手
段７は、マスクフィルムを搭載して一方向に往復移動さ
れる検査テーブル４に対してその移動方向と直交する方
向に移動されるラベル搬送器７２と、このラベル搬送器
に設けられて欠陥表示を行うラベルＬを吸着しかつ搬送
して検査テーブル上のマスクフィルムＭＦの欠陥箇所に
ラベルＬを貼り付ける吸着ヘッド７７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は透明フィルムに所要パタ
ーンが形成されたマスクフィルムのパターン欠陥を検査
するための検査装置に関し、特にマスクフィルムの欠陥
箇所にラベルを貼り付けて欠陥表示を行うようにしたマ
スクフィルム検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器の小型化，高集積化に伴
って、これらの機器に使用されるプリント配線板もより
一層の高集積化、高密度化が要求されている。このた
め、プリント配線板を写真蝕刻法により形成する際に使
用されるマスクフィルムのパターンも微細化が進められ
ており、そのパターン欠陥の検査に際しても高精度が要
求されている。従来、この種のパターン欠陥検査とし
て、画像読取カメラでパターンの画像データを読み取
り、この画像データを所要のアルゴリズムで処理するこ
とでパターン欠陥を自動的に検出する方法が提案されて
いる。

【０００３】このような検査方法では、マスクフィルム
の欠陥データとしてマスクフィルム上における欠陥の座
標位置や欠陥種類等の情報を得ることができるため、こ
の欠陥情報に基づいてマスクフィルムと略同じ大きさの
用紙の対応する欠陥箇所に点等を描画して欠陥箇所を表
示させることができる。そして、マスクフィルムの欠陥
の修正に際しては、この欠陥箇所が表示された用紙の上
に該当するマスクフィルムを重ね、このマスクフィルム
を透して見える描画点を基準としてマスクフィルム上の
欠陥箇所を見つけ、その修正作業を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな修正作業では、用紙とマスクフィルムを正確に位置
合わせしないと正しい欠陥位置を表示させることができ
ないため、両者を位置合わせするための作業が修正作業
の前工程として必要になり、修正作業が面倒になるとい
う問題がある。又、マスクフィルムを透して描画点を見
るため、マスクフィルムのパターンと描画点が重なる場
合には、描画点を確認することが難しくなり、場合によ
っては欠陥の見落としが生じることもある。更に、マス
クフィルムに対応して用紙が必要とされるために、多数
枚のマスクフィルムを検査する場合には多数枚の用紙が
必要となり、しかもこの用紙は欠陥修正後には不要とな
るものであるため、省資源上及び経済的に無駄なものに
なるという問題もある。本発明の目的は、パターン欠陥
の修正作業を正確にしかも容易に行うことを可能にし、
しかも欠陥箇所を表示するための別の用紙を不要にした
検査装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、マスクフィル
ムに形成されたパターンの欠陥を検出する手段と、検出
された欠陥情報に基づいてマスクフィルムの欠陥位置に
欠陥を表示するためのラベルを貼り付ける手段とを備え
る。ラベルを貼り付ける手段は、マスクフィルムを搭載
して一方向に往復移動される検査テーブルに対してその
移動方向と直交する方向に移動されるラベル搬送器と、
このラベル搬送器に設けられて欠陥表示を行うラベルを
吸着しかつ搬送して検査テーブル上のマスクフィルムの
欠陥箇所にラベルを貼り付ける吸着ヘッドとを備える。
この、吸着ヘッドはラベルを真空吸着する真空吸着ノズ
ルとして構成することが好ましい。

【０００６】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明のマスクフィルム検査装置の一実施例
の正面構成図であり、図２はその平面構成図である。
尚、図２は構成を判り易くするために一部を省略した状
態で図示している。先ず、このマスクフィルム検査装置
の概略構成を説明する。平面形状が一方向に長い矩形を
したベースプレート１上には、長手方向の一端側にフィ
ルム供給カセット２Ａが配置され、複数枚の被検査マス
クフィルムＭＦが重ねて収納される。又、他端側にはフ
ィルム収納カセット２Ｂが配置され、検査済マスクフィ
ルムＭＦが重ねて収納される。そして、これらのカセッ
ト間には長手方向に沿って一対のレール状の検査テーブ
ルガイド３が延設され、このガイド３に沿って検査テー
ブル４が往復移動される。

【０００７】又、前記フィルム供給カセット２Ａの上側
には、被検査マスクフィルムＭＦを検査テーブル４に搭
載するためのフィルム搭載部５Ａが設けられ、逆に前記
フィルム収納カセット２Ｂの上側には検査済マスクフィ
ルムＭＦを検査テーブル４から降載するためのフィルム
降載部５Ｂが設けられる。更に、前記各カセット２Ａ，
２Ｂの中間位置には、検査テーブル４に搭載された被検
査マスクフィルムのパターン画像を読み取って欠陥の検
査を行う欠陥検査部６と、検査されたマスクフィルム上
の欠陥位置に欠陥箇所を表示するためのラベルを貼り付
けるラベル貼付部７がそれぞれ設けられている。

【０００８】次に、前記した各部の詳細を説明する。 〔フィルム供給カセット，フィルム収納カセット〕フィ
ルム供給カセット２Ａは、方形をした浅い皿状に形成さ
れており、内底部には長さ方向及びこれと直交する幅方
向にそれぞれ位置調整可能なサイズ設定ストッパ２１が
設けられ、被検査マスクフィルムに合わせてその位置を
可変させ、フィルム供給カセット２Ａの側面との間に画
成する方形空間内に被検査フィルムＭＦを重ねて載置さ
せる。又、フィルム供給カセット２Ａの下側にはリミッ
トスイッチ等で構成した複数個のサイズ検出センサ２２
を配設しており、前記サイズ設定ストッパ２１が移動さ
れた箇所のサイズ検出センサ２２を作動させることで、
被検査マスクフィルムＭＦのサイズを自動的に検出する
ことができる。

【０００９】又、フィルム収納カセット２Ｂも、前記フ
ィルム供給カセット２Ａと同様の構成であり、対応する
部分には同一符号を付してある。これらのフィルム供
給，収納カセット２Ａ，２Ｂはそれぞれベースプレート
１に対して着脱可能である。

【００１０】〔検査テーブル〕前記検査テーブル４は光
透過性の板材と枠材で形成されており、ベースプレート
１の幅方向両側に延設された検査テーブルガイド３に両
側部が支持される。そして、一方のガイドにはベースプ
レートの全長にわたってスクリューボルト３１を延長配
置しており、検査テーブル４に固定的に設けた雌ネジ部
（図示せず）をスクリューボルト３１に螺合させてい
る。このスクリューボルト３１はベースプレートの一端
部に設けた駆動モータ３２によって軸転駆動され、軸転
駆動されたときに雌ネジ部に螺合されたネジ機構によっ
て検査テーブル４をガイド３に沿って往復移動させる。
又、前記ガイド３の両端位置にはそれぞれリミットスイ
ッチやフォトインタラプタ等で構成される位置センサ３
３，３４が設けられており、検査ケーブル４が移動され
たときに動作されて検査テーブルの位置を検出する。こ
こでは、フィルム供給カセット２Ａ側の位置センサ３３
をテーブル始点センサと称し、反対側のフィルム収納カ
セット２Ｂ側の位置センサ３４をテーブル終点センサと
称する。尚、検査テーブル４の一端縁の表面には複数個
のフィルム吸着穴４１が並んで開設され、搭載されるマ
スクフィルムＭＦの一端縁を真空吸着して検査テーブル
上に固定する。

【００１１】〔フィルム搭載部，フィルム降載部〕フィ
ルム搭載部５Ａは、前記フィルム供給カセット２Ａの上
側においてベースプレート１に立設した枠体５１を有
し、かつこの枠体５１に支持されて上下移動されるフィ
ルム昇降アーム５２を有している。このフィルム昇降ア
ーム５２は平面対角位置において上下方向に延長された
２本のガイド５３に案内され、かつ他の対角位置におい
て上下方向に延長されたスクリューボルト５４にその一
部が螺合される。そして、このスクリューボルト５４に
連結されたフィルム昇降モータ５５を駆動してスクリュ
ーボルト５４を軸転させることで、ネジ機構によってフ
ィルム昇降アーム５２を上下移動する。この昇降アーム
５２の上限及び下限の各位置は枠体に支持されたリミッ
トスイッチやフォトインタラプタからなるアーム上限セ
ンサ５６及びアーム下限センサ５７により検出される。
又、このフィルム昇降アーム５２の下面には複数個の吸
着ノズル５８が突設され、マスクフィルムを真空吸着し
てフィルム昇降アーム５２と共に上下に移動させること
ができる。

【００１２】尚、前記枠体５１の中央側の一側にはフィ
ルム押え部８が設けられる。このフィルム押え部８は前
記枠体５１から幅方向に対向する一対のブラケット８１
を突設し、これらブラケット間にフィルム押えローラ８
２を配設している。このフィルム押えローラ８２は可動
アーム８３によって前記ブラケット８１に対して上下方
向に揺動できるように支持されており、かつ可動アーム
８３とブラケット８１間に掛装したスプリング８４によ
りフィルム押えローラ８２を下方向、即ち検査テーブル
面に当接させるように付勢している。又、フィルム降載
部５Ｂも、前記フィルム搭載部５Ａと同様の構成であ
り、対応する部分には同一符号を付してある。但し、フ
ィルム押え部は設けてはいない。

【００１３】〔欠陥検査部〕マスクフィルムの欠陥を検
査する欠陥検査部６は、前記ベースプレート１の長手方
向の中間位置で前記検査テーブル４よりも下側の位置に
幅方向に延びる蛍光灯等の照明光源６１を有し、この照
明光源６１によって検査テーブル４上のマスクフィルム
を透過照明する。又、この照明光源６１に対向する検査
テーブルの上側には、前記ガイド３間に跨がるように幅
方向にカメラ搬送ガイド６２を延長支持している。この
カメラ搬送ガイド６２には、撮像レンズを下方に向けた
ＣＣＤラインセンサからなる画像読取カメラ６３をカメ
ラ搬送ガイド６２に沿って移動できるように支持してい
る。

【００１４】更に、カメラ搬送ガイド６２の内部にはカ
メラ搬送モータ６４によって軸転されるスクリューボル
ト（図示せず）が延設されており、画像読取カメラ６３
はこのスクリューボルトに螺合され、カメラ搬送モータ
６４の駆動によって軸転されるスクリューボルトによっ
て検査テーブル４の移動方向と直交する方向に往復移動
される。又、前記カメラ搬送ガイド６２の両端位置には
それぞれリミットスイッチやフォトインタラプタからな
る位置センサ６５，６６が設けられ、一方をカメラ始点
センサ、他方をカメラ終点センサとして画像読取カメラ
の始点及び終点位置を検出する。前記画像読取カメラ６
３には後述する画像データ処理回路３００が接続され、
読み取ったパターン画像データを所要のアルゴリズムで
処理してパターン欠陥を検出する。

【００１５】〔ラベル貼付部〕前記欠陥検査部６と隣接
する位置に設けられたラベル貼付部７は、図３に概略斜
視図を示すように、前記検査テーブルガイド３間に跨が
るようにカメラ搬送ガイド６２と平行にラベル搬送ガイ
ド７１が延長支持されており、ラベル搬送器７２がガイ
ド７１に沿ってベースプレートの幅方向に移動できるよ
うに支持される。そして、ラベル搬送ガイド７１内には
ラベル搬送モータ７３によって軸転されるスクリューボ
ルト７４が平行に延設されており、ラベル搬送器７２は
このスクリューボルト７４に螺合され、スクリューボル
トの軸転によって検査テーブルの移動方向と直交する方
向に往復移動される。又、ラベル搬送ガイド７１の両端
位置にはそれぞれリミットスイッチやフォトインタラプ
タからなる位置センサ７５，７６が設けられ、一方をラ
ベル搬送始点センサ、他方をラベル搬送終点センサと称
してラベル搬送器７２の始点及び終点位置を検出する。

【００１６】更に、前記ラベル搬送器７２にはラベル吸
着ヘッドとして、ここでは真空吸着を行う吸着ノズル７
７が支持される。図４に示すように、このラベル吸着ノ
ズル７７は、ラベル搬送器７２の筐体の下面から先端部
が突出された一対の真空吸着ノズルとして構成されてお
り、可撓性チューブ７７１を介して後述する真空ポンプ
に接続される。これらラベル吸着ノズル７７の基端部
は、前記筐体内に配設したソレノイド７７２の可動ロッ
ド７７３に固定した連結片７７４に支持されており、ソ
レノイド７７２に通電することでスプリング７７５の力
に抗して下動される可動ロッド７７３と共に先端部を下
方に突出させる。そして、ラベルＬの表面に先端部を接
触させた上で真空ポンプによる真空引きを行うことで、
ラベルを真空吸着することができる。又、真空引きを停
止することでラベルの吸着を解除する。

【００１７】又、図３に示したように、前記ラベル搬送
ガイド７１の始点位置近傍の前記検査テーブルガイドの
一部には、ラベルプリンタ９が設けられており、前記画
像読取カメラ６３で読み取った画像データを処理して得
られた欠陥位置を表示するラベルＬを印刷する。この印
刷は、欠陥位置を表示する矢印や三角形マーク、或いは
欠陥種類（名称）、更には欠陥通し番号等、任意に設定
できる。印刷したラベルは例えば裏面に粘着剤を塗布し
たシールとして形成され、前記ラベル搬送器７２のラベ
ル吸着ノズル７７により搬送され、検査済のマスクフィ
ルムの欠陥該当箇所に貼り付けられる。尚、１００は真
空ポンプであり、切換弁１０１の切り換え動作によって
前記フィルム吸着穴４１、吸着ノズル５８、ラベル吸着
ノズル７７等を選択的、或いは同時に真空状態とし、マ
スクフィルムやラベルを真空吸着させる。

【００１８】以上の構成の検査装置の外観構成を図５に
示す。同図において、２００は装置ケーシング、２０１
は操作パネル、２０２は表示部である。又、その制御系
を図６に示す。同図において、３００は画像読取データ
を処理して欠陥を検出するための画像データ処理回路で
あり、データ処理部３０１と欠陥判定部３０２を有して
いる。又、４００は各部を制御するための機構制御部で
ある。

【００１９】次に、以上の構成の検査装置のフィルム検
査及びラベル貼り付けの工程を図７のフローチャートを
参照して説明する。被検査フィルムＭＦはフィルム供給
カセット２Ａに重ねて入れられ、検査テーブル４がフィ
ルム収納カセット２Ｂ側に移動されているときに、検査
されるフィルムがフィルム搭載部５Ａのフィルム昇降ア
ーム５２によって真空吸着されて持ち上げられる。そし
て、検査テーブル４がフィルム供給カセット２Ａ上の始
点位置に戻されたときに検査テーブル４上に搭載され
る。

【００２０】次いで、検査テーブル４を終点側に向けて
間欠的に移動開始させると共に、照明光源６１を点灯し
て被検査フィルムの照明を開始し、同時にカメラ搬送モ
ータ６４を駆動して画像読取カメラ６３を検査テーブル
４の移動方向と直交する方向に移動させる。これによ
り、画像読取カメラ６３は所要の幅寸法で被検査フィル
ムＭＦのパターンを画像データとして読み取ることにな
る。以後、検査テーブル４を画像読取カメラ６３が読み
取った幅寸法毎に間欠的に移動させ、かつこれに対応し
て画像読取カメラを繰り返して往復移動させることで、
被検査フィルムの全面のパターンを画像データとして読
み取ることができる。

【００２１】次いで、画像読取カメラ６３により読み取
られた画像データは画像データ処理回路３００により処
理された上で、ラベルプリンタ９において検出された欠
陥毎に１枚のラベルＬとして印刷される。この間、ラベ
ル貼付部７はラベル搬送モータ７３を駆動してラベル搬
送器７２を始点位置に待機させておく。そして、欠陥の
検出に伴ってラベルプリンタ９でラベルが印刷される
と、真空ポンプ１００の切換弁１０１を制御してラベル
吸着ノズル７７での真空引きを開始するとともに、一旦
ソレノイド７７２を駆動してラベル吸着ノズル７７をラ
ベルに当接させ、印刷されたラベルＬを真空吸着する。
この後、ソレノイド７７２の駆動を停止すれば、ラベル
吸着ノズル７７はスプリング７７５の力によって元の高
さ位置に戻される。

【００２２】そして、検出された欠陥の座標データに基
づいてラベル搬送モータ７３を所要回転数だけ駆動させ
ることでラベル搬送器７２が検査テーブル４の幅方向の
所要位置に移動され、かつ検査テーブルの移動によって
被検査フィルム上の欠陥箇所がラベル搬送器７２の直下
に移動されてきたときに、瞬時的にソレノイド７７２を
駆動してラベル吸着ノズル７７の先端部を被検査フィル
ムＭＦ面に押圧させる。これにより、ラベルＬは粘着力
によってフィルム面に貼り付けられる。その後、真空引
きを解除することで、ラベルＬをラベル吸着ノズル７７
から離すことができる。しかる上で、ラベル搬送モータ
７３を逆回転させてラベル搬送器７２を始点位置まで戻
し、次のラベルを吸着させる。

【００２３】以降、この動作を繰り返し、被検査フィル
ムＭＦの複数の欠陥箇所にそれぞれラベルＬを貼り付け
る。又、この動作は、前記した検査工程と並行して行わ
れ、検査テーブル４が終点位置まで移動される間に、前
記検査工程と共に被検査フィルムの全ての欠陥に対して
ラベルを貼り付ける。尚、検査テーブルが終点位置まで
移動されると、検査テーブル上の検査済の被検査フィル
ム（検査済フィルム）はフィルム降載部５Ｂのフィルム
昇降アーム５２によって検査テーブル４の上方に持ち上
げられる。そして、検査テーブルが次の被検査フィルム
を搭載すべく始点位置まで戻されたときに、検査済フィ
ルムはフィルム収納カセット２Ｂに納められる。

【００２４】このようにして検査された検査済のマスク
フィルムＭＦは、図８のように欠陥箇所にそれぞれ対応
してラベルＬが貼り付けられる。そして、フィルム収納
カセットから取り出された検査済フィルムに対してパタ
ーン欠陥の修正を行う場合には、このラベルを目標にし
てパターン欠陥を見つけ、その欠陥について修正を行え
ばよい。これにより、欠陥箇所を探す作業を容易にし、
欠陥修正作業を正確に、しかも迅速に行うことができ
る。したがって、従来のような欠陥箇所を表示するため
の別の用紙が不要となり、省資源的にも経済的にも有利
となる。

【００２５】尚、本発明においては、欠陥検査部による
欠陥検査と、ラベル貼付部におけるラベルの貼り付けを
必ずしも同期して行う必要はない。例えば、先に検査工
程のみを行って欠陥データを記憶した後、この記憶デー
タに基づいてラベル貼付工程のみを独立して行うように
してもよい。勿論、欠陥検査部とラベル貼付部をそれぞ
れ独立した構成としてもよい。又、ラベル貼付部におけ
るラベル搬送器の駆動構造は前記した実施例のものに限
定されるものではなく、ベルト構造によるもの、アクチ
ュエータ構造によるもの等種々の構造が採用できる。更
に、ラベルに磁性材料を含有させた上で、磁力によって
ラベルを吸着搬送するようにしてもよい。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、被検査フ
ィルムの欠陥を検出し、この検出された欠陥情報に基づ
いて検査済フィルムの欠陥位置にラベルを貼り付けるた
め、検査済のフィルムはラベルを見るだけで欠陥箇所を
一目で認識することができる。そして、その後のマスク
フィルムの欠陥修正作業においては、ラベルを貼り付け
た部分に対してのみ修正を行えばよく、修正作業を適切
かつ迅速に行うことが可能となる。又、ラベル貼付手段
を、被検査フィルムを搭載して一方向に移動される検査
テーブルに対して、その移動方向と直交する方向に移動
されるラベル搬送器によりラベルを吸着して搬送しなが
らフィルム上の欠陥箇所への貼り付けを行うので、ラベ
ル貼付手段自体にＸＹ方向の移動機構を保有させる必要
がなく、検査装置の構造をいたずらに複雑化することが
ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例の正面構成図であ
る。

【図２】図１の検査装置の一部を省略した平面構成図で
ある。

【図３】ラベル貼付手段の概略斜視図である。

【図４】ラベル搬送部の内部構造を示す模式的な断面図
である。

【図５】本発明の検査装置の外観を示す斜視図である。

【図６】検査装置の制御ブロック図である。

【図７】検査装置の動作フローチャート図である。

【図８】ラベルが貼り付けられた検査済フィルムの概略
図である。

【符号の説明】

１ ベースプレート ２Ａ フィルム供給カセット ２Ｂ フィルム収納カセット ４ 検査テーブル ５Ａ フィルム搭載部 ５Ｂ フィルム降載部 ６ 欠陥検査部 ７ ラベル貼付部 ９ ラベルプリンタ ７２ ラベル搬送器 ７３ ラベル搬送モータ ７７ ラベル吸着ノズル ＭＦ マスクフィルム Ｌ ラベル

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクフィルムに形成されたパターンの
   欠陥を検出する手段と、検出された欠陥情報に基づいて
   マスクフィルムの欠陥位置に欠陥を表示するためのラベ
   ルを貼り付ける手段とを備えることを特徴とするマスク
   フィルム検査装置。
2. 【請求項２】 マスクフィルムを搭載して一方向に往復
   移動される検査テーブルと、この検査テーブルの移動方
   向と直交する方向に移動されるラベル搬送器と、このラ
   ベル搬送器に設けられて欠陥表示を行うラベルを吸着し
   かつ搬送して検査テーブル上のマスクフィルムの欠陥箇
   所にラベルを貼り付ける吸着ヘッドとを備える請求項１
   のマスクフィルム検査装置。
3. 【請求項３】 吸着ヘッドはラベルを真空吸着する真空
   吸着ノズルで構成してなる請求項２のマスクフィルム検
   査装置。