TWI361896B - Probe unit and inspection apparatus - Google Patents

Description

1361896 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是關於使用於液晶面板、積體電路等的平板 狀的被檢查體的檢查的探針單元及檢查裝置。 【先前.技術】 液晶面板等的平板狀的被檢查體，一般是使用探針單 元進行檢查。這種的探針單元，是有將薄板狀的葉片型探 針複數枚並列構成的型式。如專利文獻1。此專利文獻1 的發明如以下。 探針組裝體1，是如第2圖及第3圖所示，包含：塊 體2、及於塊體2下側並列配置的帶狀的複數探針3、及 貫通探針3的細長一對的導引桿4、及收容探針3的一部 分的一對的開縫桿5、及在探針3的後端側穩定針尖位置 的長條的導引構件6、及將導引桿4支撐於塊體2的一對 的側蓋7。 各探針3，是具備：帶狀的中央領域3A、及從該中央 領域的前端及後端朝前方及後方延伸的一對的針尖領域 3B及3C。中央領域3A，是在各端部具有供導引桿4貫通 的導引孔3D»各探針3，是使導引桿4通過該導引孔3D ，使各針尖領域3B及3C嵌合於開縫桿5，並配設於塊體 2的下側。 由此’針尖領域3 B的探針是與在液晶面板上橫一列 設置的電極接觸而電連接，進行控制訊號發訊等。 -4- 1361896 但是，液晶面板等，近年來，朝積體化發展使電路的 電極之間的間隔配列非常狹窄。這種探針單元，是組合各 種接觸子位置不同的葉片型探針而構成鋸齒狀的探針。 [專利文獻1]日本特開平1 0- 1 3 28 5 3號公報 【發明內容】 [發明的揭示] (本發明所欲解決的課題） 但是，前述組合各種接觸子位置不同的葉片型探針而 構成鋸齒狀的探針之探針單元中，前述接觸子位置不同的 複數種類的葉片型探針欲正確地配置支撐並不容易，會有 葉片型探針的扭轉、歪斜、破損等問題產生。 本發明，是爲了解決上述的問題點，目的爲提供一種 探針單元及檢查裝置，可以抑制葉片型探針的扭轉、歪斜 、破損等而正確地支撐各接觸子使各電極確實地接觸。 (解決上述課題的手段） 爲了解決前述課題，本發明的探針單元，是具備可支 撐葉片型探針並與被檢查體的電極電接觸的探針組裝體， 其特徵爲：則述葉片型探針’是具備：被正確定位支撐的 本體板部、及被支撐於該本體板部的前端側並支撐接觸子 用的前端側腕部、及被支撐於前述本體板部的FPC側並支 撐接觸子的FPC側腕部’且該葉片型探針是由第1列用葉 片型探針及其他列用葉片型探針所構成，前述第1列用葉 -5- 1361896 片型探針，是將前述前端側腕部的接觸子，設在整合於呈 複數列鋸齒狀配列之中的第1列的位置且設在前端位置’ 前述其他列用葉片型探針，是將前述前端側腕部的接觸子 ，設在整合於呈複數列鋸齒狀配列之中的第2列以後的位 置，並且在前述接觸子的前端側，設有與前述第1列用葉 片型探針的前端側腕部幾乎相同設定的保持板部。 藉由前述結構，前述第1列用葉片型探針的前述前端 側腕部的接觸子，是接觸前述被檢查體的複數列鋸齒狀的 電極的第1列，前述其他列用葉片型探針的前述前端側腕 部的接觸子，是接觸前述被檢查體的複數列鋸齒狀的電極 的第2列以後，發訊控制訊號。這時’藉由前述其他列用 葉片型探針的保持板部，使該其他列用葉片型探針的前端 側腕部及前述第1列用葉片型探針的前端側腕部是成爲幾 乎相同長度。 藉由前述其他列用葉片型探針的保持板部’增加與前 述開縫的保持面積較佳。 檢查裝置，具備：將被檢查體從外部搬入且檢查終了 後朝外部搬運的組裝部、及支撐從該組裝部搬入的被檢查 體並進行試驗的測量部，且前述測量部的探針單元是使用 前述探針單元較佳。 [發明的效果] 如以上，因爲藉由前述其他列用葉片型探針的保持板 鄣，使該其他列用葉片型探針的前端側腕部及前述第1列 I $1 -6- 1361896 用葉片型探針的前端側腕部成爲幾乎相同長度，所以可以 抑制各葉片型探針的扭轉、歪斜、破損等而正確地支撐各 接觸子使各電極確實地接觸。 【實施方式】 以下’參照添付圖面說明本發明的實施例的探針單元 及檢查裝置。本實施例的檢查裝置，是使用於被檢查體的 檢查用的檢查裝置，具備：將被檢査體從外部搬入且檢查 終了後朝外部搬運的組裝部、及供支撐從該組裝部搬入的 被檢查體進行試驗用的測量部。此檢查裝置的前述測量部 的探針單元，使用本實施例的探針單元。又，本實施例的 檢查裝置’因爲與前述習知的檢查裝置幾乎同樣，在此以 探針單元爲中心進行說明。且，本發明的檢查裝置，對於 可以使用本實施例的探針單元的裝置全部可以適用。 本實施例的探針單元1 1，是如第4圖所示，使用於作 爲被檢查體的液晶面板12的檢查。液晶面板12，是長方 形的形狀，且將複數電極（無圖示）在對應的長方形的相 鄰接的2個邊的緣部以預定間距形成。各電極，是隨著液 晶面板12的表面的電路的高積體化而配設成複數段的鋸 齒狀。 探針單元11主要具備探針基座13、及探針組裝體14 〇 探針基座13’是被固定於檢查裝置的本體框架側。探 針基座1 3 ’是在被固定於本體框架側的狀態下，支撐探針 1361896 組裝體14。 探針組裝體14’是供支撐探針並與液晶面板12的電 極電接觸用的裝置》探針組裝體14是如第5圖所示主要 具備：懸吊基座16、及滑動塊體17、及探針托板18、及 FPC基座19、及探針塊體20。 懸吊基座16，是透過滑動塊體17等支撐後述探針塊 體20的葉片型探針38用的構件。懸吊基座16，是整體形 成幾乎立方體狀並固定於探針基座13。在懸吊基座16的 前端側，設有從上側推迫滑動塊體1 7用的屋簷部1 6 A。 在屋簷部1 6 A中設有螺絲孔22，供螺絲23螺入》此螺絲 23的前端側是插入後述滑動塊體17的彈簧孔17B。在懸 吊基座16的前端側面的前述屋簷部16A的下側，設有使 滑動塊體17可上下方向滑動的導引軌道24。 滑動塊體]7，是供可上下滑動地支撐探針塊體20用 的構件。滑動塊體17是形成大約立方體狀。在滑動塊體 17的下部’形成可覆蓋探針托板is大小的屋簷部17A。 探針托板18’是與包含此屋簷部17A的滑動塊體17的下 側面抵接並被支撐。在滑動塊體17的基端面（第5圖中 的右側面）’安裝有與懸吊基座16的軌道24嵌合並支撐 滑動塊體17的朝上下的移動之導引26。在滑動塊體17的 上側面’設有供彈簧28插入用的彈簧孔17B。彈簧28， 是被支撐於螺絲23並被插入彈簧孔17B內，將滑動塊體 17朝下方推迫。藉由此彈簧28所產生的推迫力，使後述 各接觸子56' 64在接觸液晶面板12的各電極的狀態下將 ί 51 -8- 1361896 各接觸子56、64朝各電極側推迫。 探針托板18’是在被支撐於滑動塊體17的狀態下， 支撐FPC基座19及探針塊體20用的構件。探針托板18 ’是在其上側面被固定於滑動塊體17的下側面的狀態下 ，在下側面固定有FPC基座19及探針塊體20。 FPC基座19，是支撐FPC纜線27將外部裝置及後述 葉片型探針38電連接用的構件。FPC纜線27，其基端部 是與被安裝於探針基座13的下側面的中繼基板29連接， 前端部是安裝於FPC基座19的下側面。在FPC基座19 的前端部，設有：與述葉片型探針38的FPC側的接觸子 57電接觸的端子（無圖示）、保護此端子的導引薄膜3〇 、驅動用積體電路（無圖示）等。 探針塊體2 〇，是爲了對於液晶面板1 2的電路（無圖/ 示）進行檢查訊號發訊等而與液晶面板12的電極電接觸 用的構件。探針塊體20，是如第6、7圖所示，由：塊體 片33、及開縫桿34、及導引桿35、及支撐銷36、及蓋37 、及葉片型探針38所構成。 塊體片33，是在其下側面將複數葉片型探針38隔有 —定間隔並一體地支撐用的構件。塊體片3 3，是使其下側 面配合葉片型探針38的上側面形狀凹陷形成。在塊體片 33的左右兩側（第6圖中的左上右下方向的兩側，複數設 置供固定蓋37用的螺栓孔40。在塊體片33的上側面，複 數設置將探針塊體20固定於探針托板18用的螺栓孔41。 開縫桿34，是將多數配設的葉片型探針38之中後述 -9- 1361896 的各前端側腕部51、61及各FPC側腕部52、62各別正確 地定位支撐用的構件。此開縫桿34，是由陶瓷所形成，不 受熱的影響可將葉片型探針38正確地支撐》前端側開縫 桿3 4A是支撐葉片型探針38的各前端側腕部51、61， FPC側開縫桿34B是支撐葉片型探針38的各FPC側腕部 52。各開縫桿34A、34B，是設有多數開縫43的結構。各 開縫43，是將葉片型探針38的各前端側腕部51、61及各 FPC側腕部52、62隔有設定間隔地支撐用的開縫。前端 側開縫桿34A的各開縫43的間隔，是設定成使嵌合於各 開縫43的前端側腕部51、61的後述接觸子56、64整合 於液晶面板1 2的各電極的間隔。F P C側開縫桿3 4 B的開 縫4 3的間隔’是設定成使嵌合於各開縫4 3的F P C側腕部 52的後述接觸子57整合於FPC纜線27的端子的間隔。 導引桿35 ’是供支撐葉片型探針38用的構件。導引 桿3 5是形成大徑圓柱狀。大徑圓柱狀的導引桿3 5的直徑 ，是設定成可整合於葉片型探針38的後述定位孔53的內 徑的尺寸。這是爲了透過導引桿35進行葉片型探針38的 定位。即’在導引桿35嵌合於葉片型探針38的定位孔53 的狀態下定位此導引桿35的話，垂直於此導引桿35的中 心軸的方向的葉片型探針38的位置就會被正確地決定。 因此’將導引桿35的直徑設定成可整合於葉片型探針38 的定位孔53的內徑的尺寸，藉由定位導引桿35，垂直於 此導引桿35的中心軸的方向的葉片型探針38的定位就可 正確地進行。 -10- 1361896 支撐銷36，是與導引桿35 —起支撐葉片型探_ 的構件。支撐銷36是形成圓形棒狀。此支撐銷36 ’是設定成可整合於葉片型探針38的後述支撐銷子 內徑的尺寸。這是爲了與導引桿35 —起通過支撐H 行葉片型探針38的定位。 蓋37,是供支撐導引桿35及支撐銷36用的板 37是使用2枚，安裝於塊體片33的兩側。在蓋37 有：蓋固定用螺栓孔45、及導引桿固定用螺栓孔 支撐銷固定用螺栓孔47。蓋固定用螺栓孔45是8 引桿固定用螺栓孔46是2個，支撐銷固定用螺栓？ 2個。各螺栓孔是正確地被定位，對於塊體片33可 定位支撐導引桿35及支撐銷36。螺栓48螺入各 45將蓋37固定於塊體片33。 葉片型探針3 8，是供與液晶面板1 2的電路的 接接觸並進行檢查訊號發訊等的構件。葉片型探針 如第1、8、9圖所示的結構。又，在第1圖中，爲 本案發明及習知的探針，而並列揭示本實施例的2 葉片型探針38、及習知的葉片型探針。 本實施例的葉片型探針38，是由第1列用葉片 38A及第2列用葉片型探針38B所構成。 第1列用葉片型探針38A，是整合於呈複數列 配設的電極的第1列。在此，電極雖是配設成2列 ，但是也有配列成3列以上的情況。第1列用葉片 38A，是如第1圖（a)所示，由：本體板部50、 十38用 的直徑 L 54的 "6進 材》蓋 中，設 4 6、及 個，導 j 4 7是 正確地 螺栓孔 電極直 38，是 了比較 種類的 型探針 鋸齒狀 鋸齒狀 型探針 及前端 -11 -

1361896 側腕部5 1、及FPC側腕部52所構成。 本體板部50，是設有供導引桿35及支撐銷 的導引桿孔53、及支撐銷孔54。導引桿孔53, 是設定成可整合於導引桿35外徑的尺寸。支撐 其內徑是設定成可整合於支撐銷36外徑的尺1 本體板部50，可正確地被定位支撐。 前端側腕部5 1，是在其前端部支撐朝向下俱 56用的構件。在前端側腕部51中，在整合於呈 狀配設的液晶面板1 2的電極的第1列的前端β 觸子5 6。 FPC側腕部52，是在其基端部（第1圖中& )支撐朝向上側的接觸子57用的構件。在FPC 中，在整合於FPC纜線27的端子的位置設有接 第2列用葉片型探針3 8Β，是整合於呈複婁 配設的電極的第2列的其他列用葉片型探針。宅 電極呈2列鋸齒狀配設，所以其他列用葉片型孩 第2列用葉片型探針3 8 Β。第2列用葉片型探金 如第1圖（c)所示，由：本體板部60、及前端 、及FPC側腕部62所構成。 本體板部60，是與構成前述第1列用葉片3 的本體板部5 0同樣。 前端側腕部61，是在其前端附近支撐朝向飞 子64用的構件。前端側腕部61，其全長是延伸 1列用葉片型探針3 8 Α的前端側腕部5 1相同ίί 3 6通過用 是其內徑 銷孔54， _。由此， j的接觸子 2列鋸齒 ί置設有接 丨右側栖部 側腕部52 獨子57。 [列鋸齒狀 :此，因爲 i針，只有 -38B ，是 側腕部61 [探針3 8 A 側的接觸 直到與第 置爲止。 1361896 在前端側腕部61的前端部，如第9圖所示，設有接 64及保持板部65。接觸子64，是設在整合於呈2列 狀配設的液晶面板12的電極的第2列的位置（從前端 腕部61的前端部偏離電極1列分的位置）。此接觸子 的位置，是與第1圖（b)的習知的葉片型探針的接觸 相同的位置。又，液晶面板1 2的電極是配設成3列銷 狀時，葉片型探針38是使整合於各列的電極的方式設 接觸子6 4。 前述接觸子64的前端側的保持板部65，是增加開 桿34的各開縫43之間的保持面積用的構件。保持板部 ’是在接觸子64的前端側呈角狀突出設置。此保持板 65的尺寸，其前端部是被設定成爲與第丨列用葉片型探 38 A的前端側腕部5 1的前端部相同的位置。將保持板 65的尺寸作成與第1列用葉片型探針3 8 a的前端側腕 5 1的尺寸相同，是爲了確保接點位置的精度，並且抑制 了葉片型探針3 8的扭轉、變形，防止開縫桿3 4的各開 43的破損。如第1 〇圖，未設置保持板部65的前端側腕 61的情況時，對於開縫桿34的導引桿35及支撐銷36 少偏離的話，比短的前端側腕部61長的前端側腕部5 1 相對地大移動而偏離。由此，前端側腕部51的扭轉、 形會變大，且開縫桿34的開縫43會扭轉、歪斜或破損 對於此如第8圖，第1列用葉片型探針3 8 A及第2 用葉片型探針3 8B的全部的葉片型探針38是成爲相同 度的話，全部的葉片型探針38是均等地與開縫桿34的 子 齒 側 64 子 齒 置 縫 65 部 針 部 部 爲 縫 部 多 會 變 〇 列 長 開 -13- 1361896 縫43接觸可以防止局部的應力集中。由此，對於開縫桿 34的各開縫43可抑制各前端側腕部51、61的偏離，確保 探針接點位置精度，並且抑制各葉片型探針38的各前端 側腕部51、61的扭轉、變形，防止開縫43的破損。 保持板部65的形狀是可以對於接觸子64的前端部（ 下端部）確保充分的高度。具體而言，接觸子64的前端 部接觸於液晶面板12的電極時，使保持板部65的前端部 不接觸於液晶面板12的表面的電路的方式，可以確保充 分的高度的形狀。進一步，形成可確實插入開縫桿34的 開縫43的形狀。保持板部65的厚度，是與前端側腕部61 同樣，形成可以插入開縫43的厚度。 又’保持板部65的尺寸，是設定成使其前端部成爲 位於與第1列用葉片型探針38A的前端側腕部51的前端 部相同位置的情況以外，將保持板部65的尺寸，設定成 比第1列用葉片型探針38A的前端側腕部51短或長一些 也可以。由微米單位所見的情況時，開縫43的寬度，在 前端側腕部51的尺寸等的諸條件，因爲會發生一些的不 同，所以配合其設定保持板部65的尺寸。 FPC側腕部62，是構成與前述第1列用葉片型探針 38A的FPC側腕部52同樣。 如以上結構的探針單元1 1具有如下作用。又’檢查 裝置整體的作用因爲與習知的檢查裝置同樣，所以在此只 有說明探針單元11的作用。 葉片型探針38是通過導引桿35及支撐銷36，導引桿 -14- 1361896 35及支撐銷36是被固定於2個蓋37，進一步，各蓋37 是被固定於塊體片33構成探針組裝體14。而且，探針組 裝體14是被固定於探針基座13，探針組裝體14的葉片型 探針38的接觸子56、64是接觸液晶面板12的各電極。 在此狀態下，第1列用葉片型探針38A的接觸子56 的前端側腕部5 1、及第2列用葉片型探針38B的接觸子 64的前端側腕部61，是各別被嵌合支撐於開縫桿34的各 開縫43。 這時，第1列用葉片型探針3 8 A的前端側腕部5 1的 最前端部也就是接觸子56、及第2列用葉片型探針38B 的前端側腕部61的最前端部也就是保持板部65是成爲幾 乎相同長度。因此，前端側腕部51、61，是在嵌合於開縫 桿3 4的各開縫43的狀態下，幾乎由相同面積 '幾乎相同 力接觸各開縫4 3。 由此，各葉片型探針38A、38B的扭轉、歪斜、破損 等被抑制。此結果，可以正確地支撐各接觸子56、64並 與液晶面板1 2的各電極確實地接觸。 [變形例] 在前述實施例中，雖同時設有導引桿35及支撐銷36 ，但是也有未設置支撐銷36的情況。有需要提高精度的 情況時設置支撐銷3 6。 在前述實施例中，雖說明液晶面板12的電極是呈2 列鋸齒狀配設情況的例，但是配設成3列以上的鋸齒狀的 1361896 情況’也可以達成與前述同樣的作用、效果。 【圖式簡單說明】 [第1圖]本發明的實施例的探針單元的葉片型探針的 側面圖。 [第2圖]習知的檢查裝置的探針組裝體的立體圖。 [第3圖]習知的檢查裝置的探針組裝體的側面剖面圖 [第4圖]本發明的實施例的探針單元的立體圖。 [第5圖]本發明的實施例的探針單元的—部分切斷的 側面圖。 [第6圖]本發明的實施例的探針單元的探針組裝體的 分解立體圖。 [第7圖]將本發明的實施例的探針單元的探針組裝體 從背面顯示的立體圖。 # [第8圖]本發明的實施例的探針單元的探針組裝體的 前端側腕部的平面圖。 [第9圖]本發明的實施例的探針單元的探針組裝體的 前端側腕部的側面圖。 [第1 0圖]習知的探針單元的探針組裝體的前端側腕部 的平面圖。 【主要元件符號說明】 1 1 :探針單元 -16- 1361896 液晶面板 探針基座 探針組裝體 懸吊基座 滑動塊體 探針托板 FPC基座 探針塊體 螺絲孔 螺絲 軌道 導引 F P C纜線 彈簧 中繼基板 導引薄膜 塊體片 開縫桿 :前端側開縫桿 :FPC側開縫桿 導引桿 支撐銷 蓋 葉片型探針 -17- 1361896 38A :第1列用葉片型探針 38B:第2列用葉片型探針 4 0 :螺栓孔 41 :螺栓孔 43 :開縫 45 :蓋固定用螺栓孔 46 :導引桿固定用螺栓孔 47:支撐銷固定用螺栓孔 48 :螺栓 50 :本體板部 5 1、61 :前端側腕部 5 2、62:各F P C側腕部 5 3 :定位孔 54 :支撐銷孔 5 6 ' 64 :接觸子 5 7 :接觸子 6 0 :本體板.部 62 ： FPC側腕部 6 5 :保持板部 -18-

Claims (1)

1361896 十、申請專利範圍 1 · 一種探針單元’是具備可支撐葉片型探針並與被 檢查體的電極電接觸的探針組裝體，其特徵爲： 前述葉片型探針，是具備：被正確定位支撐的本體板 部、及被支撐於該本體板部的前端側並支撐接觸子用的前 端側腕部、及被支撐於前述本體板部的FPC側並支撐接觸 子的FPC側腕部，且該葉片型探針是由第1列用葉片型探 針及其他列用葉片型探針所構成， 前述第1列用葉片型探針，是將前述前端側腕部的接 觸子，設在整合於呈複數列鋸齒狀配列之中的第1列的位 置且設在前端位置， 前述其他列用葉片型探針，是將前述前端側腕部的接 觸子，設在整合於呈複數列鋸齒狀配列之中的第2列以後 的位置，並且在前述接觸子的前端側，設有與前述第1列 用葉片型探針的前端側腕部幾乎相同設定的保持板部。 2. 如申請專利範圍第1項的探針單元，其中，具備 開縫桿，設有讓葉片型探針的前端側腕部及FPC側腕部插 入的複數開縫， 藉由前述其他列用葉片型探針的保持板部，增加與前 述開縫的保持面積。 3. 一種檢查裝置，是使用於被檢查體的檢査，其特 徵爲： 具備：將被檢查體從外部搬入且檢查終了後朝外部搬 運的組裝部、及支撐從該組裝部搬入的被檢查體並進行試 -19- 1361896 驗的測量部， 前述測量部，具有探針單元，其是具備可支撐葉片型 探針並與被檢查體的電極電接觸的探針組裝體， 前述葉片型探針，是具備：被正確定位支撐的本體板 部、及支撐於該本體板部的前端側並支撐接觸子的前端側 腕部、及支撐於前述本體板部的FPC側並支撐接觸子的 FPC側腕部，且該葉片型探針是由第1列用葉片型探針及 其他列用葉片型探針所構成， 前述第1列用葉片型探針，是將前述前端側腕部的接 觸子，設在整合於呈複數列鋸齒狀配列之中的第1列的位 置且設在前端位置， 前述其他列用葉片型探針，是將前述前端側腕部的接 觸子，設在整合於呈複數列鋸齒狀配列之中的第2列以後 的位置，並且在前述接觸子的前端側，設有與前述第1列 用葉片型探針的前端側腕部幾乎相同設定的保持板部。 4.如申請專利範圍第3項的檢查裝置，其中，具備 開縫桿，設有讓葉片型探針的前端側腕部及FPC側腕部插 入的複數開縫， 藉由前述其他列用葉片型探針的保持板部，增加與前 述開縫的保持面積。 -20-