KR100748106B1 - 포토마스크 육안검사장치 - Google Patents

포토마스크 육안검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100748106B1
KR100748106B1 KR1020050082253A KR20050082253A KR100748106B1 KR 100748106 B1 KR100748106 B1 KR 100748106B1 KR 1020050082253 A KR1020050082253 A KR 1020050082253A KR 20050082253 A KR20050082253 A KR 20050082253A KR 100748106 B1 KR100748106 B1 KR 100748106B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
photomask
ball screw
visual inspection
guide
inspection apparatus
Prior art date
Application number
KR1020050082253A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050102596A (ko
Inventor
김광국
Original Assignee
코리아테크노(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코리아테크노(주) filed Critical 코리아테크노(주)
Priority to KR1020050082253A priority Critical patent/KR100748106B1/ko
Publication of KR20050102596A publication Critical patent/KR20050102596A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100748106B1 publication Critical patent/KR100748106B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803—Visual inspection
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

본 발명은 포토마스크 육안 검사장치에 관한 것이다.
이 장치는 기대(100); LM가이드(112)와, 볼스크류(113)와, 이 볼스크류(113)를 회동시키기 위한 제1구동모터(114)와, 이 볼스크류(113)에 나사맞춤되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭(111)을 갖춘 좌우간격조절부(110); 제2구동모터(122)와, 감속기(123)로 이루어진 구동부(120); 상기 구동부(120)의 제2구동모터축(124)에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체(131)와 이 회동체(131)내측에 설치되는 제3구동모터(134)와,구동풀리(135),종동풀리(137),벨트(136),볼스크류(132),LM가이드(133)여기에 접속되어 이동되는 이동체(138)의 회동부(130); 및 상기 회동부(130)의 이동체(138)에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼(140)를 포함하여서 된다.
이로써 포토마스크의 표면을 검사함에 있어 자동화 방식 구현을 통해 소형크기 마스크에서부터 대형 크기 마스크까지 자동 입력방식에 따라 안전하게 마스크를 고정하고 검사함으로써 포토마스크의 손상을 줄이고, 작업자의 안전성을 보장하며, 생산효율을 높이게 되었다.
육안검사장치.포토마스크.

Description

포토마스크 육안검사장치{The naked eye inspection apparatus for photo mask}
도 1은 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 전체 사시도이고,
도 2는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 좌,우 간격 조절부의 사시도이고,
도 3a,3b는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 좌,우 간격 조절부의 평면 개략도와,단면도이고,
도 4는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 구동부를 확대한 요부확대도이고,
도 5는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 회동부의 사시도이고,
도 6a는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 회동부를 발췌한 상태의 정면도이고,
도 6b는 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 회동부 평면개략이고,
도 7은 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 피검사물을 지지한 상태를 나타내는 개략사시도이고,
도 8은 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 그리퍼만의 발췌사시도이고,
도 9a, 9b는 각각 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치 그리퍼의 작용을 나 타내는 정면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100:기대, 101:받침판, 102:캐스터, 103:지지암, 104:위치고정부재,
110:좌우간격조절부, 111:이동블럭, 112:LM가이드, 113:볼스크류,
114:제1구동모터, 120: 구동부, 121:지지대, 122:제2구동모터,
123:감속기, 124:제2구동모터축, 130:회동부, 131:회동체,132:볼스크류,
133:LM가이드, 134:제3구동모터, 135:구동풀리, 136:벨트, 137:종동풀리,
138:이동체,140:그리퍼, 141:프레임, 142:실린더하우징, 143: 실린더,
144: 실린더축, 145:회동암, 146:직각턱부,
본 발명은 포토마스크용 육안검사장치에 관한 것으로 특히,포터마스크의 손상없이 지지됨과 아울러 표리면을 동시에 검사할 수 있는 육안검사장치에 관한 것이다.
종래 디스플레이 글라스등의 육안검사장치로는 여러가지가 알려져 있었다. 그 중 피검사물을 회전가능하게 한 육안검사장치가 등록실용신안제20-0271686호로 알려져 있었다.
이 장치는 대략 LM 가이드가 일정간격을 두고 복수개로 나열된 길이방향 양끝 일측에 완충구가 장착된 슬라이드장치를 상하 이중으로 교차되게 구성하고 고정 판과 회전판 사이 중앙부에 회전장치를 구성하고, 피동기어)가 장착된 피동축의 양측에 베어링이 장착되고 그 외부 양측에 고정구가 각각 장착되며 기어모터에 장착된 구동기어가 상기 피동기어에 체결되어 구성된 각도구동장치와 인장스프링 및 압축쇼바를 보조판과 회전판사이와, 보조판과 안착판 사이에 서로 교차방향이 되도록 형성하여 구성시킨 액정 디스플레이 글라스용 육안검사 장치이다.
그러나 이 육안 검사장치는 다음과 같은 몇몇 문제점이 있었다.
즉, 포토마스크 혹은 디스플레이 글라스등의 피검사물을 지지하기 위한 그립장치없이 지지용 구멍을 내야하는 문제점이 있었고,
또한,검사장치가 피검사물을 지지한 제1층의 지지판과, 제2층의 회동장치가 중첩되어 있고, 다시 그 저면측에 검사용 위치를 잡기 위한 경사조절장치가 저면의 중심부를 통하여 검사자의 앞에서 적당한 각도로 경사상태를 제공하기 위한 구조가 복잡하고, 특히, 피검사물이 지지판에 판상/고정되므로 피검사물의 타측면 검사를 할 수 없는 단점등이 있었다.
본 발명은 종래 이러한 육안검사장치들이 갖는 문제점을 감안하여 피검사물의 표리양면을 자유자재로 회동시켜 검사가 가능한 육안검사장치를 제공하고자 하는 데에 그 목적이 있다.
본 발명은 포토마스크 육안검사장치는 포토마스크의 표면을 검사하기 위하여 종래에 일일이 마스크 크기별 고정을 매뉴얼 방식으로 고정하고, 이에 무게가 중량화 됨에 따라 위험성이 증대되어지는 문제점을 해결하여 조작스크린을 통해 마스크 사이즈를 입력하면 모터에 의해 자동으로 마스크를 잡는자동화 방식을 통해 소형 크기 마스크에서부터 대형 크기 마스크까지 자동버튼에 따라 안전하게 마스크를 고정하고 검사하기 위한 검사장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
아울러 이러한 피검사물의 지지상태를 개선하여 포토마스크 손상을 줄이며, 피검사물의 다양한 사이즈에 대응하고 자동으로 손쉽게 검사 할 수 있도록 함으로써 파티클 발생을 줄이며, 경사각이 자유롭게 조절 가능하게끔 함으로써 제품과 작업자의 안전성을 개선한 포토마스크 육안 검사장치를 제공하는 데에 궁극적인 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명 포토마스크 육안 검사장치는,
받침판과, 이 받침판 저면에 이동가능하게 설치되는 캐스터와, 정지상태를 고정하기 위하여 상기 받침판에서 연장된 지지암과, 이 지지암에 설치된 위치고정부재로 이루어진 기대; 상기 받침판위에 두줄로 나란하게 설치된 LM가이드와, 이 LM가이드의 가운데에 설치된 볼스크류와, 이 볼스크류를 회동시키기 위한 제1구동모터와, 이 볼스크류에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭를 갖춘 좌,우 간격조절부; 상기 이동블럭들위에 소정높이로 수직설치된 좌,우 한쌍의 지지대와, 이 지지대의 상방에 설치되는 제2구동모터와, 감속기로 이루어진 구동부; 상기 구동부의 제2구동모터축에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체, 이 회동체내측에 설치되는 제3구동모터와, 구동하는 구동풀리와 종동풀리를 벨트로 연결하고, 이 종동풀리의 양측으로 볼스크류를 연결하 되,이 볼스크류에 나란하게 LM가이드를 설치하고, LM가이드와 볼스크류에 맞추어져 이동되며, 포토마스크를 일시 지지하기 위한 이동체로 이루어진 회동부; 및 상기 회동부의 이동체에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼를 포함하는 포토마스크용 검사장치로서 달성된다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 상기 그리퍼는,
포토마스크의 네 코너를 지지하기 위하여 상기 양측 한쌍의 회동체 단부측에 이동가능하게 설치된 이동체위에 볼팅/고정되는 프레임과, 이 프레임 위에 내측으로 상기 포토마스크 코너가 재치되는 직각턱부를 형성한 실린더하우징과, 상기 실린더하우징에 지지되는 실린더와, 실린더 축상에 설치되는 회동암으로 이루어짐이 바람직하다. 회동암과 직각턱부의 재질은 Peek로 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구제적으로 설명하면 다음과 같다.
첨부 도면중 도 1은 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 전체 사시도이다.
이 도면에서 도시하는 바와 같이 본 발명은 받침판(101)과, 이 받침판(101) 저면에 이동가능하게 설치되는 캐스터(102)와, 정지상태를 고정하기 위하여 상기 받침판(101)에서 연장된 지지암(103)과, 이 지지암(103)에 설치된 위치고정부재(104)로 이루어진 기대(100)와, 이 기대(100)상에 LM가이드(112)와, 이동블럭(111)을 설치한 좌,우 간격조절부(110)와, 이동블럭(111)위에 지지대(121)를 수직설치한 구동부(120)와, 이를 커버하는 커버부재(105)가 설치되며, 상기 구동부(120)사이에 포토마스크등의 피검사물이 그리퍼를 통하여 고정됨과 아울러 상기 구동부(120)에 축고정되어 전,후방향 회전은 물론 소정의 경사각을 유지하기 위한 회동부(130)와, 이 회동부(130)의 양단부에 각각 설치되는 그리퍼(140)로 이루어진다.
첨부 도면중 도 2는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 좌,우 간격 조절부의 사시도이고, 도 3a,3b는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 좌,우 간격 조절부의 평면개략도와, 그의 단면도이다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 좌우 간격조절부(110)는 상기 받침판(101)위에 두줄로 나란하게 설치된 LM가이드(112)와, 이 LM가이드(112)의 가운데에 설치된 볼스크류(113)와, 이 볼스크류(113)를 회동시키기 위한 제1구동모터(114)와, 이 볼스크류(113)에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드(112)에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭(111)를 갖추어서 된다.
첨부 도변중 도 4는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 구동부를 확대한 요부확대도이다.
이 도면에서 나타내는 구동부(120)는 상기 이동블럭(111)들위에 소정높이로 수직설치된 좌,우 한쌍의 지지대(121)와, 이 지지대(121)의 상방에 설치되는 제2구동모터(122)와, 감속기(123)로 이루어진다.
첨부 도면중 도 5는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 회동부의 사시도이고, 도 6a는 본 발명 포토마스크 육안 검사장치의 회동부를 발췌한 상태의 정면도이고,도 6b는 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 회동부 평면개략이다.
이 도면에 따르는 본 발명 회동부(130)는 상기 구동부(120)의 제2구동모터축 (124)에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체(131), 이 회동체(131)내측에 설치되는 제3구동모터(134)와, 구동하는 구동풀리(135)와 종동풀리(137)를 벨트(136)로 연결하고, 이 종동풀리(137)의 양측으로 볼스크류(132)를 연결하되,이 볼스크류(132)에 나란하게 LM가이드(133)를 설치하고, LM가이드(133)와 스크류바(132)에 맞추어져 이동되며, 포토마스크(A)를 일시 지지하기 위한 이동체(138)로 이루어진다.
첨부 도면중 도 7은 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 피검사물을 지지한 상태를 나타내는 개략사시도이고, 도 8은 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치의 그리퍼만의 발췌사시도이고, 도 9a, 9b는 각각 본 발명 포토마스크의 육안 검사장치 그리퍼의 작용을 나타내는 정면도이다.
상기 회동부(130)의 이동체(138)에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼(140)는 포토마스크(A)의 네 코너를 지지하기 위하여 상기 양측 한쌍의 회동체 단부측에 이동가능하게 설치된 이동체(138)위에 볼팅/고정되는 프레임(141)과, 이 프레임(141)위에 내측으로 상기 포토마스크 코너가 재치되는 직각턱부(146)를 형성한 실린더하우징(142)과, 상기 실린더하우징(146)에 지지되는 실린더(143)와, 실린더축(144)상에 설치되는 회동암(145)으로 이루어진다.
이와 같이 이루어진 본 발명의 작용을 상기 도면들을 통하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 포토마스크(A)의 좌,우간격을 조정하기 위하여 받침판(101)상에서 마주보는 양측 이동블럭(111)사이의 간격을 조정한다.
즉, 첨부 도면중 도 3a에서 도시하는 바와 같이 제1구동모터(114)로서 볼스 크류(113)을 정,역 선택하여 회전시키면 이동블럭(111)이 LM가이드(112)를 타고 마주보고 이동하면서 간격을 좁히거나 넓히면서 포토마스크(A)의 좌,우 간격이 결정된다.
이와 같이 포토마스크의 좌,우 간격이 결정되면 다음에는 포토마스크의 상,하 간격을 결정하여야 한다.
이것은 양측 회동부(130)의 그리퍼(140)사이의 간격을 조절하므로서 이루어진다.
즉, 상기 구동부(120)의 제2구동모터축(124)에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체(131)의 제3구동모터(134)를 구동하면 구동풀리(135)가 벨트(136)를 통하여 종동풀리(137)를 회동시키고, 종동풀리(137)는 다시 양측 스크류바(132)를 회전시키므로 LM가이드(133)와 볼스크류(132)에 맞추어져 이동되는 이동체(138)를 마주보면서 넓히거나 좁혀 그 간격을 조절할 수 있다. 물론 이때 이동체(138)상에는 그리퍼(140)이 볼팅/고정되어 있음을 전제한다.
이와 같이 피검사물인 포토마스크(A)의 상,하,좌,우의 길이가 결정되면 회동체(131)의 그리퍼(140)상에 포토마스크(A)를 올려 놓고 상기 양측 회동체(131) 단부측에 이동가능하게 설치된 이동체(138)위에 볼팅/고정된 그리퍼(140)로 지지하게 된다.
즉, 포토마스크(A)의 네 코너를 이 그리퍼(140)의 프레임(141)의 내측 직각턱부(146)에 올려 놓고 실린더하우징(142)에 설치된 제 실린더(143)를 구동시키면 도 9a와 도 9b에서 도시하는 바와 같이 실린더축(144)상의 회동암(145)이 회동하여 포토마스크(A)의 네 코너를 잠그게 된다.
이어서 포토마스크(A)가 지지되면 양측 회동부(130)사이에 재치되어 잠그어진 포토마스크(A)를 앞,뒤로 회전시켜 그 검사각도를 설정하여야 한다.
이때에는 상기 구동부(120)의 제2구동모터(122)를 구동하므로서 가능해지며, 그 구동방향이라든가 구동각도는 구동모터(122)의 제어수단에 의하여 가능하며, 구체적으로 검사자가 원하는 각도로 포토마스크(A)를 위치시키기 위하여 세부적인 각도나 회전방향등은 알려진 제어회로와 프로그램에 의하여 충분히 조정가능하므로 구체적인 제어방법의 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이 포토마스크의 전면 경사각도가 결정되면 검사자는 육안으로 포토마스크의 정면에서 파티클이나 이상유무를 확인하게 된다. 같은 방법으로 포토마스크를 완전히 반대방향으로 위치시켜 이면의 상태 역시 검사가 가능해진다.
이와 같이 검사가 끝나면 그리퍼(140)의 실린더(143)를 구동시켜 포토마스크의 네 코너 잠금상태를 해제시킨 뒤 분리시키면 된다.
이와 같은 본 발명 포토마스크 육안검사장치는 포토마스크에만 국한되지 않고 디스플레이용 글래스등 모든 표리면 육안 검사용 피검사물들에 적용할 수 있다.
한편, 본 발명 검사장치의 이동 및 설치는 받침판(101) 저면에 이동가능하게 설치되는 캐스터(102)로서 이동되며, 이동후 정지상태를 고정하기 위해서는 상기 받침판(101)에서 절첩/연장 가능한 지지암(103)의 위치고정부재(104)로 이동후의 위치를 견고하게 지지하게 된다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명 포토마스크 육안검사장치는 포토마스크의 표면을 검사하기 위하여 종래에 일일이 마스크 크기별 고정을 매뉴얼 방식으로 고정하고, 이에 무게가 중량화 됨에 따라 위험성이 증대되어지는 문제점을 해결하여 조작스크린을 통해 마스크 사이즈를 입력하면 모터에 의해 자동으로 마스크를 잡는 자동화 방식을 통해 소형 크기 마스크에서부터 대형 크기 마스크까지 자동버튼에 따라 안전하게 마스크를 고정하고 검사함으로써 포토마스크에 손상을 줄이고 작업자의 안전을 기하며, 작업 공정상 파티클 발생을 줄임으로써 포토마스크 생산에서의 효율을 높이는 효과를 갖는다.

Claims (4)

  1. 포토마스크 육안 검사장치에 있어서,
    소정높이로 수직설치된 좌,우 한쌍의 지지대(121)와, 이 지지대(121)의 상방에 설치되는 제2구동모터(122)와, 감속기(123)로 이루어진 구동부(120);
    상기 구동부(120)의 제2구동모터축(124)에 그 중심이 회동가능하게 축고정된 회동체(131), 이 회동체(131)내측에 설치되는 제3구동모터(134)와, 구동하는 구동풀리(135)와 종동풀리(137)를 벨트(136)로 연결하고, 이 종동풀리(137)의 양측으로 볼스크류(132)를 연결하되,이 볼스크류(132)에 나란하게 LM가이드(133)를 설치하고, LM가이드(133)와 볼스크류(132)에 맞추어져 이동되며, 포토마스크(A)를 일시 지지하기 위한 이동체(138)로 이루어진 회동부(130); 및
    상기 회동부(130)의 이동체(138)에 고정되어 포토마스크의 네 코너를 일시 지지하는 그리퍼(140)를 포함하는 포토마스크 육안 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    두 줄로 나란하게 설치된 LM가이드(102)와, 이 LM가이드(112)의 가운데에 설치된 볼스크류(113)와, 이 볼스크류(113)를 회동시키기 위한 제1구동모터(114)와, 이 볼스크류(113)에 나사맞춤됨과 동시에 상기 LM가이드(112)에 접속되어 양측에서 마주보게 설치된 이동블럭(111)을 갖춘 좌우간격조절부(110)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 육안 검사장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    받침판(101)과, 이 받침판(101) 저면에 이동가능하게 설치되는 캐스터(102)와, 정지상태를 고정하기 위하여 상기 받침판(101)에서 연장된 지지암(103)과, 이 지지암(103)에 설치된 위치고정부재(104)로 이루어진 기대(100)를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 육안 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 그리퍼(140)는,
    포토마스크(A)의 네 코너를 지지하기 위하여 상기 양측 한쌍의 회동체 단부측에 이동가능하게 설치된 이동체(138)위에 볼팅/고정되는 프레임(141)과, 이 프레임(141)위에 내측으로 상기 포토마스크 코너가 재치되는 직각턱부(146)를 형성한 실린더하우징(142)과, 상기 실린더하우징(146)에 지지되는 실린더(143)와, 실린더축(144)상에 설치되는 회동암(145)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 포토마스크 육안 검사장치.
KR1020050082253A 2005-09-05 2005-09-05 포토마스크 육안검사장치 KR100748106B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050082253A KR100748106B1 (ko) 2005-09-05 2005-09-05 포토마스크 육안검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050082253A KR100748106B1 (ko) 2005-09-05 2005-09-05 포토마스크 육안검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050102596A KR20050102596A (ko) 2005-10-26
KR100748106B1 true KR100748106B1 (ko) 2007-08-09

Family

ID=37280768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050082253A KR100748106B1 (ko) 2005-09-05 2005-09-05 포토마스크 육안검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100748106B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101523222B1 (ko) * 2013-12-27 2015-05-28 주식회사 이레테크 전자 디바이스의 전자파 측정 장치

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100846088B1 (ko) * 2007-06-07 2008-07-14 코리아테크노(주) 자동 검사장비의 마스크 회전장치
CN111350922A (zh) * 2018-12-24 2020-06-30 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 一种大行程高负载的倾斜角度调整装置
KR102330182B1 (ko) * 2019-12-10 2021-11-23 (주) 고송이엔지 디스플레이 패널용 노광기의 포토 마스크 교환 구조
CN112345525A (zh) * 2020-11-23 2021-02-09 深圳清溢光电股份有限公司 一种mask目视检查机
KR102314093B1 (ko) * 2021-06-07 2021-10-18 주식회사 세미다린 대면적 노광 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000275140A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000275140A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101523222B1 (ko) * 2013-12-27 2015-05-28 주식회사 이레테크 전자 디바이스의 전자파 측정 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050102596A (ko) 2005-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100748106B1 (ko) 포토마스크 육안검사장치
KR100971912B1 (ko) 대형유리기판의 검사장치
JP2005134147A (ja) Ｘ線検査装置
KR101155961B1 (ko) 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치
CN111426690A (zh) 一种硅片表面缺陷视觉检测装置及检测方法
KR100730450B1 (ko) 기판 측정 장치
CN205572292U (zh) 一种干燥器支架装配平台
US20030095387A1 (en) Back-up plate up/down apparatus
CN112975646A (zh) 一种玻璃磨边机
CN208603159U (zh) 一种产品判别机
CN107322687A (zh) 一种inlay卡中料自动切边检测一体机设备
KR101207282B1 (ko) 메모리 반도체 테스트기용 헤드 결합장치
KR101054471B1 (ko) 벨트 콘베이어의 캐리어 롤러 교환장치
CN212275626U (zh) 一种绷膜环晶圆检查机
CN109342458A (zh) 一种高精密印制线路板外观质量检测装置及其使用方法
KR20160066741A (ko) 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법
CN114813692A (zh) 一种oled屏在线荧光显微镜检查机
CN111929320A (zh) 一种绷膜环晶圆检查机
KR200403367Y1 (ko) 포토마스크 검사장치의 그리퍼
CN114384088A (zh) 多晶圆检测装置
KR101300098B1 (ko) 기판 검사 장치 및 방법
KR100856727B1 (ko) 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치
KR101289706B1 (ko) 글라스용 면취 가공 시스템
KR101210939B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 이용한 검사 장비
CN202230031U (zh) 一种光罩检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110708

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120806

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee