JP5588892B2 - プローブ組立体 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示パネルのような被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体に関する。

液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体の1つとして、特許文献１に記載されたものがある。

特許文献１に記載されたプローブ組立体は、支持片と、それぞれが帯状の取付領域の前後方向（Ｙ方向）の各端部からさらに先端側及び後端側へ延びる前部領域及び後部領域を備える複数のプローブであって、取付領域の幅方向（Ｚ方向）が上下方向となる状態に支持片の下側に取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、これらプローブの取付領域をその厚さ方向（Ｘ方向）に貫通して延びて両端部において支持片に支持された細長い支持バーと、支持片に配置されてプローブの配列方向（Ｘ方向）へ延びる一対のスリットバーとを含む。

各スリットバーは、その長手方向（Ｘ方向）に間隔をおいて前後方向へ延びかつ下方に開放する複数のスリットを備える。支持バーは、プローブの配列方向における支持片（ブロック）の各端部にねじ止めされた板状のサイドカバーに長手方向の端部を受け入れられている。これにより、プローブは、支持バー及びサイドカバーにより支持片に組み付けられている。

各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜を有しており、また前部領域の先端部から下方に突出する部分を被検査体の電極に押圧される先端針先とし、後部領域の先端部から上方に突出する部分をシート状接続具の配線に押圧される後端針先としている。

プローブは、さらに、前部領域及び後部領域の一部を、それぞれ、一方及び他方のスリットバーのスリットに受け入れられている。これにより、各プローブの針先領域はスリットバーの長手方向に変位することを防止されて、左右方向に隣り合うプローブが電気的に接触することを防止されている。

しかし、機械的強度の関係上、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることに限度がある。しかるに、上記従来のプローブ組立体では、プローブの前部領域を共通のスリットバーのスリットに受け入れているから、プローブの数と同数のスリットをスリットバーに設けなければならない。このため、上記従来のプローブ組立体では、狭ピッチのスリットをスリットバーに形成することができず、プローブを狭ピッチで配置することができない。

特開２００７−３０３９６９号公報

本発明の目的は、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。

本発明に係るプローブ組立体は、支持片と、帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる前部領域、及び該前部領域から下方へ突出する先端針先を備える複数のプローブであって前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置されたスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含む。左右方向に隣り合う少なくとも２つのプローブの前部領域の少なくとも一部は共通のスリットに受け入れられている。

前記共通のスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域は前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されていてもよい。

各スリットは、左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていてもよい。

前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも２つのプローブは、前後方向に間隔をおいた針先を有していてもよいし、前後方向及び左右方向の両方向に間隔をおいた針先を有していてもよい。

前記共通の前記スリットに受け入れられたプローブの前部領域の少なくとも一部は、上下方向に間隔をおいていてもよい。

プローブ組立体は、さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第２のスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを含むことができる。この場合、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端から後方へ延びる後部領域と、該後部領域から上方に突出する後端針先とを備えることができ、前記複数のプローブは、前記後部領域の少なくとも一部が前記第２のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブを備える第１のプローブ群と、左右方向に隣り合う前記第１のプローブの間に位置された複数の第２のプローブを備える第２のプローブ群とのいずれかに属することができる。各第１のプローブは、さらに、前記後部領域から下方に突出する突部を備えることができ、また前記後部領域の少なくとも一部を前記第２のスリットに受け入れられていてもよい。各第２のプローブの前記後部領域は、該第２のプローブの左方及び右方に位置する第１のプローブの前記突部の間を延びていてもよい。

各第２のスリットは、前後方向に延びている、又は左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていてもよい。前記第１及び第２のスリットのそれぞれは、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。

プローブ組立体は、さらに、前記第１及び第２のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びるバー部材と、該バー部材の長手方向の各端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含むことができる。

各プローブの前記前部領域は、弾性変形により、前記取付領域に対し変形されていてもよい。前記前部領域のうち、少なくともスリットに受け入れられた部分は電気的に絶縁されていてもよい。

本発明に係るプローブ組立体においては、左右方向に隣り合う少なくとも２つのプローブの前部領域の少なくとも一部は同じスリットに受け入れられているから、総プローブ数の２分の１以下のスリットをスリットバーに設ければよく、スリットの間の壁の数が少なくなる。したがって、その分スリットのピッチを小さくすることができ、その結果従来に比べプローブを狭ピッチで配置することができる。

前記同じスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域が前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されていると、そのプローブの前部領域がスリットの間の壁に押圧される。その結果、スリットバーに対するそのプローブの前部領域の先端（針先）の位置が一定に維持される。

各スリットが左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びていると、各プローブの前部領域も、左右方向及び前後方向に対するスリットの角度に応じて取付領域に対し左右方向及び前後方向に対して湾曲されて延びている。このように前部領域が取付領域に対し弾性変形により湾曲されていると、前部領域を同じスリットに受け入れられたプローブのうち、１つのプローブは前部領域をスリットの間の壁に押圧され、他のプローブは前部領域を前記１つのプローブの前部領域に押圧される。その結果、スリットバーと前部領域との間に遊びが存在していても、スリットバーに対する各前部領域の先端（針先）の位置が一定に維持される。

本発明に係るプローブ組立体の第１の実施例を用いたプローブユニットの一実施例を示す図である。 図１に示すプローブ組立体を分解して示す分解斜視図である。 サイドカバーを外した状態で図１に示すプローブ組立体を斜め前方から見た図である。 サイドカバーを外した状態で図１に示すプローブ組立体を斜め後方から見た図である。 第１及び第２のスリットバーと２種類のプローブとの位置関係を示す図である。 （Ａ）は図５における６Ａ−６Ａ線に沿って得た断面図であり、（Ｂ）は図５における６Ｂ−６Ｂ線に沿って得た断面図である。 図３における７部分の拡大図である。 図４における８部分の拡大図である。 第１及び第２のスリットバーと一方のプローブとの位置関係を示す図である。 第１及び第２のスリットバーと他方のプローブとの位置関係を示す図である。 （Ａ）は支持片並びに第１及び第２のスリットバーの一実施例を示す図であり、（Ｂ）は第１のスリットバーの底面図であり、（Ｃ）は第２のスリットバーの底面図である。 ２種類のプローブの位置関係を示す図である。 （Ａ）はプローブの平面図であり、（Ｂ）は第１のプローブの一実施例を示す図であり、（Ｃ）は第２のプローブの一実施例を示す図である。 プローブ組立体の第２の実施例における両プローブの位置関係を示す図である。 第２の実施例で用いる第３のプローブの一実施例を示す図である。 図１４における１６部分の拡大図である。 図１４の左側面図である。 第２の実施例の底面図である。 プローブ組立体の第３の実施例における両プローブの位置関係を示す図である。 第３の実施例の底面図である。 プローブ組立体の第４の実施例の３つのプローブの位置関係を示す図である。 第４の実施例の底面図である。

［用語について］

本発明においては、図１において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、前後方向をプローブの前部領域の側を前方とする前後方向又はＹ方向といい、紙背方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。

それゆえに、プローブユニット及びプローブ組立体は、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。

［プローブユニットの実施例］

図１を参照するに、プローブユニット１０は、一部を図１及び図５に示す被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、液晶を封入した液晶表示パネルであり、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４を少なくとも長方形の２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交するＸ方向又はＹ方向へ延びる帯状の形状を有している。

プローブユニット１０は、試験装置の本体フレーム（図示せず）に取り付けられる板状のプローブベース１６と、プローブベース１６の前端部上側に左右方向へ延びる状態に配置された支持台１８と、支持台１８に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置２０（図１においては、１つを示す。）と、プローブベース１６の上に配置された板状の中継ベース２２と、中継ベース２２の上に配置された中継基板２４とを含む。

プローブベース１６は、被検査体１２の電極１４が配置された１つの縁部の長手方向（図示の例では、左右方向）へ延びかつ厚さ方向が上下方向となる状態に、上記した本体フレームに直接又は板状ベースのような適宜な部材を介して取り付けられる。

支持台１８は、左右方向へ延びる板状の主体部１８ａと、主体部１８ａの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部１８ｂ、１８ｂとにより、門型に形成されている。これにより、支持台１８は、前方、後方及び下方に開放する空間２６（図１参照）を有する。支持台１８は、プローブベース１６の左右方向に離間した箇所を下方から上方に貫通して、脚部１８ｂ、１８ｂに螺合された一対のねじ部材（図示せず）により、プローブベース１６の上に取り付けられている。

図示の例では、支持台１８は、複数のプローブ装置２０で共通とされている。したがって、プローブ装置２０は、左右方向に離間して、主体部１８ａの上に取り付けられている。しかし、１つ、２つ又は３つのプローブ装置２０毎に支持台１８を設けてもよい。

各プローブ装置２０は、プローブ組立体３０と、プローブ組立体３０を支持する支持ブロック３２と、支持ブロック３２を支持する連結ブロック３４と、支持ブロック３２の下側に支持されて、プローブ組立体３０を支持ブロック３２に組み付ける結合ブロック３６と、支持ブロック３２と結合ブロック３６の間に配置されて、支持ブロック３２の下側に取り付けられた接続ブロック３８とを含む。

図２から図４に示すように、プローブ組立体３０は、導電性材料により板状に製作された複数の第１のプローブ４０及び複数の第２のプローブ４２を、ブロック状の支持片４４の下側に前後方向に間隔をおいて組み付けられた第１及び第２のスリットバー４６及び４８に、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に、交互に配置している。

第１及び第２のプローブ４０及び４２には、少なくとも外周面が電気的絶縁性を有するバー部材５０、５２が貫通状態に挿通されている。第１及び第２のプローブ４０及び４２は、バー部材５０及び５２と、それらバー部材５０及び５２の各端部を受け入れている板状のサイドカバー５４と、サイドカバー５４の外側に位置された板状の他のサイドカバー５６とにより支持片４４に組み付けられている。

各第１のプローブ４０は、図１３（Ｂ）に示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域４０ａと、取付領域４０ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域４０ｂと、取付領域４０ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域４０ｃと、前部領域４０ｂの先端から下方へ一体的に延びる先端針先４０ｄと、後部領域４０ｃの後端から上方へ一体的に延びる後端針先４０ｅと、後部領域４０ｃから下方へ突出すると共に前後方向へ延びる舌片状の突部４０ｆと備える。

各第２のプローブ４２は、図１３（Ｃ）に示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域４２ａと、取付領域４２ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域４２ｂと、取付領域４２ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域４２ｃと、前部領域４２ｂの先端から下方へ一体的に延びる先端針先４２ｄと、後部領域４２ｃの後端から上方へ一体的に延びる後端針先４２ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。しかし、各第２のプローブ４２は、第１のプローブ４０の突部４０ｆに対応する突部を備えていない。

前部領域４０ｂ、４２ｂと後部領域４０ｃ、４２ｃとは、取付領域４０ａ、４２ａの幅寸法より小さい幅寸法を有しており、また取付領域４０ａ、４２ａの対応する先端下部又は後端中央部から片持ち梁状に延びている。先端針先４０ｄ、４２ｄ及び後端針先４０ｅ、４２ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。

第１のプローブ４０及び第２のプローブ４２のそれぞれは、バー部材５０が貫通する円形の貫通穴４０ｇ又は４２ｇを取付領域４０ａ又は４２ａの中央部に有すると共に、バー部材５２が貫通しかつ貫通穴４０ｇ、４２ｇより小さい円形の貫通穴４０ｈ又は４２ｈを取付領域４０ａ又は４２ａの前部に有する。

第１及び第２のプローブ４０及び４２は、同じ厚さ寸法を有しており、また電気絶縁膜を左右方向の各面に有する。少なくとも前部領域４０ｂ、４２ｂ及び後部領域４０ｃ、４２ｃは、対応する取付領域４０ａ又は４２ａに対し弾性変形可能である。

図２から図４、図９から図１１等に示すように、支持片４４は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されており、また下方、左方及び右方に開放する溝、すなわち凹所６４(図２参照)を後端部下側に有する。

第１及び第２のスリットバー４６及び４８は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されている。前方に位置する第１のスリットバー４６及び後方に位置する第２のスリットバー４８は、それぞれ、支持片４４の先端部下側及び後端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。

第１のスリットバー４６は、その前端部上面から上方に突出して左右方向へ延びる当接部６６（図２、図９及び図１０参照）を有しており、当接部６６を支持片４４の前面下部に当接されている。これにより、第１のスリットバー４６と支持片４４とは、前後方向における位置決めをされる。

第２のスリットバー４８は、その後端部上面から上方に突出して左右方向へ延びる当接部６８（図２、図９及び図１０参照）を有しており、当接部６８が支持片４４の凹所６４に挿入されて、当接部６８を凹所６４を形成する前向き面に当接されている。これにより、第２のスリットバー４８と支持片４４とは、前後方向における位置決めをされる。

図５から図１１等に示すように、第１のスリットバー４６は、左右方向に間隔をおいて前後方向及び左右方向に対して角度を有して斜めに延びる複数の第１のスリット６０（図１１（Ｂ）参照）を備える。第２のスリットバー４８は、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第２のスリット６２（図１１（Ｃ）参照）を備える。第１及び第２のスリット６０及び６２のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放された溝とされている。

各第１のスリット６０は第１及び第２のプローブ４０及び４２の前部領域４０ｂ及び４２ｂを上下方向に変位させた状態で受け入れることができるように、第１及び第２のプローブ４０及び４２の前部領域４０ｂ及び４２ｂの厚さ寸法とほぼ同じ、左右方向における幅寸法を有する。

各第２のスリット６２は第１のプローブ４０の後部領域４０ｃを受け入れることができるように、第１のプローブ４０の後部領域４０ｃの左右後方における厚さ寸法とほぼ同じ、左右方向における幅寸法を有する。第１及び第２のスリット６０及び６２は、同じピッチで対応するスリットバー４６又は４８に形成されている。

バー部材５０及び５２は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性材料により形成されている。しかし、それらのバー部材５０、５２は、導電性材料を電気絶縁性材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。後者の場合、それらのバー部材が貫通する各プローブ及び各サイドカバーの貫通穴もそれらバーブ部材の断面形状と同じ形状を有する。

バー部材５０は、プローブ４０及び４２の貫通穴４０ｇ、４２ｇに挿通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー５４に設けられた穴５４ａ（図２参照）に受け入れられて、そのサイドカバー５４に支持されている。バー部材５２も、プローブ４０及び４２の貫通穴４０ｈ、４２ｈに挿通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー５２に設けられた穴５４ｂ（図２参照）に受け入れられて、そのサイドカバー５４に支持されている。

第１及び第２のプローブ４０及び４２は、取付領域４０ａ及び４２ａの厚さ方向が左右方向となりかつ左右方向に交互に位置する状態に、第１及び第２のスリットバー４６及び４８に並列的に配置されている。

各第１のスリット６０は、図５、図６（Ａ）、図７に示すように、１組の第１及び第２のプローブ４０及び４２の前部領域４０ｂ及び４２ｂの一部を上下方向に離間させた状態に受け入れている。各第２のスリット６２は、１つの第１のプローブ４０の後部領域４０ｃの一部を受け入れている。各第２のプローブ４２の後部領域４２ｃは、隣り合う両第１のプローブ４０の突部４０ｆの間を延びている。

各第１のプローブ４０の前部領域４０ｂは、第１のスリット６０内を左右方向及び前後方向に対し角度を有して延びている。各第１のプローブ４０の後部領域４０ｃは、第２のスリット６２内を前後方向に延びている。各第１のプローブ４０の先端針先４０ｄは、第１のスリット６０より前方の位置を下方へ延びている。各第１のプローブ４０の後端針先４０ｅ及び突部４０ｆは、それぞれ、第２のスリット６２から後方及び下方へ突出されている。

各第２のプローブ４２の前部領域４２ｂは、その先端針先４２ｄが第１のスリット６０の前後方向における途中から前方へ突出した状態に第１のスリット６０内にあって第１のプローブ４０の前部領域４０ｂの高さ位置より下側を前後方向へ延びている。各第２のプローブ４２の後部領域４２ｃは、後端針先４２ｅが第２のスリット６２から後方へ突出して上方へ延びるように、隣り合う第１のプローブ４０の突部４０ｉの間を前後方向へ延びている。

第１のプローブ４０の先端針先４０ｄ及び後端針先４０ｅの位置は、それぞれ、第２のプローブ４２の先端端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅより前方に位置されている。このため、第１のプローブ４０の先端針先４０ｄ及び後端針先４０ｅと、第２のプローブ４２の先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅとは、前後方向に間隔をおいているが、第１及び第２のプローブ４０及び４２の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。

第１及び第２のプローブ４０及び４２の先端針先４０ｄ及び４２ｄは、先端針先４０ｄが前後方向に対する第１のスリット６０の角度θ（図１１（Ｂ）参照）と同じ角度で前後方向に対し斜めに延びていることと、先端針先４０ｄが先端針先４２ｄより前方に位置することから、左右方向にも間隔をおいている。

サイドカバー５４、５６は、電気絶縁材料又は導電性材料で板状に製作されている。図２に示すように、内側に位置された各サイドカバー５４は、プローブの貫通穴４０ｇ、４２ｇ及び４０ｈ、４２ｈに通されたバー部材５０及び５２の端部を貫通穴５４ａ及び５４ｂに受け入れて、プローブ４０、４２を変位可能に支持している。

サイドカバー５４、５６は、それらサイドカバー５４、５６の前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、支持片４４に螺合されたボルトのようなピン状の複数のねじ部材６５（図１及び図２参照）により、支持片４４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。

サイドカバー５４は、また、サイドカバー５４及び支持片４４に前後方向に間隔をおいて設けられた複数の貫通穴７０（図２参照）を貫通して、他方側のサイドカバー５４に前後方向に間隔をおいて設けられた他の複数の貫通穴７０（図２参照）に達する位置決めピン７２（図１参照）により、支持片４４に対して位置決められている。

上記の結果、第１及び第２のプローブ４０及び４２は、バー部材５０及び５２、サイドカバー５４及び５６、ねじ部材６５、位置決めピン７２等により、支持片４４に分離可能に組み付けられて、左右方向及び前後方向の位置を決められている。

各プローブは、バー部材５０及び５２がサイドカバー５４及び５６に組み付けられ、第１及び第２のスリットバー４６及び４８が支持片４４に組み付けられ、サイドカバー５４、５６が支持片４４に組み付けられることにより、支持片４４に組み付けられて、保持される。

図においては、隣り合うプローブが左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブの配列ピッチは小さい。プローブの数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバーのスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。

プローブ組立体３０は、第１及び第２のプローブ４０及び４２を上記した状態にスリットバー４６及び４８に取り付け、これと並行して又はこれの前後に両スリットバー４６、４８を上記した状態に支持片４４に取り付け、その後サイドカバー５４、５６をねじ部材７５で支持片４４に上記した状態に取り付けることにより、組み立てることができる。

再度図１を参照するに、支持ブロック３２は、板状の２つ支持部３２ａ及び３２ｂによりＬ字状の断面形状に製作されている。連結ブロック３４は、支持台１８に取り付けられる主体部３４ａと、主体部３４ａの上部から前方へ延びる延長部３４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。

結合ブロック３６は支持ブロック３２の支持部３２ｂの下側に適宜な結合具７８に取り付けられており、プローブ組立体３０が結合ブロック３６を上方から下方に貫通して支持片４４に螺合されたねじ部材のような適宜な結合具（図示せず）により結合ブロック３６の下側に組み付けられている。

結合具７８は、図示の例では、例えば特願２００９−１７４２４８に記載されたものであるとして示しているが、支持ブロック３２の支持部３２ｂを上下方向に貫通して結合ブロック３６に螺合されたねじ部材であってもよい。

支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール８０と、両ガイドレール８０の間を上下方向へ延びるガイド８２とにより連結ブロック３４の主体部３４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト８４により連結ブロック３４の延長部３４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。

両ガイドレール８０及びガイド８２は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール８０は、支持ブロック３２の支持部３２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド８２は、両ガイドレール８０がガイド８２に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール８０の間に配置されており、また連結ブロック３４の主体部３４ａの前端面に取り付けられている。

ボルト８４は、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック３２に形成されたねじ穴８６に螺合されている。支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね８８（図１においては、その１つを示す）により下方に付勢されている。

各圧縮コイルばね８８は、連結ブロック３４の延長部３４ｂの上に複数のねじ部材９０（図１においては、その１つを示す）により取り付けられた板状のばね押え９２と、支持ブロック３２の支持部３２ａとの間に配置されている。これにより、連結ブロック３４の延長部３４ｂへのボルト８４のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置を調整することができる。

ばね押え９２は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト８４の回転量を調整する貫通穴９２ａを有する。これにより、ばね押え９２を連結ブロック３４から取り外すことなく、支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体３０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。

連結ブロック３４は、連結ブロック３４の主体部３４ａを上方から下方に貫通して支持台１８の主体部１８ａに螺合された複数のボルト９４（図１においては、１つを示す）により支持台１８に取り外し可能に取り付けられている。

中継ベース２２は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１６の上に配置されている。中継基板２４は、それぞれがプローブ装置２０のプローブに対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。中継基板２４の配線は、プローブ装置２０毎に備えられたシート状の電気的接続具１００により、対応するプローブに電気的に接続されている。

接続ブロック３８は、支持ブロック３２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック３６の後端部上側と支持ブロック３２の後端部下側との間に配置されている。接続ブロック３８は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材（図示せず）により支持ブロック３２の下側に分離可能に取り付けられている。

電気的接続具１００は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域１０２と、第１の配線領域１０２から後方へ延びるシート状の第２の配線領域１０４とを含む。第１及び第２の配線領域１０２及び１０４は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線（図示せず）及び複数の第２の配線（図示せず）を有する。

第１の配線領域１０２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされている。第２の配線領域は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。第１の配線領域１０２は、結合ブロック３６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路（図示せず）を中間領域に配置しており、さらに結合ブロック３６の下側を後方に延びている。

図１に示すように、第１の配線領域１０２の前端部は、第１の配線の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック３６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブの後端針先ｅは、第１の配線の先端部に押圧されて電気的に接続される（図５参照）。

図１に示すように、第１の配線領域１０２の後端部は、第１の配線領域１０２が結合ブロック３６の後端部において上方及び前方に横Ｕ字状に折り返されていることにより、第１の配線領域１０２の第１の配線の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック３６の上面に維持されている。

図１に示すように、第２の配線領域１０４の先端部は、第１の配線領域１０２の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線領域１０４の第２の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック３８の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線領域１０２の第１の配線の後端部と第２の配線領域１０４の第２の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。

第２の配線領域１０４は、接続ブロック３８の後端とプローブベース１６の前端との間から、プローブベース１６の上側に導かれ、また支持台１８の空間２６に通され、さらにプローブベース１６の上を後方に延びている。

第２の配線領域１０４は、その後端に設けられたコネクタ（図示せず）により、中継基板２４に結合されている。このコネクタは、電気的接続具１００の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブに接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板２４の前記した配線に接続される。

中継基板２４の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から電気的接続具９６を介してプローブに供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。

プローブ組立体３０においては、左右方向に隣り合う２つのプローブ４０、４２の前部領域４０ｂ、４２ｂの少なくとも一部を先端針先４０ｄ及び４２ｄが前後方向に間隔をおく状態に、左右方向及び前後方向に対し斜めに延びる第１のスリット６０に、受け入れているから、総プローブ数の２分の１以下の第１のスリット６０を第１のスリットバー４６に設ければよい。このため、第１のスリット６０の間の壁の数が少なくなり、したがってその分第１のスリット６０のピッチを小さくすることができる。

同様に、各第２のプローブ４２の後部領域４２ｄを隣りの２つのプローブ４０の凸部４０ｆの間に位置させているから、総プローブ数の２分の１以下の第２のスリット６２を第２のスリットバー４８に設ければよい。このため、第２のスリット６２の間の壁の数が少なくなり、したがってその分第２のスリット６２のピッチを小さくすることができる。

上記の結果、プローブ組立体３０によれば、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ４０、４２を狭ピッチで配置することができる。

プローブ組立体３０においては、また、各第１のスリット６０が左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びているから、プローブ４０、４２の前部領域４０ｂ、４２ｂも、取付領域４０ａ、４２ａに対し左右方向及び前後方向に対し弾性変形されて湾曲されて延びている。このため、前部領域４０ｂ、４２ｂの少なくとも一部を同じ第１のスリット６０に受け入れられたプローブ４０、４２の先端針先４０ｄ、ｄ２ｄは、これら先端針先４０ｄ、ｄ２ｄが前後方向に間隔をおいていることと相まって、左右方向に離間される。

前部領域４０ｂ、４２ｂが取付領域４０ａ、４２ａに対し弾性変形により湾曲されていると、前部領域を同じ第１のスリット６０に受け入れられたプローブ４０、４２のうち、１つのプローブは前部領域を第１のスリット６０の間の壁に押圧され、他のプローブは前部領域を前記１つのプローブの前部領域に押圧される。その結果、第１のスリットバー４６と前部領域との間に遊びが存在していても、第１のスリットバー４６に対する各前部領域の先端（針先）の位置が一定に維持される。

前後方向に対する第１のスリット６０の角度θ（図１１を参照）が小さすぎると、取付領域に対する前部領域の弾性変形量が少なく、第１のスリット６０の間の壁への１つのプローブの前部領域の押圧力、及び該１つのプローブの前部領域への他のプローブの前部領域の押圧力が小さくなりすぎる。その結果、第１のスリットバー４６に対する各先端針先の位置が不安定になる。逆に、角度θが大きすぎると、取付領域に対する前部領域の変形量が大きくなりすぎ、前部領域が折損するおそれがある。

その結果、前後方向に対する第１のスリット６０の角度θは、３度から６０度、好ましくは５度から３０度とすることができる。しかし、角度θは、左右方向及び前後方向のそれぞれにおける先端針先４０ｄ及び４２ｄの目標位置、ひいては左右方向及び前後方向のそれぞれにおける被検査体の電極の位置により定まる。

プローブ組立体３０においては、左右方向に隣り合うプローブの電気的絶縁性は、各プローブが電気絶縁膜を有することにより維持される。しかし、電気絶縁膜を各プローブの厚さ方向における両面に設ける代わりに、電気絶縁シートを隣り合うプローブの間に配置してもよいし、隣り合うプローブが接触する範囲、例えば前部領域、後部領域及び突部にのみ電気絶縁膜を設けてもよい。

上記実施例では、２つのプローブ４０、４２の前部領域４０ｂ、４２ｂを各第１のスリット６０に配置しているが、１つのプローブの前部領域を１つの第１のスリットに配置してもよいし、第１、第２、第１のプローブ、第１、第２、第１、第２のプローブのように、３以上のプローブの前部領域を各第１のスリットに配置してもよい。

各第２のプローブ４２の後部領域４２ｃを突部４０ｆの間に通す代わりに、各第２のプローブ４２の後部領域４２ｃの一部を対応する第２のスリット６２に位置させてもよい。第２のスリット６２も第１のスリット６０と同様に左右方向及び前後方向に対して角度を有するように延在させてもよい。

図１４から図１８を参照するに、プローブ組立体１１０は、図１３（Ｃ）に示す複数の第２のプローブ４２と、図１５に示す複数の第３のプローブ１１２とを用いている。各第３のプローブ１１２は、前部領域１１２ｂに逆Ｕ字状の湾曲部１１２ｉを設けた点を除いて、図１３（Ｂ）に示す第１のプローブ４０と同じように形成されている。

このため、各第３のプローブ１１２は、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域１１２ａと、取付領域１１２ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる前部領域１１２ｂと、取付領域１１２ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後部領域１１２ｃと、前部領域１１２ｂの先端から下方へ一体的に延びる先端針先１１２ｄと、後部領域１１２ｃの後端から上方へ一体的に延びる後端針先１１２ｅと、後部領域１１２ｃから下方へ突出すると共に前後方向へ延びる舌片状の突部１１２ｆと、貫通穴１１２ｇ、１１２ｈと、電気絶縁膜（図示せず）とを備える。

プローブ組立体１１０は、第２及び第３のプローブ４２及び１１２の前部領域４２ｄ及び１１２ｄが第１のスリット６０内を左右方向及び前後方向に対し角度を有して延びていること、及び前部領域１１２ｄが湾曲部１１２ｉより先端側において前部領域４２ｄの上方を延びていることを除いて、第１及び第２のプローブ４０及び４２を用いるプローブ組立体３０と同じ構造とされている。

先端針先１１２ｄ及び後端針先１１２ｅの位置は、それぞれ、先端端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅより前方に位置されている。このため、先端針先４２ｄ及び後端針先４２ｅと、先端針先１１ｄ及び後端針先１１２ｅとは、前後方向に間隔をおいている。

プローブ組立体１１０によっても、プローブ組立体３０と同様に、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ４０、４２を狭ピッチで配置することができ、また第２及び第３のプローブ４２及び１１２の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。

上記の実施例は、いずれも、第１のスリット６０が左右方向及び前後方向に対して角度を有しているが、図１９及び図２０に示すプローブ組立体１２０のように、第１のスリット６０を単に前後方向に延びる構造としてもよい。プローブ組立体１２０においては、第１のプローブ４０の前部領域４０ｂを取付領域４０ａに対して弾性変形させて、隣りの第２のプローブ４２の前部領域４２ｂと共に同じ第１のスリット６０に配置している。

また、上記の実施例は、いずれも、２つのプローブ４０、４２又は４２、１１２の前部領域４０ｂ、４２ｂ又は４２ｂ、１１２ｂを同じ第１のスリット６０に、図２１及び図２２に示すプローブ組立体１３０のように、３以上のプローブ１３２、１３４、１３６の前部領域１３２ｂ、１３４ｂ、１３６ｂを同じ第１のスリット６０に配置してもよい。

図２１及び図２２に示すローブ組立体１３０において、プローブ１３２、１３４及び１３６は、前部領域１３２ｂ及び１３４ｂ並びに後部領域１３２ｃ及び１３４ｃにおいて弾性変形されて、前部領域１３２ｂ、１３４ｂ及び１３６ｂが同じ第1のスリット６０に受け入れられ、かつ後部領域１３２ｃ、１３４ｃ及び１３６ｃが同じ第2のスリットに受け入れられた状態に配置されている。

前部領域１３２ｂ、１３４ｂ及び１３６ｂは、それぞれ、上段、中断及び下段に位置されており、後部領域１３２ｃ、１３４ｃ及び１３６ｃは、それぞれ、上段、中断及び下段に位置されている。先端針先１３２ｄ及び１３４ｄはそれぞれ先端針先１３４ｄ及び１３６ｄより前方に位置されており、後端針先１３２ｅ及び１３４ｅはそれぞれ後端針先１３４ｅ及び１３６ｅより後方に位置されている。

プローブ組立体１２０及び１３０によっても、プローブ組立体３０、１１０と同様に、従来に比べ、スリットのピッチを小さくすることなく、プローブ４０、４２を狭ピッチで配置することができ、また第２及び第３のプローブ４２及び１１２の前後方向における長さ寸法、特に有効電気的長さを同じとすることができる。

本発明は、液晶を封入した液晶表示パネルのみならず、液晶表示パネル用のガラス基板のような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１０ プローブユニット
１２ 被検査体
１４ 被検査体の電極
１６ プローブベース
１８ 支持台
２０ プローブ装置
３０ プローブ組立体
４０、４２ 第１及び第２のプローブ
４０ａ、４２ａ 取付領域
４０ｂ、４２ｂ 前部領域
４０ｃ、４２ｃ 後部領域
４０ｄ、４２ｄ 先端針先
４０ｅ４２ｅ 後端針先
４０ｆ 突部
４０ｇ、４２ｇ 貫通穴
４４ 支持片
４６、４８ 第１及び第２のスリットバー
５０、５２ バー部材
５４、５６ サイドカバー
６０、６２ 第１及び第２のスリット
１１０、１２０、１３０ プローブ組立体
１１２、１３２、１３４、１３０ プローブ
１１２ａ、１３２ａ、１３４ａ、１３６ａ 取付領域
１１２ｂ、１３２ｂ、１３４ｂ、１３６ｂ 前部領域
１１２ｃ、１３２ｃ、１３４ｃ、１３６ｃ 後部領域
１１２ｄ、１３２ｄ、１３４ｄ、１３６ｄ 先端針先
１１２ｅ、１３２ｅ、１３４ｅ、１３６ｅ 後端針先

Claims (13)

1. 支持片と、
   帯状の取付領域、該取付領域の先端から前方へ延びる前部領域、及び該前部領域から下方へ突出する先端針先を備える複数のプローブであって前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に並列的に配置された複数のプローブと、
   前記支持片の先端部下側に配置されたスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数のスリットを備えるスリットバーとを含み、
   左右方向に隣り合う少なくとも２つのプローブの前部領域の少なくとも一部は共通のスリットに受け入れられている、プローブ組立体。
2. 各スリットは左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びている、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 前記共通のスリットに受け入れられたプローブの少なくとも1つの前部領域は前記取付領域に対し左右方向及び前後方向に変形されている、請求項２に記載のプローブ組立体。
4. 各スリットは前後方向に延びている、請求項１に記載のプローブ組立体。
5. 前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも２つのプローブは、前後方向に間隔をおいた針先を有する、請求項１から４のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
6. 前部領域の少なくとも一部が前記共通のスリットに受け入れられた少なくとも２つのプローブは、前後方向及び左右方向に間隔をおいた針先を有する、請求項１から３のいずれか1項に記載のプローブ組立体。
7. 前記共通の前記スリットに受け入れられたプローブの前部領域の少なくとも一部は、上下方向に間隔をおいている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
8. さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第２のスリットバーであって、左右方向に間隔をおきかつ下方に開放する複数の第２のスリットを備える第２のスリットバーを含み、
   各プローブは、さらに、前記取付領域の後端から後方へ延びる後部領域と、該後部領域から上方に突出する後端針先とを備え、
   前記複数のプローブは、前記後部領域の少なくとも一部が前記第２のスリットに受け入れられた複数の第１のプローブを備える第１のプローブ群と、左右方向に隣り合う前記第１のプローブの間に位置された複数の第２のプローブを備える第２のプローブ群とのいずれかに属しており、
   各第１のプローブは、さらに、前記後部領域から下方に突出する突部を備えており、また前記後部領域の少なくとも一部を前記第２のスリットに受け入れられており、
   各第２のプローブの前記後部領域は、該第２のプローブの左方及び右方に位置する第１のプローブの前記突部の間を延びている、請求項１から７のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
9. 各第２のスリットは、前後方向に延びている、又は左右方向及び前後方向に対して角度を有して延びている、請求項８に記載のプローブ組立体。
10. 前記第１及び第２のスリットのそれぞれは、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放している、請求項８及び９のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
11. さらに、前記第１及び第２のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びるバー部材と、該バー部材の長手方向の各端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含む、請求項９から１０のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
12. 各プローブの前記前部領域は、前記取付領域に対し弾性変形可能である、請求項１から１１のいずれか１項に記載のプローブ組立体。
13. 前記前部領域のうち、少なくともスリットに受け入れられた部分は電気的に絶縁されている、請求項１から１２のいずれか１項に記載のプローブ組立体。

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