CN101303370B - 探针单元及检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种探针单元及检查装置，可准确地支承各触头使它们可靠地与液晶面板的各电极接触。探针单元具有支承刀片型探针使它们与被检查体的电极电接触的探针组合体。刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部，且由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成。第1列用刀片型探针将前端侧臂部的触头设置在与被检查体的多列呈交错状配置的电极中的第1列电极对准的位置，且设于该前端侧臂部的前端位置。其他列用刀片型探针将前端侧臂部的触头设置在与被检查体的多列交错状电极中的第2列之后的电极对准的位置，且在触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。

Description

探针单元及检查装置
技术领域
本发明涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状的被检查体的探针单元及检查装置。
背景技术
液晶面板等平板状的被检查体通常使用探针单元进行检查。作为这种探针单元，有排列多片薄板状的刀片型探针而构成的类型，记载了这种例子的有专利文献1。以下概略性地说明该专利文献1的发明。
如图2及图3所示，探针组合体1包括：块状体2、并列地配置在块状体2的下侧的带状的多个探针3、穿过探针3的一对细长的导杆4、收容探针3的一部分的一对槽杆5、使针尖的位置稳定在探针3的后端侧的较长的引导构件6、使导杆4支承在块状体2上的一对侧罩7。
各探针3具有带状的中央区域3A、从该中央区域的前端和后端向前方和后方伸出的一对针尖区域3B和3C。中央区域3A在各端部具有供导杆4穿过的引导孔3D。将导杆4穿入到引导孔3D中，并使各针尖区域3B及3C与槽杆5相嵌合，从而将各探针3配置在块状体2的下侧。
由此，针尖区域3B的探针与在液晶面板上设置成一横列的电极进行接触而电连接，从而进行控制信号的发送等。
但是，近年来出现了这样的情况，即在液晶面板等中，由于集成化不断发展，而以极其狭窄的间隔排列电路的电极。与此相应的探针单元有一种将将触头位置不同的刀片型探针组合配置在一起而构成交错状探针的探针单元。
专利文献1：日本特开平10-132853号公报
但是，在配置上述触头位置不同的刀片型探针而构成交错状探针的探针单元中，准确地配置、支承多个上述触头位置不同的多种刀片型探针是不容易的，存在产生刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于，提供一种可以抑制刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地支承各触头使它们与各电极可靠地接触的探针单元及检查装置。
为了解决上述课题，本发明的探针单元具有支承刀片型探针使探针与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于，上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在上述被检体的与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。
根据上述结构，上述第1列用刀片型探针的上述前端侧臂部的触头与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第1列电极相接触，上述其他列用刀片型探针的上述前端侧臂部的触头与上述被检查体的多列呈交错状的电极中的第2列之后的电极相接触，并发送控制信号。此时，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部，使该其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部达到大致相同的长度。
优选的是，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部来增加其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽的保持面积。
该检查装置具有放置部和测定部；上述放置部用于从外部搬入被检查体，并在检查结束后将该被检查体搬往外部；上述测定部支承从该放置部上接过来的被检查体并进行检测；上述测定部的探针单元优选使用上述探针单元。
如上所述，利用上述其他列用刀片型探针的保持板部使该其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部达到大致相同的长度，因此，可抑制各刀片型探针发生歪扭、偏斜、破损等，而准确地支承各触头使它们可靠地与各电极相接触。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的探针单元的刀片型探针的侧视图。
图2是表示以往的检查装置的探针组合体的立体图。
图3是表示以往的检查装置的探针组合体的侧视剖视图。
图4是表示本发明的实施方式的探针单元的立体图。
图5是表示本发明的实施方式的探针单元的局部剖切的侧视图。
图6是表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的分解立体图。
图7是从背面表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的立体图。
图8是表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的前端侧臂部的俯视图。
图9是表示本发明的实施方式的探针单元的探针组合体的前端侧臂部的侧视图。
图10是表示以往的探针单元的探针组合体的前端侧臂部的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式的探针单元及检查装置。本实施方式的检查装置用于检查被检查体，其具有从外部搬入被检查体并且在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部、支承从该放置部上接过来的被检查体并对其进行测试的测定部。该检查装置的上述测定部的探针单元使用本实施方式的探针单元。另外，由于本实施方式的检查装置与上述以往的检查装置大致相同，因此，在此主要对探针单元进行说明。此外，本发明的检查装置能适用于所有可使用本实施方式的探针单元的装置。
如图4所示，本实施方式的探针单元11用于被检查体、即液晶面板12的检查装置上。液晶面板12呈长方形的形状，在与长方形的相邻两边对应的缘部以规定的间距形成多个电极(未图示)。伴随着液晶面板12的表面电路的高集成化，各电极被配置成多级交错状。
探针单元11主要具有探针基座13和探针组合体14。
探针基座13固定在检查装置的主体框架侧。探针基座13在被固定于主体框架侧的状态下支承探针组合体14。
探针组合体14用于支承探针并使它们与液晶面板12的电极电接触。如图5所示，探针组合体14主要具有悬挂基座16、滑块17、探针板18、FPC基座19以及探针组件(probe block)20。
悬挂基座16用于借助滑块17等来支承后述探针组件20的刀片型探针38。悬挂基座16整体形成为大致立方体状并被固定在探针基座13上。在悬挂基座16的前端侧设有从上侧对滑块17施力的檐部16A。在檐部16A上设有螺栓孔22，螺栓23旋入到该螺栓孔22中。该螺栓23的前端侧插入于后述滑块17的弹簧孔17B中。在悬挂基座16的前端侧表面的上述檐部16A的下侧，设有可引导滑块17沿上下方向滑动的导轨24。
滑块17用于上下滑动地支承探针组件20。滑块17形成为大致立方体形状。在滑块17的下部形成有可覆盖探针板18那样大小的檐部17A。探针板18与包括该檐部17A的滑块17的下侧面接触并被支承。在滑块17的基端面(图5中的右侧面)上，设有与悬挂基座16的导轨24嵌合而支承滑块17作上下移动的引导件26。在滑块17的上侧面上，设有用于插入弹簧28的弹簧孔17B。弹簧28被螺栓23支承，并插入到弹簧孔17B内，从而向下方对滑块17施力。在后述各触头56、64与液晶面板12的各电极接触的状态下，利用弹簧28产生的作用力向各电极侧对各触头56、64施力。
探针板18用于在被支承于滑块17上的状态下支承FPC基座19和探针组件20。探针板18的上侧面被固定在滑块17的下侧面，在这样的状态下，在探针板18的下侧面固定有FPC基座19和探针组件20。
FPC基座19用于支承FPC电缆27而将外部装置与后述刀片型探针38电连接。FPC电缆27的基端部与安装在探针基座13的下侧面上的中继基板29连接，FPC电缆27的前端部安装在FPC基座19的下侧面上。在FPC基座19的前端部设有与后述刀片型探针38的FPC侧的触头57电接触的端子(未图示)、保护该端子的保护膜30、驱动用集成电路(未图示)等。
探针组件20为了向液晶面板12的电路(未图示)发送检查信号等而与液晶面板12的电极电接触。如图6、7所示，探针组件20由块状(block)片33、槽杆(slot bar)34、导杆35、支承销36、盖37以及刀片型探针38构成。
块状片33用于在其下侧面上空开恒定间隔且一体地支承多个刀片型探针38。块状片33的下侧面形成凹陷，以与刀片型探针38的上侧面形状相吻合。在块状片33的左右两侧(图6的左上右下方向的两侧)，设有多个用于固定侧盖37的螺孔40。在块状片33的上侧面，设有多个用于将探针组件20固定在探针板18上的螺孔41。
槽杆34用于分别准确定位并支承所设的多个刀片型探针38中的后述各前端侧臂部51、61和各FPC侧臂部52、62。该槽杆34用陶瓷形成，从而可不受热影响地准确支承刀片型探针38。前端侧槽杆34A支承刀片型探针38的各前端侧臂部51、61，FPC侧槽杆34B支承刀片型探针38的各FPC侧臂部52、62。各槽杆34A、34B设有多条槽43。各槽43用于空开设定间隔地支承刀片型探针38的各前端侧臂部51、61及各FPC侧臂部52、62。将前端侧槽34A的各槽43的间隔设定为，使嵌合在各槽43中的前端侧臂部51、61的后述触头56、64与液晶面板12的各电极的间隔相匹配。将FPC侧槽杆34B的槽43的间隔设定为，使嵌合在各槽43中的FPC侧臂部52、62的后述触头57与FPC电缆27的端子的间隔相匹配。
导杆35用于支承刀片型探针38。导杆35形成为大直径的圆柱形。大直径圆柱形的导杆35的直径被设定为与刀片型探针38的后述定位孔53的内径相匹配的尺寸。这是为了借助导杆35对刀片型探针38进行定位。即，若在导杆35嵌合于刀片型探针38的定位孔53中的状态下定位该导杆35，则准确确定了刀片型探针38的与该导杆35的中心轴线垂直的方向上的位置。因此，通过将导杆35的直径设定为与刀片型探针38的定位孔53的内径相匹配的尺寸来定位导杆35，便可在与该导杆35的中心轴线垂直的方向上准确定位刀片型探针38。
支承销36用于与导杆35一起支承刀片型探针38。支承销36形成为圆形棒状。该支承销36的直径被设定为与刀片型探针38的后述支承销孔54的内径相匹配的尺寸。这是为了借助导杆35和支承销36一同对刀片型探针38进行定位。
盖37是用于支承导杆35和支承销36的支承板材。两片盖37分别安装在块状片33的两侧。在盖37上设有盖固定用螺孔45、导杆固定用螺孔46和支承销固定用螺孔47。设有8个盖固定用螺孔45，设有两个导杆固定用螺孔46，设有两个支承销固定用螺孔47。各螺孔是经准确定位而设置的，可准确地相对于块状片33定位导杆35和支承销36，并对它们进行支承。在各螺孔45中旋入螺钉48而将盖37固定在块状片33上。
刀片型探针38用于与液晶面板12的电路的电极直接接触来发送检查信号等。刀片型探针38如图1、8、9所示那样构成。另外，在图1中，为了比较本发明与以往的探针，并列绘制了本实施方式的两种刀片型探针38和以往的刀片型探针。
本实施方式的刀片型探针38由第1列用刀片型探针38A和第2列用刀片型探针38B构成。
第1列用刀片型探针38A是与多列呈交错状配置的电极中的第1列电极对准的探针。在本实施方式中，呈交错状地配置了两列电极，但也有配置3列以上的情况。如图1(a)所示，第1列用刀片型探针38A由主体板部50、前端侧臂部51和FPC侧臂部52构成。
主体板部50设有供导杆35和支承销36穿过的定位孔53和支承销孔54。将定位孔53的内径设定为与导杆35的外径尺寸相匹配的尺寸。支承销孔54的内径被设定为与支承销36的外径尺寸相匹配的尺寸。由此，可准确地定位并支承主体板部50。
前端侧臂部51用于以其前端部支承朝向下侧的触头56。在前端侧臂部51的与液晶面板12的两列配置成交错状的电极中的第1列电极对准的前端位置上设有触头56。
FPC侧臂部52用于以其基端部(图1中的右侧端部)支承朝向上侧的触头57。在FPC侧臂部52的与FPC电缆27的端子对准的位置上设有触头57。
第2列用刀片型探针38B是与多列呈交错状设置的电极中的第2列电极对准的其他列用刀片型探针。在此，由于呈交错状地配设有两列电极，因此其他列用刀片型探针只是第2列用刀片型探针38B。如图1(c)所示，第2列用刀片型探针38B由主体板部60、前端侧臂部61以及FPC侧臂部62构成。
主体板部60具有与上述第1列用刀片型探针38A的主体板部50相同的结构。
前端侧臂部61用于在其前端附近支承朝向下侧的触头64。前端侧臂部61使其全长延伸到与第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51相同的位置而形成。如图9所示，在前端侧臂部61的前端部设有触头64和保持板部65。触头64被设置在与液晶面板12的两列呈交错状配置的电极中的第2列电极对准的位置上(从前端侧臂部61的前端部偏离1列电极距离的位置)。该触头64的位置是与图1(b)的以往的刀片型探针的触头相同的位置。另外，当液晶面板12的电极为3列且呈交错状配置时，构成设有分别与各列电极对准的触头64的刀片型探针38。
上述触头64的前端侧的保持板部65用于增大前端侧臂部61与槽杆34的各槽43之间的保持面积。保持板部65被设置成向触头64的前端侧呈方形地突出。将该保持板部65的尺寸设定成使其前端部位于与第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51的前端部相同的位置。将保持板部65的尺寸设定为与第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51的尺寸相同，是为了确保接触位置的精度，并且抑制刀片型探针38出现歪扭、偏斜，防止槽杆34的各槽43出现破损。如图10所示，在未设有保持板部65的前端侧臂部61的情况下，若导杆35及支承销36相对于槽杆34多少有些偏移，则长的前端侧臂部51会比短的前端侧臂部61出现相对大的移动而产生偏移。这样一来，有时前端侧臂部51将出现较大的歪扭、偏斜，而槽杆34的槽43则产生歪扭、偏斜或者破损现象。
对此，如图8所示，若第1列用刀片型探针38A及第2列用刀片型探针38B的所有刀片型探针38长度相同，则所有刀片型探针38可均等地与槽杆34的槽43接触，从而可防止局部应力集中。由此，抑制了各前端侧臂部51、61相对于槽杆34的槽43产生偏移，确保了探针接触位置精度，并且抑制了各刀片型探针38的各前端侧臂部51、61出现歪扭、偏斜，并防止槽43出现破损。
保持板部65被设定为可确保相对于触头64的顶端部(下端部)足够高度的形状。具体地讲，是采用当触头64的顶端部与液晶面板12的电极接触时，保持板部65的前端部下侧不会与液晶面板12的表面的电路相接触那样地确保足够高度的形状。并且，采用能可靠地插入到槽杆34的槽43中的形状。保持板部65的厚度为和前端侧臂部61一样能插入到槽43中的厚度。
另外，处理将保持板部65的尺寸设定成使其前端部与第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51的前端部位置相同以外，也可以将保持板部65的尺寸设定为比第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51短一些或长一些。在以微米为单位进行观察时，槽43的宽度、前端侧臂部51的尺寸等诸多条件多少会有些差异，因此要考虑这些因素来设定保持板部65的尺寸。
FPC侧臂部62具有与上述第1列用刀片型探针38A的FPC侧臂部52相同的结构。
如上述那样构成的探针单元11起到如下作用。另外，由于检查装置整体的作用与以往的检查装置相同，因此，在此只对探针单元11的作用进行说明。
刀片型探针38被导杆35和支承销36穿过，导杆35和支承销36固定在盖37上，然后将各盖37固定在块状片33上，由此构成了探针组合体14。然后，探针组合体14被固定在探针基座13上，探针组合体14的刀片型探针38的触头56、64与液晶面板12的各电极相接触。
在这种状态下，第1列用刀片型探针38A的触头56的前端侧臂部51和第2列用刀片型探针38B的触头64的前端侧臂部61分别嵌合在槽杆34的各槽43中而被支承。
此时，作为第1列用刀片型探针38A的前端侧臂部51的最前端部的触头56与作为第2列用刀片型探针38B的前端侧臂部61的最前端部的保持板部65长度大致相同。因此，前端侧臂部51、61在嵌合于槽杆34的各槽43中的状态下以大致相同的面积、大致相同的力与各槽43相接触。
由此，抑制了各刀片型探针38A、38B的歪扭、偏斜、破损等。其结果是，可以准确地支承各触头56、64而能够使它们可靠地与液晶面板12的各电极相接触。
变形例
在上述实施方式中，设有导杆35并设有支承销36，但有时也不设置支承销36。在需要提高精度的情况下设置支承销36。
在上述实施方式中，以液晶面板12的电极为两列且呈交错状配置的情况为例进行了说明，但在呈交错状地配置3列以上电极时，也可以起到上述同样的作用和效果。

Claims (4)

1. 一种探针单元，其具有支承刀片型探针使其与被检查体的电极电接触的探针组合体，其特征在于，
上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；
上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；
上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。
2. 根据权利要求1所述的探针单元，其特征在于，
该探针单元具有槽杆，该槽杆设有多条供刀片型探针的前端侧臂部及FPC侧臂部插入的槽；
上述其他列用刀片型探针的保持板部增加了其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽之间的保持面积。
3. 一种检查装置，其用于检查被检查体，其特征在于，
该检查装置具有放置部和测定部；上述放置部用于从外部搬入被检查体，并在检查结束后将该被检查体搬往外部；上述测定部支承从该放置部上接过来的被检查体并进行检测；
上述测定部具有探针单元，该探针单元具有支承刀片型探针并使其与被检查体的电极电接触的探针组合体；
上述刀片型探针具有主体板部、前端侧臂部及FPC侧臂部；上述主体板部被准确定位和支承；上述前端侧臂部被支承在该主体板部的前端侧，用于支承触头；上述FPC侧臂部被支承在上述主体板部的FPC侧，用于支承触头；并且，该刀片型探针由第1列用刀片型探针和其他列用刀片型探针构成；
上述第1列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第1列电极对准的位置，且设于上述前端侧臂部的前端位置；
上述其他列用刀片型探针将上述前端侧臂部的触头设置在与多列呈交错状排列的电极中的第2列之后的电极对准的位置上，并且，在上述触头的前端侧设有保持板部，以使其他列用刀片型探针的前端侧臂部达到与上述第1列用刀片型探针的前端侧臂部大致相同的长度。
4. 根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，
该检查装置具有槽杆，该槽杆设有多条供刀片型探针的前端侧臂部及FPC侧臂部插入的槽；
上述其他列用刀片型探针的保持板部增加了其他列用刀片型探针的前端侧臂部与上述槽之间的保持面积。
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