KR100965195B1 - 프로브 유닛 및 검사장치 - Google Patents

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KR100965195B1
KR100965195B1 KR1020080032100A KR20080032100A KR100965195B1 KR 100965195 B1 KR100965195 B1 KR 100965195B1 KR 1020080032100 A KR1020080032100 A KR 1020080032100A KR 20080032100 A KR20080032100 A KR 20080032100A KR 100965195 B1 KR100965195 B1 KR 100965195B1
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토모아키 쿠가
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 각 접촉자를 정확하게 지지하여 액정패널의 각 전극에 확실하게 접촉시키기 위한 것이다. 블레이드형 프로브를 지지하여 피검사체의 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 조립체를 갖춘 프로브 유닛이다. 상기 블레이드형 프로브가, 본체판부와, 선단쪽 암부와, FPC쪽 암부를 갖춤과 동시에, 상기 블레이드형 프로브가 제1열(列)용 블레이드형 프로브와 다른 열(列)용 블레이드형 프로브로 구성된다. 상기 제1열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 접촉자를, 상기 피검사체의 복수열(列) 지그재그 형상으로 배설되는 전극의 첫 번째 열에 정합하는 위치에서 선단위치에 설치한다. 상기 다른 열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 접촉자를, 상기 피검사체의 복수열 지그재그 형상의 전극의 2번째 열 이후에 정합하는 위치에 설치함과 동시에, 상기 접촉자의 선단쪽에, 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 거의 같아지도록 설정된 지지판부를 설치한다.
프로브 유닛, 액정패널, 블레이드형 프로브, 전극, 접촉자, 암부

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}
도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 블레이드형 프로브를 나타낸 측면도이다.
도2는 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 사시도이다.
도3은 종래의 검사장치의 프로브 조립체를 나타낸 측면 단면도이다.
도4는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.
도5는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛을 나타낸 일부 파단(破斷) 측면도이다.
도6은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도7은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 그 뒷면에서 나타낸 사시도이다.
도8은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체의 선단쪽 암부를 나타낸 평면도이다.
도9는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체의 선단쪽 암부를 나타낸 측면도이다.
도10은 종래의 프로브 유닛의 프로브 조립체의 선단쪽 암부를 나타낸 평면도이다.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *
11: 프로브 유닛 12: 액정패널
13: 프로브 베이스 14: 프로브 조립체
16: 서스펜션 베이스 17: 슬라이드 블록
18: 프로브 플레이트 19: FPC 베이스
20: 프로브 블록 22: 볼트구멍
23: 볼트 24: 레일
26: 가이드 27: FPC 케이블
28: 스프링 29: 중계(中繼)기판
30: 가이드 필름 33: 블록 편(片)
34: 슬릿 바 34A: 선단쪽 슬릿 바
34B: FPC쪽 슬릿 바 35: 가이드 바
36: 서포트 핀 37: 커버
38: 블레이드형 프로브 38A: 제1열(列)용 블레이드형 프로브
38B: 제2열(列)용 블레이드형 프로브
40: 나사구멍 41: 나사구멍
43: 슬릿 45: 커버 고정용 나사구멍
46: 가이드 바 고정용 나사구멍
47: 서포트 핀 고정용 나사구멍 48: 나사
50: 본체판부 51, 61: 선단쪽 암부
52, 62: 각 FPC쪽 암부 53: 위치결정 구멍
54: 서포트 핀 구멍 56, 64: 접촉자
57: 접촉자 60: 본체판부
62: FPC쪽 암부 65: 지지판부
발명의 분야
본 발명은, 액정패널, 집적회로 등의 평판상의 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이다.
발명의 배경
액정패널 등의 평판상 피검사체는, 일반적으로 프로브 유닛을 이용하여 검사된다. 이러한 종류의 프로브 유닛으로는, 얇은 판상의 블레이드형 프로브를 여러장 나열하여 구성하는 타입의 것이 있다. 그 예로는 특허문헌 1이 있다. 상기 특허문 헌 1의 발명을 하기에 대략 설명한다.
프로브 조립체(1)는, 도2 및 도3에 나타낸 바와 같이, 블록(2)과, 블록(2)의 아래쪽에 병렬적으로 배치된 띠 형상의 복수의 프로브(3)와, 프로브(3)를 관통하는 가늘고 긴 한 쌍의 가이드 바(4)와, 프로브(3)의 일부를 받아들이는 한 쌍의 슬릿 바(5)와, 프로브(3)의 후단(後端)쪽에 침선의 위치를 안정화시키는 긴 가이드 부재(6)와, 가이드 바(4)를 블록(2)에 지지시키는 한 쌍의 사이드 커버(7)를 포함하여 구성되어 있다.
각 프로브(3)는, 띠 형상의 중앙영역(3A)과, 상기 중앙영역의 선단 및 후단으로부터 앞쪽 및 뒤쪽으로 연장하는 한 쌍의 침선영역(3B 및 3C)을 갖춘다. 중앙영역(3A)은, 가이드 바(4)가 관통하는 가이드 구멍(3D)을 각 단부에 갖는다. 각 프로브(3)는 그 가이드 구멍(3D)으로 가이드 바(4)가 지나고, 각 침선영역(3B 및 3C)이 슬릿 바(5)에 끼워져, 블록(2)의 아래쪽에 배설되어 있다.
이에 의해, 침선영역(3B)의 프로브가 액정패널 위에 가로 일렬(一列)로 설치된 전극에 접촉되어 전기적으로 접속되고, 제어신호 송신 등이 행해진다.
그런데, 액정패널 등에 있어서, 최근 집적화가 진행하여 회로의 전극이 극히 좁은 간격으로 배열되는 경우가 있다. 이에 대응하는 프로브 유닛으로는, 접촉자의 위치가 다른 블레이드형 프로브를 조합시켜 배설하여 지그재그 형상의 프로브를 구성하는 프로브 유닛이 있다.
[특허문헌 1] 일본 특개평10-132853호 공보
그런데, 상기 접촉자의 위치가 다른 블레이드형 프로브를 배설하여 지그재그 형상의 프로브를 구성하는 프로브 유닛에서는, 상기 접촉자의 위치가 다른 복수 종류의 블레이드형 프로브를 다수 정확하게 배치하여 지지하는 것이 용이하지 않아, 블레이드형 프로브의 꼬임, 뒤틀림, 파손 등의 생길 수 있는 문제가 있다.
본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 블레이드형 프로브의 꼬임, 뒤틀림, 파손 등을 억제하고 각 접촉자를 정확하게 지지하여 각 전극에 정확하게 접촉시킬 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.
발명의 요약
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 블레이드형 프로브를 지지하여 피검사체의 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 조립체를 갖춘 프로브 유닛으로서, 상기 블레이드형 프로브가 정확하게 위치 결정되어 지지되는 본체판부와, 상기 본체판부의 선단쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 선단쪽 암부와, 상기 본체판부의 FPC쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 FPC쪽 암부를 갖춤과 동시 에, 상기 블레이드형 프로브가 제1열용 블레이드형 프로브와 다른 열용 블레이드형 프로브로 구성되고, 상기 제1열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 접촉자를, 상기 피검사체의 복수열 지그재그 형상으로 배설되는 전극의 첫 번째 열에 정합(整合)하는 위치에서 선단위치에 설치하고, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 접촉자를, 상기 피검사체의 복수열 지그재그 형상으로 배설되는 전극의 2번째 열 이후에 정합하는 위치에 설치함과 동시에, 상기 접촉자의 선단쪽에 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 거의 동일해지도록 설정된 지지판부를 설치한 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 의해, 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 상기 선단쪽 암부의 접촉자가, 상기 피검사체의 복수열 지그재그 형상의 전극의 첫 번째 열에 접촉하고, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 상기 선단쪽 암부의 접촉자가, 상기 피검사체의 복수열 지그재그 형상의 전극의 2번째 열 이후에 접촉하여, 제어신호를 송신한다. 이 때, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 지지판부에 의해, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부가 거의 같은 길이가 된다.
상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 지지판부에 의해, 상기 슬릿과의 지지 면적을 늘리는 것이 바람직하다.
피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 검사장치로서, 상기 측정부의 프로브 유닛으로서 상기 프로브 유닛을 이용하는 것이 바람직 하다.
발명의 상세한 설명
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사장치에 대해서 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태의 검사장치는, 피검사체의 검사에 이용하는 검사장치로서, 피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 것이다. 상기 검사장치의 상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 본 실시형태에 따른 프로브 유닛을 이용한다. 또한, 본 실시형태의 검사장치는, 상기 종래의 검사장치와 거의 동일하기 때문에, 여기에서는 프로브 유닛을 중심으로 설명한다. 또, 본 발명에 따른 검사장치로는, 본 실시형태에 따른 프로브 유닛을 이용할 수 있는 장치 모두에 적용할 수 있다.
본 실시형태의 프로브 유닛(11)은, 도4에 나타낸 바와 같이, 피검사체로서의 액정패널(12)의 검사장치에 이용되는 장치이다. 액정패널(12)은, 장방형의 형상을 하고 있고, 또 복수의 전극(도시하지 않음)을 장방형의 서로 이웃하는 2개의 변에 대응하는 가장자리에 소정의 피치로 형성하고 있다. 각 전극은, 액정패널(12)의 표면의 회로의 고집적화에 따라 복수 단(段)의 지그재그(갈짓자) 형상으로 배설되어 있다.
프로브 유닛(11)은 주로 프로브 베이스(13)와, 프로브 조립체(14)를 갖추어 구성되어 있다.
프로브 베이스(13)는, 검사장치의 본체 프레임 쪽에 고정되는 부재이다. 프로브 베이스(13)는, 본체 프레임 쪽에 고정된 상태로, 프로브 조립체(14)를 지지하고 있다.
프로브 조립체(14)는, 프로브를 지지하여 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉시키기 위한 장치이다. 프로브 조립체(14)는 도5에 나타낸 바와 같이 주로, 서스펜션 베이스(16)와, 슬라이드 블록(17)과, 프로브 플레이트(18)와, FPC 베이스(19)와, 프로브 블록(20)을 갖추어 구성되어 있다.
서스펜션 베이스(16)는, 슬라이드 블록(17) 등을 통하여 후술하는 프로브 블록(20)의 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서스펜션 베이스(16)는, 전체가 거의 입방체 형상으로 형성되어 프로브 베이스(13)에 고정되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽에는, 슬라이드 블록(17)을 위쪽에서 힘을 가하기 위한 차양부(16A)가 설치되어 있다. 차양부(16A)에는 볼트구멍(22)이 설치되고, 볼트(23)가 삽입되어 있다. 상기 볼트(23)의 선단쪽이 후술하는 슬라이드 블록(17)의 스프링 구멍(17B)에 삽입되어 있다. 서스펜션 베이스(16)의 선단쪽 면의 상기 차양부(16A)의 아래쪽에는 슬라이드 블록(17)을 상하방향으로 슬라이드 가능하게 안내하는 레일(24)이 설치되어 있다.
슬라이드 블록(17)은, 상하로 슬라이드하여 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 슬라이드 블록(17)은 대체로 입방체 형상으로 형성되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 하부에는, 프로브 플레이트(18)를 덮는 크기의 차양부(17A)가 형성되어 있다. 프로브 플레이트(18)는, 상기 차양부(17A)를 포함하는 슬라이드 블 록(17)의 아래쪽 면에 접하여 지지된다. 슬라이드 블록(17)의 기단면(基端面)(도5 중의 오른쪽 면)에는, 서스펜션 베이스(16)의 레일(24)에 결합하여 슬라이드 블록(17)의 상하로의 이동을 지지하는 가이드(26)가 설치되어 있다. 슬라이드 블록(17)의 위쪽 면에는, 스프링(28)을 삽입하기 위한 스프링 구멍(17B)이 설치되어 있다. 스프링(28)은, 볼트(23)에 지지되어 스프링 구멍(17B) 내에 삽입되고, 슬라이드 블록(17)을 아래쪽으로 힘을 가하고 있다. 상기 스프링(28)에 의한 힘에 의해, 후술하는 각 접촉자(56, 64)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉한 상태로 각 접촉자(56, 64)를 각 전극 쪽으로 힘을 가하고 있다.
프로브 플레이트(18)는, 슬라이드 블록(17)에 지지된 상태로, FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)을 지지하기 위한 부재이다. 프로브 플레이트(18)는, 그 위쪽 면이 슬라이드 블록(17)의 아래쪽 면에 고정된 상태로, 아래쪽 면에 FPC 베이스(19)와 프로브 블록(20)이 고정되어 있다.
FPC 베이스(19)는, FPC 케이블(27)을 지지하여 외부장치와 후술하는 블레이드형 프로브(38)를 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. FPC 케이블(27)은, 그 기단부가 프로브 베이스(13)의 아래쪽 면에 설치된 중계기판(29)에 접속되고, 선단부가 FPC 베이스(19)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. FPC 베이스(19)의 선단부에는, 후술하는 블레이드형 프로브(38)의 FPC쪽 접촉자(57)에 전기적으로 접촉하는 단자(도시하지 않음), 상기 단자를 보호하는 가이드 필름(30), 구동용 집적회로(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다.
프로브 블록(20)은, 액정패널(12)의 회로(도시하지 않음)에 검사신호 송신 등을 행하기 위해 액정패널(12)의 전극에 전기적으로 접촉하기 위한 부재이다. 프로브 블록(20)은, 도6, 7에 나타낸 바와 같이, 블록 편(片)(33)과, 슬릿 바(34)와, 가이드 바(35)와, 서포트 핀(36)과, 커버(37)와, 블레이드형 프로브(38)로 구성되어 있다.
블록 편(33)은, 그 아래쪽 면에 복수의 블레이드형 프로브(38)를 일정 간격을 두고 일체적으로 지지하기 위한 부재이다. 블록 편(33)은, 그 아래쪽 면이 블레이드형 프로브(38)의 위쪽면 형상에 맞추어 움푹 패여 형성되어 있다. 블록 편(33)의 좌우 양쪽(도6 중의 왼쪽 위 오른쪽 아랫방향의 양쪽)에는, 커버(37)를 고정하기 위한 나사구멍(40)이 복수개 설치되어 있다. 블록 편(33)의 위쪽 면에는, 프로브 블록(20)을 프로브 플레이트(18)에 고정하기 위한 나사구멍(41)이 복수개 설치되어 있다.
슬릿 바(34)는, 다수 배설되는 블레이드형 프로브(38) 중 후술하는 각 선단쪽 암부(51, 61)와 각 FPC쪽 암부(52, 62)를 각각 정확하게 위치 결정하여 지지하기 위한 부재이다. 상기 슬릿 바(34)는, 세라믹스로 형성되고, 열에 의한 영향을 받지 않고 블레이드형 프로브(38)를 정확하게 지지하도록 되어 있다. 선단쪽 슬릿 바(34A)는 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51, 61)를 지지하고, FPC쪽 슬릿 바(34B)는 블레이드형 프로브(38)의 각 FPC쪽 암부(52)를 지지한다. 각 슬릿 바(34A, 34B)는, 다수의 슬릿(43)을 설치하여 구성되어 있다. 각 슬릿(43)은, 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51, 61) 및 각 FPC쪽 암부(52, 62)를 설정 간격을 두고 지지하기 위한 슬릿이다. 선단쪽 슬릿 바(34A)의 각 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 결합하는 선단쪽 암부(51, 61)의 후술하는 접촉자(56, 64)가 액정패널(12)의 각 전극의 간격에 정합하도록 설정되어 있다. FPC쪽 슬릿 바(34B)의 슬릿(43)의 간격은, 각 슬릿(43)에 결합하는 FPC쪽 암부(52)의 후술하는 접촉자(57)가 FPC 케이블(27)의 단자의 간격에 정합하도록 설정되어 있다.
가이드 바(35)는, 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 가이드 바(35)는 대경(大徑) 원주상으로 형성되어 있다. 대경 원주상의 가이드 바(35)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 위치결정 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은 가이드 바(35)를 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정을 하기 때문이다. 즉, 블레이드형 프로브(38)의 위치결정 구멍(53)에 가이드 바(35)가 끼워진 상태로 상기 가이드 바(35)를 위치 결정하면, 그 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치가 정확하게 정해진다. 이 때문에, 가이드 바(35)의 직경을 블레이드형 프로브(38)의 위치결정 구멍(53)의 내경에 정합하는 치수로 설정하고, 가이드 바(35)를 위치 결정함으로써, 그 가이드 바(35)의 중심축에 직교하는 방향의 블레이드형 프로브(38)의 위치 결정이 정확하게 가능하도록 되어 있다.
서포트 핀(36)은, 가이드 바(35)와 함께 블레이드형 프로브(38)를 지지하기 위한 부재이다. 서포트 핀(36)은 원형의 봉상(棒狀)으로 형성되어 있다. 상기 서포트 핀(36)의 직경은, 블레이드형 프로브(38)의 후술하는 서포트 핀 구멍(54)의 내경에 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이것은, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 통하여 블레이드형 프로브(38)의 위치를 결정하기 때문이다.
커버(37)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 지지하기 위한 판재이다. 커버(37)는 2매 이용되고, 블록 편(片)(33)의 양쪽에 설치되어 있다. 커버(37)에는, 커버 고정용 나사구멍(45)과, 가이드 바 고정용 나사구멍(46)과, 서포트 핀 고정용 나사구멍(47)이 설치되어 있다. 커버 고정용 나사구멍(45)은 8개, 가이드 바 고정용 나사구멍(46)은 2개, 서포트 핀 고정용 나사구멍(47)은 2개 설치되어 있다. 각 나사구멍은 정확하게 위치 결정하여 설치되고, 블록 편(33)에 대하여 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)을 정확하게 위치 결정하여 지지하도록 되어 있다. 각 나사구멍(45)에 나사(48)가 조여져 커버(37)가 블록 편(33)에 고정된다.
블레이드형 프로브(38)는, 액정패널(12)의 회로의 전극에 직접 접촉하여 검사신호 송신 등을 행하기 위한 부재이다. 블레이드형 프로브(38)는, 도1, 8, 9에 나타낸 바와 같이 구성되어 있다. 또한, 도1에 있어서는, 본원발명과 종래의 프로브와의 비교를 위해, 본 실시형태에 따른 2종류의 블레이드형 프로브(38)와, 종래의 블레이드형 프로브를 나란히 기재하고 있다.
본 실시형태에 따른 블레이드형 프로브(38)는, 제1열용 블레이드형 프로브(38A)와 제2열용 블레이드형 프로브(38B)로 구성되어 있다.
제1열용 블레이드형 프로브(38A)는, 복수열(列) 지그재그 상(狀)으로 배설된 전극의 첫 번째 열에 정합하는 프로브이다. 여기에서는, 전극이 2열 지그재그 상으로 배설되어 있지만, 3열 이상으로 배열되는 경우도 있다. 제1열용 블레이드형 프로브(38A)는, 도1(a)에 나타낸 바와 같이, 본체판부(50)와, 선단쪽 암부(51)와, FPC쪽 암부(52)로 구성되어 있다.
본체판부(50)는, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 지나기 위한 가이드 바 구멍(53)과, 서포트 핀 구멍(54)이 설치되어 있다. 가이드 바 구멍(53)은, 그 내경이 가이드 바(35)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 서포트 핀 구멍(54)은 그 내경이 서포트 핀(36)의 외경 치수와 정합하는 치수로 설정되어 있다. 이에 의해, 본체판부(50)는, 정확하게 위치 결정되어 지지된다.
선단쪽 암부(51)는, 그 선단부에서 아래쪽으로 향한 접촉자(56)를 지지하기 위한 부재이다. 선단쪽 암부(51)에서는, 2열 지그재그 상으로 배설되는 액정패널(12)의 전극의 첫 번째 열에 정합하는 선단위치에 접촉자(56)가 설치되어 있다.
FPC쪽 암부(52)는, 그 기단부(도1 중의 오른쪽 단부)에서 위쪽으로 향한 접촉자(57)를 지지하기 위한 부재이다. FPC쪽 암부(52)에서는 FPC 케이블(27)의 단자에 정합하는 위치에 접촉자(57)가 설치되어 있다.
제2열용 블레이드형 프로브(38B)는, 복수열 지그재그 상으로 배설된 전극의 2번째 열에 정합하는 다른 열용 블레이드형 프로브이다. 여기에서는 전극을 2열 지그재그 상으로 배설하고 있기 때문에, 다른 열용 블레이드형 프로브는 제2열용 블레이드형 프로브(38B)만 된다. 제2열용 블레이드형 프로브(38B)는, 도1(c)에 나타낸 바와 같이, 본체판부(60)와, 선단쪽 암부(61)와, FPC쪽 암부(62)로 구성되어 있다.
본체판부(60)는, 상기 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 본체판부(50)와 동일하게 구성되어 있다.
선단쪽 암부(61)는, 그 선단 근방에서 아래쪽으로 향한 접촉자(64)를 지지하 기 위한 부재이다. 선단쪽 암부(61)는, 그 전체길이를 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)와 같은 위치까지 연장하여 형성되어 있다. 선단쪽 암부(61)의 선단부에는 도9에 나타낸 바와 같이, 접촉자(64)와 지지판부(65)가 설치되어 있다. 접촉자(64)는, 2열 지그재그 상으로 배설되는 액정패널(12)의 전극의 2번째 열에 정합하는 위치(선단쪽 암부(61)의 선단부에서 전극 1열분(分) 벗어난 위치)에 설치되어 있다. 상기 접촉자(64)의 위치는, 도1(b)의 종래의 블레이드형 프로브의 접촉자와 같은 위치이다. 또한, 액정패널(12)의 전극이 3열 지그재그 상으로 배설되어 있을 때는, 각각의 열(列)의 전극에 정합하도록 접촉자(64)를 설치한 블레이드형 프로브(38)가 구성된다.
상기 접촉자(64)의 선단쪽의 지지판부(65)는, 슬릿 바(34)의 각 슬릿(43)과의 사이에서의 지지 면적을 늘리기 위한 부재이다. 지지판부(65)는, 접촉자(64)의 선단쪽에 각상(角狀)으로 돌출하여 설치되어 있다. 상기 지지판부(65)의 치수는, 그 선단부가 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)의 선단부와 같은 위치가 되도록 설정되어 있다. 지지판부(65)의 치수를 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)의 치수와 동일하게 하는 것은, 콘택트 위치의 정밀도를 확보함과 동시에, 블레이드형 프로브(38)의 꼬임, 뒤틀림을 억제하고, 슬릿 바(34)의 각 슬릿(43)의 파손을 방지하기 위함이다. 도10과 같이, 지지판부(65)를 설치하지 않은 선단쪽 암부(61)의 경우는, 슬릿 바(34)에 대하여 가이드 바(35) 및 서포트 핀(36)이 다소 벗어나면, 짧은 선단쪽 암부(61)에 비해 긴 선단쪽 암부(51)가 상대적으로 크게 이동하여 벗어나 버린다. 이에 의해, 선단쪽 암부(51)의 꼬임, 뒤 틀림이 커져 버리고, 또 슬릿 바(34)의 슬릿(43)이 꼬이거나, 뒤틀리거나, 파손되는 일이 있다.
이에 대하여 도8과 같이, 제1열용 블레이드형 프로브(38A) 및 제2열용 블레이드형 프로브(38B)의 모든 블레이드형 프로브(38)가 같은 길이로 되면, 모든 블레이드형 프로브(38)가 균등하게 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 접촉하여 국부적인 응력의 집중을 방지할 수 있다. 이에 의해, 슬릿 바(34)의 각 슬릿(43)에 대하여 각 선단쪽 암부(51, 61)의 벗어남을 억제하고, 프로브 컨택트 위치 정밀도를 확보함과 동시에, 각 블레이드형 프로브(38)의 각 선단쪽 암부(51, 61)의 꼬임, 뒤틀림을 억제하고, 슬릿(43)의 파손을 방지하고 있다.
지지판부(65)는 접촉자(64)의 선단부(하단부)에 대하여 충분한 높이를 확보할 수 있는 형상으로 한다. 구체적으로는, 접촉자(64)의 선단부가 액정패널(12)의 전극에 접촉했을 때에, 지지판부(65)의 선단부가 액정패널(12)의 표면의 회로에 접촉하지 않도록 충분한 높이를 확보할 수 있는 형상으로 한다. 게다가, 슬릿 바(34)의 슬릿(43)에 확실하게 삽입되는 형상으로 한다. 지지판부(65)의 두께는, 선단쪽 암부(61)와 마찬가지로, 슬릿(43)에 삽입할 수 있는 두께이다.
또한, 지지판부(65)의 치수는, 그 선단부가 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)의 선단부와 같은 위치가 되도록 설정하는 경우 이외에, 지지판부(65)의 치수를 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)보다도 다소 짧게 또는 길어지도록 설정해도 좋다. 미크론 단위로 본 경우, 슬릿(43)의 폭, 선단쪽 암부(51)의 치수 등의 모든 조건에서, 다소의 차이가 있기 때문에, 그에 맞추 어 지지판부(65)의 치수를 설정한다.
FPC쪽 암부(62)는, 상기 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 FPC쪽 암부(52)와 동일하게 구성되어 있다.
이상과 같이 구성된 프로브 유닛(11)은 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기에서는 프로브 유닛(11)의 작용만을 설명한다.
블레이드형 프로브(38)가 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)에 끼워지고, 가이드 바(35)와 서포트 핀(36)이 2개의 커버(37)에 고정되고, 그리고 각 커버(37)가 블록 편(33)에 고정되어 프로브 조립체(14)가 구성된다. 그리고 프로브 조립체(14)가 프로브 베이스(13)에 고정되고, 프로브 조립체(14)의 블레이드형 프로브(38)의 접촉자(56, 64)가 액정패널(12)의 각 전극에 접촉된다.
이 상태로, 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 접촉자(56)의 선단쪽 암부(51)와, 제2열용 블레이드형 프로브(38B)의 접촉자(64)의 선단쪽 암부(61)는, 슬릿 바(34)의 각 슬릿(43)에 각각 끼워져 지지되어 있다.
이 때, 제1열용 블레이드형 프로브(38A)의 선단쪽 암부(51)의 최(最)선단부인 접촉자(56)와, 제2열용 블레이드형 프로브(38B)의 선단쪽 암부(61)의 최선단부인 지지판부(65)가 거의 같은 길이가 된다. 이 때문에, 선단쪽 암부(51, 61)는 슬릿 바(34)의 각 슬릿(43)에 끼워진 상태로, 거의 같은 면적, 거의 같은 힘으로 각 슬릿(43)에 접촉해 있다.
이에 의해, 각 블레이드형 프로브(38A, 38B)의 꼬임, 뒤틀림, 파손 등이 억 제된다. 그 결과, 각 접촉자(56, 64)를 정확하게 지지하여 액정패널(12)의 각 전극에 확실하게 접촉시킬 수 있다.
[변형예]
상기 실시형태에서는, 가이드 바(35)와 함께 서포트 핀(36)을 설치하였으나, 서포트 핀(36)은 설치하지 않는 경우도 있다. 정밀도를 높일 필요가 있는 경우에 서포트 핀(36)을 설치한다.
상기 실시형태에서는, 액정패널(12)의 전극이 2열 지그재그 상으로 배설된 경우를 예로 설명하였지만, 3열 이상의 지그재그 상으로 배설되는 경우도 상기와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.
이상과 같이, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 지지판부에 의해, 상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부가 거의 같은 길이가 되기 때문에, 각 블레이드형 프로브의 꼬임, 뒤틀림, 파손 등을 억제하고 각 접촉자를 정확하게 지지하여 각 전극에 확실하게 접촉시킬 수 있다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (4)

  1. 복수의 판상의 블레이드형 프로브를 간격을 두고 겹쳐 일체로 지지하여, 복수열(列) 지그재그상으로 배설된 피검사체의 복수의 전극에 상기 각 블레이드형 프로브를 전기적으로 각각 접촉시키는 프로브 조립체를 갖춘 프로브 유닛으로서,
    상기 복수의 블레이드형 프로브가, 상기 복수열 지그재그상의 전극 중 제1열 전극에 접촉하는 제1열용 블레이드형 프로브와, 상기 복수열 지그재그상의 전극중 다른 열의 전극에 접촉하는 다른 열용 블레이드형 프로브로 구성되고,
    상기 제1열용 블레이드형 프로브 및 상기 다른 열용 블레이드형 프로브가, 정확하게 위치 결정되어 지지되는 본체판부와, 상기 본체판부의 선단쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 선단쪽 암부와, 상기 본체판부의 FPC 쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 FPC쪽 암부를 갖추고,
    상기 제1열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 제1열용 접촉자를, 복수열 지그재그상의 배열 중 첫 번째 열에 정합하는 위치에서 상기 선단쪽 암부의 선단위치에 설치하고,
    상기 다른 열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 다른 열용 접촉자를, 복수열 지그재그상의 배열 중 2번째 열 이후에 정합하는 위치에 설치함과 동시에, 상기 선단쪽 암부 중 상기 다른 열용 접촉자의 선단쪽에, 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 같아지도록 설정된 지지판부를 설치한 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부 및 FPC쪽 암부를 삽입하는 슬릿을 복수개 설치한 슬릿 바를 갖추고,
    상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 지지판부가, 상기 슬릿과의 지지 면적 을 늘리는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 피검사체의 검사에 이용하는 검사장치로서,
    피검사체를 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 세트부와, 상기 세트부로부터 건네진 피검사체를 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고,
    상기 측정부가, 복수의 판상의 블레이드형 프로브를 간격을 두고 겹쳐 일체로 지지하여, 복수열 지그재그상으로 배설된 피검사체의 복수의 전극에 상기 각 블레이드형 프로브를 전기적으로 각각 접촉시키는 프로브 조립체를 갖춘 프로브 유닛을 갖고,
    상기 복수의 블레이드형 프로브가, 상기 복수열 지그재그상의 전극 중 제1열 전극에 접촉하는 제1열용 블레이드형 프로브와, 상기 복수열 지그재그상의 전극 중 다른 열의 전극에 접촉하는 다른 열용 블레이드형 프로브로 구성되고,
    상기 제1열용 블레이드형 프로브 및 상기 다른 열용 블레이드형 프로브가, 정확하게 위치 결정되어 지지되는 본체판부와, 상기 본체판부의 선단쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 선단쪽 암부와, 상기 본체판부의 FPC쪽에 지지되어 접촉자를 지지하는 FPC쪽 암부를 갖추고,
    상기 제1열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 제1열용 접촉자를, 복수열 지그재그상의 배열 중 첫 번째 열에 정합하는 위치에서 상기 선단쪽 암부의 선단위치에 설치하고,
    상기 다른 열용 블레이드형 프로브는, 상기 선단쪽 암부의 다른 열용 접촉자를, 복수열 지그재그상의 배열 중 2번째 열 이후에 정합하는 위치에 설치함과 동시에, 상기 선단쪽 암부 중 상기 다른 열용 접촉자의 선단쪽에, 상기 제1열용 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부와 같아지도록 설정된 지지판부를 설치한 것을 특징으로 하는 검사장치.
  4. 제3항에 있어서, 블레이드형 프로브의 선단쪽 암부 및 FPC쪽 암부를 삽입하는 슬릿을 복수개 설치한 슬릿 바를 갖추고,
    상기 다른 열용 블레이드형 프로브의 지지판부가, 상기 슬릿과의 지지 면적을 늘리는 것을 특징으로 하는 검사장치.
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