JP5459646B2 - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状の被検査体の検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関する。

液晶パネル等の平板状の被検査体は、一般にプローブユニットを用いて検査される。この種のプローブユニットとしては、薄い板状のブレード型プローブを複数枚並べて構成するタイプのものがある。この例としては特許文献１がある。この特許文献１の発明を以下に概説する。

プローブ組立体１は、図２及び図３に示すように、ブロック２と、ブロック２の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ３と、プローブ３を貫通する細長い一対のガイドバー４と、プローブ３の一部を受け入れる一対のスリットバー５と、プローブ３の後端側に針先の位置を安定化させる長尺のガイド部材６と、ガイドバー４をブロック２に支持させる一対のサイドカバー７とを含んで構成されている。

各プローブ３は、帯状の中央領域３Ａと、該中央領域の先端および後端から前方および後方へ伸びる一対の針先領域３Ｂおよび３Ｃとを備える。中央領域３Ａは、ガイドバー４が貫通するガイド穴３Ｄを各端部に有する。各プローブ３は、そのガイド穴３Ｄにガイドバー４が通され、各針先領域３Ｂおよび３Ｃがスリットバー５に嵌合されて、ブロック２の下側に配設されている。

これにより、針先領域３Ｂのプローブが液晶パネル上に横一列に設けられた電極に接触されて電気的に接続され、制御信号送信等が行われる。

ところで、液晶パネル等においては、近年、集積化が進んで回路の電極を極めて狭い間隔で配列される場合がある。これに対応するプローブユニットとしては、接触子の位置が異なるブレード型プローブを組み合わせて配設して千鳥状のプローブを構成するプローブユニットがある。
特開平１０−１３２８５３号公報

ところで、前記接触子の位置が異なるブレード型プローブを配設して千鳥状のプローブを構成するプローブユニットでは、前記接触子の位置が異なる複数種類のブレード型プローブを多数正確に配置して支持するのが容易でなく、ブレード型プローブのよれ、ゆがみ、破損等が生じてしまうことがあるという問題がある。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、ブレード型プローブのよれ、ゆがみ、破損等を抑えて各接触子を正確に支持して各電極に確実に接触させることができるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体を備えたプローブユニットであって、（１）前記ブレード型プローブが、正確に位置決めされて支持される本体板部と、当該本体板部の先端側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びた先端側腕部と、前記本体板部のＦＰＣ側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びたＦＰＣ側腕部とを備えると共に、当該ブレード型プローブが第１列用ブレード型プローブと他列用ブレード型プローブとから構成され、（２）前記ブレード型プローブの先端側腕部を挿入する、同一形状のスリットを複数設けた先端側スリットバーと、前記ブレード型プローブのＦＰＣ側腕部を挿入する同一形状のスリットを複数設けたＦＰＣ側スリットバーを備え、（３）前記第１列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの１列目に整合する位置で且つ先端位置に設け、（４）前記他列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの２列目以降に整合する位置であって前記先端側腕部によって片持ち状態になる位置に設けると共に、前記接触子の先端側に、接触子を除き前記第１列用ブレード型プローブの先端側腕部と同じ形状になるように片持ち方式で細長く伸ばして設定された保持板部を備え、（５）前記先端側スリットバーの前記スリットによる当該他列用ブレード型プローブの保持状態と、前記先端側スリットバーの前記スリットによる前記第１列用ブレード型プローブの保持状態とを同様にするように、前記他列用ブレード型プローブの保持板部が機能することを特徴とする。

前記構成により、前記第１列用ブレード型プローブの前記先端側腕部の接触子が、前記被検査体の複数列千鳥状の電極の１列目に接触し、前記他列用ブレード型プローブの前記先端側腕部の接触子が、前記被検査体の複数列千鳥状の電極の２列目以降に接触して、制御信号を送信する。このとき、前記他列用ブレード型プローブの保持板部によって、当該他列用ブレード型プローブの先端側腕部と前記第１列用ブレード型プローブの先端側腕部とがほぼ同じ長さになる。

被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えた検査装置であって、前記測定部のプローブユニットとして、前記プローブユニットを用いることが望ましい。

以上のように、前記他列用ブレード型プローブの保持板部によって、当該他列用ブレード型プローブの先端側腕部と前記第１列用ブレード型プローブの先端側腕部とがほぼ同じ長さになるため、各ブレード型プローブのよれ、ゆがみ、破損等を抑えて各接触子を正確に支持して各電極に確実に接触させることができる。

以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態の検査装置は、被検査体の検査に用いる検査装置であって、被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えものである。この検査装置の前記測定部のプローブユニットとして、本実施形態に係るプローブユニットを用いる。なお、本実施形態の検査装置は、前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここではプローブユニットを中心に説明する。また、本発明に係る検査装置としては、本実施形態に係るプローブユニットを用いることができる装置すべてに適用することができる。

本実施形態のプローブユニット１１は、図４に示すように、被検査体としての液晶パネル１２の検査装置に用いられる装置である。液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また複数の電極(図示せず)を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極は、液晶パネル１２の表面の回路の高集積化に伴って複数段の千鳥状に配設されている。

プローブユニット１１は主に、プローブベース１３と、プローブ組立体１４とを備えて構成されている。

プローブベース１３は、検査装置の本体フレーム側に固定される部材である。プローブベース１３は、本体フレーム側に固定された状態で、プローブ組立体１４を支持している。

プローブ組立体１４は、プローブを支持して液晶パネル１２の電極に電気的に接触させるための装置である。プローブ組立体１４は図５に示すように主に、サスペンションベース１６と、スライドブロック１７と、プローブプレート１８と、ＦＰＣベース１９と、プローブブロック２０とを備えて構成されている。

サスペンションベース１６は、スライドブロック１７等を介して後述するプローブブロック２０のブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サスペンションベース１６は、全体をほぼ立方体状に形成されてプローブベース１３に固定されている。サスペンションベース１６の先端側には、スライドブロック１７を上側から付勢するための庇部１６Ａが設けられている。庇部１６Ａにはボルト穴２２が設けられ、ボルト２３がねじ込まれている。このボルト２３の先端側が後述するスライドブロック１７のスプリング穴１７Ｂに挿入されている。サスペンションベース１６の先端側面の前記庇部１６Ａの下側には、スライドブロック１７を上下方向にスライド可能に案内するレール２４が設けられている。

スライドブロック１７は、上下へスライドしてプローブブロック２０を支持するための部材である。スライドブロック１７はおおむね立方体状に形成されている。スライドブロック１７の下部には、プローブプレート１８を覆う大きさの庇部１７Ａが形成されている。プローブプレート１８は、この庇部１７Ａを含むスライドブロック１７の下側面に当接して支持される。スライドブロック１７の基端面（図５中の右側面）には、サスペンションベース１６のレール２４に嵌合してスライドブロック１７の上下への移動を支持するガイド２６が取り付けられている。スライドブロック１７の上側面には、スプリング２８を挿入するためのスプリング穴１７Ｂが設けられている。スプリング２８は、ボルト２３に支持されてスプリング穴１７Ｂ内に挿入され、スライドブロック１７を下方へ付勢している。このスプリング２８による付勢力によって、後述する各接触子５６，６４が液晶パネル１２の各電極に接触した状態で各接触子５６，６４を各電極側に付勢している。

プローブプレート１８は、スライドブロック１７に支持された状態で、ＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とを支持するための部材である。プローブプレート１８は、その上側面がスライドブロック１７の下側面に固定された状態で、下側面にＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とが固定されている。

ＦＰＣベース１９は、ＦＰＣケーブル２７を支持して外部装置と後述するブレード型プローブ３８とを電気的に接続するための部材である。ＦＰＣケーブル２７は、その基端部がプローブベース１３の下側面に取り付けられた中継基板２９に接続され、先端部がＦＰＣベース１９の下側面に取り付けられている。ＦＰＣベース１９の先端部には、後述するブレード型プローブ３８のＦＰＣ側の接触子５７に電気的に接触する端子(図示せず)、この端子を保護するガイドフィルム３０、駆動用集積回路(図示せず)等が設けられている。

プローブブロック２０は、液晶パネル１２の回路(図示せず)に検査信号送信等を行うために液晶パネル１２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック２０は、図６，７に示すように、ブロック片３３と、スリットバー３４と、ガイドバー３５と、サポートピン３６と、カバー３７と、ブレード型プローブ３８とから構成されている。

ブロック片３３は、その下側面に複数のブレード型プローブ３８を一定間隔を空けて一体的に支持するための部材である。ブロック片３３は、その下側面がブレード型プローブ３８の上側面形状に合わせて凹ませて形成されている。ブロック片３３の左右両側（図６中の左上右下方向の両側）には、カバー３７を固定するためのネジ穴４０が複数設けられている。ブロック片３３の上側面には、プローブブロック２０をプローブプレート１８に固定するためのネジ穴４１が複数設けられている。

スリットバー３４は、多数配設されるブレード型プローブ３８のうち後述する各先端側腕部５１，６１と各ＦＰＣ側腕部５２，６２とをそれぞれ正確に位置決めして支持するための部材である。このスリットバー３４は、セラミックスで形成され、熱による影響を受けずにブレード型プローブ３８を正確に支持するようになっている。先端側スリットバー３４Ａはブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１，６１を支持し、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂはブレード型プローブ３８の各ＦＰＣ側腕部５２，６２を支持する。各スリットバー３４Ａ，３４Ｂは、多数のスリット４３を設けて構成されている。各スリット４３は、ブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１，６１及び各ＦＰＣ側腕部５２，６２を設定間隔を空けて支持するためのスリットである。先端側スリットバー３４Ａの各スリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合する先端側腕部５１，６１の後述する接触子５６，６４が液晶パネル１２の各電極の間隔に整合するように設定されている。ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂのスリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合するＦＰＣ側腕部５２，６２の後述する接触子５７がＦＰＣケーブル２７の端子の間隔に整合するように設定されている。

ガイドバー３５は、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。ガイドバー３５は大径円柱状に形成されている。大径円柱状のガイドバー３５の直径は、ブレード型プローブ３８の後述する位置決め穴５３の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。即ち、ブレード型プローブ３８の位置決め穴５３にガイドバー３５が嵌合した状態でこのガイドバー３５を位置決めすると、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置が正確に決まる。このため、ガイドバー３５の直径をブレード型プローブ３８の位置決め穴５３の内径に整合する寸法に設定して、ガイドバー３５を位置決めすることで、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置決めが正確にできるようになっている。

サポートピン３６は、ガイドバー３５と共に、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サポートピン３６は円形棒状に形成されている。このサポートピン３６の直径は、ブレード型プローブ３８の後述するサポートピン穴５４の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。

カバー３７は、ガイドバー３５とサポートピン３６を支持するための板材である。カバー３７は２枚用いられ、ブロック片３３の両側に取り付けられている。カバー３７には、カバー固定用ネジ穴４５と、ガイドバー固定用ネジ穴４６と、サポートピン固定用ネジ穴４７とが設けられている。カバー固定用ネジ穴４５は８個、ガイドバー固定用ネジ穴４６は２個、サポートピン固定用ネジ穴４７は２個設けられている。各ネジ穴は正確に位置決めして設けられ、ブロック片３３に対してガイドバー３５とサポートピン３６を正確に位置決めして支持するようになっている。各ネジ穴４５にネジ４８がねじ込まれてカバー３７がブロック片３３に固定される。

ブレード型プローブ３８は、液晶パネル１２の回路の電極に直接に接触して検査信号送信等を行うため部材である。ブレード型プローブ３８は、図１，８，９に示すように構成されている。なお、図１においては、本願発明と従来のプローブとの比較のために、本実施形態に係る２種類のブレード型プローブ３８と、従来のブレード型プローブとを並べて記載している。

本実施形態に係るブレード型プローブ３８は、第１列用ブレード型プローブ３８Ａと第２列用ブレード型プローブ３８Ｂとから構成されている。

第１列用ブレード型プローブ３８Ａは、複数列千鳥状に配設された電極の１列目に整合するプローブである。ここでは、電極が２列千鳥状に配設されているが、３列以上に配列される場合もある。第１列用ブレード型プローブ３８Ａは、図１（ａ）に示すように、本体板部５０と、先端側腕部５１と、ＦＰＣ側腕部５２とから構成されている。

本体板部５０は、ガイドバー３５とサポートピン３６とを通すための位置決め穴５３と、サポートピン穴５４とが設けられている。位置決め穴５３は、その内径がガイドバー３５の外径寸法と整合する寸法に設定されている。サポートピン穴５４は、その内径がサポートピン３６の外径寸法と整合する寸法に設定されている。これにより、本体板部５０は、正確に位置決めされて支持される。

先端側腕部５１は、その先端部で下側に向いた接触子５６を支持するための部材である。先端側腕部５１では、２列千鳥状に配設される液晶パネル１２の電極の１列目に整合する先端位置に接触子５６が設けられている。

ＦＰＣ側腕部５２は、その基端部（図１中の右側端部）で上側に向いた接触子５７を支持するための部材である。ＦＰＣ側腕部５２では、ＦＰＣケーブル２７の端子に整合する位置に接触子５７が設けられている。

第２列用ブレード型プローブ３８Ｂは、複数列千鳥状に配設された電極の２列目に整合する他列用ブレード型プローブである。ここでは、電極を２列千鳥状に配設しているため、他列用ブレード型プローブは、第２列用ブレード型プローブ３８Ｂだけとなる。第２列用ブレード型プローブ３８Ｂは、図１（ｃ）に示すように、本体板部６０と、先端側腕部６１と、ＦＰＣ側腕部６２とから構成されている。

本体板部６０は、前記第１列用ブレード型プローブ３８Ａの本体板部５０と同様に構成されている。

先端側腕部６１は、その先端近傍で下側に向いた接触子６４を支持するための部材である。先端側腕部６１は、その全長を第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１と同じ位置まで延ばして形成されている。先端側腕部６１の先端部には、図９に示すように、接触子６４と保持板部６５が設けられている。接触子６４は、２列千鳥状に配設される液晶パネル１２の電極の２列目に整合する位置（先端側腕部６１の先端部から電極１列分ずれた位置）に設けられている。この接触子６４の位置は、図１（ｂ）の従来のブレード型プローブの接触子と同じ位置である。なお、液晶パネル１２の電極が３列千鳥状に配設されているときは、それぞれの列の電極に整合するように接触子６４を設けたブレード型プローブ３８が構成される。

前記接触子６４の先端側の保持板部６５は、スリットバー３４の各スリット４３との間での保持面積を増やすための部材である。保持板部６５は、接触子６４の先端側に角状に突き出して設けられている。この保持板部６５の寸法は、その先端部が第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１の先端部と同じ位置になるように設定されている。保持板部６５の寸法を第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１の寸法と同じにするのは、コンタクト位置の精度を確保すると共に、ブレード型プローブ３８のよれ、歪みを抑えて、スリットバー３４の各スリット４３の破損を防止するためである。図１０のように、保持板部６５を設けない先端側腕部６１の場合は、スリットバー３４に対してガイドバー３５及びサポートピン３６が多少ずれると、短い先端側腕部６１に比べて長い先端側腕部５１が相対的に大きく移動してずれてしまう。これにより、先端側腕部５１のよれ、歪みが大きくなってしまい、またスリットバー３４のスリット４３がよれたり、歪んだり、破損したりしてしまうことがある。

これに対して図８のように、第１列用ブレード型プローブ３８Ａ及び第２列用ブレード型プローブ３８Ｂの全てのブレード型プローブ３８が同じ長さになると、全てのブレード型プローブ３８が均等にスリットバー３４のスリット４３に接触して局部的な応力の集中を防止できる。これにより、スリットバー３４の各スリット４３に対して各先端側腕部５１，６１のズレを抑えて、プローブコンタクト位置精度を確保すると共に、各ブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１，６１のよれ、歪みを抑えて、スリット４３の破損を防止している。

保持板部６５は接触子６４の先端部（下端部）に対して十分な高さを確保できる形状にする。具体的には、接触子６４の先端部が液晶パネル１２の電極に接触したときに、保持板部６５の先端部が液晶パネル１２の表面の回路に接触しないように、十分な高さを確保できる形状にする。さらに、スリットバー３４のスリット４３に確実に挿入される形状にする。保持板部６５の厚さは、先端側腕部６１と同様に、スリット４３に挿入できる厚さである。

なお、保持板部６５の寸法は、その先端部が第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１の先端部と同じ位置になるように設定する場合以外に、保持板部６５の寸法を、第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１よりも多少短く又は長くなるように設定しても良い。ミクロン単位で見た場合に、スリット４３の幅、先端側腕部５１の寸法等の諸条件で、多少の違いが出るため、それに合わせて保持板部６５の寸法を設定する。

ＦＰＣ側腕部６２は、前記第１列用ブレード型プローブ３８ＡのＦＰＣ側腕部５２と同様に構成されている。

以上のように構成されたプローブユニット１１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、プローブユニット１１の作用のみを説明する。

ブレード型プローブ３８がガイドバー３５とサポートピン３６とに通されて、ガイドバー３５とサポートピン３６が２つのカバー３７に固定され、さらに、各カバー３７がブロック片３３に固定されてプローブ組立体１４が構成される。そして、プローブ組立体１４がプローブベース１３に固定されて、プローブ組立体１４のブレード型プローブ３８の接触子５６，６４が液晶パネル１２の各電極に接触される。

この状態で、第１列用ブレード型プローブ３８Ａの接触子５６の先端側腕部５１と、第２列用ブレード型プローブ３８Ｂの接触子６４の先端側腕部６１は、スリットバー３４の各スリット４３にそれぞれ嵌合されて支持されている。

このとき、第１列用ブレード型プローブ３８Ａの先端側腕部５１の最先端部である接触子５６と、第２列用ブレード型プローブ３８Ｂの先端側腕部６１の最先端部である保持板部６５がほぼ同じ長さになる。このため、先端側腕部５１，６１は、スリットバー３４の各スリット４３に嵌合した状態で、ほぼ同じ面積、ほぼ同じ力で各スリット４３に接触している。

これにより、各ブレード型プローブ３８Ａ，３８Ｂのよれ、ゆがみ、破損等が抑えられる。この結果、各接触子５６，６４を正確に支持して液晶パネル１２の各電極に確実に接触させることができる。

［変形例］
前記実施形態では、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を設けたが、サポートピン３６は設けない場合もある。精度を高める必要がある場合にサポートピン３６を設ける。

前記実施形態では、液晶パネル１２の電極が２列千鳥状に配設された場合を例に説明したが、３列以上の千鳥状に配設される場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。

本発明の実施形態に係るプローブユニットのブレード型プローブを示す側面図である。 従来の検査装置のプローブ組立体を示す斜視図である。 従来の検査装置のプローブ組立体を示す側面断面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す一部破断側面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す分解斜視図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体をその裏面から示す斜視図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体の先端側腕部を示す平面図である。 本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体の先端側腕部を示す側面図である。 従来のプローブユニットのプローブ組立体の先端側腕部を示す平面図である。

符号の説明

１１：プローブユニット、１２：液晶パネル、１３：プローブベース、１４：プローブ組立体、１６：サスペンションベース、１７：スライドブロック、１８：プローブプレート、１９：ＦＰＣベース、２０：プローブブロック、２２：ボルト穴、２３：ボルト、２４：レール、２６：ガイド、２７：ＦＰＣケーブル、２８：スプリング、２９：中継基板、３０：ガイドフィルム、３３：ブロック片、３４：スリットバー、３４Ａ：先端側スリットバー、３４Ｂ：ＦＰＣ側スリットバー、３５：ガイドバー、３６：サポートピン、３７：カバー、３８：ブレード型プローブ、３８Ａ：第１列用ブレード型プローブ、３８Ｂ：第２列用ブレード型プローブ、４０：ネジ穴、４１：ネジ穴、４３：スリット、４５：カバー固定用ネジ穴、４６：ガイドバー固定用ネジ穴、４７：サポートピン固定用ネジ穴、４８：ネジ、５０：本体板部、５１，６１：先端側腕部、５２，６２：各ＦＰＣ側腕部、５３：位置決め穴、５４：サポートピン穴、５６，６４：接触子、５７：接触子、６０：本体板部、６２：ＦＰＣ側腕部、６５：保持板部。

Claims (2)

1. ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体を備えたプローブユニットであって、
   前記ブレード型プローブが、正確に位置決めされて支持される本体板部と、当該本体板部の先端側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びた先端側腕部と、前記本体板部のＦＰＣ側に支持されて接触子を支持する、片持ち方式の細長く伸びたＦＰＣ側腕部とを備えると共に、当該ブレード型プローブが第１列用ブレード型プローブと他列用ブレード型プローブとから構成され、
   前記ブレード型プローブの先端側腕部を挿入する、同一形状のスリットを複数設けた先端側スリットバーと、前記ブレード型プローブのＦＰＣ側腕部を挿入する同一形状のスリットを複数設けたＦＰＣ側スリットバーを備え、
   前記第１列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの１列目に整合する位置で且つ先端位置に設け、
   前記他列用ブレード型プローブは、前記先端側腕部の接触子を、前記被検査体の電極の複数列千鳥状の配列のうちの２列目以降に整合する位置であって前記先端側腕部によって片持ち状態になる位置に設けると共に、前記接触子の先端側に、接触子を除き前記第１列用ブレード型プローブの先端側腕部と同じ形状になるように片持ち方式で細長く伸ばして設定された保持板部を備え、
   前記先端側スリットバーの前記スリットによる当該他列用ブレード型プローブの保持状態と、前記先端側スリットバーの前記スリットによる前記第１列用ブレード型プローブの保持状態とを同様にするように、前記他列用ブレード型プローブの保持板部が機能することを特徴とするプローブユニット。
2. 被検査体の検査に用いる検査装置であって、
   被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
   前記測定部のプローブユニットとして、請求項１に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。

Images