JP2013080795A - Ｉｃチップ実装体の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フィルム上のアンテナ回路に対してＩＣチップを精度よく搭載することで実装精度を向上させることができるＩＣチップ実装体の製造装置を提供する。
【解決手段】支持ローラ３３の単位回転量を支持ローラ３３の外周面を観察して検出する検出手段１２と、支持ローラ３３の正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて検出した単位回転量に応じた誤差を割り出す割出手段１３と、支持ローラ３３の外周面上における検出手段１２で観察される観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の正規回転量及び割出手段１３により割り出した誤差から、支持ローラ３３の外周面上における観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の実際の回転量を求める回転量求め手段１４と、回転量求め手段１４により求められた実際の回転量に基づいて同期ローラ３１の回転を制御する回転制御手段１５とを備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、ＩＣチップ実装体を製造するＩＣチップ実装体の製造装置に関する。

従来、アンテナ回路が間隔を置いて複数形成されたフィルムを所定の方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段による搬送途中のＩＣチップ搭載位置で、アンテナ回路に対して電気接続するように、該アンテナ回路にＩＣチップを搭載する同期ローラとを備えたＩＣチップ実装体の製造装置が提案されている。

かかるＩＣチップ実装体の製造装置は、同期ローラの真下に位置するＩＣチップ搭載位置においてフィルムを下面側から支持しつつ回転する支持ローラを備えており、該支持ローラによってフィルムを支持することによって、ＩＣチップ搭載時にフィルムが撓むことがなく、従ってアンテナ回路にＩＣチップを安定して搭載することができる。

また、前記ＩＣチップ実装体の製造装置は、ＩＣチップ搭載位置よりも搬送方向上流側に設けられるＣＣＤカメラを更に備えており、該ＣＣＤカメラを用いて搬送途中のフィルム上のアンテナ回路を撮像してその位置を計測し、該計測位置とアンテナ回路が前記撮像時点で本来位置すべき正規の位置との差から位置補正量を求め、この位置補正量に基づいて同期ローラの位置を補正すべく該同期ローラを位置制御するように構成されている。この構成によれば、ＣＣＤカメラでの撮像時点（ＩＣチップ搭載位置よりも搬送方向上流側に位置する撮像位置）におけるアンテナ回路の位置ずれに対応して同期ローラの位置を補正することができるため、ＩＣチップを前記位置補正量を加味した位置でアンテナ回路に搭載することができる（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１８３８４７号公報

しかしながら、上記従来のＩＣチップ実装体の製造装置にあっては、支持ローラの真円度にバラツキ（誤差）が含まれていたり、支持ローラの設置位置にバラツキ（偏芯）が含まれていたりする。かかる誤差や偏芯などのバラツキが支持ローラに含まれていると、ＣＣＤカメラの撮像位置からＩＣチップ搭載位置までの支持ローラの外周面における回転量（実機の回転量）は、誤差や偏芯などのバラツキが支持ローラに含まれていない場合の、前記撮像位置からＩＣチップ搭載位置までの支持ローラの外周面における回転量（正規の回転量）に対して前記誤差や偏芯などのバラツキに応じた誤差が含まれた値となる。

そして、前記回転量は、アンテナ回路が前記撮像位置からＩＣチップ搭載位置まで移動する回転量に相当するところ、かかる回転量に含まれる前記誤差は、ＣＣＤカメラでの撮像位置におけるアンテナ回路の位置ずれを補正する上記従来の補正方式では対応（補正）することができない。従って、上記従来のＩＣチップ実装体の製造装置にあっては、撮像位置におけるアンテナ回路の位置ずれに応じて同期ローラを補正しているにも関わらず、ＩＣチップ搭載位置では、前記回転量の誤差に起因したずれが生じてアンテナ回路に対してＩＣチップを精度よく搭載することができず、ＩＣチップの実装精度が悪化するという問題があった。尚、このような問題は、ＣＣＤカメラでアンテナ回路を撮像する場合に限らず、例えば、光学式ロータリエンコーダを用いる場合にも生じうる問題である。

そこで、本発明はかかる状況に鑑みてなされたものであって、フィルム上のアンテナ回路に対してＩＣチップを精度よく搭載することで実装精度を向上させることができるＩＣチップ実装体の製造装置を提供することにある。

即ち、本発明のＩＣチップ実装体の製造装置は、前述の課題解決のために、アンテナ回路が間隔を置いて複数設けられたフィルムを所定の方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段による搬送途中のＩＣチップ搭載位置で前記アンテナ回路にＩＣチップを搭載する回転自在な同期ローラと、前記フィルムを下面側から支持しつつ回転する支持ローラとを備えているＩＣチップ実装体の製造装置であって、前記支持ローラの単位時間当たりの回転量である単位回転量を該支持ローラの外周面を観察して検出する検出手段と、前記支持ローラの正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて前記検出した単位回転量に応じた誤差を割り出す割出手段と、前記支持ローラの外周面上における前記検出手段で観察される観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の正規回転量及び前記割出手段により割り出した誤差から、前記支持ローラの外周面上における前記観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の実際の回転量を求める回転量求め手段と、該回転量求め手段により求められた実際の回転量に基づいて前記同期ローラの回転を制御する回転制御手段とを備えていることを特徴としている。

上記構成によれば、検出手段が支持ローラの単位回転量を検出し、割出手段が、支持ローラの正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて前記検出した単位回転量に応じた誤差、つまり、支持ローラの正規回転量に対する実質的な支持ローラの回転ずれ量（誤差回転量）を割り出す。そして、回転量求め手段が、前記割り出した誤差と、支持ローラの外周面上の前記検出手段で観察される観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の正規回転量とから、支持ローラの実際の回転量を求める。このようにして求めた実際の回転量に基づいて、回転制御手段が同期ローラの回転を制御することによって、支持ローラの真円度のバラツキ（誤差）や支持ローラの設置位置のバラツキ（偏芯）などに起因する支持ローラの回転量の誤差を吸収することができ、アンテナ回路に対してＩＣチップを精度よく搭載することができる。

また、本発明のＩＣチップ実装体の製造装置は、前記支持ローラが所定回転する毎に信号を出力する出力手段を更に備え、前記検出手段は、支持ローラの外周面上を搬送される前記アンテナ回路のピッチから単位回転量を検出するよう構成され、前記割出手段が用いる関数は、誤差が前記支持ローラの回転量に応じて周期的に変化する関数であり、前記割出手段は、前記出力手段からの信号を受信すると、関数を用いて誤差を割り出すための回転量を、前記関数の周期の開始時点における回転量に合わせるように構成されてもよい。

ところで、支持ローラでフィルムを支持する構成を採用した場合には、フィルムが支持ローラに対してスリップしたり、フィルムが搬送中に伸び縮みすることにより、支持ローラの回転量とフィルムの搬送量との間に差が生じてしまうところ、支持ローラの単位回転量をアンテナ回路のピッチから検出する構成では、検出される単位回転量の値に、前記差に応じた誤差が含まれてしまうこととなる。そうすると、単位回転量を用いて割り出される誤差にも、当然誤差が含まれることとなるから、結果的に、同期ローラの回転制御が不正確となってＩＣチップの実装精度が悪化してしまう。また、支持ローラの回転量とフィルムの搬送量との間に生じる前記差は、支持ローラの回転が進むにつれて累積されて大きくなるから、支持ローラの回転数が多くなるほど単位回転量に含まれる誤差が大きくなる。一方、支持ローラの回転量の誤差についての関数は一定周期である。従って、支持ローラの回転数が多くなるほど、割出手段で割り出される誤差（誤差回転量）が不正確なものとなって、一層実装精度が悪化してしまう。このような問題に鑑みて、上記のように、支持ローラが所定回転する毎に出力される信号により、関数を用いて誤差を割り出すための回転量を周期の開始時点の回転量に合わせるように構成することで、支持ローラが所定回転する毎に、関数の周期の開始時点に合わせて誤差の割り出しを行うことができるから、単位回転量に応じた誤差（誤差回転量）を比較的正確に割り出すことができ、ＩＣチップの実装精度が悪化することを抑制することができる。

本発明によれば、支持ローラの回転量の誤差を補正した実際の回転量に基づいて同期ローラの回転を制御するので、フィルム上のアンテナ回路に対してＩＣチップを精度よく搭載することができ、実装精度を向上させることができるという効果を奏する。

本発明の第一の実施形態に係るＩＣチップ実装体の製造装置を示す概略図である。 本発明の第一の一実施形態に係るＩＣチップ実装体の製造装置の要部を示す概略図である。 本発明の第一の実施形態に係るＩＣチップ実装体の製造装置の制御部を示すブロック図である。 図３の制御部の動作を示すフローチャートである。 支持ローラの回転量に対する誤差回転量を示すグラフである。

以下、本発明に係るＩＣチップ実装体の製造装置を図面に基づいて説明する。

まず、図１及び図２に基づいて、製造装置１の全体概略構成を説明する。製造装置１は、搬送手段２と、ＩＣチップ供給手段３と、保護紙搬送手段４と、接着剤キュア手段５と、保護紙巻取手段６と、テスト手段７と、巻取手段８と、それらの手段を制御する制御部Ｕ（図３参照）とを備えている。

搬送手段２は、通信用アンテナとなるアンテナ回路（通信用アンテナ）１０１が間隔を置いて多数形成されたフィルム１０を巻き取ったロール１０Ａからフィルム１０を搬送する手段である。この搬送は、フィルム１０の長手方向（所定の方向）に沿って定速で行われる。

ＩＣチップ供給手段３は、フィルム１０にＩＣチップＣｈを供給して接着剤により実装する手段であり、ＩＣチップＣｈを搬送するパーツフィーダ（振動フィーダに相当する）３０と、パーツフィーダ３０からのＩＣチップＣｈを受け取って搬送されるフィルム１０上面に搭載する同期ローラ３１と、該同期ローラ３１を回転させる同期ローラ駆動手段３２とを備えている。

パーツフィーダ３０は、ＩＣチップＣｈを収容するボウルフィーダー３０Ａと、ボウルフィーダー３０Ａから供給されてくるＩＣチップＣｈを定速度で一定方向に搬送するリニアフィーダ３０Ｂとを備えている。ボウルフィーダー３０ＡはＩＣチップＣｈをリニアフィーダ３０Ｂに向けて搬送するための螺旋状の搬送面（図示せず）を有している。リニアフィーダ３０Ｂは、直線状の搬送路（搬送トラフ）３０１を備え、その上面が平坦な搬送面３０２とされている。リニアフィーダ３０Ｂは、ボウルフィーダー３０Ａに連結されて、リニアフィーダ３０Ｂの搬送面３０２はボウルフィーダー３０Ａの搬送面に連続するように接続されている。パーツフィーダ３０において、ボウルフィーダー３０Ａの振動によってＩＣチップＣｈが、ボウルフィーダー３０Ａの搬送面からリニアフィーダ３０Ｂの搬送面３０２に向けて、整列されつつ搬送されるように構成されている。尚、搬送面３０２は、幅方向一方側が支持ローラ３３の外周面に向けて下傾斜するよう設けられている（図２参照）。

また、ＩＣチップ供給手段３は、同期ローラ３１の下方に位置するＩＣチップ搭載位置においてフィルム１０を下面側から支持する回転自在な支持ローラ（クロックローラとも呼ばれている）３３を備え、更に、この支持ローラ３３のフィルム方向前後に、フィルム１０を下方へ押し付けて該フィルム１０を支持ローラ３３の表面の所定領域に亘って押し付けるための前後一対の押圧ローラ３４，３５を備えている。

支持ローラ３３は、支持ローラ駆動手段３６である駆動モータによりフィルム１０の移動速度（搬送速度）と同期する速度で横軸回りに（図２では、時計回りＲ１１に）回転するように構成されている。この支持ローラ３３は、筒状に形成されており、周方向に吸着孔（図示せず）が等間隔で複数箇所に形成され、ローラ表面にフィルム１０を真空吸着するように構成されている。フィルム１０上のアンテナ回路１０１の位置を認識するアンテナ回路認識手段、具体的には、アンテナ回路を撮像してその位置を計測する撮像手段としてのＣＣＤカメラＣａ１が、同期ローラ３１及び支持ローラ３３のフィルム搬送方向上流側で、同期ローラ３１の下方且つ支持ローラ３３の上方に配設されている。このＣＣＤカメラＣａ１は、その光軸が支持ローラ３３の表面に対して垂直となる、即ち、支持ローラ３３の外周面を撮像することができるように配置され、該外周面に沿って搬送されるアンテナ回路１０１を撮像してその画像を処理して制御部Ｕへ入力するように構成されている。また、支持ローラ３３のフィルム搬送方向上流側でＣＣＤカメラＣａ１よりも少し下流側には、搬送されるアンテナ回路１０１の位置に合わせて接着剤を塗布する接着剤供給手段９が設けられている。

同期ローラ３１は、同期ローラ駆動手段３２である駆動モータにより支持ローラ３３の回転速度と同期する速度で横軸回りに（図２では反時計回りＲ２２）間欠的に駆動される。同期ローラ３１は、その外周面が支持ローラ３３の外周面と対向するよう配置されている。換言すれば、支持ローラ３３と同期ローラ３１とが、円筒面同士で対向配置されている。また、支持ローラ３３は、同期ローラ３１よりも大径に構成されている。

同期ローラ３１の外周面には、軸方向に一列で周方向一定間隔置きに、ＩＣチップＣｈを保持する吸着ノズル３３１が設けられている。吸着ノズル３３１は、同期ローラ３１の外周面からわずかに突出する突起状に形成されている。各吸着ノズル３３１の中心には、ＩＣチップＣｈを吸引保持するための吸着孔３３１ａが形成されている。同期ローラ３１は、同期ローラ駆動手段３２の駆動による回転（回転方向Ｒ２２）に伴って、各吸着ノズル３３１が、リニアフィーダ３０Ｂの搬送面の下流端部まで搬送されてきたＩＣチップＣｈを一個ずつ吸引し、その吸引力によって保持するように構成されている。吸着ノズル３３１に吸着されたＩＣチップＣｈは、同期ローラ３１の上流側の上方に配置されたＣＣＤカメラＣａ２により撮像され、その姿勢が確認される。

同期ローラ３１は、吸着ノズル３３１が、フィルム１０上のＩＣチップＣｈの搭載位置（アンテナ回路１０１に対してＩＣチップＣｈが電気接続される位置）に対応する位置、つまり、アンテナ回路１０１に対してＩＣチップＣｈを搭載するＩＣチップ搭載位置まで回転すると、吸着孔３３１ａ内が大気圧となって、それまで吸引力（負圧）によって保持していたＩＣチップＣｈの吸引力が開放され、ＩＣチップＣｈが吸着ノズル３３１から離脱してフィルム１０（アンテナ回路１０１）に搭載される構成になっている。尚、ここでは、ＩＣチップＣｈを搭載する位置であるＩＣチップ搭載位置は、吸着ノズル３３１が最下位置に到着した位置としており、吸着孔３３１ａ内が大気圧となるのは、その僅かに手前になるように構成されている。

保護紙搬送手段４は、ＩＣチップＣｈが実装されたフィルム体１０Ｂを被覆する保護紙１１を供給してフィルム体１０Ｂに重ねる手段である。接着剤キュア手段５は、加熱により接着剤を硬化させる手段である。

保護紙巻取手段６は、フィルム体１０Ｂに重ねた保護紙１１を剥がして巻き取る手段である。テスト手段７は、フィルム体１０Ｂに所定の回路が構成されているかどうかを検査する手段である。巻取手段８は、フィルム体１０Ｂをロール状に巻き取る手段である。

上記構成の製造装置１においては、アンテナ回路１０１が形成されたフィルム１０を巻き取ったロール１０Ａを搬送手段２により回転させ、ロール１０Ａから送り出されるフィルム１０のアンテナ回路１０１上に接着剤供給手段９によって接着剤が塗布される。そして、接着剤が塗布されたアンテナ回路１０１上にＩＣチップ供給手段３によりＩＣチップＣｈが供給されて搭載（実装）される。続いて、ＩＣチップＣｈが搭載されたフィルム体１０Ｂに、保護紙搬送手段４により保護紙１１を送り出して重ねるように被覆し、接着剤キュア手段５によりフィルム体１０Ｂを加熱して接着剤Ｇ（図２参照）を硬化させる。保護紙１１は、保護紙巻取手段６により巻き取られることでフィルム体１０Ｂから巻き取って外される。次に、テスト手段７でフィルム体１０Ｂに所定の回路が構成されているかどうかを検査し、巻取手段８によりＩＣチップＣｈが実装されたフィルム体１０Ｂがロール状に巻き取られ、ＩＣチップ実装体が連続して巻き取られたロールが製造される。

次に、かかる製造装置１の制御部Ｕについて説明する。該制御部Ｕは、前述したように各種の手段２〜９を制御する他、同期ローラ３１の回転を制御することができるように構成されている。図３に示すように、制御部Ｕには、支持ローラ３３の単位時間当たりの回転量である単位回転量を支持ローラ３３の外周面を観察して検出する検出手段１２と、支持ローラ３３が所定回転（例えば、一回転や二回転、半回転などが例示できるが、ここでは一回転とする）する毎に信号を出力する出力手段１６とが、ハードウェア構成部品として接続されている。これら検出手段１２及び出力手段１６からの出力される信号が入力される制御部Ｕは、支持ローラ３３の正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて単位回転量に応じた誤差を割り出す割出手段１３と、割出手段１３により割り出した誤差と支持ローラ３３の外周面上の前記検出手段１２で観察される観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで移動する際の正規回転量とから支持ローラ３３の実際の回転量を求める回転量求め手段１４と、回転量求め手段１４により求められた実際の回転量に基づいて同期ローラ３１の回転を制御する回転制御手段１５とを備えている。

尚、回転量とは、支持ローラ３３の外周面上の一点が、該支持ローラ３３の回転に伴って周方向に移動する外周長さのことである。また、正規回転量とは、支持ローラ３３が真円度のバラツキ（形状誤差）や設置位置のバラツキ（偏芯）などが無い理想的な構成であることを前提とし、その支持ローラ３３の外周面上の一点が、理想的な移動軌跡（理論上の移動軌跡）を辿った場合の外周長さのことである。更に、支持ローラ３３の正規回転量に対する回転量の誤差とは、支持ローラ３３の正規回転量（正規の外周長さ）と、支持ローラ３３の実質的な回転ずれ量、換言すると実測の回転量（実測の外周長さ）との差（誤差回転量）のことである。更に、回転量求め手段１４が求める支持ローラ３３の実際の回転量とは、検出手段１２が観察した観察対象位置である支持ローラ３３の外周面上の一点が、その観察対象位置からＩＣチップ搭載位置まで実際に移動するであろう外周長さ（実際の外周長さ）のことである。

検出手段１２は、前記ＣＣＤカメラＣａ１からなり、該ＣＣＤカメラＣａ１により支持ローラ３３の外周面上を搬送されるフィルム１０上の複数のアンテナ回路１０１を、ＣＣＤカメラＣａ１の撮像範囲を通過する順に撮像するように構成されている。そして、検出手段１２は、先に撮像された画像からアンテナ回路１０１の位置を計測し、次に撮像されたアンテナ回路１０１との間のピッチを単位回転量として計測するように構成されている。これら順次計測されたアンテナ回路１０１の位置及びアンテナ回路１０１，１０１間のピッチは、制御部Ｕに記憶される。

割出手段１３は、支持ローラ３３の正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数から誤差（誤差回転量）を割り出す手段である。割出手段１３で用いる関数は、実際に支持ローラ３３を所定角度回転させたときの実測した回転量と、形状（真円度）や設置位置に誤差を含まない理想的な支持ローラ３３を所定角度回転させたときの正規の回転量との間の誤差を求め、そのデータをプロットすることにより得られる周期的に変化するサインカーブのグラフ（図５参照）、或いは、それらのデータを表にしたテーブルである。かかる関数は、図３に示すように制御部Ｕの誤差記憶手段１３１に記憶されている。そして、割出手段１３は、誤差記憶手段１３１に記憶されている関数を読み出して、検出手段１２で検出した単位回転量に応じた誤差を割り出す。尚、図５のグラフは、縦軸に誤差回転量(誤差)を取り、横軸に支持ローラ３３の回転量を取った周期的に誤差回転量が変化する曲線状のグラフである。割出手段１３は、このグラフと前記検出手段１２により検出されたアンテナ回路１０１の位置とピッチ（単位回転量）とを用いることによって、検出した単位回転量に応じた誤差（誤差回転量）を割出すことができる。例えば、所定位置のアンテナ回路１０１（Ｐ１）と次のアンテナ回路１０１（Ｐ２）との間のピッチ（単位回転量）が検出手段１２で検出されると、Ｐ１の位置から横軸（回転量軸）に沿って単位回転量の分だけ移動し、その位置での誤差回転量を読み出すことで、検出した単位回転量に応じた誤差回転量を割り出すことができる。尚、図５では、関数として、最大値がプラスａで、最小値がマイナスａの値のサインカーブのグラフを示しているが、このグラフに限定されるものではなく、例えば、周期的でない曲線のグラフでもよい。

また、割出手段１３は、前記出力手段１６から信号が出力されると、前記関数(グラフ)を用いて誤差を割り出すための回転量を周期の開始時点の回転量に合わせるよう、構成されている。具体的には、支持ローラ３３が一回転したことを示す信号が出力手段１６としての原点センサ（例えばフォトセンサ等）から出力され、その信号を割出手段１３が受信すると、該割出手段１３は、次に検出された単位回転量を、関数の周期の初期時点（図５では、回転量の横軸の原点近傍）に合わせて、それを基準に誤差を割り出す。換言すると、割出手段１３は、前記信号を受信すると、横軸（回転量軸）の位相を初期化（リセット）し、それを基準に次の割出を行うように構成されている。

回転量求め手段１４は、割出手段１３により割り出された誤差の回転量を支持ローラ３３の正規回転量に加えることにより、支持ローラ３３の実際の回転量を求める手段である。従って、前記のようにグラフにおいて所定番目のアンテナ回路１０１の位置（支持ローラ３３の回転量）に対する誤差回転量（誤差）を読み出し、その読み出した誤差を支持ローラ３３の正規回転量に加えることによって、実際の回転量を求めることができる。

回転制御手段１５は、同期ローラ３１を回転開始させるタイミングを、回転量求め手段１４により求められた実際の回転量に基づいて調整することによって、同期ローラ３１の回転を制御する手段であり、例えば、求められた実際の回転量が正規の回転量よりも小さい場合には、検出手段１２の観察対象位置（撮像位置）からＩＣチッブ搭載位置までアンテナ回路１０１が移動する時間が正規の時間よりも長くなるので、同期ローラ３１の回転開始タイミングを正規のタイミングよりも遅くする。また、求められた実際の回転量が正規の回転量よりも大きい場合には、検出手段１２の観察対象位置（撮像位置）からＩＣチッブ搭載位置までアンテナ回路１０１が移動する時間が正規の時間よりも短くなるので、同期ローラ３１の回転開始タイミングを正規のタイミングよりも速くする。このように同期ローラ３１を回転開始させるタイミングを調整することによって、ＩＣチッブ搭載位置において、ＩＣチッブＣｈをアンテナ回路１０１に確実に搭載(実装)することができる。

前記制御部Ｕにより同期ローラ３１の回転制御について、図４のフローチャートに基づいて説明する。まず、検出手段１２は、支持ローラ３３の単位時間当たりの回転量である単位回転量を該支持ローラ３３の外周面を観察して検出する(ステップＳ１)。具体的には、検出手段１２としての撮像手段であるＣＣＤカメラＣａ１が、支持ローラ３３の外周面上を順次搬送されるアンテナ回路１０１を搬送順に撮像（観察）し、該撮像したデータを処理してアンテナ回路１０１のピッチを導出し、該アンテナ回路１０１のピッチを支持ローラ３３の回転量に変換して単位回転量を算出（検出）する。

そして、検出手段１２が単位回転量を検出すると、それを受信した割出手段１３は、支持ローラ３３の正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて、前記検出した単位回転量に応じた誤差（誤差回転量）を割り出す（ステップＳ２）。具体的には、割出手段１３は、単位回転量を受信すると、誤差記憶手段１３１から前記関数を読み出し、該関数に前記単位回転量を組み込んで該単位回転量に対する誤差（誤差回転量)を割り出す。尚、関数が、図５に示すグラフである場合には、単位回転量を横軸にプロットして該横軸上の位置を決定し、該位置における誤差（縦軸の値）を読み取ることで割り出しを行う。また、関数がテーブルである場合には、該テーブルから単位回転量に対応した誤差を読み出すことで割り出しを行う。尚、関数が回転量を変数とする誤差（誤差回転量）の数式である場合には、検出した単位回転量を数式に代入して誤差を算出することで割り出しを行う。

そして、割出手段１３が誤差（誤差回転量）を割り出すと、回転量求め手段１４は、支持ローラ３３の外周面上における検出手段１２によって撮像（観察）された観察対象位置（撮像位置）がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の正規回転量と、割出手段１３により割り出した誤差とから、支持ローラ３３の外周面上における前記撮像位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の実際の回転量を求める（ステップＳ３）。具体的には、回転量求め手段１４は、割出手段１３で割り出した誤差を前記正規回転量に加えて前記実際の回転量を算出する。

そして、回転量求め手段１４が支持ローラ３３の実際の回転量を求めると、回転制御手段１５は、該実際の回転量に基づいて同期ローラ３１の回転を制御する（ステップＳ４）。具体的には、回転制御手段１５は、実際の回転量と正規の回転量とを比較し、実際の回転量が正規の回転量よりも小さい場合には、同期ローラ３１の回転開始タイミングが正規のタイミングよりも遅くなるように同期ローラ駆動手段３２を制御し、実際の回転量が正規の回転量よりも大きい場合には、同期ローラ３１の回転開始タイミングが正規のタイミングよりも速くなるように同期ローラ駆動手段３２を制御する。このように、回転量求め手段１４が求めた実際の回転量に基づいて同期ローラ３１の回転制御（開始タイミング制御）を行うことによって、ＩＣチップＣｈを精度よくアンテナ回路１０１に実装することができる。

そして、上記フローに基づく同期ローラ３１の回転制御は、該制御中に支持ローラ３３の回転が終了かどうかを確認し（ステップＳ５）、回転が終了されるまで続けられる。

そして、支持ローラ３３の回転が終了していないと制御部Ｕが判断すると、該制御部Ｕは、支持ローラ３３が一回転したかどうかを出力手段１６からの信号に基づいて判断する(ステップＳ６)。具体的には、制御部Ｕは、出力手段１６としての原点センサが、支持ローラ３３の回転原点を検出して原点信号（支持ローラ３３が一回転したことを示す信号）を出力すると、一回転したと判断する。

そして、制御部Ｕは、支持ローラ３３が一回転していないと判断した場合には（ステップＳ６でＮｏの場合）、ステップＳ１乃至Ｓ５の制御を続行する。一方、支持ローラ３３が一回転したと判断した場合には（ステップＳ６でＹｅｓの場合）、前記制御をリセットすべく回転量の位置合わせを行って(ステップＳ７)ステップＳ２に戻る。具体的には、割出手段１３は、出力手段１６から出力された信号を受信すると、支持ローラ３３が一回転したと判断して、関数を用いて誤差を割り出すための回転量を、該関数の周期の開始時点の回転量に合わせる。より詳細には、割出手段１３は、出力手段１６からの信号を受信した後に検出された単位回転量を、関数の周期の初期時点（図５では、回転量の横軸の原点近傍）に合わせて該関数に組み込む。

換言すると、ステップＳ７の処理は、誤差を求めるために用いる単位回転量（アンテナ回路１０１のピッチ）についての支持ローラ３３の回転に対する位相を、該支持ローラ３３が一回転する毎に、回転原点に合わせて初期化する処理である。要するに、本実施形態における割出手段１３は、先に割り出した誤差（誤差回転量）に対応した回転量に、次に検出された単位回転量を累積することで、該次に検出された単位回転量に応じた誤差回転量を割り出すように構成されているから、誤差回転量を割り出すための回転量は、支持ローラ３３の回転が進む（多くなる）につれて累積されていくこととなるところ、ステップＳ７では、支持ローラ３３が一回転する毎に前記累積をリセット（初期化）する処理を行う。

ここで、前記回転量の位置合わせを行う理由について説明する。本実施形態のように支持ローラ３３でフィルム１０を支持する構成を採用した場合には、フィルム１０が支持ローラ３３に対してスリップしたり、フィルム１０が搬送中に伸び縮みしたりすることにより、支持ローラ３３の回転量とフィルム１０の搬送量との間に差が生じてしまうことがある。このような差が発生してしまうと、前記のようにアンテナ回路１０１のピッチから支持ローラ３３の回転量を検出している構成では、検出手段１２で検出される単位回転量の値、及び該割出手段１３で単位回転量を用いて割り出される誤差（誤差回転量）に、前記差に応じた誤差（スリップ誤差）が含まれてしまうこととなる。そうすると、支持ローラ３３の実際の回転量にも前記スリップ誤差が含まれることとなり、結果的に、回転制御手段１５による同期ローラ３１の回転制御が不正確となってＩＣチップの実装精度が悪化してしまう。

また、支持ローラ３３の回転量とフィルム１０の搬送量との間に生じる前記差は、支持ローラ３３の回転が進むにつれて累積されて大きくなるから、支持ローラ３３の回転数が多くなるほど単位回転量に含まれるスリップ誤差は大きくなる。一方、図５に示す、支持ローラ３３の回転量の誤差（誤差回転量）についての関数は一定周期である。従って、支持ローラ３３の回転数が多くなるほど、必然的にスリップ誤差が累積されて大きくなり、その結果、割出手段１３で割り出される誤差回転量が不正確なものとなって、一層実装精度が悪化してしまう。

かかるスリップ誤差による問題を、図５を用いて更に説明すると、前記スリップ誤差が発生すると、割出手段１３では、本来は図５におけるｆ点における誤差回転量（零）が読み出されるべきであるところ、スリップ誤差ｅの分だけずれたｇ点における誤差回転量（＋ａ１）が誤って読み出されてしまい（ステップＳ２）、読み出された（割り出された）誤差回転量には、＋ａ１のスリップ誤差が含まれることとなる。続いて、かかるスリップ誤差を含んだ誤差回転量に基づいて実際の回転量が求められるから（ステップＳ３）、求められる実際の回転量にもスリップ誤差が含まれてしまう。そうすると、スリップ誤差を含んだ実際の回転量に基づいて同期ローラ３１の回転が制御されるから（ステップＳ４）、結果的にＩＣチップの実装精度が悪化してしまう。

このようなスリップ誤差に基づく実装精度悪化の問題に鑑みて、前記回転量の位置合わせ処理（ステップＳ７の処理）を行うのである。即ち、支持ローラ３３が一回転する毎に出力される信号により、誤差回転量を求めるために用いる関数に組み込む回転量を、該関数の周期の開始時点の回転量に合わせることで、一回転後に検出される単位回転量を、関数の周期の開始時点に合わせて組み込むことができ、該単位回転量に応じた誤差回転量を比較的正確に割り出すことができる結果、ＩＣチップの実装精度が悪化することを抑制することができる。

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

前記実施形態では、検出手段１６としてフォトセンサを用いたが、各種の非接触式センサの他、リミットセンサなどの接触式センサを用いてもよい。

また、前記実施形態では、支持ローラ３３が一回転したことを示す出力手段１６からの出力信号により、前記回転量の位置合わせ処理（ステップＳ７の処理）を行う場合について説明したが、これに限らず、出力手段１６を省略して前記回転量の位置合わせ処理を行わない構成であってもよい。

また、前記実施形態では、関数を割出手段１３とは別の誤差記憶手段１３１に記憶させた場合について説明したが（図３参照）、割出手段１３にグラフなどの関数を記憶させてもよい。尚、関数で求めるべき誤差は、支持ローラ３３の真円度のバラツキ度合いや支持ローラ３３の設置位置の偏芯度合いにより異なるため、図５に示したサインカーブのような曲線になるとは限らない。また、その他の要因で周期的にならない場合もある。

また、前記実施形態では、ＣＣＤカメラＣａ１によりフィルム１０のアンテナ回路１０１のピッチから支持ローラ３３の単位回転量を検出する場合について説明したが、例えば、光学式ロータリエンコーダにより支持ローラ３３の回転量を直接計測してもよい。この場合には、光学式ロータリエンコーダにより支持ローラ３３が一回転する毎に信号を出力する出力手段１６を兼用構成することができる。この光学式ロータリエンコーダは、外周面に等間隔で多数のスリットが形成され、支持ローラ３３と一体回転する回転体と、回転体の表面に光を照射して跳ね返ってきた光を受光する光センサとから構成され、回転している回転体に光センサから光を当てて回転体のスリット間の部分に跳ね返ってきた光の数に基づいて、支持ローラ３３の回転量を計測するように構成される。

また、前記実施形態では、回転制御手段１５が、同期ローラ３１の回転開始タイミングを調整する手段であったが、同期ローラ３１の回転開始タイミングは同一にした状態で同期ローラ３１の回転加速度や回転速度を実際の支持ローラ３３の回転量に合わせて調整する手段であってもよい。

また、前記実施形態では、検出手段Ｃａ１によりアンテナ回路１０１を直接検出して位置やピッチを把握するようにしたが、例えばフィルム１０のアンテナ回路１０１に対応する部分にマークを付し、そのマークを検出してアンテナ回路１０１の位置やピッチを間接的には把握するようにしてもよい。

また、前記実施形態において、ＣＣＤカメラを用いて搬送途中のフィルム上のアンテナ回路を撮像してその位置を計測し、該計測位置とアンテナ回路が前記撮像時点で本来位置すべき正規の位置との差から位置補正量を求め、この位置補正量に基づいて同期ローラの位置を補正すべく該同期ローラを位置制御するように構成することも可能である。この構成によれば、ＣＣＤカメラでの撮像時点（ＩＣチップ搭載位置よりも搬送方向上流側に位置する撮像位置）におけるアンテナ回路の位置ずれに対応して同期ローラの位置を補正することができるため、ＩＣチップを前記位置補正量を加味した位置でアンテナ回路に搭載することができる。

１…製造装置、２…搬送手段、３…チップ供給手段、４…保護紙搬送手段、５…接着剤キュア手段、６…保護紙巻取手段、７…テスト手段、８…巻取手段、９…接着剤供給手段、１０…フィルム、１０Ａ…ロール、１０Ｂ…フィルム体、１１…保護紙、１２…検出手段、１３…割出手段、１４…回転量求め手段、１５…回転制御手段、１６…出力手段、３０…パーツフィーダ、３０Ａ…ボウルフィーダー、３０Ｂ…リニアフィーダ、３１…同期ローラ、３２…同期ローラ駆動手段、３３…支持ローラ、３４，３５…押圧ローラ、３６…支持ローラ駆動手段、１０１…アンテナ回路、１２１…ピッチ計測手段、１２２…回転量換算手段、１３１…誤差記憶手段、３３１…吸着ノズル、３３１ａ…吸着孔、Ｃａ１…ＣＣＤカメラ、Ｃａ２…ＣＣＤカメラ、Ｃｈ…チップ、Ｇ…接着剤、Ｕ…制御部

Claims (2)

1. アンテナ回路が間隔を置いて複数設けられたフィルムを所定の方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段による搬送途中のＩＣチップ搭載位置で前記アンテナ回路にＩＣチップを搭載する回転自在な同期ローラと、前記フィルムを下面側から支持しつつ回転する支持ローラとを備えているＩＣチップ実装体の製造装置であって、
   前記支持ローラの単位時間当たりの回転量である単位回転量を該支持ローラの外周面を観察して検出する検出手段と、前記支持ローラの正規回転量に対する回転量の誤差に関する関数を用いて前記検出した単位回転量に応じた誤差を割り出す割出手段と、前記支持ローラの外周面上における前記検出手段で観察される観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の正規回転量及び前記割出手段により割り出した誤差から、前記支持ローラの外周面上における前記観察対象位置がＩＣチップ搭載位置まで回転移動する際の実際の回転量を求める回転量求め手段と、該回転量求め手段により求められた実際の回転量に基づいて前記同期ローラの回転を制御する回転制御手段とを備えていることを特徴とするＩＣチップ実装体の製造装置。
2. 前記支持ローラが所定回転する毎に信号を出力する出力手段を更に備え、
   前記検出手段は、支持ローラの外周面上を搬送される前記アンテナ回路のピッチから単位回転量を検出するよう構成され、
   前記割出手段が用いる関数は、誤差が前記支持ローラの回転量に応じて周期的に変化する関数であり、
   前記割出手段は、前記出力手段からの信号を受信すると、関数を用いて誤差を割り出すための回転量を、前記関数の周期の開始時点における回転量に合わせることを特徴とする請求項１に記載のＩＣチップ実装体の製造装置。

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