JPS584940A - 半導体装置テストシステム - Google Patents
半導体装置テストシステムInfo
- Publication number
- JPS584940A JPS584940A JP56101941A JP10194181A JPS584940A JP S584940 A JPS584940 A JP S584940A JP 56101941 A JP56101941 A JP 56101941A JP 10194181 A JP10194181 A JP 10194181A JP S584940 A JPS584940 A JP S584940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- testing system
- tester
- counters
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ウェハース段階にてベレットの試験（以下Ｐ
Ｗｆエッタと言う）を行なう際の試験装置である半導体
装置テストシステムに関するものである。
Ｗｆエッタと言う）を行なう際の試験装置である半導体
装置テストシステムに関するものである。
ＰＷｆエック工程に於いて、ＬＩＳＩテストシステムは
ＬＳＩテスタープロービング装置そして周辺機器よ）構
成されておシ、従来は各構成単体での装置の信頼性につ
いては、ＰＷチェ、り＃ｌＫ点検する方法で、ＰＷチェ
ック中の装置の信頼性にっ鱒ては、測定ペレット（以下
、デバイスと−う）の不良数（連続７エイル数）のみに
鑑みて、これがある設定した数に達した時に、システム
を停止する機能を有するだけで、完全な方法ではなかつ
九。
ＬＳＩテスタープロービング装置そして周辺機器よ）構
成されておシ、従来は各構成単体での装置の信頼性につ
いては、ＰＷチェ、り＃ｌＫ点検する方法で、ＰＷチェ
ック中の装置の信頼性にっ鱒ては、測定ペレット（以下
、デバイスと−う）の不良数（連続７エイル数）のみに
鑑みて、これがある設定した数に達した時に、システム
を停止する機能を有するだけで、完全な方法ではなかつ
九。
そこで本発明は、システムの信頼性をリアルタイムチチ
ェックする機能をもつテストシステムを提供することを
目的とする。
ェックする機能をもつテストシステムを提供することを
目的とする。
本発明によれば、ベレットの試験に於いて、連続的には
不良と判定はされないがある特定の不良カテゴリーの項
目が他の不良カテゴリーの項目に比較し非常に多く、測
定デバイスに起因する問題ではなく、システムの異常（
例えばテスターの誤動作）に起因する場合の検出機構が
設けられてお〕％ある特定の不良カテゴリー又は指定し
た不良カテゴリーに個々のデバイスにＬじた制限数を指
定し、前記不良カテゴリーカウンターが制限数に達した
場合にシステムを停止してアラームを発生させ、オペレ
ーターに知らせると同時に、前記制隈数に達した不良カ
テゴリーの項目を周辺機器に出力するようにしている。
不良と判定はされないがある特定の不良カテゴリーの項
目が他の不良カテゴリーの項目に比較し非常に多く、測
定デバイスに起因する問題ではなく、システムの異常（
例えばテスターの誤動作）に起因する場合の検出機構が
設けられてお〕％ある特定の不良カテゴリー又は指定し
た不良カテゴリーに個々のデバイスにＬじた制限数を指
定し、前記不良カテゴリーカウンターが制限数に達した
場合にシステムを停止してアラームを発生させ、オペレ
ーターに知らせると同時に、前記制隈数に達した不良カ
テゴリーの項目を周辺機器に出力するようにしている。
この嫌な機能を加えることによ多、システムの信頼性を
リアルタイムでチェックすることができる。
リアルタイムでチェックすることができる。
以下、本発ｆｉ４を図面を参照して説明する０本発明の
一実施例として、第１図に於いて、ブロービンダ装置１
．Ｌ８Ｉテスター２および周辺機器３で構ｆ１．される
ＬＳＩテストシステムについて述べる。
一実施例として、第１図に於いて、ブロービンダ装置１
．Ｌ８Ｉテスター２および周辺機器３で構ｆ１．される
ＬＳＩテストシステムについて述べる。
不良カテゴリーカウンター４は、デバイス測定に於−て
フェイルとなりた場合％めらかじめプログラムで不良カ
テゴリーカウンターをインクリメントする目的で設けら
れておシ、１個とは限定せず、十数個から構成されてｉ
る。従来は、前記不良カテゴリーカウンターは単に＃＊
Ｊ足デバイスがどんなテスト項目で不良になりているか
を知る目的で設けられてｉたが、本発明扛、前記不良カ
テゴダーカウンターに検出回路５を接続し各不良カテゴ
リーカウンターのカウント数を監視して、あらかじめ設
定された制限カウント数に達したら、これを検出し、Ｌ
ＳＩテスターを停止し、かつプロービング装置も停止す
る。又、システムが停止した時点で、アラーム信号６を
発生する機能を持つ、前記制限カランＦａは、デバイス
の特性に応じた数に任意に設定できるのは言うまでもな
−１・以上の説明の如く、本発明によれば２ｗチェ。
フェイルとなりた場合％めらかじめプログラムで不良カ
テゴリーカウンターをインクリメントする目的で設けら
れておシ、１個とは限定せず、十数個から構成されてｉ
る。従来は、前記不良カテゴリーカウンターは単に＃＊
Ｊ足デバイスがどんなテスト項目で不良になりているか
を知る目的で設けられてｉたが、本発明扛、前記不良カ
テゴダーカウンターに検出回路５を接続し各不良カテゴ
リーカウンターのカウント数を監視して、あらかじめ設
定された制限カウント数に達したら、これを検出し、Ｌ
ＳＩテスターを停止し、かつプロービング装置も停止す
る。又、システムが停止した時点で、アラーム信号６を
発生する機能を持つ、前記制限カランＦａは、デバイス
の特性に応じた数に任意に設定できるのは言うまでもな
−１・以上の説明の如く、本発明によれば２ｗチェ。
タ工程でのペレット測定装置であるＬＳＩテストシステ
ムの信頼性をリアルタイムでチェ、りし、システムの不
具合による誤測定を極力低減させ、ウェハー内の良品ペ
レットの歩留〕を向上させるのに効果を発揮するフェイ
ルセーフ機能付ＬＳＩテストシステムが得られる。
ムの信頼性をリアルタイムでチェ、りし、システムの不
具合による誤測定を極力低減させ、ウェハー内の良品ペ
レットの歩留〕を向上させるのに効果を発揮するフェイ
ルセーフ機能付ＬＳＩテストシステムが得られる。
１１１図は、本発明の一実施例に、よるシステムプｏ１
り図である＊ＩＦｉ６プロービング装置％２はＬＳＩテ
スター％３は周辺機器、４ＩＩｉＬＳ Ｎテスター内に
構成される不要カテゴリーカランｌ−１５は検出回路、
６はアラーム信号である。
り図である＊ＩＦｉ６プロービング装置％２はＬＳＩテ
スター％３は周辺機器、４ＩＩｉＬＳ Ｎテスター内に
構成される不要カテゴリーカランｌ−１５は検出回路、
６はアラーム信号である。
Claims (1)
- 半導体装置の特性テスト５装置と、該特性テスト装置か
ら検出した該半導体装置の不良数を計数する手段と、こ
の計数手段の計数値が所定値もしくはそれ管超えたこと
を検出して前記特性テスト装置の異常を検出する手段と
を有することを特徴とする半導体装置テストシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101941A JPS584940A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置テストシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101941A JPS584940A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置テストシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584940A true JPS584940A (ja) | 1983-01-12 |
Family
ID=14313920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56101941A Pending JPS584940A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 半導体装置テストシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584940A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS604231A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-01-10 | Nec Corp | 半導体装置の検査方法 |
| JPH01125839A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 検査方法 |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP56101941A patent/JPS584940A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS604231A (ja) * | 1983-06-22 | 1985-01-10 | Nec Corp | 半導体装置の検査方法 |
| JPH0316781B2 (ja) * | 1983-06-22 | 1991-03-06 | Nippon Electric Co | |
| JPH01125839A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 検査方法 |
| JPH0719821B2 (ja) * | 1987-11-10 | 1995-03-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査方法 |
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