KR100560162B1 - 평면 디스플레이 검사장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 스테이지(10)의 상면에 가로방향으로 장착되며, 데이터 니들(22)이 구비된 데이터 프로브(21)가 장착되는 데이터 베이스(20)와;상기 스테이지의 상면에 세로방향으로 장착되며, 게이트 니들(32)이 구비된 게이트 프로브(31)가 장착되는 게이트 베이스(30)를 포함하는 평면 디스플레이 검사장치에 있어서,상기 데이터 베이스를 상기 스테이지상의 가이드레일(11a,11b)을 따라 세로방향으로 이송가능하게 장착하되, 그 양측에는 제어부의 신호에 따라 상기 데이터 베이스를 자동으로 이송하는 제1 이송수단(40a,40b)을 각각 구비하고;상기 제1 이송수단과 연동하여 상기 데이터 베이스의 회동을 구현하는 회동수단(50)을 구비하며;상기 게이트 베이스(30)는 상기 스테이지(10)상의 가이드레일(11c,11d)을 따라 가로방향으로 이송가능하게 장착되고, 제어부의 신호에 따라 상기 게이트 베이스를 자동으로 이동시키는 제2 이송수단(40c)이 구비되고;상기 게이트 베이스(30)는 상기 스테이지(10)상에 상호 대향되게 설치되는 두 개의 게이트 베이스로 구성되며;상기 제1,2 이송수단(40a,40b,40c)은, 상기 스테이지(10)상에 장착되는 서보모터(41)와, 상기 서보모터에 의해 회전되는 나선축(42)과, 상기 나선축상에 구비되어 동력을 전달하는 이송블록(43)으로 구성된 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.
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