KR101585068B1

KR101585068B1 - Fpd 셀 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법

Info

Publication number: KR101585068B1
Application number: KR1020150125390A
Authority: KR
Inventors: 허경철; 최영섭; 김동현; 김봉진
Original assignee: 주식회사 디이엔티
Priority date: 2015-09-04
Filing date: 2015-09-04
Publication date: 2016-01-13
Also published as: CN106501973B; CN106501973A

Abstract

검사대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 FPD cell 검사장치의 프로브 유닛(probe unit) 블록을 선택적으로 사용하고, 비사용 프로브 유닛 블록을 자동으로 회피 위치로 이동시킬 수 있도록 한 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법에 관한 것으로서, FPD cell 검사장치에서 점등 유닛 블록의 이동을 제어하는 방법으로서, MPU(Motorized Probe Unit)를 이송시키는 MPU 이송기에서 이송 준비 상태로 전환하고, 스캔 과정을 통해 MPU의 위치 정보를 획득하는 MPU 스캔 과정; 상기 MPU 스캔 과정을 종료한 후, 검사 대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 검사 MPU를 결정하는 MPU 결정 과정; MPU 회피시 검사 영역에 존재하는 MPU를 회피 위치로 회피시키는 MPU 회피 과정; 및 MPU 지정위치로 이동시 MPU를 현재 위치에서 지정 위치로 이동시키는 MPU 지정위치 이동과정을 포함하여, FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 구현한다.

Description

FPD 셀 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법{Control method for probe unit block of the flat panel display inspection apparatus}

본 발명은 FPD(flat panel display) 셀(cell) 검사를 위한 점등 유닛 블록(unit block) 이동 제어에 관한 것으로, 특히 검사대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 FPD cell 검사장치의 프로브 유닛(probe unit)을 선택적으로 사용하고, 비사용 프로브 유닛을 자동으로 회피 위치로 이동시킬 수 있도록 한 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법에 관한 것이다.

근래, 스마트폰(Mobile Phone), PDA, 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 LCD, OLED가 각광을 받고 있다.

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현재, FPD cell은 30인치, 40인치, 46인치, 52인치, 57인치 등 다양한 크기(size)로 제공되고 있으며, 이런 다양한 크기의 FPD cell을 모두 검사할 수 있도록 하기 위한 검사 장비가 제공되고 있다.

하지만, 다양한 크기의 FPD cell을 하나의 장비에서 검사가 이루어지게 하기 위해서는 FPD cell의 크기 변경에 따른 장비 내에서의 구조적 변경이 불가피하다.

특히 검사하고자 하는 FPD cell의 크기와 종류가 변경되면 그에 따라 FPD cell이 놓이는 워크 스테이지 및 FPD cell에 접촉되는 프로브 유닛 등을 교체해주어야 한다.

예컨대, FPD cell이 40인치인 경우, 프로브 유닛 또한 40인치에 해당하는 프로브 유닛으로 교체해야 하며, 52인치 또는 57인치인 경우에도 각각의 FPD cell에 맞는 프로브 유닛으로 교체해야 한다.

하기의 <특허문헌 1> 내지 <특허문헌 2> 에 액정패널을 검사하기 위한 종래의 기술이 개시되어 있다.

<특허문헌 1> 에 개시된 종래기술은 다수 개의 관통부가 행렬(matrix)로 형성되는 프레임, 상기 프레임의 관통부를 관통하여 양단부가 접촉하는 핀, 상기 핀의 중앙영역에 형성되어 관통부에 삽입되는 돌출부를 포함하는 프로브 핀 및 상기 관통부의 내부로 삽입되어 상기 프로브 핀으로 인가되는 충격을 완화하는 탄성 수단을 포함한다.

이렇게 구성된 종래기술은 개별단위로 출하되는 액정패널에 모듈 과정을 수행하기에 앞서 그 액정패널의 전기적 양호상태를 점검하기 위하여 프로브 검사장치를 적용할 때, 액정패널의 패드부와 프로브 검사장치의 프로브 핀 간 접촉 오류를 방지하기 위하여 각각의 패드 당 복수 개의 프로브 핀이 접촉할 수 있도록 한 것이다.

<특허문헌 2> 에 개시된 종래기술은 평판표시장치를 상하좌우 중심에서 지지하는 포스트를 X, Y축으로 이동 가능하도록 하여 평판표시장치의 크기에 모두 대응하여 평판표시장치를 이송시킬 수 있고, 평판표시장치가 안착되는 플레이트의 높낮이를 각 모서리에서 조절 가능하도록 함으로써 검사를 위해 이송시 평판표시장치의 수평을 정확하게 유지할 수 있도록 하는 평판표시장치 검사장비용 다규격 패널 이송장치를 제공한다.

대한민국 공개특허 10-2008-0049558호(2008.06.04. 공개) 대한민국 공개특허 10-2013-0006405호(2013.01.16. 공개)

그러나 종래기술에 따른 FPD cell의 검사장치는 각각의 FPD cell에 해당되는 프로브 유닛을 구비해야 하며, 검사하고 있던 FPD cell의 크기와 디바이스의 종류에 따라 FPD cell에 접촉되는 프로브 유닛을 교체해야 하는 번거로움이 있고, 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브의 위치를 조절할 수 없는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래기술에서 발생하는 제반 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로서, 검사대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 FPD cell 검사장치의 프로브 유닛(probe unit) 블록을 선택적으로 사용하고, 비사용 프로브 유닛 블록을 자동으로 회피 위치로 이동시킬 수 있도록 한 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 검사하고자 하는 FPD cell의 크기와 디바이스 종류가 변경되더라도 프로브 유닛을 변경 또는 교체하지 않고서도 FPD cell을 검사할 수 있도록 한 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 현 상태에서 기구적인 문제로 인해서 각 점등 유닛 블록의 크기가 제한될 경우에 점등 유닛 블록 자체에 구동체를 따로 구성하여 점등 유닛 블록을 이동시키기 어려운데, 이때 각 점등 유닛 블록을 이동시키기 위해서 따로 점등 유닛 블록 이송기 구동체를 구성해야 하는데, 이때 각 유닛 블록의 위치 정보를 항상 알고 있어야 하며, 이러한 점등 유닛 블록의 위치를 용이하게 확인할 수 있도록 한 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 제공하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법은 (a) MPU(Motorized Probe Unit)를 이송시키는 MPU 이송기에서 이송 준비 상태로 전환하고, 스캔 과정을 통해 MPU의 위치 정보를 획득하는 MPU 스캔 과정; (b) 상기 MPU 스캔 과정을 종료한 후, 검사 대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 검사 MPU를 결정하는 MPU 결정 과정; (c) 상기 (b)과정 후 MPU 회피시 검사 영역에 존재하는 MPU를 회피 위치로 회피시키는 MPU 회피 과정; 및 (d) 상기 (b)과정 후 MPU 지정위치로 이동시 MPU를 현재 위치에서 지정 위치로 이동시키는 MPU 지정위치 이동과정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 스캔 과정은 (a1) MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이송 준비 상태로 전환하는 단계; (a2) 상기 MPU 이송기를 스캔 시작 위치로 이동시키는 단계; (a3) 상기 MPU 이송기가 이송 가능한 상태인지를 확인하는 단계; (a4) 상기 MPU 이송기가 이송 가능한 상태이면 스캔 종료 위치로 이동을 시작하는 단계; (a4) 상기 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (a5) 상기 (a4)단계의 확인결과 MPU가 감지되면 이동을 종료하는 단계; (a6) 상기 (a5)단계 후 오프셋 조정 과정을 수행하여 MPU의 위치를 정확하게 설정하는 단계; (a7) 상기 (a6)단계 후 MPU의 위치 값을 저장하는 단계; (a8) 상기 (a7)단계 후 현재 위치에서 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 스캔 종료 위치가 될 때까지 상기 (a4)단계 내지 (a7)단계를 반복 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 스캔 과정은 (a9) 상기 (a3)단계의 확인 결과 MPU 이송기가 이송 불가능한 상태이면, MPU의 개수를 확인하고, MPU의 개수가 설정된 최대 개수인지를 확인하여 MPU의 개수가 최대 개수일 경우 MPU 이송기의 이동을 종료하고, 상기 MPU의 개수가 최대 개수가 아닐 경우 에러를 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 스캔 과정은 (a10) 상기 (a4)의 확인결과 MPU가 감지되지 않으면 스캔 종료 위치인지를 확인하여, 스캔 종료 위치일 경우 상기 (a9)단계로 이동하는 단계; (a11) 상기 (a10)의 확인 결과 스캔 종료 위치가 아닐 경우, 이동 시간이 경과 했는지를 확인하여, 이동 시간이 경과 하지 않았으면 상기 (a4)단계로 이동하고, 상기 이동 시간이 지나면 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 (a6)단계는 (a61)상기 MPU 이송기를 설정된 거리만큼 역방향으로 이동시키는 단계; 상기 (a61)단계 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (a62)상기 MPU가 감지되면 역방향으로 설정된 위치인지를 확인하여, 설정된 위치가 아니면 이동을 하고, 설정된 위치이면 에러를 발생시키는 단계; (a63)상기 (a61)에서 MPU가 감지되면 MPU 이송을 정지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 결정 과정은 검사할 MPU의 개수, 회피시킬 MPU의 개수, 검사할 MPU의 지정위치를 결정하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 회피 과정은 MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터의 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 회피 과정은 (c1) 현재 위치를 확인하는 단계; (c2) 상기 (c1)단계에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계; (c3) 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (c4) 상기 (c3)의 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계; (c5) 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계; (c6) 상기 (c5)단계 후 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 회피위치로 이송시키는 단계; (c7) 상기 (c6)단계 후 회피 위치인지를 확인하여 회피 위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 회피 위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계; (c8)상기 (c7)단계 후 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 (c5)단계는 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 해제시켜 MPU의 록킹을 해제시키며, 상기 (c7)단계는 상기 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 록킹시키는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 회피 과정은 (c9) 상기 (c3)의 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 지정위치 이동과정은 MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 지정위치 이동과정은 (d1) 현재 위치를 확인하는 단계; (d2) 상기 (d1)단계에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계; (d3) 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (d4) 상기 (d3)의 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계; (d5) 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계; (d6) 상기 (d5)단계 후 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 지정위치로 이송시키는 단계; (d7) 상기 (d6)단계 후 지정위치인지를 확인하여 지정위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 지정위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계; (d8)상기 (d7)단계 후 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 MPU 지정위치 이동과정은 (d9) 상기 (d3)의 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기에서 (d5)단계는 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 해제시켜 MPU의 록킹을 해제시키며, 상기 (d7)단계는 상기 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 록킹시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 FPD cell 검사장치를 이루는 다수의 점등 유닛 블록을 FPD cell의 크기 및 디바이스 종류에 따라 자동으로 이동시킬 수 있으므로, 검사 대상물인 FPD cell의 크기 및 디바이스 종류가 변경되더라도 유닛 블록을 교체 또는 변경하지 않고 FPD cell을 검사할 수 있는 장점이 있으며, 이로 인해 유닛 블록의 교체 또는 변경에 따른 작업의 불편함을 해소하고, 자동으로 유닛 블록의 이송이 가능하므로 작업시간을 줄일 수 있다는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따르면 단일의 FPD cell 검사장치로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 수행할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법이 적용되는 FPD cell 검사장치의 구성도,
도 2는 도 1의 MPU 이송기에서 MPU 위치를 인식하는 과정을 설명하기 위한 설명도,
도 3은 본 발명에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법 중 MPU 스캔 과정을 보인 흐름도,
도 4는 본 발명에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법 중 MPU 회피 과정을 보인 흐름도,
도 5는 본 발명에 따른 FPD cell 검사장치의 유닛 블록 이동 제어방법 중 MPU 지정위치 이동과정을 보인 흐름도.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법이 적용되는 FPD cell 검사장치의 구성도이고, 도 2는 도 1에서 MPU 이송기에서 MPU 위치를 인식하는 과정을 설명하기 위한 설명도이다.

본 발명이 적용되는 FPD cell 검사장치(1)는 검사 대상인 FPD cell(10)에 설치된 패드에 구동신호를 인가하기 위한 점등 유닛 블록(20)(30)(40)이 구비된다.

여기서 점등 유닛 블록(20)은 데이터 측 방향에 위치하며, 점등 유닛 블록(30) 및 점등 유닛 블록(40)은 게이트 측 방향에 위치한다. 각각의 점등 유닛 블록에는 MPU(Motorized Probe Unit)가 복수로 구비된다. MPU의 개수는 현재 생산되고 있는 FPD cell의 크기와 디바이스 종류를 전부 검사할 수 있는 개수로 구비되는 것이 바람직하다. 각각의 MPU(예를 들어, 21)에는 MPU의 위치를 식별하기 위한 도그(21a)가 설치된다. 도그(21a)의 형상은 다양하게 구현할 수 있다. 아울러 각각의 MPU 역시 구성 및 작용이 동일하므로, 이하, 하나의 MPU(21)에 대해서만 설명하기로 한다.

아울러 FPD cell 검사장치(1)는 상기 점등 유닛 블록에 마련된 MPU의 위치를 이동시키기 위한 MPU 이송기(50)가 구비된다. 여기서 MPU 이송기(50)는 점등 유닛 블록(20)에 대해서는 2개가 구비되고, 점등 유닛 블록(30)(40)에는 각각 1개가 구비된다. 여기서 데이터 측의 MPU 이송기는 필요에 따라 1개만 구비될 수도 있다.

각각의 MPU 이송기에 대한 구성 및 작용은 동일하므로, 설명의 편의를 위해 이하 MPU 이송기(50)에 대해서만 설명하기로 한다.

MPU 이송기(50)는 도면에는 도시하지 않았지만 점등 유닛 블록(20)을 지나갈 경우 점등 유닛 블록(20)의 MPU(21)에 설치된 도그(21a)에 부딪치지 않도록 MPU 이송기(50)를 상승시키거나 하강시키는 실린더를 포함한다. 아울러 MPU에 공압을 이용하여 MPU를 록킹시키거나 해제하기 위한 공압 발생기(52)를 포함한다. 여기서 공압 이외에 MPU를 록킹하거나 해제하는 알려진 다양한 방법을 이용하는 것도 가능하다.

또한, MPU 이송기(50)는 상기 MPU(21)에 구비된 도그(21a)를 인식하여 MPU(21)의 위치를 인식하기 위한 도그 센서(51)를 포함한다.

본 발명에서는 MPU에 구비된 것을 도그라 하고, MPU 이송기에 구비된 것을 도그 센서라고 하였으나, 이것에 한정되는 것은 아니고, MPU에 도그 센서를 장착시키고, MPU 이송기에 도그를 장착시켜도, 동일한 작용이 가능하다.

아울러 MPU 이송기(50)의 내부에는 MPU의 위치를 인식하고, 이송을 제어하기 위한 제어장치(53)가 구비된다.

여기서 MPU는 자체에 모터가 없는 모듈이다 따라서 단독으로는 이동할 수 없다. 아울러 MPU는 기구 특성상 폭 제한이 있기 때문에 내부에 구동체를 내장하는 것이 어렵다. 이러한 MPU는 스스로 이동할 수 없지만 필요에 따라 위치 이동을 해야한다. 아울러 MPU의 위치 정밀도는 프로브 점등이 가능한 수준이어야 한다.

따라서 본 발명에서는 MPU 이송기라는 구동체를 이용하여 MPU를 이동시킨다.

이와 같이 구성된 FPD cell 검사장치를 이용하여 본 발명에 따른 점등 유닛 블록 이동 제어방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 FPD cell의 크기 및 디바이스 종류에 따른 다양한 FPD cell을 검사할 때, 검사를 위한 점등 유닛 블록을 교체 또는 변경하지 않고서 FPD cell을 검사할 수 있도록 하기 위해서, 점등 유닛 블록을 내재화한 MPU를 이동시킨다.

MPU의 이동을 위해서, 본 발명에서는 MPU 이송기(50) 내에 구비된 제어장치(53)에서, MPU(Motorized Probe Unit)(21)를 이송시키는 MPU 이송기(50)에서 이송 준비 상태로 전환하고, 스캔 과정을 통해 MPU의 위치 정보를 획득한다(MPU 스캔 과정). 다음으로, MPU 스캔 과정을 종료한 후, 검사 대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 검사 MPU를 결정한다(MPU 결정 과정). 그리고 결정한 검사 MPU만을 검사 영역에 남기고 사용하지 않는 MPU를 회피 영역(회피 위치)으로 회피시킨다(MPU 회피 과정). 이후, 검사 MPU를 현재 위치에서 MPU 지정위치로 이동시킨다(MPU 지정위치 이동과정). 이후, FPD cell을 검사한다. 만약, 새로이 검사할 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 검사 MPU를 결정한 후, 회피 영역에 위치한 MPU를 다시 검사 영역으로 이동시킬 경우, 상기 MPU 지정위치 이동과정을 통해 회피 영역에 위치한 MPU를 검사 영역으로 자동 이동시킨다.

이러한 과정을 통해 MPU를 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 자동으로 이동시킴으로써, 기존과 같이 검사자가 수동으로 검사 모듈을 교체하거나 변경하는 번거로움을 해소할 수 있다.

이하, MPU를 자동으로 이동시키는 과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, MPU의 위치를 인식하기 위해 MPU 스캔 과정을 수행한다.

MPU의 스캔 과정은 도 3에 도시한 바와 같이, MPU 이송기(50)의 실린더를 상승시켜 이송 준비 상태로 전환하는 단계(S101); 상기 MPU 이송기(50)를 스캔 시작 위치로 이동시키는 단계(S102); 상기 MPU 이송기(50)가 이송 가능한 상태인지를 확인하는 단계(S103); 상기 MPU 이송기(50)가 이송 가능한 상태이면 스캔 종료 위치로 이동을 시작하는 단계(S107); 상기 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계(S108); 상기 확인결과 MPU가 감지되면 이동을 종료하는 단계(S111); 상기 이동 종료 후 오프셋 조정 과정을 수행하여 MPU의 위치를 정확하게 설정하는 단계(S112 ~ S116); 오프셋 조정 후 MPU의 위치 값을 저장하는 단계(S117); 현재 위치에서 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 스캔 종료 위치가 될 때까지 상기 단계 S107 내지 단계 S117를 반복 수행하는 단계(S118 ~ S119)를 포함한다.

아울러 MPU 스캔 과정은 상기 단계 S103의 확인 결과 MPU 이송기(50)가 이송 불가능한 상태이면, MPU의 개수를 확인하고, MPU의 개수가 설정된 최대 개수인지를 확인하여 MPU의 개수가 최대 개수일 경우 MPU 이송기(50)의 이동을 종료하고, 상기 MPU의 개수가 최대 개수가 아닐 경우 에러를 발생시키는 단계(S104 ~ S106)를 포함한다.

또한, MPU 스캔 과정은 상기 단계 S108의 확인결과 MPU가 감지되지 않으면 스캔 종료 위치인지를 확인하여, 스캔 종료 위치일 경우 상기 단계 S104로 이동하는 단계(S109); 상기 단계 S109의 확인 결과 스캔 종료 위치가 아닐 경우, 이동 시간이 경과 했는지를 확인하여, 이동 시간이 경과 하지 않았으면 상기 단계 S107로 이동하고, 상기 이동 시간이 경과 하였으면 에러를 발생하는 단계(S110, S106)를 포함한다.

또한, 상기 단계 S112 ~ S116는 상기 MPU 이송기(50)를 설정된 거리만큼 역방향으로 이동시키는 단계(S112); 상기 단계 S112 이후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계(S113); 상기 MPU가 감지되면 역방향으로 설정된 위치인지를 확인하여, 설정된 위치가 아니면 이동을 하고, 설정된 위치이면 에러를 발생시키는 단계(S114 ~ S115); 상기 MPU가 감지되면 MPU 이송을 정지하는 단계(S116)를 포함한다.

이와 같이 구성된 MPU 스캔 과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 단계 S101에서 MPU 이송기(50)의 실린더를 상승시켜 MPU 이송기(50)를 이송 가능한 상태로 전환한다. 이러한 과정을 수행하지 않으면 MPU 이송기(50)와 MPU에 형성된 도그가 부딪힐 우려가 있다.

이송 준비가 완료되면 단계 S102로 이동하여 상기 MPU 이송기(50)를 스캔 시작 위치로 이동시킨다. 여기서 스캔 시작 위치는 스캔 시작 위치를 판단할 수 있는 센서(예를 들어, 접촉 센서)를 이용할 수 있다.

스캔 시작 위치가 감지되면, MPU의 개수를 카운트하는 초기 카운트(nCount)를 0으로 설정하고, 단계 S103으로 이동하여, 상기 MPU 이송기(50)가 이송 가능한 상태인지를 확인한다. 이 확인 결과 MPU 이송기(50)가 이송 불가능한 상태이면, 단계 S104로 이동하여 MPU의 개수를 확인한다. 즉, 전체 MPU의 개수를 확인하고, 단계 S105로 이동하여 MPU의 개수가 설정된 최대 개수인지를 확인하여 MPU의 개수가 최대 개수일 경우 MPU 이송기(50)가 이동 불가능한 상태로 판단을 하고, 이동을 종료한다. 이와는 달리 상기 MPU의 개수가 최대 개수가 아닐 경우 단계 S106로 이동하여 에러를 발생시킨다. 이 경우에는 FPD cell 검사 장치의 이상 또는 센서 이상 또는 MPU 이송기의 이상 등과 같은 상황이므로 에러를 발생하여, 검사자가 장비 상태를 확인하도록 한다.

한편, 상기 단계 S103의 확인 결과, 상기 MPU 이송기(50)가 이송 가능한 상태이면, 단계 S107로 이동을 하여 스캔 종료 위치로 이동을 시작한다. 즉, 현재 위치에서 정해진 방향(스캔 종료 방향)으로 이동을 시작하게 된다. 스캔 종료 방향의 판단은, 스캔 시작 위치를 기준으로 하여 판단을 하는 것이 바람직하다.

다음으로, 단계 S108에서 상기 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 MPU(21)가 감지되는지를 확인한다. 여기서 MPU(21)의 감지는 도 2에 도시한 바와 같이, 각각의 MPU(예를 들어, 21)에 MPU 위치 인식을 위한 도그(21a)를 장착하고, MPU 이송기(50)에는 도그 센서(51)를 마련하고, 이동을 하면서 도그(21a)가 감지되면 MPU가 감지되는 것으로 판단한다. 도그 센서(51)는 다양한 감지 센서를 이용할 수 있으나, 본 발명에서는 포토 센서를 바람직한 실시 예로 이용한다. 예컨대, 도그 센서(51)의 상부에 발광부를 구비시키고, 하부에 수광부를 구비한 상태에서, 발광부를 통해 광을 투사하고, 이동을 하면서 도그(21a)가 감지되지 않으면 수광부에서 발광부의 광을 수신하고, 도그(21a)에 의해 광이 차단되면 수광부에서 광을 수신하지 못하는 원리를 이용하여 MPU를 감지한다.

아울러 MPU 이송기(50)는 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서, 내부 카운터를 이용하여 이동 시간을 카운트한다. 이것은 추후 MPU 감지시 MPU의 위치를 판단하기 위함이다. 아울러 스캔 종료 위치로 이동을 시작할 때 MPU 이송기(50)의 속도는 미리 설정된 스캔 초기 속도로 이동하는 것이 바람직하다.

상기와 같이 스캔 종료 위치로 이동을 하면서 MPU를 감지하는 과정에서, 단계 S108의 확인결과 MPU가 감지되지 않으면 단계 S109로 이동하여 스캔 종료 위치인지를 확인한다. 이 확인 결과 스캔 종료 위치일 경우 상기 단계 S104로 이동하여, 그 이하의 단계를 수행한다. 여기서 스캔 종료 위치의 판단도 접촉 센서와 같은 센서를 설치하고, 접촉 센서가 감지되면 스캔 종료 위치로 판단을 한다. 아울러 단계 S109의 확인 결과 스캔 종료 위치가 아닐 경우, 단계 S110으로 이동하여 이동 시간이 경과 했는지를 확인한다. 그리고 이 확인 결과 이동 시간이 경과 하지 않았으면 상기 단계 S107로 이동하여 그 이하의 단계를 수행하고, 상기 이동 시간이 경과 하였으면 단계 S106으로 이동하여 에러를 발생한다. 즉, 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 MPU가 감지되지 않은 상태에서 스캔 시간이 종료되면, MPU 감지에 에러가 발생한 상태이므로, 에러를 발생하여 검사자가 인지하도록 한다.

한편, 스캔 종료 위치로 이동을 하는 과정에서 MPU가 감지되면 단계 S111로 이동하여 MPU 이송기(50)의 이동을 종료한다. 그리고 오프셋 조정을 위해 단계 S112로 이동하여 오프셋 조정 과정을 수행하여 MPU의 위치를 정확하게 설정한다. 여기서 오프셋은 MPU가 감지되는 순간 MPU 이송기가 정지를 하여도 이동을 하는 과정에서 정지이므로 약간의 오차가 발생하고, 각각의 MPU의 높이 차이나 공차 등에 의한 오가 발생한다. 이러한 오차를 오프셋이라고 하며, 오프셋은 각각의 MPU에 따라 미리 설정되거나 일률적으로 설정하여 사용하는 것이 바람직하다.

오프셋 조정을 위해, 단계 S112에서 MPU 이송기(50)를 설정된 거리만큼 역방향으로 이동시킨다. 여기서 설정된 거리는 5mm라고 가정한다. MPU 이송기(50)를 역방향으로 이동시키면서 단계 S113으로 이동하여 MPU가 감지되는지를 확인한다. 이 확인 결과 MPU가 감지되면 단계 S114로 이동하여 역방향으로 설정된 위치인지를 확인하여, 설정된 위치가 아니면 단계 S112로 이동하여 역방향 이동을 지속하고, 이와는 달리 설정된 위치이면 단계 S115로 이동하여 에러를 발생한다. 즉, 설정된 거리만큼 역방향으로 이동을 하였는데도 MPU가 감지되지 않으면 모터 이상이나 기타 MPU 이송기의 이상 또는 센서 이상 등의 에러 상태이므로, 이를 검사자에게 알리게 되는 것이다.

다음으로, 역방향으로 이동하는 도중에 상기 MPU가 감지되면 단계 S116으로 이동하여 MPU 이송을 정지하고, 단계 S117에서 오프셋 조정 후의 현재 위치 값을 MPU 위치 값으로 저장한다. 여기서 MPU의 위치 값은 이동 거리를 이용하여 산출하며, 위치 값 저장은 현재 첫 번째 MPU를 감지한 상태이므로, MPU1 = 100mm와 같은 방식으로 저장한다.

이어, 단계 S118에서 다시 현재 위치에서 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 스캔 종료 위치가 될 때까지 상기 단계 S107 내지 단계 S117를 반복 수행하여 모든 MPU를 스캔하고, 각각의 MPU에 대한 위치를 인식한다. 스캔 종료 위치가 되면 MPU 이송기의 이동을 정지시킨다(S119 ~ S120).

이러한 과정을 통해 MPU 스캔 과정이 종료되면 각각의 MPU에 대한 위치 값을 저장하고, 다음으로, 검사 대상인 FPD cell의 크기 및 디바이스 종류 정보가 입력되면, 이를 기초로 MPU 결정 과정을 수행하여, 검사할 MPU의 개수, 회피시킬 MPU의 개수, 검사할 MPU의 지정위치를 결정한다. 여기서 검사 대상인 FPD cell의 크기 및 디바이스 종류에 따라 검사할 MPU의 개수, 검사할 MPU의 지정 위치는 설정된 것으로 가정한다. 그리고 전체 MPU의 개수 대비 검사할 MPU의 개수를 연산하여, 회피시킬 MPU의 개수를 결정한다. 예컨대, 전체 MPU가 15개라고 가정하고, 검사할 MPU의 개수가 10개라면, 회피할 MPU의 개수는 5개(15 - 10 = 5)가 된다.

상기와 같이 검사할 MPU를 결정하면, 다음으로 MPU 회피 과정을 통해 MPU를 검사 영역에서 회피시킨다. 즉, MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터의 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어한다. 이때 회피위치로의 이동은 전체 MPU를 지정 회피 위치로 이동할 수 있고, 경우에 따라서는 이 과정 없이 지정위치로 이동시에 지정된 회피 위치(정위치)로 이동될 수 있다.

도 4는 MPU 회피 과정을 보인 흐름도이다.

MPU 회피 과정은 검사 대상 FPD cell의 크기 및 종류에 따라 검사 대상 MPU를 결정하고 현재 위치를 확인하는 단계(S201 ~ S202); 상기 단계(S202)에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계(S203); 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계(S204); 상기 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계(S2905); 상기 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계(S206); 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계(S207); MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 회피위치로 이송시키는 단계(S208 ~ S209); 회피 위치인지를 확인하여 회피 위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 회피 위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계(S210 ~ S211); MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계(S212 ~ S214); 다음 이송 대상으로 MPU 이송기를 이동하는 단계(S214)를 포함한다.

여기서 MPU의 록킹 해제 또는 록킹은 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 해제시켜 MPU의 록킹을 해제시키거나 상기 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 록킹시키는 것이 바람직하다. 아울러 공압 이외에 MPU를 록킹시키거나 해제할 수 있는 알려진 다양한 방법을 이용할 수도 있다.

이와 같이 구성된 MPU 회피 과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 단계 S201에서 검사 대상 FPD cell의 크기 및 종류에 따라 검사 대상 MPU를 결정하고, 단계 S202에서 현재 위치를 확인한다. 여기서 현재 위치는 MPU 스캔 과정을 통해 모든 MPU의 위치 값이 저장된 상태이며, MPU의 이송기의 이동이 발생할 때마다 실시간으로 MPU 이송기의 위치 값이 갱신되므로, 마지막 갱신된 MPU 이송기의 위치 값으로 현재 위치를 알 수 있다.

다음으로, 단계 S203에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치를 인식하고, 이동 대상 MPU의 위치로 이동한다. 각각의 MPU에 대한 위치 값이 저장된 상태이므로, 현재 위치에서 해당 MPU의 위치를 용이하게 인식할 수 있다. 현재 위치에서 해당 MPU로의 위치 이동은 이동 거리를 산출하고, 산출한 이동 거리를 기초로 모터의 속도와 구동 시간을 제어하여 해당 위치로 이동을 한다.

이어, 단계 S204에서는 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인한다. 상기 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 단계 S205로 이동하여 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생한다. 실제 산출된 이동 거리에 따라 MPU 이송기를 이동하면, 해당 위치의 MPU가 감지되어야 한다. 만약, 산출된 이동 거리만큼 이동을 하였는데도 MPU가 감지되지 않으면 MPU 이송기의 이상, 감지 센서의 이상 등이 발생한 상태이므로, 에러를 발생하여 검사자가 이를 인지하도록 한다.

다음으로, 상기 확인 결과 MPU가 감지되면, 단계 S206으로 이동하여 MPU 이송기의 실린더를 하강시킨다. 실제 MPU 이송기의 이동시는 실린더를 상승시켜, MPU이송기와 MPU의 도그가 부딪치는 것을 방지한다. 실린더를 하강시킨 상태에서, 단계 S207로 이동하여 MPU의 록킹을 해제시킨다. 여기서 각각의 MPU는 브레이크를 이용하여 록킹을 하는 상태이므로, 공압을 이용하여 이러한 브레이크를 해제시켜 록킹을 해제한다. 공압을 이용하여 브레이크를 해제하거나 록킹시키는 기술은 일반적으로 알려진 기술이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

이어, 단계 S208에서는 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인한다. 이것은 압력 측정을 통해 용이하게 확인할 수 있다. 이 확인 결과 MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 단계 S205로 이동하여 에러를 발생시켜 검사자가 이를 인지하도록 한다. 이와는 달리 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 단계 S209로 이동하여 MPU를 회피위치로 이송시킨다. 여기서 MPU의 이송은 압력 발생기(52)를 MPU에 형성된 구멍에 삽입하고, MPU 이송기의 힘에 의해 MPU가 이송되도록 하여, MPU를 이송시킨다.

다음으로, 단계 S210에서 회피 위치인지를 확인하여 회피 위치가 아닐 경우에는 단계 S205로 이동하여 에러를 발생한다. 여기서 회피 위치 확인은 회피 영역에 존재하는 별도의 센서(접촉센서)를 이용하거나 이전에 회피 영역에 MPU가 존재할 경우 MPU의 개수 등을 이용하여 확인할 수 있다.

아울러 회피 위치일 경우에는 단계 S211로 이동하여 MPU를 록킹시킨다. MPU의 록킹 역시 공압을 이용하여 MPU의 브레이크를 동작시켜 MPU를 록킹시킨다. 이후, 단계 S212에서 MPU의 압력 측정을 통해 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 단계 S205로 이동하여 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 단계 S213으로 이동하여 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환한다. 이때, 압력 발생기(52)는 MPU의 구멍으로부터 이탈된 상태가 된다.

이러한 과정으로 회피 대상 MPU를 회피 위치로 회피시킨 상태에서, 단계 S214로 이동하여 다음 회피 대상 MPU를 회피 위치로 이동시킨다.

회피 대상 MPU를 회피 영역으로 모두 이동시킨 상태에서, 검사 대상 MPU를 지정된 검사 위치로 이동시킨다. 여기서 MPU 지정위치 이동과정도 MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어하는 것이 바람직하다.

도 5는 상기 MPU 지정위치 이동과정을 보인 흐름도이다.

MPU 지정위치 이동과정은 현재 위치를 확인하는 단계(S301 ~ S302); 상기 단계 S302에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계(S303); 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계(S304); 상기 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계(S306); 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계(S307); MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 지정위치로 이송시키는 단계(S305, S308 ~ S309); 지정위치인지를 확인하여 지정위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 지정위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계(S310 ~ S311); MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계(S312 ~ S313); 다음 이송 대상으로 MPU 이송기를 이동시키는 단계(S314); 상기 단계 S304의 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계(S305)를 포함한다.

이와 같이 구성된 MPU 지정위치 이동과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 단계 S301에서 검사 대상 FPD cell의 크기 및 종류에 따라 검사 대상 MPU를 결정하고, 초기 카운트를 0으로 설정하고, 단계 S302에서 현재 위치를 확인한다. 여기서 현재 위치는 MPU 스캔 과정을 통해 모든 MPU의 위치 값이 저장된 상태이며, MPU의 이송기의 이동이 발생할 때마다 실시간으로 MPU 이송기의 위치 값이 갱신되므로, 마지막 갱신된 MPU 이송기의 위치 값으로 현재 위치를 알 수 있다.

다음으로, 단계 S303에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치를 인식하고, 이동 대상 MPU의 위치로 이동한다. 각각의 MPU에 대한 위치 값이 저장된 상태이므로, 현재 위치에서 해당 MPU의 위치를 용이하게 인식할 수 있다. 현재 위치에서 해당 MPU로의 위치 이동은 이동 거리를 산출하고, 산출한 이동 거리를 기초로 모터의 속도와 구동 시간을 제어하여 해당 위치로 이동을 한다.

이어, 단계 S304에서는 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인한다. 상기 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 단계 S305로 이동하여 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생한다. 실제 산출된 이동 거리에 따라 MPU 이송기를 이동하면, 해당 위치의 MPU가 감지되어야 한다. 만약, 산출된 이동 거리만큼 이동을 하였는데도 MPU가 감지되지 않으면 MPU 이송기의 이상, 감지 센서의 이상 등이 발생한 상태이므로, 에러를 발생하여 검사자가 이를 인지하도록 한다.

다음으로, 상기 확인 결과 MPU가 감지되면, 단계 S306으로 이동하여 MPU 이송기의 실린더를 하강시킨다. 실제 MPU 이송기의 이동시는 실린더를 상승시켜, MPU이송기와 MPU의 도그가 부딪치는 것을 방지한다. 실린더를 하강시킨 상태에서, 단계 S307로 이동하여 MPU의 록킹을 해제시킨다. 여기서 각각의 MPU는 브레이크를 이용하여 록킹을 하는 상태이므로, 공압을 이용하여 이러한 브레이크를 해제시켜 록킹을 해제한다. 공압을 이용하여 브레이크를 해제하거나 록킹시키는 기술은 일반적으로 알려진 기술이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

이어, 단계 S308에서는 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인한다. 이것은 압력 측정을 통해 용이하게 확인할 수 있다. 이 확인 결과 MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 단계 S305로 이동하여 에러를 발생시켜 검사자가 이를 인지하도록 한다. 이와는 달리 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 단계 S309로 이동하여 MPU를 지정위치로 이송시킨다. 여기서 MPU의 이송은 압력 발생기(52)를 MPU에 형성된 구멍에 삽입하고, MPU 이송기의 힘에 의해 MPU가 이송되도록 하여, MPU를 이송시킨다.

다음으로, 단계 S310에서 지정위치인지를 확인하여 지정위치가 아닐 경우에는 단계 S305로 이동하여 에러를 발생한다. 여기서 지정 위치 확인은 MPU 이송기의 이동시마다 실시간으로 위치 값을 알 수 있으므로, 이러한 위치 값을 기반으로 지정 위치를 인식한다. 즉, MPU의 위치 값을 이용하여 지정 위치를 확인할 수 있다.

아울러 지정위치일 경우에는 단계 S311로 이동하여 MPU를 록킹시킨다. MPU의 록킹 역시 공압을 이용하여 MPU의 브레이크를 동작시켜 MPU를 록킹시킨다. 이후, 단계 S312에서 MPU의 압력 측정을 통해 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 단계 S305로 이동하여 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 단계 S313으로 이동하여 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환한다. 이때, 압력 발생기(52)는 MPU의 구멍으로부터 이탈된 상태가 된다.

이러한 과정으로 검사 대상 MPU를 지정위치로 이동시킨 상태에서, 단계 S314로 이동하여 다음 검사 대상 MPU를 지정위치로 이동시킨다.

검사 대상 MPU가 지정된 위치로 모두 이동한 상태에서는 검사 대상 FPD cell의 검사를 진행한다. FPD cell의 검사는 오토 프로브 검사 방식을 이용하는 검사하는 것이 바람직하다.

이러한 본 발명에 따르면 FPD cell의 검사장치는 다양한 크기 및 디바이스 종류를 갖는 FPD cell의 검사 작업 시, 검사용 점등 유닛 블록을 교체 또는 변경하지 않고서도 검사 작업이 곧바로 이루어지도록 함으로써, 검사 시간을 단축하고, 점등 유닛 블록을 교체 또는 변경하는 데 따르는 불편함을 해소할 수 있게 되는 것이다.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

1: FPD cell 검사장치
10: FPD cell
20, 30, 40: 점등 유닛 블록
21: MPU
21a: 도그
50, 60: MPU 이송기
51: 도그 센서
52: 공압 발생기
53: 제어장치

Claims

FPD cell 검사장치에서 점등 유닛 블록의 이동을 제어하는 방법으로서,
(a) MPU(Motorized Probe Unit)를 이송시키는 MPU 이송기에서 이송 준비 상태로 전환하고, 스캔 과정을 통해 MPU의 위치 정보를 획득하는 MPU 스캔 과정;
(b) 상기 MPU 스캔 과정을 종료한 후, 검사 대상인 FPD cell의 크기와 디바이스 종류에 따라 검사 MPU를 결정하는 MPU 결정 과정;
(c) 상기 (b)과정 후 MPU 회피시 검사 영역에 존재하는 MPU를 회피 위치로 회피시키는 MPU 회피 과정; 및
(d) 상기 (b)과정 후 MPU 지정위치로 이동시 MPU를 현재 위치에서 지정 위치로 이동시키는 MPU 지정위치 이동과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 1에서, 상기 MPU 스캔 과정은 (a1) MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이송 준비 상태로 전환하는 단계; (a2) 상기 MPU 이송기를 스캔 시작 위치로 이동시키는 단계; (a3) 상기 MPU 이송기가 이송 가능한 상태인지를 확인하는 단계; (a4) 상기 MPU 이송기가 이송 가능한 상태이면 스캔 종료 위치로 이동을 시작하는 단계; (a4) 상기 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (a5) 상기 (a4)단계의 확인결과 MPU가 감지되면 이동을 종료하는 단계; (a6) 상기 (a5)단계 후 오프셋 조정 과정을 수행하여 MPU의 위치를 정확하게 설정하는 단계; (a7) 상기 (a6)단계 후 MPU의 위치 값을 저장하는 단계; (a8) 상기 (a7)단계 후 현재 위치에서 스캔 종료 위치로 이동을 시작하면서 스캔 종료 위치가 될 때까지 상기 (a4)단계 내지 (a7)단계를 반복 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 2에서, 상기 MPU 스캔 과정은 (a9) 상기 (a3)단계의 확인 결과 MPU 이송기가 이송 불가능한 상태이면, MPU의 개수를 확인하고, MPU의 개수가 설정된 최대 개수인지를 확인하여 MPU의 개수가 최대 개수일 경우 MPU 이송기의 이동을 종료하고, 상기 MPU의 개수가 최대 개수가 아닐 경우 에러를 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 3에서, 상기 MPU 스캔 과정은 (a10) 상기 (a4)의 확인결과 MPU가 감지되지 않으면 스캔 종료 위치인지를 확인하여, 스캔 종료 위치일 경우 상기 (a9)단계로 이동하는 단계; (a11) 상기 (a10)의 확인 결과 스캔 종료 위치가 아닐 경우, 이동 시간이 경과 했는지를 확인하여, 이동 시간이 경과 하지 않았으면 상기 (a4)단계로 이동하고, 상기 이동 시간이 지나면 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 2에서, 상기 (a6)단계는 (a61)상기 MPU 이송기를 설정된 거리만큼 역방향으로 이동시키는 단계; 상기 (a61)단계 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (a62)상기 MPU가 감지되면 역방향으로 설정된 위치인지를 확인하여, 설정된 위치가 아니면 이동을 하고, 설정된 위치이면 에러를 발생시키는 단계; (a63)상기 (a61)에서 MPU가 감지되면 MPU 이송을 정지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 1에서, 상기 MPU 결정 과정은 검사할 MPU의 개수, 회피시킬 MPU의 개수, 검사할 MPU의 지정위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 1에서, 상기 MPU 회피 과정은 MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터의 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 1 또는 청구항 7에서, 상기 MPU 회피 과정은 (c1) 현재 위치를 확인하는 단계; (c2) 상기 (c1)단계에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계; (c3) 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (c4) 상기 (c3)의 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계; (c5) 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계; (c6) 상기 (c5)단계 후 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 회피위치로 이송시키는 단계; (c7) 상기 (c6)단계 후 회피 위치인지를 확인하여 회피 위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 회피 위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계; (c8)상기 (c7)단계 후 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 8에서, 상기 (c5)단계는 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 해제시켜 MPU의 록킹을 해제시키며, 상기 (c7)단계는 상기 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 록킹시키는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 8에서, 상기 MPU 회피 과정은 (c9) 상기 (c3)의 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 1에서, 상기 MPU 지정위치 이동과정은 MPU 스캔 과정을 통해 획득한 MPU 위치 값을 기반으로, MPU 이송기 내의 모터 구동 시간 및 속도 제어를 통해 MPU 이송기의 위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 11에서, 상기 MPU 지정위치 이동과정은 (d1) 현재 위치를 확인하는 단계; (d2) 상기 (d1)단계에서 확인한 현재 위치를 기준으로 이동 대상 MPU가 존재하는 위치로 이동하는 단계; (d3) 상기 이동 대상 MPU 위치로 이동한 후 MPU가 감지되는지를 확인하는 단계; (d4) 상기 (d3)의 확인 결과 MPU가 감지되면, MPU 이송기의 실린더를 하강시키는 단계; (d5) 상기 MPU의 록킹을 해제시키는 단계; (d6) 상기 (d5)단계 후 MPU의 록킹이 해제되었는지를 확인하여, MPU의 록킹이 해제되지 않았으면 에러를 발생하고, 상기 MPU의 록킹이 해제된 경우에는 MPU를 지정위치로 이송시키는 단계; (d7) 상기 (d6)단계 후 지정위치인지를 확인하여 지정위치가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 지정위치일 경우에는 이송시킨 MPU를 록킹시키는 단계; (d8)상기 (d7)단계 후 MPU가 록킹 상태인지를 확인하여, MPU가 록킹 상태가 아닐 경우에는 에러를 발생하고, 상기 MPU가 록킹 상태이면 MPU 이송기의 실린더를 상승시켜 이동 가능한 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 12에서, 상기 MPU 지정위치 이동과정은 (d9) 상기 (d3)의 확인 결과 MPU가 감지되지 않으면 위치 이동 오류로 판단하고 에러를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.
청구항 12에서, 상기 (d5)단계는 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 해제시켜 MPU의 록킹을 해제시키며, 상기 (d7)단계는 상기 MPU에 공압을 인가하여 브레이크를 록킹시키는 것을 특징으로 하는 FPD cell 검사장치의 점등 유닛 블록 이동 제어방법.