JP3585229B2 - 多自由度位置決め装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＬＣＤ，ＰＤＰ等のガラス基板目視検査の際に光の反射角度を変えて欠陥部の発見を容易にしたガラス基板目視検査として実施可能な、多自由度位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、新規な多自由度位置決め装置を採用した、ＬＣＤ，ＰＤＰ等のガラス基板目視検査があり、このガラス基板目視検査装置は、基板ホルダが直接又は間接的に揺動フレームを介して、３つの脚部で支持した構成としている。これら３つの脚部には、それぞれ伸縮機構が内蔵され、また基台上に設けた案内部材に移動駆動機構により移動可能に配置する構成としていて、３つの脚部の伸縮機構、移動駆動機構を適宜駆動させて、前記基板ホルダを、自在に移動させたり、旋回させたり揺動させたりすることができるとしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従って、それぞれの脚部が上述のように伸縮機構、移動駆動機構等の駆動部を伴うので機構が複雑化することは避けられず、装置の重量が増大し、必然的に前記駆動部が大型化するという課題が出てきた、
本発明はかかる課題を改善するために提案されたものであって、揺動フレームを支持する脚部の構成をより簡単化して、製作を容易とすると共に、コンパクト、且つ軽量化を図ってガラス基板目視検査装置に好適な、多自由度位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記した課題を解決するために、本発明では、請求項１において、基台上に、第１軸方向に互いに平行に、第１、第２の案内部材を近接配置すると共に、これら第１、第２案内部材から離れて第３の案内部材を前記第１軸方向に平行に配置し、前記第１、第２案内部材上に第１移動部材を移動可能に装着すると共に、前記第３案内部材上に第２移動部材を移動可能に装着して、これら第１、第２移動部材に、伸縮調節機能を有する第１、第２の脚部の基端側をそれぞれ、前記第１軸周りに回動自在に取着して、これら第１、第２脚部により基板ホルダを支持し、前記第１、第２移動部材を、前記第１軸方向に移動調節するための第１、第２直動駆動機構を設け、前記第１移動部材に前記第１脚部を、第１軸周りに揺動調節するための第３直動駆動機構を設ける一方、前記第１、第２脚部の上端側と前記基板ホルダとは、少なくとも前記第１軸周りと第１軸に直交する第２の軸周りに回動自在な継手手段を介して結合する構成とした多自由度位置決め装置を提案する。
また本発明では、請求項２において、前記第１直動駆動機構は、基台上に配置したモータと、モータに連結して前記基台上の第１、第２案内部材間において、これら第１、第２案内部材に平行に配置したねじシャフトと、前記第１移動部材下面、中央側に取り付けたナットとによって構成し、前記第２直動駆動機構は、基台上に配置したモータと、モータに連結して、前記基台上の第３案内部材に平行に配置したねじシャフトと、前記第２移動部材に併設したナットとによって構成し、前記第３直動駆動機構は、基部パイプと、基部パイプ内に内蔵した伸縮駆動機構により、進退可能に設けた伸縮支柱とを有して、前記基部パイプの基端側を、前記基台上の第１、第２案内部材上に移動可能に載置した第１移動部材の上面に、前記第１軸周りに回動自在に取着してなる構成とした多自由度位置決め装置を提案する。
また本発明では、請求項３において、前記第１、第２脚部の上端側の継手手段のいずれかに、基板ホルダを第１軸に水平方向に直交する第３の軸周りに回動させる基板ホルダ回動駆動手段を介して、基板ホルダを支持する構成とした多自由度位置決め装置を提案する。
また本発明では、請求項４において、基台上に、互いに平行に配置した第１、第２のガイド部材と、これら第１、第２ガイド部材上に摺動可能に装着して、それぞれ直動駆動機構により第１、第２ガイド部材上を摺動させるようにした第１、第２の摺動部材とを有し、これら第１、第２摺動部材には、それぞれＸ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の下部リンクの下端部を、軸受を介して、前記第１、第２ガイド部材と直交する軸周りに回動自在に取り付ける一方、これら一対の下部リンクの上端部に、Ｘ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の上部リンクの下端部を、それぞれ回動自在に連結し、これら上部リンクの上端部に、中継部材、２自由度の継手手段を介して、揺動フレーム、基板ホルダを支持する構成とした多自由度位置決め装置を提案する。
さらに本発明では、請求項５において、前記第１、第２ガイド部材のいずれかを、基台 に揺動台を介して第１、第２ガイド部材の軸周りに揺動可能に支持し、前記揺動台を揺動させる揺動駆動機構を設けた多自由度位置決め装置を提案する。
【０００５】
請求項１によれば、第１、第２直動駆動機構により選択動作制御することで、第１軸に沿う、第１〜第３案内部材上を第１、第２移動部材を移動させて基板ホルダを、第１軸方向に移動させたり、第１，または第２移動部材を移動させ、第３直動駆動機構により、第１脚部を、第１軸周りに揺動調節することで、第１、第２脚部上端側の、継手手段により、第２軸周りに基板ホルダを変位させることができる。
【０００６】
請求項２によれば、第１直動駆動機構を駆動させると、第１、第２案内部材に沿って第１移動部材が移動し、第２直動駆動機構を駆動させると、第３案内部材に沿って第２移動部材が移動する。これによって、第１、第２移動部材上の第１、第２脚部を介し、基板ホルダを移動させることができる。この場合、第１、第２直動駆動機構を選択動作制御することで、基板ホルダの向きを変えたり、動作方向を変えることができる。
さらに、前記第１移動部材上の第３直動駆動機構を動作させることで、第１脚部を第１軸周りに揺動させ、基板ホルダを揺動調節することができる。
【０００７】
請求項３によれば、基板ホルダを第１、第２脚部の上端側の継手手段において、第３軸周りに回動調節することができ、前記基板ホルダを様々な角度位置に調節することができる。
【０００８】
請求項４によれば、直動駆動機構の選択制御動作によって、第１、第２摺動部材を、第１、第２ガイド部材上において適宜摺動移動させて、一対の下部リンク並びに上部リンクを開閉制御することで、基板ホルダを、所望の姿勢位置にもたらすことができる。
【０００９】
請求項５によれば、第１、または第２ガイド部材を装着した揺動台を、揺動駆動機構によって揺動させることで、基板ホルダを揺動調節することができる。
【００１０】
【発明の実施の態様】
以下、本発明にかかる多自由度位置決め装置につき、ガラス基板目視検査装置の一つの実施の態様を示し、添付の図面に基づいて説明する。
図１にＬＣＤ，ＰＤＰ等のガラス基板の基板目視検査装置１を示す。この基板目視検査装置１は、基台２上に基板ホルダ３を、伸縮調節機能を有する第１、第２の脚部４，５を介して支持している。
これら第１、第２脚部４，５のうち、第１脚部４は基端側を、前記基台２上において、第１、第２の案内部材６ａ，６ｂ上を、第１の移動部材７を介し第１の軸方向、すなわち図中（Ｙ軸方向）に移動可能とすると共に、このＹ軸周りに回動可能な結合構成としている。
一方、前記第２脚部５においても、基端側を、前記基台２上において、第３の案内部材６ｃ上を、第２の移動部材８を介し、Ｙ軸方向に移動可能とする結合構成としている。
これら第１、第２脚部４，５の上端側と前記基板ホルダ３とは、コ型状の揺動フレーム９、並びに前記Ｙ軸周りとＹ軸に直交する第２の軸、すなわち、図中、Ｚ軸周りに回動自在な継手手段１０を介して結合する構成としている。
【００１１】
前記基台２は、方形状の台枠部材であって、四隅に床面にがたつかないように接地するためのアジャスタ部材Ａを取り付けている。かかる基台２のＹ軸と直交するＸ軸方向両端側寄りの上面に、Ｙ軸方向に平行に、前記第１、第２案内部材６ａ，６ｂ、並びに第３案内部材６ｃを突設している。
【００１２】
前記基板ホルダ３は、検査すべきＬＣＤ，ＰＤＰ等のガラス基板を載置できるようにした、方形状の枠部材であり、対向する両辺外側から前記揺動フレーム９を介し、Ｘ軸に平行な軸（図示省略）を回転軸として回動可能に支持されている。この場合、前記第１脚部４上端側の継手手段１０と揺動フレーム９との間には、前記基板ホルダ３の回転軸と連結して基板ホルダ３を回動させるための基板ホルダ駆動手段１１を設けている。
【００１３】
前記第１、第２脚部４，５は、詳細は図示しないが、基本的には、それぞれ基部パイプ４ａ、５ａと、これら基部パイプ４ａ、５ａ内に内蔵した伸縮駆動機構（図示省略）により、進退可能に設けた伸縮支柱４ｂ、５ｂとを有している。
前記第１脚部４における基部パイプ４ａの基端側は、前記基台２上の第１、第２の案内部材６ａ，６ｂ上に移動可能に載置した第１移動部材７に、Ｙ軸周りに回動自在に取着してなり、また、前記第２脚部５における基部パイプ５ａの基端側は、基台２上の案内部材６ｃ上に移動可能に載置した第２移動部材８に、Ｙ軸周りに回動自在に取着している。
【００１４】
前記第１移動部材７は、下面側両端近傍に、前記基台２上の第１、第２の案内部材６ａ，６ｂ上に摺動自在に係止してなる摺動受部７ａ，７ａを設けている。また、第１移動部材７中間には、第１の直動駆動機構１２を構成するナット１２ｎを取着している。そして、第１移動部材７の上面、一端側に、上述したように第１脚部４における基部パイプ４ａの基端側をＹ軸周りに回動自在に取着するための突部７ｂを突設している。また、第１移動部材７の上面、他端側に、第３の直動駆動機構１３を取り付けるための突部７ｂを突設している。
一方、前記第２移動部材８は、下面側に、前記基台２上の第３案内部材６ｃ上に摺動自在に係止してなる摺動受部８ａを設けると共に、第２の直動駆動機構１４を構成するナット１４ｎを併設している。また第２移動部材８上面に、第２脚部５における基部パイプ５ａの基端側をＹ軸周りに回動自在に取着するための突部８ｂを突設している。
【００１５】
次に、前記第１、第２移動部材７、８を、それぞれ、Ｙ軸方向に移動調節するための第１、第２直動駆動機構１２、１４について説明する。
先ず、前記第１直動駆動機構１２は、基台２上に配置したモータ１２ａと、モータ１２ａに連結して前記基台２上の第１、第２の案内部材６ａ，６ｂ間において、これら第１、第２案内部材６ａ，６ｂに平行に配置したねじシャフト１２ｂと、前記第１移動部材７下面、中央側に取り付けたナット１２ｎとによって構成している。
一方、前記第２直動駆動機構１４も、基台２上に配置したモータ１４ａと、モータ１４ａに連結して、前記基台２上の第３案内部材６ｃに平行に配置したねじシャフト１４ｂと、前記第２移動部材８に併設したナット１４ｎとによって構成している。
【００１６】
また前記第３直動駆動機構１３は、基本的には、第１、第２脚部４，５同様、基部パイプ１３ａと、これら基部パイプ１３ａ内に内蔵した伸縮駆動機構（図示省略）により、進退可能に設けた伸縮支柱１３ｂとを有している。
かかる基部パイプ１３ａの基端側を、前記基台２上の第１、第２の案内部材６ａ，６ｂ上に移動可能に載置した第１移動部材７の上面、他端側の突部７ｂに、Ｙ軸周りに回動自在に取着している。
一方、前記伸縮支柱１３ｂの上端側は、前記第１脚部４における基部パイプ４ａ中間部に回動自在（Ｙ軸周り）に軸着している。
【００１７】
さらに前記第１、第２脚部４，５の上端側と前記基板ホルダ３とを、揺動フレーム９を介して連結するための継手手段１０を説明する。
前記第１脚部４の上端側、すなわち伸縮支柱４ｂ先端側の継手手段１０は、基板ホルダ駆動手段１１を介して前記揺動フレーム９と結合している受部１０ａと、受部１０ａに軸止めされた連結部１０ｂとによって構成している（図２参照）。前記受部１０ａは、前記Ｙ軸に直交する軸周り、すなわちＺ軸周りに回動自在な軸部１０ｚを保持している。一方、前記連結部１０ｂは、前記伸縮支柱４ｂ先端に固設しており、前記受部１０ａに、Ｙ軸周りに回動可能に軸止めしている。
一方、前記第２脚部５上端の継手手段１０は、直接、揺動フレーム９と結合しており、基本的には、前記第１脚部４の上端側の継手手段１０と同構成である、２自由度のものであるので、説明は省略する。
【００１８】
また、前記基板ホルダ駆動手段１１は、図示は省略するが、モータの出力軸と基板ホルダ３の回転軸である、Ｘ軸に平行な軸とを連結している。並びに前記Ｙ軸周りとＹ軸に直交する第２の軸、すなわち、図中、Ｘ軸周りに回動自在な介して結合する構成としている。
なお、以上説明した、第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構、第１、第２直動駆動機構１２，１４、第３直動駆動機構１３、そして基板ホルダ駆動手段１１は、コントロール装置（図示省略）に設定されたソフトウェアに基づいて動作する構成としている。
また、上述の基板目視検査装置１において、第１の軸方向をＹ軸方向とし、第２の軸方向をＺ軸とし、さらに基台２のＹ軸と直交する軸をＸ軸として説明したが、勿論、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の決め方は適宜である。
【００１９】
以上のように本発明にかかる基板目視検査装置１は構成されているので、様々な基板ホルダ３の調節動作が可能である。
例えば、基板ホルダ駆動手段１１を起動して、基板ホルダ３を略水平方向に変位させて、基板ホルダ３上に、検査すべきガラス基板を載置し、第１、第２直動駆動機構１２，１４を起動して、同期的に、第１、第２案内部材６ａ，６ｂ上の第１移動部材７と、第３案内部材６ｃ上の第２移動部材８を同方向に移動させれば、基板ホルダ３は、略水平状態のまま、Ｙ軸方向に移動させることができる（図３参照）。
【００２０】
一方、前記第１、第２直動駆動機構１２，１４のうち、いずれか一方を起動したり、互いにモータ１２ａ，１４ａを逆起動することで、第１、第２脚部４，５における伸縮支柱４ｂ，５ｂ上端の継手手段１０の受部１０ａにおいて、軸部１０ｚを中心として、継手手段１０の連結部１０ｂが変位することで、前記基板ホルダ３を、Ｚ軸周りに回動させることができる（図２参照）。
【００２１】
また、第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構を同時に、伸縮させることで、前記継手手段１０の連結部１０ｂがＹ軸周りに回動し、前記基板ホルダ３を、水平状態のまま昇降調節することができる。
また、前記第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構を停止した状態で、第３直動駆動機構１３を起動して伸縮支柱１３ｂを伸縮させることで、第１脚部４側を能動側として、第２脚部５を、基部パイプ５ａと第３案内部材６ｃ上の第２移動部材８上面の突部８ｂとの取付軸と、第２脚部５上端の継手手段１０の連結部１０ｂを中心としてＹ軸周りに連動変位し、基板ホルダ３をＸ軸方向に変位させることができる。
さらに、第３直動駆動機構１３を停止した状態で第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構のうち、いずれか一方を起動したり、互いに逆動作させることで、前記第３直動駆動機構１３の規制下に、基板ホルダ３をＹ軸と平行な軸周りに揺動変位させることができる（図２参照）。
【００２２】
勿論この他、コントロール装置におけるソフトウェアに基づき、第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構、第１、第２直動駆動機構１２，１４、第３直動駆動機構１３、並びに基板ホルダ駆動手段１１を組合せ駆動制御動作させることで、第１、第２脚部４，５を第１、第２案内部材６ａ，６ｂ、並びに第３案内部材６ｃ上で移動させ、第１、第２脚部４，５における伸縮支柱４ｂ，５ｂを伸縮させ、第３直動駆動機構１３の伸縮支柱１３ｂを伸縮させることで、基板ホルダ３を所望の向きに、また、自在に旋回調節することができる。
以上のように、本発明では、基板ホルダ３を第１、第２脚部４，５で支える構造であるので、構造が簡単化され、これまでのように第１、第２脚部４，５における伸縮駆動機構、第１、第２直動駆動機構１２，１４、第３直動駆動機構１３、並びに基板ホルダ駆動手段１１を組合せ駆動制御動作させることで、基板ホルダ３を自在に調節することができ、基板の検査に寄与することができる。
【００２３】
本発明にかかる多自由度位置決め装置は、図４〜図７に示す基板目視検査装置１としても実施することができる。
この場合の基板目視検査装置１では、基台２上に、互いに平行に配置した第１、第２のガイド部材１５，１６と、これら第１、第２ガイド部材１５，１６上に摺動可能に装着して、それぞれ直動駆動機構１７，１７により第１、第２ガイド部材１５，１６上を摺動させるようにした第１、第２の摺動部材１８，１９とを有し、これら第１、第２摺動部材１８，１９には、それぞれＸ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の下部リンク２０，２０の下端部を、軸受２１を介して、第１案内部材１５と直交する軸周りに回動自在に取り付ける一方、これら一対の下部リンク２０，２０の上端部に、同様に、Ｘ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の上部リンク２２，２２の下端部を、それぞれ回動自在に連結し、これら上部リンク２２，２２の上端部に、中継部材２３、２自由度の継手手段（後述）を介して、揺動フレーム９、基板ホルダ３を支持するようにしている。
なお、上述の下部リンク２０，２０と上部リンク２２，２２とは、必ずしもこの機構でなくてもよく、長さ寸法が前記下部リンク２０，上部リンク２２に比較して長い、一対のリンクのみでＸ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した構成のものでもよい。
また、前記第１案内部材１５は、基台２に揺動台２４を介して第１案内部材１５の軸周りに揺動可能に支持され、かかる揺動台２４に揺動駆動機構２５を連結している。この揺動駆動機構２５は、モータ２５ａの減速機構部（図示省略）を介して前記揺動台２４と連結した構成で、前記揺動台２４をＹ軸周りに揺動させるようにしている。
【００２４】
前記直動駆動機構１７，１７は、モータ１７ａと、モータ１７ａに連結して前記第１、第２ガイド部材１５，１６の両側に、それぞれ平行に所定間隔の位置に配設したねじ軸１７ｂと、前記第１、第２摺動部材１８，１９に組み込んでこれらねじ軸１７ｂ上を移動させるナット１７ｎとによって構成している。
【００２５】
次に、前記上部リンク２２，２２の上端部に支持する揺動フレーム９、基板ホルダ３の支持構造について説明する。
前記上部リンク２２，２２の一方の上部リンク２２の上端部は、前記中継部材２３の下面側とＸ軸周りに回動可能とする軸受２６を介して連結し、さらに前記中継部材２３の側面側に、Ｙ軸周りと、Ｚ軸周りに回動可能な前記継手手段２７を介して揺動フレーム９に取り付けている（図７参照）。
また、前記上部リンク２２，２２の他方の上部リンク２２の上端部は、中継部材２３の下面側とＸ軸周りに回動可能とする軸受２６を介して連結し、前記中継部材２３の側面側に、Ｙ軸周りと、Ｚ軸周りに回動可能な前記継手手段２７、さらに継手手段２７を、摺動支持手段２８を介して、揺動フレーム９に取り付けている。
【００２６】
かかる基板目視検査装置１において、直動駆動機構１７，１７の選択制御動作によって、第１、第２摺動部材１８，１９を、第１、第２ガイド部材１５，１６上において適宜摺動移動させて、一対の下部リンク２０，２０並びに上部リンク２２，２２を開閉制御し、また、第１案内部材１５を装着した揺動台２４を、揺動駆動機構２５によって揺動させることで、前記揺動フレーム９、基板ホルダ３を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動調節させると共に、旋回調節することができる。
【００２７】
以上、本発明にかかる多自由度位置決め装置につき、ガラス基板目視検査装置に採用した実施の態様を挙げ、説明したが、勿論本発明の多自由度位置決め装置は、他の精密測定器具、精密加工機械においても有用なものとなる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明によれば、左右第１、第２脚部に支持された基板ホルダの上に設置されたガラス基板等を、前記第１、第２脚部を伸縮、旋回することによって、直交３軸に沿って並進、又は３軸の周りに旋回させ、基板表面の目視検査を行うようにしたので、製作が容易で、コンパクト、且つ軽量化を達成することができる。
【００２９】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる多自由度位置決め装置を採用した基板目視検査装置の一つの実施の形態を示す、省略的、且つ模式的な斜視説明図である。
【図２】図１に示す基板目視検査装置の構成、動作の説明に供する、側面説明図である。
【図３】図１に示す基板目視検査装置の構成、動作の説明に供する、別側面説明図である。
【図４】本発明にかかる多自由度位置決め装置を採用した基板目視検査装置の別の実施の形態を示す、省略的、且つ模式的な斜視説明図である。
【図５】図４に示す、基板目視検査装置の、省略的平面図である。
【図６】図４に示す基板目視検査装置の構成、動作の説明に供する、側面説明図である。
【図７】図４に示す基板目視検査装置における揺動フレームおよび基板ホルダの支軸構造を説明する、要部拡大側面図である。
【符号の説明】
１ 基板目視検査装置
２ 基台
３ 基板ホルダ
４ 第１脚部
５ 第２脚部
４ａ，５ａ 基部パイプ
４ｂ，５ｂ 伸縮支柱
６ａ 第１案内部材
６ｂ 第２案内部材
６ｃ 第３案内部材
７ 第１移動部材
７ａ 摺動受部
７ｂ 突部
８ 第２移動部材
８ａ 摺動受部
８ｂ 突部
９ 揺動フレーム
１０ 継手手段
１０ａ 受部
１０ｂ 連結部
１０Ｚ 軸部
１１ 基板ホルダ駆動手段
１２ 第１直動駆動機構
１２ａ モータ
１２ｂ ねじシャフト
１２ｎ ナット
１３ 揺動駆動機構
１３ａ 基部パイプ
１３ｂ 伸縮支柱
１４ 第２直動駆動機構
１４ａ モータ
１４ｂ ねじシャフト
１４ｎ ナット
１５ 第１ガイド部材
１６ 第２ガイド部材
１７ 直動駆動機構
１７ａ モータ
１７ｂ ねじ軸
１７ｎ ナット
１８ 第１摺動部材
１９ 第２摺動部材
２０ 下部リンク
２１ 軸受
２２ 上部リンク
２３ 中継部材
２４ 揺動台
２５ 揺動駆動機構
２５ａ モータ
２６ 軸受
２７ 継手手段
２８ 摺動支持手段

Claims (5)

1. 基台上に、第１軸方向に互いに平行に、第１、第２の案内部材を近接配置すると共に、これら第１、第２案内部材から離れて第３の案内部材を前記第１軸方向に平行に配置し、前記第１、第２案内部材上に第１移動部材を移動可能に装着すると共に、前記第３案内部材上に第２移動部材を移動可能に装着して、これら第１、第２移動部材に、伸縮調節機能を有する第１、第２の脚部の基端側をそれぞれ、前記第１軸周りに回動自在に取着して、これら第１、第２脚部により基板ホルダを支持し、前記第１、第２移動部材を、前記第１軸方向に移動調節するための第１、第２直動駆動機構を設け、前記第１移動部材に前記第１脚部を、第１軸周りに揺動調節するための第３直動駆動機構を設ける一方、前記第１、第２脚部の上端側と前記基板ホルダとは、少なくとも前記第１軸周りと第１軸に直交する第２の軸周りに回動自在な継手手段を介して結合する構成としたことを特徴とする多自由度位置決め装置。
2. 前記第１直動駆動機構は、基台上に配置したモータと、モータに連結して前記基台上の第１、第２案内部材間において、これら第１、第２案内部材に平行に配置したねじシャフトと、前記第１移動部材下面、中央側に取り付けたナットとによって構成し、前記第２直動駆動機構は、基台上に配置したモータと、モータに連結して、前記基台上の第３案内部材に平行に配置したねじシャフトと、前記第２移動部材に併設したナットとによって構成し、前記第３直動駆動機構は、基部パイプと、基部パイプ内に内蔵した伸縮駆動機構により、進退可能に設けた伸縮支柱とを有して、前記基部パイプの基端側を、前記基台上の第１、第２案内部材上に移動可能に載置した第１移動部材の上面に、前記第１軸周りに回動自在に取着してなる構成としたことを特徴とする請求項１記載の多自由度位置決め装置。
3. 前記第１、第２脚部の上端側の継手手段のいずれかに、基板ホルダを第１軸に水平方向に直交する第３の軸周りに回動させる基板ホルダ回動駆動手段を介して、基板ホルダを支持する構成としたことを特徴とする請求項１記載の多自由度位置決め装置。
4. 基台上に、互いに平行に配置した第１、第２のガイド部材と、これら第１、第２ガイド部材上に摺動可能に装着して、それぞれ直動駆動機構により第１、第２ガイド部材上を摺動させるようにした第１、第２の摺動部材とを有し、これら第１、第２摺動部材には、それぞれＸ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の下部リンクの下端部を、軸受を介して、前記第１、第２ガイド部材と直交する軸周りに回動自在に取り付ける一方、これら一対の下部リンクの上端部に、Ｘ状に交叉させて中間点で回動自在に連結した等長の一対の上部リンクの下端部を、それぞれ回動自在に連結し、これら上部リンクの上端部に、中継部材、２自由度の継手手段を介して、揺動フレーム、基板ホルダを支持する構成としたことを特徴とする多自由度位置決め装置。
5. 前記第１、第２ガイド部材のいずれかを、基台に揺動台を介して第１、第２ガイド部材の軸周りに揺動可能に支持し、前記揺動台を揺動させる揺動駆動機構を設けたことを特徴とする請求項４記載の多自由度位置決め装置。

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