KR20100005067A - Ｔｃｐ 핸들링 장치 - Google Patents

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KR20100005067A
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히사시 무라노
마사타카 오노자와
다케시 오니시
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가부시키가이샤 아드반테스트
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Abstract

TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프(5)를 반송하여, 테스트 헤드(10)에 전기적으로 접속되어 있는 복수의 프로브(81)를 갖는 프로브 카드(8)에 대하여 캐리어 테이프(5)를 눌러, TCP의 테스트 패드를 프로브(81)에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들러(2)에서, 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입할 수 있는 카메라(6d)를 설치하고, 그 카메라(6d)에 의해 캐리어 테이프(5) 상의 TCP의 테스트 패드와, 프로브 카드(8)의 프로브(81)의 선단부를 촬영한다. 이에 따라 프로브(81)의 선단부를 직접 촬영할 수 있기 때문에, TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)의 위치 맞춤을 매우 정확히 수행 할 수 있다.
TCP, 핸들링, 테스트, 헤드, 선단부

Description

ＴＣＰ 핸들링 장치{TCP HANDLING DEVICE}
본 발명은 IC디바이스의 일종인 TCP(Tape Carrier Package)나 COF(Chip On Film)(이하, TCP, COF, 그 외 TAB(Tape Automated Bonding) 실장기술에 의해 제조된 디바이스를 총칭하여 「TCP」라고 한다.)를 시험하는데 사용되는 TCP 핸들링 장치에 관한 것이다.
IC디바이스 등의 전자 부품의 제조 과정에 있어서는, 최종적으로 제조된 IC디바이스나 그 중간 단계에 있는 디바이스 등의 성능이나 기능을 시험하는 전자 부품 시험 장치가 필요하며, TCP의 경우에는 TCP용의 시험 장치가 사용된다.
TCP용의 시험 장치는 일반적으로 테스터 본체와, 테스트 헤드와, TCP 핸들링 장치(이하 「TCP 핸들러」라고 하는 경우가 있다.)로 구성된다. 이 TCP 핸들러는 테이프(필름의 개념도 포함하는 것으로 한다. 이하 동일.) 상에 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 프로브 카드의 프로브에 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 테스트 패드를 프로브에 접촉시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험에 제공하는 기능을 구비하고 있다.
그렇지만, TCP 핸들러를 사용하여 효율적으로 정확하게 시험을 수행하기 위해서는, TCP의 테스트 패드와 프로브 카드의 각 프로브를 확실하게 접촉시킬 필요 가 있다.
이와 같은 점에서 TCP 핸들러를 사용할 경우에는, 실가동시켜 시험을 수행하기 전에 TCP의 테스트 패드와 프로브 카드의 각 프로브가 확실하게 접촉할 수 있도록 미리 TCP 핸들러에 대하여 초기 설정을 수행하고, 그 설정을 등록하는 작업을 수행하고 있다.
TCP 핸들러의 초기 설정은, 예를 들어 다음과 같이 수행된다. 먼저, TCP를 시험 위치까지 반송하고, 반송된 TCP를 푸셔 유닛으로 홀드한다. 그리고 TCP가 카메라에 의해 명확히 인식될 수 있는 높이까지 푸셔 유닛을 이동하고, TCP의 테스트 패드를 카메라로 촬영하고, 그 화상을 모니터에 표시한다. 오퍼레이터는 모니터를 보고 TCP의 회전각을 육안으로 파악한다. 다음에 프로브 카드의 프로브를 카메라에 의해 명확히 인식하기 위해서, TCP가 카메라에 의해 명확히 인식될 수 없는 높이까지 푸셔 유닛을 이동하고 나서 프로브 카드의 프로브를 카메라로 촬영하고, 그 화상을 모니터에 표시한다. 오퍼레이터는 모니터를 보면서 매뉴얼 조작으로 프로브 카드 스테이지를 회전시켜서, TCP의 회전각에 대한 프로브 카드의 회전각을 조정한다. 그리고 TCP가 프로브와 함께 카메라에 의해 명확히 인식될 수 있는 높이까지 푸셔 유닛을 이동한다. 오퍼레이터는 모니터를 보면서 매뉴얼 조작으로 프로브 카드 스테이지를 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동하고, TCP의 모든 테스트 패드가 프로브 카드의 프로브와 접촉할 수 있는지 확인한다. 이와 같이 하여 설정된 위치를 초기 설정으로서 등록한다.
프로브 카드의 프로브를 촬영하는 카메라는 TCP 핸들러 내의 공간적인 문제 때문에 프로브 카드의 하측에 설치된다. 그러나, 프로브는 프로브 카드의 상측(캐리어 테이프측)에 설치되어 있고, TCP의 테스트 패드와 접촉하는 프로브의 선단부는 캐리어 테이프에 대향하도록 위치하기 때문에, 카메라가 프로브 카드의 하측에 배치되면 프로브의 선단부를 촬영할 수 없다.
그러므로 프로브의 선단부의 위치를 확실하게 파악할 수 없고, TCP의 테스트 패드와 프로브 카드의 프로브의 위치 맞춤을 정확히 수행하는 것이 곤란하다. TCP와 프로브의 위치 맞춤이 정확하지 않으면, 그것이 원인으로 실가동 중에 접촉불량, 접촉저항의 불안정화, 인접 핀간의 쇼트 등이 발생하는 경우도 있다.
본 발명은 이와 같은 실상에 비추어 이루어진 것으로, 측정부의 접속 단자와 TCP의 외부 단자의 위치 맞춤을 정확히 수행할 수 있는 TCP 핸들링 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 복수의 접속 단자를 갖는 측정부(예를 들어, 프로브 카드)에 대하여 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 외부 단자를 상기 측정부의 접속 단자에 접속시킴으로써 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서, 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 위치할 수 있는 하나 또는 둘 이상의 촬상 장치를 구비하고 있고, 상기 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위(예를 들어 하나 또는 복수의 외부 단자, 소정의 마크, 디바이스의 일부 등)와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영할 수 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치를 제공한다(발명1).
상기 발명(발명1)에 따르면, 캐리어 테이프측으로부터 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영할 수 있기 때문에, 접속 단자의 캐리어 테이프와의 접촉부 또는 자세침의 선단부를 직접 촬영하고, 그러한 위치 정보를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 또한 캐리어 테이프 상의 소정 부위를 캐리어 테이프에 가까운 위치에서 촬영할 수 있기 때문에, 상기 소정 부위의 위치 정보를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 따라서 측정부의 접속 단자와 TCP의 외부 단자의 위치 맞춤을 정확히 수행할 수 있는 것이 가능하다.
상기 발명(발명1)에서 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부를 이동시킬 수 있는 측정부 이동 장치 및/또는 상기 측정부에 대한 캐리어 테이프의 위치를 변경하는 것이 가능한 테이프 이동 장치를 더 구비하고 있고, 상기 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위를 촬영하여 상기 소정 부위의 좌표데이터를 취득하는 동시에, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영하여 상기 선단부의 좌표데이터를 취득하고, 상기 취득한 TCP의 소정 부위의 좌표데이터 및 상기 취득한 접속 단자 또는 자세침의 선단부의 좌표데이터로부터 상기 TCP의 외부 단자와 상기 접속 단자의 선단부의 위치 어긋남량을 구하여, 상기 위치 어긋남량에 기초하여 상기 측정부 이동 장치 및/또는 상기 테이프 이동 장치에 의해 상기 측정부 및/또는 캐리어 테이프를 이동시켜 TCP의 외부 단자에 대한 상기 접속 단자의 위치 맞춤을 수행하는 것이 바람직하다(발명2).
상기 발명(발명2)에 따르면, TCP의 외부 단자에 대한 접속 단자의 위치 맞춤을 자동적으로 또한 정확히 수행할 수 있다.
상기 발명(발명1)에서 상기 촬상 장치는, 상기 촬상 장치와 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부의 사이의 거리 정보를 취득할 수 있는 것이 바람직하다(발명3). 이러한 발명(발명3)에 따르면, 측정부의 수평도를 판단하는 것이 가능하다.
상기 발명(발명3)에서 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부의 수평도를 조정하는 수평도 조정 기구를 더 구비하고 있고, 상기 취득한 거리 정보를 근거로 상기 수평도 조정 기구를 제어하는 것이 바람직하다(발명4). 이러한 발명(발명4)에 따르면, 측정부의 수평도를 자동 조정하는 것이 가능하다.
상기 발명(발명1)에서는, 상기 촬상 장치에 의해 상기 측정부의 접속 단자의 변형 정보(접속 단자의 선단 휨 등의 정보)를 취득할 수 있는 것이 바람직하다(발명5). 상기 촬상 장치에 따르면 측정부의 접속 단자의 선단부를 직접 촬영할 수 있기 때문에, 접속 단자의 선단부가 변형되어 있는지 아닌지의 정보를 취득할 수 있다. 이에 따라 측정부를 결국 테스트 헤드로부터 떼어내서 접속 단자의 선단 휨 등을 육안으로 판단할 필요가 없어진다.
상기 발명(발명1)에서 상기 촬상 장치는, 비촬영시에는 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 위치하지 않고, 촬영시에 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되는 것이 바람직하다(발명6).
상기 발명(발명1)에서는 상기 촬상 장치로서, 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위를 촬영하는 TCP 촬상 장치와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영하는 접속 단자 촬상 장치를 구비하고 있어도 좋고(발명7), 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 동시에 촬영하는 하나의 촬상 장치를 구비하고 있어도 좋고(발명8), 촬상 장치 자체가 반전함으로써 또는 촬상 장치 내의 광로를 교체함으로써, 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 각각 촬영할 수 있는 하나의 촬상 장치를 구비하고 있어도 좋다(발명9).
상기 발명(발명1)에서 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위는, 상기 캐리어 테이프 상의 TCP의 외부 단자이어도 좋고(발명10), 상기 캐리어 테이프(TCP를 포함)에 제공된 얼라인먼트 마크여도 좋다(발명11).
상기 발명(발명1)에서 상기 TCP 핸들링 장치의 실가동 중에서의 상기 측정부의 접속 단자의 선단부의 촬영은, 피시험 TCP와 상기 접속 단자의 접촉불량 또는 접촉률의 저하를 지표로 하여 수행하여도 좋고(발명12), 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행하여도 좋다(발명13).
상기 발명(발명1)에서 상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부의 아래쪽에 제2의 촬상 장치를 더 구비하고 있고, 상기 TCP 핸들링 장치의 실가동 중에는 상기 제2의 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위 및/또는 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침을 촬영하도록 하여도 좋다(발명14).
상기 촬상 장치는 캐리어 테이프와 측정부의 사이에 삽입하거나, 캐리어 테이프와 측정부의 사이로부터 퇴출시키거나 할 필요가 있기 때문에, 그것을 실가동 중에 수행하면 처리율이 저하될 우려가 있지만, 상기 제2의 촬상 장치는 이러한 이동이 필요 없기 때문에 처리율의 저하를 방지할 수 있다.
본 발명의 TCP 핸들링 장치에 따르면 측정부의 접속 단자와 TCP의 외부 단자의 위치 맞춤을 매우 정확히 수행할 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도.
도2는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛의 측면도.
도3은 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 스테이지의 평면도.
도4는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 평면도.
도5는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 정면도.
도6(a), (b)는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛, 프로브 카드 및 카메라의 측면도.
도7A는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러의 초기 설정시의 동작을 도시한 플로우챠트도(그 1).
도7B는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러의 초기 설정시의 동작을 도시한 플로우챠트도(그 2).
도7C는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러의 초기 설정시의 동작을 도시한 플로우챠트도(그 3).
부호의 설명
1 TCP 시험 장치
2 TCP 핸들러
3 푸셔 유닛
4 푸셔 스테이지
5 캐리어 테이프
6b 제2카메라(촬상 장치)
6d 제4카메라(제2의 촬상 장치)
7 프로브 카드 스테이지
8 프로브 카드(측정부)
81 프로브(접속 단자)
10 테스트 헤드
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 기초로 상세히 설명한다.
도1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 TCP 핸들러를 사용한 TCP 시험 장치를 도시한 정면도이며, 도2는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛의 측면도이며, 도3은 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 스테이지의 평면도이며, 도4는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 평면도이며, 도5는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 프로브 카드 스테이지의 정면도이며, 도6(a), (b)는 동 실시형태에 따른 TCP 핸들러에서의 푸셔 유닛, 프로브 카드 및 카메라의 측면도이다.
먼저, 본 발명의 실시형태에 따른 TCP 핸들러를 구비한 TCP 시험 장치의 전체 구성에 대하여 설명한다. TCP 시험 장치(1)는 도시하지 않은 테스터 본체와, 테스트 본체에 전기적으로 접속된 테스트 헤드(10)와, 테스트 헤드(10)의 상측에 설치된 TCP 핸들러(2)로 구성되어 있다.
TCP 핸들러(2)는 캐리어 테이프(5) 상에 복수 형성된 각 TCP를 순차 시험에 제공하는 것이며, 본 실시형태에서는 설명의 간략화를 위하여 TCP를 1개씩 시험에 제공하는 것으로 한다. 단지, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 캐리어 테이프(5) 상에서 직렬 방향 및/또는 병렬 방향으로 배열된 복수의 TCP를 동시에 시험에 제공하도록 하여도 좋다.
TCP 핸들러(2)는 권출릴(21)과 권취릴(22)을 구비하고 있고, 권출릴(21)에는 시험전의 캐리어 테이프(5)가 감겨져 있다. 캐리어 테이프(5)는 권출릴(21)로부터 풀려져서 시험에 제공된 후에 권취릴(22)에 감겨진다.
권출릴(21)과 권취릴(22)의 사이에는 캐리어 테이프(5)에서 박리된 보호 테이프(51)를 권출릴(21)로부터 권취릴(22)로 건네는 3개의 스페이서롤(23a), (23b), (23c)이 설치되어 있다. 각 스페이서롤(23a),(23b),(23c)은 보호 테이프(51)의 장력을 조정할 수 있도록 각각 상하로 가동할 수 있게 되어 있다.
권출릴(21)의 하측에는 테이프 가이드(24a), 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로킷(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)가 설치되어 있고, 권출릴(21)로부터 풀려진 캐리어 테이프(5)는 테이프 가이드(24a)에 의해 가이드되면서, 권출 리미트 롤러(25a), 내측 서브 스프로킷(25b) 및 내측 가이드 롤러(25c)를 거쳐 푸셔 유닛(3)으로 반송된다.
권취릴(22)의 하측에는 테이프 가이드(24b), 권취 리미트 롤러(25f), 외측 서브 스프로킷(25e) 및 외측 가이드 롤러(25d)가 설치되어 있고, 시험에 제공된 후의 캐리어 테이프(5)는 외측 가이드 롤러(25d), 외측 서브 스프로킷(25e) 및 권취 리미트 롤러(25f)를 거쳐 테이프 가이드(24b)에 의해 가이드되면서, 권취릴(22)에 감겨진다.
그리고 내측 가이드 롤러(25c)와, 외측 가이드 롤러(25d)의 사이에는 푸셔 유닛(3)이 설치되어 있다.
도1 및 도2에 도시한 바와 같이, 푸셔 유닛(3)의 프레임(푸셔프레임)(36)에는 볼 나사(32)를 회전시킬 수 있는 서보 모터(31)가 브래킷(361)을 개재하여 설치되어 있는 동시에, 볼 나사(32)가 나사 결합되어 있는 푸셔 본체부(33)가 2개의 Z축 방향의 리니어 모션 가이드(이하 「LM가이드」라 한다.)(37)를 개재하여 설치되어 있다. 이 푸셔 본체부(33)는 서보 모터(31)를 구동시킴으로써 리니어 모션 가이드(37)에 가이드되면서, 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다.
이 푸셔 본체부(33)의 하단부에는 부압원(도시 생략)에 접속되어 캐리어 테이프(5)를 흡착 홀드할 수 있는 흡착 플레이트(34)가 설치되어 있다.
푸셔 본체부(33)의 전단측(도1에서 좌측)에는 텐션 스프로킷(35a)이 설치되어 있고, 푸셔 본체부(33)의 후단측(도1에서 우측)에는 메인 스프로킷(35b)이 설치되어 있어, 소망의 장력으로 캐리어 테이프(5)를 홀드할 수 있도록 되어 있다.
도2 및 도3에 도시한 바와 같이, 푸셔 프레임(36)에서의 푸셔 본체부(33)의 배면측에는 기대(38)에 올려지도록 하여 푸셔 스테이지(4)가 설치되어 있고, 푸셔 스테이지(4)의 회전대인 톱 테이블(48)은 푸셔 프레임(36)에 고정되어 있다.
푸셔 스테이지(4)의 베이스(40) 상에는 X축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42a)를 회전시키는 서보 모터(41a)와, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42b)를 회전시키는 서보 모터(41b)와, Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(42c)를 회전시키는 서보 모터(41c)가 설치되어 있고, 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)는, 각각 베이스(40) 상의 양단부에 위치하고 있다.
볼 나사(42a)에는 X축 방향의 LM가이드(43a), (43a)에 가이드되어 X축 방향으로 슬라이드 가능한 슬라이드 블록(44a)이 나사 결합되어 있다. 슬라이드 블록(44a)에는 Y축 방향의 LM가이드(45a)를 개재하여 슬라이드판(46a)이 Y축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 슬라이드판(46a)의 상측에는 내부에 롤러링을 갖는 회전부재(47a)가 고정되어 있고, 회전부재(47a)는 톱 테이블(48)에 회전이 자유롭게 설치되어 있다.
볼 나사(42b)에는 Y축 방향의 LM가이드(43b), (43b)에 가이드되어 Y축 방향으로 슬라이드 가능한 슬라이드 블록(44b)이 나사 결합되어 있다. 슬라이드 블록(44a)에는 X축 방향의 LM가이드(45b)를 개재하여 슬라이드판(46b)이 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 슬라이드판(46b)의 상측에는 내부에 롤러링을 갖는 회전부재(47b)가 고정되어 있고, 회전부재(47b)는 톱 테이블(48)에 회전이 자유롭게 설치되어 있다.
볼 나사(42c)에는 Y축 방향의 LM가이드(43c), (43c)에 가이드되어 Y축 방향에 슬라이드 가능한 슬라이드 블록(44c)이 나사 결합되어 있다. 슬라이드 블록(44c)에는 X축 방향의 LM가이드(45c)를 개재하여 슬라이드판(46c)이 X축 방향으로 슬라이드 가능하도록 설치되어 있다. 슬라이드판(46c)의 상측에는 내부에 롤러링을 갖는 회전부재(47c)가 고정되어 있고, 회전부재(47c)는 톱 테이블(48)에 회전이 자유롭게 설치되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 푸셔 스테이지(4)에 있어서는 서보 모터(41a)를 구동하여 슬라이드 블록(44a)과, 슬라이드판(46b) 및 슬라이드판(46c)을 X축 방향으로 슬라이드시킴으로써, 톱 테이블(48)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)를 구동하여 슬라이드 블록(44b), 슬라이드 블록(44c) 및 슬라이드판(46a)을 Y축 방향으로 슬라이드시킴으로써, 톱 테이블(48)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 나아가서는 서보 모터(41a)를 구동하여 슬라이드 블록(44a)을 X축 방향으로 슬라이드시키는 동시에 서보 모터(41b) 및 서보 모터(41c)를 구동하여 슬라이드 블록(44b) 및 슬라이드 블록(44c)을 서로 Y축 반대 방향으로 슬라이드시키고, 그리고 각 회전부재(47a), (45b), (45c)를 회전시킴으로써, 톱 테이블(48)을 그 수직축 둘레로 회전시킬 수 있다. 이와 같은 푸셔 스테이지(4)에 따르면, 푸셔 유닛(3)을 X축-Y축 방향으로 이동시키는 것 및 수직축 둘레로 회전 이동 시킬 수 있다.
한편, 도1에 도시한 바와 같이 푸셔 유닛(3)의 하측으로서, 테스트 헤드(10)의 상부에는 프로브 카드(8)를 탑재한 프로브 카드 스테이지(7)가 설치되어 있다. 여기에서 프로브 카드 스테이지(7)는 모터 구동 기구로 이동 제어할 수 있는 것과, 수동 조정 기능만을 갖는 것이 있지만, 본 실시형태에서는 모터 구동 기구를 갖는 것으로 한다.
도4 및 도5에 도시한 바와 같이, 프로브 카드 스테이지(7)의 기대(71) 상에는 X축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(712)를 회전시키는 서보 모터(711)와, 4개의 X축 방향의 LM가이드(713)가 설치되어 있다. 이러한 4개의 LM가이드(713) 상에는 각 LM가이드(713)에 의해 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 가이드되는 직사각형의 X베이스(72)가 설치되어 있다. 이 X베이스(72)의 일측부에는 볼 나사(712)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(721)가 형성되어 있다.
X베이스(72) 상에는 Y축 방향으로 축을 갖는 볼 나사(723)를 회전시키는 서보 모터(722)와, 2개의 Y축 방향의 LM가이드(724)가 설치되어 있다. 이러한 2개의 LM가이드(724) 상에는 각 LM가이드(724)에 의해 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 가이드되는 직사각형의 Y베이스(73)가 설치되어 있다. 이 Y베이스(73)의 일측부에는 볼 나사(723)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(731)가 형성되어 있다.
Y베이스(73) 상에는 Y축 방향에 축을 갖는 볼 나사(733)를 회전시키는 서보 모터(732)와, 카드링(735)을 회전이 자유롭게 지지하는 접속링(734)이 설치되어 있다. 카드링(735)의 일부에는 볼 나사(733)가 나사 결합되어 있는 나사 결합부(736)가 형성되어 있다. 프로브 카드(8)는 4개의 핀(82)에 의해 상기 카드링(735)에 착탈이 자유롭게 설치되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 프로브 카드 스테이지(7)에서는 서보 모터(711)를 구 동함으로써, X베이스(72), 나아가서는 프로브 카드(8)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 서보 모터(722)를 구동함으로써 Y베이스(73), 나아가서는 프로브 카드(8)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한 서보 모터(732)를 구동하여 볼 나사(733)를 회전시켜 나사 결합부(736)를 이동시킴으로써, 카드링(735) 및 프로브 카드(8)를 그 수직축 둘레로 회전시킬 수 있다. 또한 TCP 핸들러(2)는 서보 모터(711),(722),(732)의 구동을 자동으로 제어할 수 있는 제어 장치를 구비하고 있고, 이에 따라 프로브 카드(8)를 X축 방향, Y축 방향 및 수직축 둘레로 자동으로 이동시킬 수 있다.
또한 도시하지 않았지만, 프로브 카드 스테이지(7)의 기대(71)에는 프로브 카드 스테이지(7)(프로브 카드(8))의 수평도를 조정하는 수평도 조정 기구가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는 이 수평도 조정 기구는 외부로부터의 신호의 입력에 의해 자동 제어 할 수 있는 것으로 한다. 이러한 수평도 조정 기구는, 예를 들어 기대(71)의 저부 네귀퉁이에 설치된, 모터 구동에 의해 상하 이동 가능한 다리부 등에 의해 구성할 수 있다.
도4~도6에 도시한 바와 같이, 프로브 카드(8)는 복수의 프로브(81)를 구비하고 있고, 각 프로브(81)는 테스트 헤드(10)를 통하여 테스터 본체에 전기적으로 접속되어 있다. 각 프로브(81)의 선단 부분은 캐리어 테이프(5)의 방향을 향하여 세워져 있고, 프로브(81)의 선단이 TCP의 테스트 패드와의 접촉부로 되어 있다.
도1에 도시한 바와 같이, 푸셔 유닛(3)의 전단측(도1에서 좌측)에 제1카메라(6a)가, 테스트 헤드(10)의 하측에 제2카메라(촬상 장치)(6b)가, 푸셔 유닛(3)의 후단측(도1에서 우측)에 제3카메라(6c)가 각각 설치되어 있다. 또한 도1 및 도6에 도시한 바와 같이, 푸셔 유닛(3)과 프로브 카드(8)의 사이에는 제4카메라(6d)가 설치되어 있다. 또한 테스트 헤드(10)에는 제2카메라(6b)가, TCP의 테스트 패드 및 프로브 카드(8)의 프로브(81)를 촬영할 수 있는 틈이 형성되어 있다.
푸셔 유닛(3)과 제3카메라(6c)의 사이에는 마크 펀치(26a) 및 리젝트 펀치(26b)가 설치되어 있다. 마크펀치(26a)는 시험의 결과에 근거하여 해당하는 TCP에 대해 소정의 위치에 1개 또는 복수개의 구멍을 뚫는 것이며, 리젝트펀치(26b)는 시험의 결과 불량품인 것으로 판단된 TCP를 펀칭하는 것이다.
각 카메라(6a), (6b), (6c),(6d)는 이러한 카메라에 의해 촬영된 화상을 오퍼레이터가 육안으로 확인 가능하도록 표시 장치(9)에 표시한다. 표시 장치(9)는 화상 처리부와 각 카메라(6a), (6b), (6c),(6d)가 촬영한 화상을 표시하는 모니터를 갖고 있다.
상기의 카메라 중, 제1카메라(6a) 및 제3카메라(6c)는 캐리어 테이프(5) 상에서의 TCP의 유무나 마크펀치(26a)에 의한 구멍의 위치나 수를 판단하기 위한 것이다. 한편, 제2카메라(6b) 및 제4카메라(6d)는 TCP와 프로브 카드(8)와의 사이의 위치 어긋남 정보를 취득하기 위한 것이며, 시야내의 복수의 대상에 대하여 위치 어긋남 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다.
제2카메라(6b)는 카메라 스테이지(61) 상에 탑재되어 있고, 카메라 스테이지(61)가 갖는 액츄에이터에 의해서 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향) 및 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 제2카메라(6b)가 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향)으로 이동함으로써, 제2카메라(6b)가 TCP의 서로 다른 위치에 있는 복수의 테스트 패드 및 프로브 카드(8)의 서로 다른 위치에 있는 프로브(81)를 촬영할 수 있다.
또한 제2카메라(6b)가 상하 방향(Z축방향)으로 이동함으로써, 제2카메라(6b)의 초점 위치를 변경하여 촬상목표인 테스트 패드의 소망의 부위에 초점을 맞출 수 있다. 이에 따라 촬상목표 부위의 명료한 윤곽 화상을 취득할 수 있다. 또한 상기 제2카메라(6b)에 의해서는 프로브(81)의 선단부를 직접 촬영할 수 없다.
도1 및 도6에 도시한 바와 같이, 제4카메라(6d)는 카메라 스테이지(62)로부터 늘어져 있는 아암(63)의 선단부에 설치되어 있고, 카메라 스테이지(62)가 갖는 액츄에이터에 의해 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향)으로 이동 가능하게 되어 있다. 따라서 제4카메라(6d)는 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이에 삽입되는 것 및 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이로부터 퇴출하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한 제4카메라(6d)가 평면에서 볼 때 종횡 방향(X축-Y축 방향)으로 이동함으로써, 제4카메라(6d)가 TCP의 서로 다른 위치에 있는 복수의 테스트 패드 및 프로브 카드(8)의 서로 다른 위치에 있는 프로브(81)를 촬영할 수 있기 때문에, TCP와 프로브 카드(8)의 위치 어긋남량을 보다 양호한 정밀도로 구할 수 있다.
제4카메라(6d)는 제4카메라(6d)의 상측 및 하측을 각각 동시에 촬영할 수 있는 것이다. 따라서 제4카메라(6d)가 캐리어 테이프(5)와 프로브(81)의 사이에 삽입된 때에는, 제4카메라(6d)에 의해 TCP의 테스트 패드 및 프로브(81)의 선단부를 동시에 촬영할 수 있다. 이러한 제4카메라(6d)에 따르면 제2카메라(6b)에 의해서 촬 영할 수 없는 프로브(81)의 선단부를 직접 촬영할 수 있기 때문에, 프로브(81)의 선단부(테스트 패드와의 접촉면)의 위치 정보(좌표데이터)를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 또한 제2카메라(6b)보다도 가까운 위치에서 TCP의 테스트 패드를 촬영할 수 있기 때문에, 테스트 패드의 위치 정보(좌표데이터)를 높은 정밀도로 취득할 수 있다.
본 실시형태에서의 제4카메라(6d)는 프로브(81)의 선단부를 촬영할 수 있기 때문에, 그 촬영된 화상에 근거하여 프로브(81)의 선단 휨 등의 변형 정보를 취득할 수 있다. 예를 들어 변형되지 않은 정상인 상태의 프로브(81)의 화상을 기준 화상으로서 기억해 놓고, 촬영된 프로브(81)의 화상과 기준 화상을 비교함으로써 프로브(81)가 변형되어 있는지 아닌지를 판단할 수 있는 것이 가능하다.
또한 본 실시형태에서의 제4카메라(6d)는, 제4카메라(6d)와 프로브(81)의 선단부의 사이의 거리 정보를 취득할 수 있도록 되어 있다. 거리 정보의 취득은, 예를 들어 카메라의 오토 포커스 기능을 이용함으로써 수행하는 것이 가능하다.
제4카메라(6d)가 그 제4카메라(6d)와 복수의 프로브(81)의 선단부의 사이의 거리 정보를 취득함으로써, 프로브 카드(8)의 수평도를 판단할 수 있다. 예를 들어 제4카메라(6d)와, 프로브 카드(8)의 X축 플러스 방향에 위치하는 프로브(81)군과의 거리가 제4카메라(6d)와, 프로브 카드(8)의 X축 마이너스 방향에 위치하는 프로브(81)군과의 거리보다도 짧을 경우, 프로브 카드(8)가 X축 플러스 방향에 걸쳐서 위쪽으로 기울어져 있다고 판단할 수 있다.
상기와 같이 하여 취득한 거리 정보 또는 상기 거리 정보에 근거한 수평도 정보를 프로브 카드 스테이지(7)의 기대(71)에 설치되어 있는 수평도 조정 기구에 대하여 출력하고, 상기 수평도 조정 기구를 제어함으로써 프로브 카드(8)를 자동적으로 수평위치로 조정하는 것이 가능하다.
또한 본 실시형태에서의 제4카메라(6d)는 상측(캐리어 테이프(5)) 및 하측(프로브(81))을 각각 동시에 촬영할 수 있는 것이지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 카메라 자체가 반전함에 따라 또는 카메라 내의 광로를 교체함에 따라 상측(캐리어 테이프(5)) 및 하측(프로브(81))을 각각 촬영할 수 있는 카메라이더라도 좋으며, 상측(캐리어 테이프(5))을 촬영하는 카메라와 하측(프로브(81))을 촬영하는 카메라 2대가 설치되어도 좋다.
다음으로 TCP 핸들러(2)의 사용방법 및 동작에 대하여 설명한다. TCP 핸들러(2)를 사용할 경우에는, TCP 핸들러(2)를 실가동시키기 전에 미리 프로브 카드(8)의 모든 프로브(81)의 선단부가, 대응하는 테스트 패드의 중앙위치로 위치 결정되도록 프로브 카드(8)를 이동시키는 초기 설정을 수행할 필요가 있다. 즉, TCP의 품종을 변경한 경우나 다른 생산로트의 TCP를 시험할 경우, 또는 프로브 카드(8)를 변경한 경우에는 TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)가 확실하게 접촉하도록 프로브 카드 스테이지(7)의 X축 위치/Y축 위치/θ회전각의 기준위치를 결정하고 등록할 필요가 있다(이 위치를 「등록 위치」라고 한다).
도7A~도7C는 상기 TCP 핸들러(2)의 초기 설정의 동작을 도시한 플로우 챠트도이다.
TCP 핸들러(2)는 초기 설정의 동작을 개시하면, 기준이 되는 TCP를 시험 위 치까지 반송하는 동시에(스텝S01), 카메라 스테이지(62)를 구동하여 제4카메라(6d)를 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입한다(스텝S02; 도6(b)).
그리고 제4카메라(6d)에 의해 TCP에서 다수의 테스트 패드 중의 일단부에 위치하는 복수의 테스트 패드를 촬영하는 동시에, 그러한 테스트 패드에 대응하는 복수의 프로브(81)의 선단부를 촬영한다(스텝S03)).
또한, 본 실시형태에서는 제4카메라(6d)가 상측에서 촬영하는 것은 TCP의 테스트 패드이지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아닌, TCP에 제공된 소정의 마크를 촬영하여도 좋고, 패키지의 각부 등, 특징적인 부위 또는 캐리어 테이프(5)에 제공된 얼라인먼트 마크를 촬영하여도 좋다. 단, 그것들은 TCP의 테스트 패드의 좌표데이터에 관련되도록 설치되어 있는 것으로 한다.
또한, 본 실시형태에서는 제4카메라(6d)가 하측에서 촬영하는 것은 프로브 카드(8)의 프로브(81)의 선단부이지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아닌, 프로브 카드(8)에 상기 프로브 카드(8)의 자세를 대표하는 자세침을 복수개 설치하고, 그 자세침의 선단부를 촬영하도록 하여도 좋다. 여기에서 자세침은 그 자세침의 선단부가 프로브(81)의 선단부의 좌표데이터에 관련되도록 설치되어 있는 것으로 한다. 즉, 자세침의 선단부의 좌표데이터를 취득함으로써, 프로브(81)의 선단부의 좌표데이터를 추정하는 것이 가능하게 되어 있다.
TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 제4카메라(6d)의 상측을 촬영한 화상(제1상측 화상)에 근거하여, 상기 제1상측 화상에 포함되는 복수의 테스트 패드의 중심부 의 각각의 좌표데이터(Xpd1, Ypd1)를 취득한다(스텝S04). 마찬가지로 TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 제4카메라(6d)의 하측을 촬영한 화상(제1하측 화상)에 근거하여, 상기 제1하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)의 선단부의 각각의 좌표데이터(Xpb1, Ypb1)를 취득한다(스텝S04). 또한 본 동작에서 얻어지는 각 좌표데이터는 카메라 스테이지(62)의 좌표계에 매핑을 하는 것으로 한다.
다음으로 TCP 핸들러(2)는 카메라 스테이지(62)에 의해 제4카메라(6d)를 이동시켜, 제4카메라(6d)에 의해 TCP에서 다수의 테스트 패드 중의 다른 단부에 위치하는 복수의 테스트 패드를 촬영하는 동시에, 그것들의 테스트 패드에 대응하는 복수의 프로브(81)의 선단부를 촬영한다(스텝S05).
TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는, 제4카메라(6d)의 상측을 촬영한 화상(제2상측 화상)에 근거하여 상기 제2상측 화상에 포함되는 복수의 테스트 패드의 중심부의 각각의 좌표데이터(Xpd2, Ypd2)를 취득한다(스텝S06). 마찬가지로 TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 제4카메라(6d)의 하측을 촬영한 화상(제2하측 화상)에 근거하여 상기 제2하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)의 선단부의 각각의 좌표데이터(Xpb2, Ypb2)를 취득한다(스텝S06).
여기에서 제4카메라(6d)는 캐리어 테이프(5)(TCP)에 가까운 위치로부터 TCP의 테스트 패드를 촬영하기 때문에, 테스트 패드의 중심부의 좌표데이터(Xpd1, Ypd1), (Xpd2, Ypd2)를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 또한, 제4카메라(6d)는 프로브(81)의 선단부(테스트 패드와의 접촉면)를 직접 촬영하기 때문에, 프로브(81)의 접촉면의 좌표데이터(Xpb1, Ypb1), (Xpb2, Ypb2)를 높은 정밀도로 취득할 수 있다. 이에 따라 TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)의 위치 맞춤을 매우 정확히 수행할 수 있다.
TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는, 취득한 테스트 패드의 중심부의 좌표 데이터(Xpd1, Ypd1) 및 (Xpd2, Ypd2)에 근거하여 제1상측 화상에 포함되는 테스트 패드의 중심부의 위치 좌표 및 제2상측 화상에 포함되는 테스트 패드의 중심부의 위치 좌표를 지나는 직선(테스트 패드의 배열)의 X축 방향의 직선과의 각도(제1 각도(θpd1)을 연산한다(스텝S07).
또한, TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 취득한 프로브(81)의 접촉면의 좌표데이터(Xpb1, Ypb1) 및 (Xpb2, Ypb2)에 근거하여, 제1하측 화상에 포함되는 프로브(81)의 선단부의 위치 좌표 및 제2하측 화상에 포함되는 프로브(81)의 선단부의 위치 좌표를 지나는 직선(프로브(81)의 배열)의 X축 방향의 직선과의 각도(제2각도(θpb2)를 연산한다(스텝S07).
다음으로 TCP 핸들러(2)는 스텝S07에서 얻어진 제1각도(θpd1) 및 제2각도(θpb2)의 차분치Δθ를 연산한다(스텝S08). 그리고 얻어진 차분치(Δθ)의 절대치가 소정치(D)보다도 클 경우에는(스텝S09, Yes), TCP 핸들러(2)는 차분치(Δθ)에 근거하여 프로브 카드 스테이지(7)를 회전 이동시키고(스텝S10), 차분치(Δθ)의 절 대치가 소정치(D)이하가 된 경우에(스텝S11, Yes), 프로브 카드 스테이지(7)의 회전 이동을 정지한다(스텝S12). 한편, 스텝S09에서 차분치(Δθ)의 절대치가 소정치(D) 이하인 경우에는(스텝S09, No), 프로브 카드 스테이지(7)를 회전 이동시키지 않고 스텝S13으로 진행한다.
다음으로 TCP 핸들러(2)는 카메라 스테이지(62)에 의해 제4카메라(6d)를 이동시켜서, 제4카메라(6d)에 의해 상기 제1하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)를 다시 촬영한다(스텝S13). 이에 따라 스텝S10에서 프로브 카드(8)가 수직축 둘레로 이동하여, 목적으로 하는 프로브(81)가 제4카메라(6d)의 시야로부터 벗어난 경우이어도, 다시 촬영할 수 있다. TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 촬영된 화상(제3하측 화상)에 근거하여 상기 제3하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)의 좌표데이터(Xpb3, Ypb3)를 취득한다(스텝S14).
마찬가지로 TCP 핸들러(2)는 카메라 스테이지(62)에 의해 제4카메라(6d)를 이동시키고, 제4카메라(6d)에 의해 상기 제2하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)의 선단부를 다시 촬영한다(스텝S15). TCP 핸들러(2)의 화상 처리부는 촬영된 화상(제4하측 화상)에 근거하여 상기 제4하측 화상에 포함되는 복수의 프로브(81)의 선단부의 좌표데이터(Xpb4, Ypb4)를 취득한다(스텝S16).
이어서 TCP 핸들러(2)는 테스트 패드의 2개소의 좌표데이터(Xpd1, Ypd1) 및 (Xpd2, Ypd2)와, 프로브(81)의 선단부의 2개소의 좌표데이터(Xpb3, Ypb3) 및 (Xpb4, Ypb4)로부터 테스트 패드와 프로브(81)의 접촉면의 X성분 및 Y성분의 차분치(ΔX,ΔY)를 연산한다(스텝S17). 그리고 얻어진 차분치(ΔX,ΔY)의 절대치가 소정치 P보다도 클 경우에(스텝S18, Yes), TCP 핸들러(2)는 차분치(ΔX,ΔY)에 근거하여 프로브 카드 스테이지(7)를 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동시키고(스텝S19), 차분치(ΔX,ΔY)의 절대치가 소정치(P) 이하가 된 경우에(스텝S20, Yes) 프로브 카드 스테이지(7)의 이동을 정지하고(스텝S21), 프로브 카드 스테이지(7)의 그 위치를 등록한다(스텝S22). 한편, 스텝S18에서 차분치(ΔX,ΔY)의 절대치가 소정치(P) 이하인 경우에는(스텝S18, No), 프로브 카드 스테이지(7)를 이동시키지 않고, 그 위치를 등록한다(스텝S22). 또한 이 위치 상태에서의 각 프로브(81)의 선단부를 제4카메라(6d)에 의해 촬영하고 기준화상으로서 기억해 두는 것이 바람직하다.
그리고 카메라 스테이지(62)를 구동하여, 제4카메라(6d)를 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이로부터 퇴출시킨다(스텝S23; 도6(a)). 이와 같이 하여 TCP 핸들러(2)는 초기 설정을 종료한다.
이상과 같이 본 실시형태에 따른 TCP 핸들러(2)에 따르면, TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)와의 위치 맞춤을 자동적으로, 또한 특징부(84)를 이용하여 매우 정확히 수행할 수 있다. 특히 본 실시형태에서는 수직축 둘레의 위치 맞춤과 X축 방향·Y축 방향의 위치 맞춤을 따로따로 순차 수행함으로써, TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)의 위치 맞춤을 보다 정확히 수행할 수 있다. 따라서 TCP 핸들러(2)의 초기 설정을 단시간에 효율적으로 수행할 수 있다.
이상의 초기 설정이 종료하면, TCP 핸들러(2)는 실가동을 개시한다. 즉, TCP 핸들러(2)는 캐리어 테이프(5)를 반송하여 복수의 TCP를 순차 시험에 제공한다.
TCP 핸들러(2)는 실가동 중에서도 TCP의 테스트 패드와 프로브 카드(8)의 프로브(81)와의 위치 맞춤을 수행하는 것이 바람직하다. 이 경우에는 제4카메라(6d)가 아닌, 제2카메라(6b)를 사용하여 TCP의 테스트 패드 및/또는 프로브 카드(8)의 프로브(81)를 촬영하는 것이 바람직하다. 제4카메라(6d)를 사용할 경우, TCP의 시험마다 카메라 스테이지(62)를 구동하여 제4카메라(6d)를 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입하거나, 그것들의 사이로부터 퇴출시키거나 할 필요가 있어, 처리율이 저하되기 때문이다.
TCP 핸들러(2)는 실가동 중에 접촉불량가 발생한 때, 또는 접촉률이 저하된 때에 카메라 스테이지(62)를 구동하여 제4카메라(6d)를 캐리어 테이프(5)와 프로브 카드(8)의 사이에 삽입하고, 접촉불량가 발생한 프로브(81) 또는 접촉률이 저하되고 있는 프로브(81)의 선단부를 제4카메라(6d)에 의해 촬영하도록 하여도 좋다. 이 촬영에 의해 취득한 화상과, 등록시에 기억된 기준화상을 비교함으로써, 상기 프로브(81)가 변형되어 있는지 아닌지를 판단하는 것이 가능하다. 이에 따라 프로브 카드(8)를 결국 테스트 헤드(10)로부터 떼어내서 프로브(81)의 선단 휨 등을 육안으로 판단할 필요가 없게 된다.
또한, 이와 같은 실가동 중에서의 프로브(81)의 선단부의 촬영은 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행하도록 하여도 좋다. 이에 따라 접촉불량이나 접촉률의 저하를 미연에 방지할 수 있다.
이상 설명한 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 기재된 것 으로서, 본 발명을 한정하기 위하여 기재된 것은 아니다. 따라서 상기 실시형태에 개시된 각 요소는, 본 발명의 기술적 범위에 속하는 모든 설계 변경이나 균등물도 포함하는 취지이다.
예를 들어 제2카메라(6b)는 생략되고, 제4카메라(6d)만을 이용하여 위치 맞춤을 수행하여도 좋다. 이와 같은 구성에 따르면 제2카메라(6b)에 의한 촬영을 위하여 테스트 헤드(10)에 스페이스나 구멍을 설치할 필요가 없다.
또한, 예를 들어 상기 실시형태에서는 TCP 및 프로브 카드(8)의 수직축 둘레의 위치 맞춤과 평면 방향의 위치 맞춤을 따로따로 수행하도록 했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 양자를 동시에 수행하여도 좋다. 구체적으로는 스텝S03, S05에서 취득한 테스트 패드의 좌표데이터(Xpd1, Ypd1) 및 (Xpd2, Ypd2)와, 프로브(81)의 선단부의 좌표데이터(Xpb1, Ypb1) 및 (Xpb2, Ypb2)에 근거하여 수직축 둘레의 위치 어긋남량 및 X축 방향 및 Y축 방향의 위치 어긋남량을 구하고, 그러한 위치 어긋남량에 근거하여 프로브 카드 스테이지(7)를 수직축 둘레/X축 방향/Y축 방향으로 이동시켜서 테스트 패드와 프로브(81)의 위치 맞춤을 수행하여도 좋다. 이에 따라 TCP와 프로브 카드(8)의 위치 어긋남 보정의 작업 시간이 보다 단축된다.
또한 상기 실시형태에서는, TCP 및 프로브 카드(8)의 위치 맞춤을 프로브 카드 스테이지(7)에 의한 프로브 카드(8)의 이동에 따라서 수행하도록 했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 푸셔 스테이지(4)에 의한 푸셔 유닛(3)·캐리어 테이프(5)의 이동에 의해서 수행하도록 하여도 좋고, 프로브 카드 스테이지(7)에 의한 프로브 카드(8)의 이동 및 푸셔 스테이지(4)에 의한 푸셔 유닛(3)·캐리어 테이프(5)의 이동인 양자에 의해 수행하도록 하여도 좋다.
본 발명은 TCP 핸들링 장치의 초기 설정시에서 측정부(프로브 카드)의 접속 단자와 TCP의 외부 단자의 위치 맞춤 작업을 정확히 수행하는데 유용하다.

Claims (14)

  1. TCP가 복수 형성된 캐리어 테이프를 반송하여, 테스트 헤드에 전기적으로 접속되어 있는 복수의 접속 단자를 갖는 측정부에 대하여 캐리어 테이프를 눌러, TCP의 외부 단자를 상기 측정부의 접속 단자에 접속시킴으로써, 복수의 TCP를 순차 시험에 제공할 수 있는 TCP 핸들링 장치로서,
    상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 위치할 수 있는 하나 또는 둘 이상의 촬상 장치를 구비하고 있고,
    상기 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영할 수 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부를 이동시킬 수 있는 측정부 이동 장치 및/또는 상기 측정부에 대한 캐리어 테이프의 위치를 변경할 수 있는 테이프 이동 장치를 더 구비하고 있고,
    상기 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위를 촬영하여 상기 소정 부위의 좌표데이터를 취득함과 동시에, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영하여 상기 선단부의 좌표데이터를 취득하고,
    상기 취득한 TCP의 소정 부위의 좌표데이터 및 상기 취득한 접속 단자 또는 자세침의 선단부의 좌표데이터로부터, 상기 TCP의 외부 단자와 상기 접속 단자의 선단부의 위치 어긋남량을 구하고,
    상기 위치 어긋남량에 근거하여, 상기 측정부 이동 장치 및/또는 상기 테이프 이동 장치에 의해 상기 측정부 및/또는 캐리어 테이프를 이동시켜, TCP의 외부 단자에 대한 상기 접속 단자의 위치 맞춤을 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치는 상기 촬상 장치와 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부의 사이의 거리 정보를 취득할 수 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부의 수평도를 조정하는 수평도 조정 기구를 더 구비하고 있고,
    상기 취득한 거리 정보에 근거하여 상기 수평도 조정 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치에 의해 상기 측정부의 접속 단자의 변형 정보를 취득할 수 있는 것을 특징으로하는 TCP 핸들링 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치는 비촬영시에는 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 위치하지 않고, 촬영시에 상기 캐리어 테이프와 상기 측정부의 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치로서 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위를 촬영하는 TCP 촬상 장치와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 촬영하는 접속 단자 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치로서 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위와, 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침의 선단부를 동시에 촬영하는 하나의 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 촬상 장치로서 촬상 장치 자체가 반전함으로써 또는 촬상 장치 내의 광로를 교체함으로써, 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위와, 상기 측정부의 접속 단 자 또는 자세침의 선단부를 각각 촬영할 수 있는 하나의 촬상 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위는, 상기 캐리어 테이프 상의 TCP의 외부 단자인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위는, 상기 캐리어 테이프에 제공된 얼라인먼트 마크인 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 TCP 핸들링 장치의 실가동 중에서의 상기 측정부의 접속 단자의 선단부의 촬영은, 피시험 TCP와 상기 접속 단자의 접촉불량 또는 접촉률의 저하를 지표로 하여 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 TCP 핸들링 장치의 실가동 중에서의 상기 측정부의 접속 단자의 선단부의 촬영은 시험 횟수를 지표로 하여 정기적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 TCP 핸들링 장치는, 상기 측정부의 아래쪽에 제2촬상 장치를 더 구비하고 있고,
    상기 TCP 핸들링 장치의 실가동 중 에는, 상기 제2 촬상 장치에 의해 상기 캐리어 테이프 상의 소정 부위 및/또는 상기 측정부의 접속 단자 또는 자세침을 촬영하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들링 장치.
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