JP3919320B2

JP3919320B2 - 検査ステージ

Info

Publication number: JP3919320B2
Application number: JP05270498A
Authority: JP
Inventors: 裕小坂; 慎治藤原
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1998-02-19
Publication date: 2007-05-23
Anticipated expiration: 2018-02-19
Also published as: JPH11237596A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶基板のような平板状被検査体の通電試験装置に用いられる検査ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
長方形の形状を有する液晶表示パネルの１つとして、長方形の隣り合う２つの辺に対応する２つの縁部のそれぞれに複数の電極を備えたいわゆる片タブ方式のものがある。
【０００３】
このような片タブ方式の液晶表示パネルは、一般に、検査すべき液晶表示パネルのためのワークテーブルを直接的又は間接的に受ける受け台を備える検査ステージ（測定ステージ）と、パネルの隣り合う２つの辺に対応する部位に支持された複数のプローブブロックを備えるプローブユニットとを用いる検査装置（測定装置）により行われる。
【０００４】
検査ステージは、液晶表示パネルをプローブユニットに対して位置決めるために、液晶表示パネルを、これと平行の面内で直交する２方向（Ｘ，Ｙ方向）、及び、パネルと直角のＺ方向に変位させるとともに、Ｚ軸線の周りに変位させる。このため、検査ステージは、受け台を三次元的に変位させるＸ・Ｙ・Ｚの３つのステージと、受け台をＺ軸線の周りに角度的に変位させるθステージとを備える。
【０００５】
液晶表示パネルは、プローブブロックに設けられたプローブの先端（針先）から数ｍｍ程度離された状態で検査ステージによりＸ及びＹ方向に移動されるとともに、Ｚ軸線の周りに角度的に回転されることにより、プローブに対する位置決めをされ、次いでＺ軸線の方向にさらに移動されることにより電極をプローブの針先に押圧され、その状態で通電される。
【０００６】
この種の検査装置においては、検査時に、液晶表示パネルの隣り合う２つの縁部が多数のプローブの先端に同時に押圧されるから、１つのプローブが液晶表示パネルに及ぼす押圧力は小さいが、液晶パネルに及ぼす全てのプローブの押圧力は大きく、従ってプローブによる押圧に起因する偏荷重が受け台に作用する。
【０００７】
しかし、従来の検査ステージでは、受け台をその回転中心側の部分においてクロスローラのようなベアリングによりＺステージに支持させているにすぎないから、上記のような偏荷重により受け台が傾き又は撓み、その結果、液晶表示パネルの電極に対するプローブの押圧位置がずれて、電極とプローブとが電気的に接触しなくなることが多かった。
【０００８】
電極とプローブとの電気的非接触状態は、液晶表示パネルの電極自体が微少であるから、受け台がわずかに傾く又は撓むだけで生じる。このため、受け台をその外周部の複数箇所においてリニアガイドのようなガイド手段によりＺステージにＺ方向に滑動可能に組み付けても、電極とプローブとの非接触状態を招くような受け台の傾き又は撓み及び電極とプローブとの位置ずれはリニアガイドに存在するわずかな遊びにより生じてしまう。
【０００９】
上記のような課題は、液晶表示パネル、液晶封入前のガラス基板等の液晶基板の検査装置（試験装置）のみならず、半導体ウエーハのような他の平板状被検査体の通電試験装置においても生じる。
【００１０】
【解決しようとする課題】
本発明の目的は、プローブによる偏荷重が受け台に作用しても、そのときの受け台の傾き又は撓みを抑えて、被検査体の電極とプローブとの位置ずれを可能な限り小さくすることにある。
【００１１】
【解決手段、作用、効果】
本発明の検査ステージは、平板状被検査体をこれと直交するＺ軸線の周りに変位させるθステージと、該θステージをＺ軸線の周りに回転可能に受ける支持手段とを含む。θステージは、被検査体を直接的又は間接的に受ける受け台と、該受け台を支持手段にＺ軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる第１の結合手段と、第１の結合手段の周りにあってＺ軸線の周りに間隔をおいて配置されて受け台を前記Ｚ軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる複数の第２の結合手段と、受け台を前記Ｚ軸線の周りに変位させるθ駆動機構とを備える。
【００１２】
受け台に作用する荷重は、回転中心側の第１の結合手段により支持手段に伝達されるのみならず、その周りの複数の第２の結合手段により支持手段に伝達される。このため、たとえ受け台に偏荷重が作用しても、その偏荷重に起因する受け台の傾き又は撓みは、回転中心側の第１の結合手段と、その周りの１以上の第２の結合手段により防止される。このように受け台の傾き又は撓みが小さく抑えられると、電極とプローブとの相対的な位置ずれが小さくなり、電極とプローブとの接触状態が安定に維持される。
【００１３】
各第２の結合手段を仮想的な四角形の隅角部に対応させて対応する隅角部に配置することができる。これにより、被検査体の電極部が、通常、長方形の隣り合う２以上の辺に設けられていることから、偏荷重に起因する受け台の傾き又は撓みがより小さく抑えられる。
【００１４】
各第２の結合手段は、支持手段及び受け台のいずれか一方に配置されて弧状に伸びるガイドレールと、支持手段及び受け台の他方に配置されてガイドレールに滑動可能に係合されたガイドとを備えることができる。これにより、受け台の回転運動を妨げることなく、偏荷重に起因する受け台の傾き又は撓みを小さく抑えることができる。
【００１５】
θ駆動機構は、支持手段に配置されたθモータと、該θモータにより回転されるリードスクリューであってＺ軸線の周りの仮想的な円の接線方向へ伸びるリードスクリューと、該リードスクリューに螺合するリードナットと、該リードナットを受け台に連結するリンクとを備えることができる。これにより、受け台は、リードナットの直線運動により角度的に回転される。このため、θ駆動機構の大部分を受け台の回転領域の外側に配置することができるから、保守管理が容易になる。また、受け台を偏心カムとばね力とにより回転させる機構に比べ、θ制御の精度に大きな影響を与えるカム面を利用しないから、θ制御の精度が著しく向上する。
【００１６】
リンクを、リードスクリューの長手方向へ間隔をおいた２箇所の一方及び他方においてそれぞれ受け台及びリードナットにＺ軸線と平行の軸線の周りに枢軸運動可能に連結することができる。これにより、リンクの近傍を除くθ駆動機構の残りの全ての部分を受け台の回転領域の外側に配置することができるから、保守管理がより容易になり、また受け台の回転角度制御の精度がより向上する。
【００１７】
さらに、被検査体を直接的又は間接的に受けるＺステージを含み、前記Ｚステージは、受け台にＺ軸線の方向へ変位可能に受けられたＺスライダと、該ＺスライダをＺ軸線の方向へ変位させるべく同期して駆動される複数のＺ駆動機構とを備え、各Ｚ駆動機構を仮想的な長方形の隅角部に配置することができる。これにより、電極とプローブとの相対的な押圧に起因する偏荷重がＺスライダに作用しても、それによるＺステージ、特にＺスライダの傾き又は撓みは長方形の各隅角部に配置されたＺ駆動機構により防止される。
【００１８】
各Ｚ駆動機構は、受け台に配置された中空の電動機と、一端部を電動機の中空部に受け入れられかつ他端部をＺスライダに連結されたリードスクリューと、リードスクリューに螺合されかつ受け台又は電動機に配置されたリードナットとを備えることができる。これにより、少なくとも中空部に受け入れられたリードナットの寸法分だけ、Ｚステージひいては検査ステージ全体の高さ寸法が小さくなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１〜図３を参照するに、検査ステージ１０は、四角形の液晶基板の点灯検査に用いられる。液晶基板は、図示の例では、四角形の隣り合う長短２つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極を有する片タブ方式の液晶表示パネルであり、また、ワークテーブル１２に載置される。検査用のプローブユニットは、そのプローブがワークテーブル１２上の液晶基板の電極と対向するように、ワークテーブル１２の上方に配置される。
【００２０】
以下、理解を容易にするために、検査ステージ１０及び液晶基板のいずれにおいても、液晶基板の長い端縁の方向（左右方向）をＸ方向というとともにその軸線をＸ軸線といい、液晶基板の短い端縁の方向をＹ方向というとともにその軸線をＹ軸線といい、液晶基板に垂直の方向をＺ方向というとともにその軸線をＺ軸線という。
【００２１】
液晶基板は、ワークテーブル１２の上に載置されており、また、ワークテーブル１２が検査ステージ１０によりＸ，Ｙ及びＺの３方向に移動されるとともにＺ軸線の周りに角度的に回転されることにより、プローブユニットに対し三次元的に移動されるとともに回転される。
【００２２】
ワークテーブル１２は、液晶基板を解除可能に真空吸着するチャックトップ１４を、検査ステージ１０に支持されたバックライトユニット１６の上に取り付けている。ワークテーブル１２の上面（チャックトップ１４の上面）は、液晶基板よりやや大きい長方形の載置面とされている。
【００２３】
検査ステージ１０は、ワークテーブル１２をＸ方向に移動させるＸステージ２０と、ワークテーブル１２をＹ方向へ移動させるＹステージ２２と、ワークテーブル１２をＺ軸線の周りに角度的に回転させるθステージ２４と、ワークテーブル１２をＺ方向へ移動させるＺステージ２６とをさらに備える。
【００２４】
Ｙステージ２２、θステージ２４及びＺステージ２６は、それぞれ、Ｘステージ２０、Ｙステージ２２及びθステージ２４に移動可能に支持されており、また対応するステージの移動にともなって移動される。ワークテーブル１２は、Ｚステージ２６に支持されている。
【００２５】
Ｘステージ２０は、検査装置のフレーム２８に取り付けられた矩形の平板状のＸ軸用ベース（Ｘベース）３０とＹステージ２２を受ける矩形の平板状のＸ軸用スライダ（Ｘスライダ）３２とを、Ｙ方向に間隔をおいた一対のＸ軸用リニアガイドにより、Ｚ方向に間隔をおいた状態に結合させている。Ｘ軸用の各リニアガイドは、Ｘベース３０及びＸスライダ３２のＹ方向の端部付近に設けられている。
【００２６】
Ｘ軸用の各リニアガイドを構成する部材のうち、長尺のガイドレール３４はＸベース３０の上側にＸ方向へ伸びる状態に取り付けられており、ガイドレール３４と滑動可能に嵌合するコ字状の溝を有する一対のガイド３６はＸスライダ３２の下側にＸ方向へ間隔をおいて取り付けられている。
【００２７】
Ｙステージ２２をＸ方向へ移動させるＸ駆動機構は、Ｘベース３０に配置されたＸ軸用電動機３８と、Ｘスライダ３２の側部をＸ方向へ伸びる状態にＸベース３０に回転可能に支持されたリードスクリュー４０と、Ｘスライダ３２の側部に取り付けられてリードスクリュー４０と螺合するリードナット４２とを備える。電動機３８及びリードスクリュー４０は、台座部を含むブラケット４４によりＸベース３０に組み付けられている。
【００２８】
このＸ駆動機構は、リードスクリュー４０を電動機３８により回転させてリードナット４２をＸ方向へ移動させることにより、Ｘスライダ３２ひいてはＹステージ２２をＸ方向へ移動させる。このため、Ｘスライダ３２は、Ｙステージ２２のＹ軸用ベース（Ｙベース）を兼ねている。
【００２９】
Ｙステージ２２は、Ｘ方向へ間隔をおいた一対のＹ軸用リニアガイドにより、θステージ２４を受ける矩形の平板状Ｙ軸用スライダ（Ｙスライダ）４６をＸスライダ３２のＺ方向へ間隔をおいた状態に結合させている。Ｙ軸用の各リニアガイドは、Ｘスライダ３２及びＹスライダ４６のＸ方向の端部付近に設けられている。
【００３０】
Ｙ軸用の各リニアガイドを構成する部材のうち、長尺のガイドレール４８はＹベース兼Ｘスライダ３２の上側にＹ方向へ伸びる状態に取り付けられており、ガイドレール４８と滑動可能に嵌合するコ字状の溝を有する一対のガイド５０は矩形の平板状Ｙスライダ４６の下側にＹ方向へ間隔をおいて取り付けられている。
【００３１】
Ｙスライダ４６ひいてはθステージ２４をＹ方向へ移動させるＹ駆動機構は、Ｘスライダ３２に配置されたＹ軸用電動機５２と、Ｙスライダ４６の側部をＹ方向へ伸びる状態にＹベース兼Ｘスライダ３２に回転可能に配置されたリードスクリュー５４と、Ｙスライダ４６の側部に取り付けられてリードスクリュー５４と螺合するリードナット５６とを備える。電動機５２及びリードスクリュー５４は、台座部を含むブラケット５８によりＸスライダ３２に取り付けられている。
【００３２】
このＹ駆動機構は、リードスクリュー５４を電動機５２により回転させてリードナット５６をＹ方向へ移動させることにより、Ｙスライダ４６ひいてはθステージ２４をＹ方向へ移動させる。このため、Ｙスライダ４６は、θステージ２４のθ軸用ベース（θベース）を兼ねている。
【００３３】
θステージ２４は、受け台６０をＹスライダ４６に、中央部に配置されたベアリング６２と、その周りに周方向に角度的に間隔をおいて配置された複数の曲線ガイド６４とにより、Ｚ軸線の周りに回転可能に支持しており、θ台すなわち受け台６０にＺステージ２６を受けている。受け台６０は、Ｚステージ２６のＺ軸用ベース（Ｚベース）を兼ねている。
【００３４】
受け台６０は、変位不能に結合された短い軸部６０ａと長方形の平板部６０ｂとを有しており、平板部６０ｂが上となる状態に、軸部６０ａにおいてベアリング６２によりＹスライダ４６に組み付けられているとともに、平板部６０ｂにおいて複数の曲線ガイド６４によりＹスライダ４６に組み付けられている。
【００３５】
図示の例では、ベアリング６２として、Ｚ方向への荷重を受けるクロスローラリングを用いているが、一般的なスラストベアリングを用いてもよい。各曲線ガイド６４は、弧状に伸びるガイドレール６６と、ガイドレール６６と滑動可能に嵌合されるべく弧状に伸びるコ字状の溝を有する１以上のガイド６８とを備える、いわゆるＲガイドである。
【００３６】
各Ｒガイド６４は、図示の例では、ベアリング６２の周りにあって液晶基板と相似の仮想的な長方形の隅角部に配置されているが、極率半径の中心が一致するようにＺ軸線の周りに同軸的に配置されていてもよい。各Ｒガイド６４のガイドレール６６及びガイド６８は、それぞれ、Ｙスライダ４６の上側及び受け台６０の下側に、同じ仮想線上に位置するように同軸的に取り付けられている。これにより、Ｒガイド６４は受け台６０の回転を妨げない。
【００３７】
受け台６０ひいてはＺステージ２６をＺ軸線の周りに角度的に回転させるθ駆動機構は、Ｙスライダ４６に配置されたθ軸用電動機７０と、電動機７０により回転されるリードスクリュー７２と、リードスクリュー７２に螺合するリードナット７４と、リードナット７４を受け台６０に連結するリンクと７６を備える。電動機７０及びリードスクリュー７２は、リードスクリュー７２がＺ軸線の周りの仮想的な円の接線方向へ伸びかつ回転可能であるように、ブラケット７８によりＹスライダ４６に取り付けられている。
【００３８】
図４及び図５に示すように、リードナット７４は、板状部８０を有しており、また、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りの枢軸運動可能に板状部８０においてピン８２によりリンク７６の一端部に連結されている。リンク７６の他端部は、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りの枢軸運動可能にピン８４により平板部６０ｂの下側に連結されている。
【００３９】
θ駆動機構は、電動機７０の回転運動をリードスクリュー７２とリードナット７４とによりリードナット７４の直線運動に変換し、この直線運動をリンク７６により受け台６０に伝達して受け台６０の角度的回転運動に変換する。これにより、受け台を偏心カムとばね力とにより回転させる機構に比べ、受け台６０の角度的回転運動の制御（θ制御）の精度が著しく向上する。
【００４０】
図６（Ａ）に示すように、例えば、受け台６０の平板部６０ｂの縁部がリードスクリュー７２と平行の状態において、電動機７０の正転によりリードナット７４が矢印の方向へ移動されると、受け台６０は図６（Ｂ）に示すようにわずかに回転されてその縁部がリードスクリュー７２に対して小さい角度を有する状態になる。電動機７０が逆転されたときは、受け台６０は逆方向へ角度的に回転される。
【００４１】
上記のように、θ駆動機構の大部分を受け台の回転領域の外側に配置すると、保守管理が容易になる。また、リンク７６をその長手方向の２箇所の一方及び他方においてそれぞれ受け台６０及びリードナット７４にＺ軸線と平行の軸線の周りに枢軸運動可能に連結すると、リンク７４の近傍を除いて、θ駆動機構の全ての部分を受け台６０の回転領域の外側に配置することができるから、保守管理がより容易になり、また回転角度制御すなわちθ制御の精度が著しく向上する。
【００４２】
また、受け台６０をリードスクリュー７２、リードナット７４及びリンク７６を用いて回転させるθ駆動機構は、受け台を偏心カムとばね力とにより回転させるθ駆動機構に比べ、θ制御の精度に大きな影響を与えるカム面を利用しないから、受け台６０を高精度に角度的に回転させることができ、θ制御の精度が著しく向上する。
【００４３】
Ｚステージ２６は、受け台６０にＹ方向へ間隔をおいて平行に組み付けられた板状の一対のフレーム８６と、両フレーム８６間に配置された箱状のＺスライダ８８とを複数対のＺ軸用リニアガイド９０により、Ｚスライダ８８が下方に開放するように、結合させている。フレーム８６として、上下両方向に開放する四角筒状の部材を用いてもよい。
【００４４】
Ｚ軸用の各リニアガイドを構成する部材のうち、長尺のガイド９２は、フレーム８６の内側にＺ方向へ伸びる状態に取り付けられており、ガイド９２と滑動可能に嵌合するコ字状の溝を有する一対のガイドレール９４は矩形のＺスライダ８８の内側にＺ方向へ間隔をおいて取り付けられている。
【００４５】
Ｚスライダ８８は、互いに同期して駆動される複数のＺ駆動機構により、受け台６０及びフレーム８６に対してＺ方向に変位される。各Ｚ駆動機構は、Ｚスライダ８８内にあって液晶基板と相似の仮想的な長方形の隅角部に対応する箇所に配置されている。各Ｚ駆動機構は、受け台６０の上に組み付けられた電動機９６と、電動機９６により回転されるリードスクリュー９８と、リードスクリュー９８と螺合するリードナット１００とを備える。
【００４６】
電動機９６は、中空のロータを備えたいわゆる中空サーボモータであり、ブラケット１０２により受け台６０に組み付けられている。リードスクリュー９８は、Ｚ方向へ伸びるように、一端部において中空サーボモータのロータの中空部に挿入され、他端部においてＺスライダ８８の上板部の下面に連結されている。リードナット１００は、電動機９６の回転子に同軸的に取り付けられている。しかし、リードナット１００をブラケット１０２により受け台６０に回転可能に配置してもよい。
【００４７】
Ｚ駆動機構は、リードナット１００が同期して駆動される電動機９６により同期して回転されることにより、リードスクリュー９８が同期してＺ方向へ移動されて、Ｚスライダ８８を同期してＺ方向へ移動させる。
【００４８】
検査時、液晶基板は、先ず、ワークテーブル１２に載置された後、Ｘステージ２０、Ｙステージ２２及びＺステージ２６によりＸ，Ｙ及びＺの３方向に移動されるとともにθステージ２４によりＺ軸線の周りに角度的に回転される。これにより、液晶基板は、プローブユニットに対し三次元的に移動されるとともに角度的に回転されて、位置決めをされる。次いで、液晶基板は、Ｚステージ２６により上昇されて、各電極部をその上方のプローブに押圧される。
【００４９】
片タブ方式の液晶基板の電極がプローブに押圧されると、押圧力が液晶基板の隣り合う２つの縁部に作用するから、Ｚステージ２６及び受け台６０に偏荷重が作用する。
【００５０】
しかし、Ｚスライダ８８は、これに作用する荷重を液晶基板と相似の仮想的な四角形の隅角部に配置されたＺ駆動機構により受け台６０に伝達するから、傾き及び撓みを阻止される。また、受け台６０は、これに作用する荷重を中央側のベアリング６２とその周りの複数の曲線ガイド６４とによりθベース兼Ｙスライダ４６に伝達するから、傾き及び撓みを阻止される。
【００５１】
上記の結果、検査ステージ１０によれば、たとえ受け台６０及びＺスライダ８８に偏荷重が作用しても、それらの傾き及び撓みが小さく抑えられ、電極とプローブとの相対的な位置ずれが小さくなり、電極とプローブとの接触状態が安定に維持される。また、Ｚ駆動機構がリードスクリュー９８の一端部を中空モータの中空部に受け入れているから、Ｚステージひいては検査ステージ全体の高さ寸法が小さくなる。
【００５２】
なお、Ｒガイドを四角形の隅角部に配置する代わりに、Ｚ軸線の周りに角度的間隔をおいて配置するだけであってもよく、また例えば、図示のＲガイド６４の間に類似のＲガイドをさらに配置してもよい。同様に、Ｚ駆動機構を四角形の隅角部に配置する代わりに、Ｚ軸線の周りに間隔をおいて配置するだけであってもよく、また例えば、図示のＺ駆動機構の間に類似のＺ駆動機構をさらに配置してもよい。
【００５３】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、θステージ２４をＺステージ２６の上に配置してもよい。本発明は、液晶表示パネル又はそれ用の透明基板（ガラス基板）のような液晶基板のみならず、他の表示パネル用のガラス基板のような表示基板、半導体ウエーハような基板の検査ステージにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査ステージの一実施例を示す正面図である。
【図２】図１に示す検査ステージの平面図である。
【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】θ駆動機構付近の拡大平面図である。
【図５】図４の５−５線に沿って得た断面図である。
【図６】受け台の回転状態を説明するための図である。
【符号の説明】
１０検査ステージ
１２ワークテーブル
１４バックライトユニット
１６チャックトップ
２０Ｘステージ
２２Ｙステージ
２４ θステージ
２６Ｚステージ
２８フレーム
３０Ｘベース
３２Ｙベース兼Ｘスライダ
４６ θベース兼Ｙスライダ
６０受け台
６０ａ受け台の軸部
６０ｂ受け台の平板部
６２ベアリング
６４曲線ガイド
６６曲線ガイドのガイド
６８曲線ガイドのガイドレール
７０ θ軸用の電動機
７２ θ軸用のリードスクリュー
７４ θ軸用のリードナット
７６ θ軸用のリンク
８２，８４枢軸連結用のピン
８６Ｚステージのフレーム
８８Ｚ軸用スライダ
９０Ｚ軸用のリニアガイド
９６Ｚ軸用の電動機（中空のサーボモータ）
９８Ｚ軸用のリードスクリュー
１００Ｚ軸用のリードナット

Claims

平板状被検査体をこれと直交するＺ軸線の周りに変位させるθステージと、該θステージを前記Ｚ軸線の周りに回転可能に受ける支持手段とを含み、前記θステージは、被検査体を直接的又は間接的に受ける受け台と、該受け台を前記支持手段に前記Ｚ軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる第１の結合手段と、前記第１の結合手段の周りにあって前記Ｚ軸線の周りに間隔をおいて配置されて前記受け台を前記Ｚ軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる複数の第２の結合手段と、前記受け台を前記Ｚ軸線の周りに変位させるθ駆動機構とを備える、検査ステージ。
各第２の結合手段は、仮想的な四角形の隅角部に対応されて対応する隅角部に配置されている、請求項１に記載の検査ステージ。
各第２の結合手段は、前記支持手段及び前記受け台のいずれか一方に配置されて弧状に伸びるガイドレールと、前記支持手段及び前記受け台の他方に配置されて前記ガイドレールと滑動可能に係合されたガイドとを備える、請求項１又は２に記載の検査ステージ。
前記θ駆動機構は、前記支持手段に配置されたθモータと、該θモータにより回転されるリードスクリューであって前記Ｚ軸線の周りの仮想的な円の接線方向へ伸びるリードスクリューと、該リードスクリューに螺合するリードナットと、該リードナットを前記受け台に連結するリンクとを備える、請求項１，２又は３に記載の検査ステージ。
前記リンクは、前記リードスクリューの長手方向へ間隔をおいた２箇所の一方及び他方においてそれぞれ前記受け台及び前記リードナットに前記Ｚ軸線と平行の軸線の周りに枢軸運動可能に連結されている、請求項４に記載の検査ステージ。
さらに、前記被検査体を直接的又は間接的に受けるＺステージを含み、前記Ｚステージは、前記受け台に前記Ｚ軸線の方向へ変位可能に受けられたＺスライダと、該Ｚスライダを前記Ｚ軸線の方向へ変位させるべく同期して駆動される複数のＺ駆動機構とを備え、各Ｚ駆動機構は仮想的な長方形の隅角部に配置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の検査ステージ。
各Ｚ駆動機構は、前記受け台に配置された中空の電動機と、一端部を前記電動機の中空部に受け入れられかつ他端部を前記Ｚスライダに連結されたリードスクリューと、該リードスクリューに螺合されかつ前記受け台又は前記電動機に配置されたリードナットとを備える、請求項６に記載の検査ステージ。