JP2707119B2 - 基板用プローブ - Google Patents
基板用プローブInfo
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- JP2707119B2 JP2707119B2 JP63262618A JP26261888A JP2707119B2 JP 2707119 B2 JP2707119 B2 JP 2707119B2 JP 63262618 A JP63262618 A JP 63262618A JP 26261888 A JP26261888 A JP 26261888A JP 2707119 B2 JP2707119 B2 JP 2707119B2
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/325—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by abutting or pinching, i.e. without alloying process; mechanical auxiliary parts therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、基板用プローブに関し、例えば液晶表示
装置（LCD）が構成されるガラス基板の試験に用いられ
るものに利用して有効な技術に関するものである。
装置（LCD）が構成されるガラス基板の試験に用いられ
るものに利用して有効な技術に関するものである。
液晶パネルの試験に用いられるプローブボードの例と
して、例えば特開昭63−173971号公報がある。この公報
に開示されているプローブボードは、ゴムに金を混入し
てちりばめて導電部分を持たせ、それをガラス基板の電
極へ接触させるプローブとして用いるものである。
して、例えば特開昭63−173971号公報がある。この公報
に開示されているプローブボードは、ゴムに金を混入し
てちりばめて導電部分を持たせ、それをガラス基板の電
極へ接触させるプローブとして用いるものである。
上記構成のプローブボードでは、ゴムに金を混入させ
る必要があり、その製造に格別の技術ないし装置を必要
としその分コストが高くなるという問題を有する。ま
た、高密度に配置される液晶パネル等のガラス基板の電
極に正しく接触しているか否かを、その試験結果の検討
によって知ることになる。すなわち、被測定物であるガ
ラス基板側の不良なのか、プローブの接触不良なのかが
分かりにくく、不良解析の結果から接触不良と判断し
て、改めてセッティング等を含む再試験を行うため試験
効率が悪くなるという問題がある。
る必要があり、その製造に格別の技術ないし装置を必要
としその分コストが高くなるという問題を有する。ま
た、高密度に配置される液晶パネル等のガラス基板の電
極に正しく接触しているか否かを、その試験結果の検討
によって知ることになる。すなわち、被測定物であるガ
ラス基板側の不良なのか、プローブの接触不良なのかが
分かりにくく、不良解析の結果から接触不良と判断し
て、改めてセッティング等を含む再試験を行うため試験
効率が悪くなるという問題がある。
この発明の目的は、簡単な構成で、しかも接触の有無
を検出することが可能な基板用プローブを提供すること
にある。
を検出することが可能な基板用プローブを提供すること
にある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、
弾力性を持つ円筒形を芯として、その円周方向に沿って
測定すべき電極に適合したピッチの配線が形成されたフ
レキシブル配線基板を巻くとともに、プローブとして作
用させる配線をその接触部で切断させる。
要を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、
弾力性を持つ円筒形を芯として、その円周方向に沿って
測定すべき電極に適合したピッチの配線が形成されたフ
レキシブル配線基板を巻くとともに、プローブとして作
用させる配線をその接触部で切断させる。
上記した手段にれば、フレキシブル配線基板技術をそ
のまま利用して高密度のピッチで多数の測定用プローブ
を形成できるとともに、接触部で配線を切断されている
から、その両配線の通電の有無によりその接触部が測定
すべき基板の電極に接触したか否かを知ることができ
る。
のまま利用して高密度のピッチで多数の測定用プローブ
を形成できるとともに、接触部で配線を切断されている
から、その両配線の通電の有無によりその接触部が測定
すべき基板の電極に接触したか否かを知ることができ
る。
第１図には、この発明に係る基板用プローブの一実施
例の斜視図が示されている。
例の斜視図が示されている。
同図では、図面が複雑化されてしまうのを防ぐため
に、５つのプローブとそれに対応した５つの電極を持つ
液晶パネル用のガラス基板が例示的に示されている。
に、５つのプローブとそれに対応した５つの電極を持つ
液晶パネル用のガラス基板が例示的に示されている。
この実施例のプローブは、フレキシブル配線基板FPC
が利用される。すなわち、フレキシブル配線基板FPC
は、公知の配線基板技術により、適当なフレキシブルな
フィルム状の基板に配線パターンが形成される。この配
線パターンは、測定すべきガラス基板LCDの電極のピッ
チに合わせて形成される。このフレキシブル配線基板FP
Cは、帯状態にされ、そこに形成された配線がプローブ
とプローブをテスターに導く配線として利用される。な
お、同図では、実際と異なるがフィルム状の基板は配線
の厚みの部分に含まれると理解されたい。
が利用される。すなわち、フレキシブル配線基板FPC
は、公知の配線基板技術により、適当なフレキシブルな
フィルム状の基板に配線パターンが形成される。この配
線パターンは、測定すべきガラス基板LCDの電極のピッ
チに合わせて形成される。このフレキシブル配線基板FP
Cは、帯状態にされ、そこに形成された配線がプローブ
とプローブをテスターに導く配線として利用される。な
お、同図では、実際と異なるがフィルム状の基板は配線
の厚みの部分に含まれると理解されたい。
上記フレキシブル配線基板FPCは、その中央部が弾力
性を持つ円筒形のシリコンゴムに対して、その円周に沿
って配線が構成されるよう巻かれて接着される。すなわ
ち、フレキシブル配線基板FPCは、上記シリコンゴムを
芯として略円筒形に構成される。特に制限されないが、
上記フレキシブル配線基板FPCの配線が形成される側の
表面は、後述するような接触部分を除いて絶縁性の被膜
が形成される。図示しない絶縁ブロック等によって、円
筒形にされた配線基板の上部からシリコンゴムを押し潰
すように、同図に矢印で示したような圧着力Ｆを作用さ
せ、円筒形の下部分の配線がガラス基板LCDの電極に所
望の接触圧を持って接触させられる。このような接着力
Ｆの作用によって、もともと円筒形であってシリコンゴ
ムは、その断面部分が同図に示すような楕円形に変形す
るものとなる。このような接触部分は、上記絶縁被膜が
形成されないからガラス基板LCDの電極に対して電気的
接続が行われる。
性を持つ円筒形のシリコンゴムに対して、その円周に沿
って配線が構成されるよう巻かれて接着される。すなわ
ち、フレキシブル配線基板FPCは、上記シリコンゴムを
芯として略円筒形に構成される。特に制限されないが、
上記フレキシブル配線基板FPCの配線が形成される側の
表面は、後述するような接触部分を除いて絶縁性の被膜
が形成される。図示しない絶縁ブロック等によって、円
筒形にされた配線基板の上部からシリコンゴムを押し潰
すように、同図に矢印で示したような圧着力Ｆを作用さ
せ、円筒形の下部分の配線がガラス基板LCDの電極に所
望の接触圧を持って接触させられる。このような接着力
Ｆの作用によって、もともと円筒形であってシリコンゴ
ムは、その断面部分が同図に示すような楕円形に変形す
るものとなる。このような接触部分は、上記絶縁被膜が
形成されないからガラス基板LCDの電極に対して電気的
接続が行われる。
この実施例では、上記接触の有無を検出するために、
上記プローブとして作用する配線は、上記接触部で切断
される。それ故、上記シリコンゴムを境にして、上記の
配線と下側の配線とは電気的に分離された状態にされ
る。
上記プローブとして作用する配線は、上記接触部で切断
される。それ故、上記シリコンゴムを境にして、上記の
配線と下側の配線とは電気的に分離された状態にされ
る。
したがって、適当な位置合わせ装置により、上記基板
用プローブ対して、測定すべき液晶パネル等のガラス基
板LCDを位置合わせした状態で、図示しない絶縁ブロッ
ク等により円筒形の上側から圧着力Ｆを作用させて、シ
リコンゴムの下側の配線部分をガラス基板の電極へ接触
させる。このとき、上側のフレキシブル配線基板FPCの
配線側から電流Ｉを流す。上記プローブに正しくガラス
基板が位置合わせされているならば、上記電流Ｉはガラ
ス基板側の電極を介して下側のフレキシブル配線基板FP
Cの配線に流れる電流Ｉ′として検出される。
用プローブ対して、測定すべき液晶パネル等のガラス基
板LCDを位置合わせした状態で、図示しない絶縁ブロッ
ク等により円筒形の上側から圧着力Ｆを作用させて、シ
リコンゴムの下側の配線部分をガラス基板の電極へ接触
させる。このとき、上側のフレキシブル配線基板FPCの
配線側から電流Ｉを流す。上記プローブに正しくガラス
基板が位置合わせされているならば、上記電流Ｉはガラ
ス基板側の電極を介して下側のフレキシブル配線基板FP
Cの配線に流れる電流Ｉ′として検出される。
このように、対応する一対の配線間の通電を検出する
ことにより、プローブの電極への接触をモニターするこ
とができる。また。上記電流Ｉ′の検出に時点を基準に
して、上記絶縁ブロックによる追い込み量を設定するこ
とにより、プローブが所望の接触圧を持ってガラス基板
LCDの電極に接続されるよう制御できる。これにより、
接触圧不足による接触不良や過剰な圧力圧Ｆをかけるこ
とによるガラス基板LCDの破損等を防止することができ
る。
ことにより、プローブの電極への接触をモニターするこ
とができる。また。上記電流Ｉ′の検出に時点を基準に
して、上記絶縁ブロックによる追い込み量を設定するこ
とにより、プローブが所望の接触圧を持ってガラス基板
LCDの電極に接続されるよう制御できる。これにより、
接触圧不足による接触不良や過剰な圧力圧Ｆをかけるこ
とによるガラス基板LCDの破損等を防止することができ
る。
もしも、位置ズレにより非接触状態なら、上記電流
Ｉ′が検出されないから、直ちに位置修正を指示するこ
とができる。これにより、無駄なテスト時間を費やすこ
となく、位置修正が可能となり、効率的な試験を実現で
きるものとなる。
Ｉ′が検出されないから、直ちに位置修正を指示するこ
とができる。これにより、無駄なテスト時間を費やすこ
となく、位置修正が可能となり、効率的な試験を実現で
きるものとなる。
また、上記位置ズレによってプローブがガラス基板LC
Dの隣接する２つの電極にまたがって誤接触した場合で
も、上記電流Ｉが下側の２つの配線に分流して流れるこ
とからそのような誤った接触も検出することができる。
この場合も、直ちに位置合わせ修正の指示がなされるも
のとなり、みすみす不良となるような無駄な試験時間を
費やすことがない。
Dの隣接する２つの電極にまたがって誤接触した場合で
も、上記電流Ｉが下側の２つの配線に分流して流れるこ
とからそのような誤った接触も検出することができる。
この場合も、直ちに位置合わせ修正の指示がなされるも
のとなり、みすみす不良となるような無駄な試験時間を
費やすことがない。
第２図には、プローブの他の一実施例の概略断面図が
示されている。この実施例では、上記のような絶縁ブロ
ックによるプローブの圧着に代え、板バネを上側のフレ
キシブル配線基板FPCに沿わせて、言い換えるならば、
板バネにフレキシブル配線基板を電気絶縁性をもって貼
り付け、シリコンゴムを芯とする先端部をガラス基板LC
Dに押し付けるようにする。また、上記シリコンゴムを
芯とするプローブ部分をガラス基板LCDの電極表面に沿
って矢印で示すように摺動させながら圧着させる。この
構成においては、プローブとしての配線表面や、ガラス
基板LCDの電極表面に生じる酸化膜等やゴミ等の絶縁物
を除くことができるから、良好な電気的接触を得ること
ができるものである。この構成では、上記板バネのバネ
力Ｆに応じて接触圧力が決定される。
示されている。この実施例では、上記のような絶縁ブロ
ックによるプローブの圧着に代え、板バネを上側のフレ
キシブル配線基板FPCに沿わせて、言い換えるならば、
板バネにフレキシブル配線基板を電気絶縁性をもって貼
り付け、シリコンゴムを芯とする先端部をガラス基板LC
Dに押し付けるようにする。また、上記シリコンゴムを
芯とするプローブ部分をガラス基板LCDの電極表面に沿
って矢印で示すように摺動させながら圧着させる。この
構成においては、プローブとしての配線表面や、ガラス
基板LCDの電極表面に生じる酸化膜等やゴミ等の絶縁物
を除くことができるから、良好な電気的接触を得ること
ができるものである。この構成では、上記板バネのバネ
力Ｆに応じて接触圧力が決定される。
この構成においても、上記接触部でプローブとしての
配線を切断させることより、接触の有無の検出が可能に
なる。また、上記２つの配線をダブルコンタクト（ケル
ビンコンタクト）として用いるものであってもよい。例
えば、ガラス基板に形成された電極等の配線抵抗値を測
定する場合、例えば、上側のフレキシブル配線基板FPC
の配線を通して電流を供給し、下側のフレキシブル配線
基板FPCの配線を通して電圧を測定する。ガラス基板に
形成された配線の両端に上記電流と電圧端子を設けると
いう４端子測定法を行うことにって、ガラス基板側の電
極（配線）の抵抗値を上記フレキシブル配線基板等にお
ける配線抵抗値に無関係に精度良く測定できるものであ
る。
配線を切断させることより、接触の有無の検出が可能に
なる。また、上記２つの配線をダブルコンタクト（ケル
ビンコンタクト）として用いるものであってもよい。例
えば、ガラス基板に形成された電極等の配線抵抗値を測
定する場合、例えば、上側のフレキシブル配線基板FPC
の配線を通して電流を供給し、下側のフレキシブル配線
基板FPCの配線を通して電圧を測定する。ガラス基板に
形成された配線の両端に上記電流と電圧端子を設けると
いう４端子測定法を行うことにって、ガラス基板側の電
極（配線）の抵抗値を上記フレキシブル配線基板等にお
ける配線抵抗値に無関係に精度良く測定できるものであ
る。
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りで
ある。すなわち、 （１）弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯として、
その円周方向に沿って測定すべき電極に適合したピッチ
の配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻くととも
にその接触部で配線を切断させる。この構成において
は、フレキシブル配線基板技術をそのまま利用して高密
度のピッチで多数の測定用プローブを形成できるから低
コストで高密度の測定電極に対応させた基板用プローブ
を得ることができるという効果が得られる。
ある。すなわち、 （１）弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯として、
その円周方向に沿って測定すべき電極に適合したピッチ
の配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻くととも
にその接触部で配線を切断させる。この構成において
は、フレキシブル配線基板技術をそのまま利用して高密
度のピッチで多数の測定用プローブを形成できるから低
コストで高密度の測定電極に対応させた基板用プローブ
を得ることができるという効果が得られる。
（２）上記プローブとして作用させられるフレキシブル
配線を接触部で切断させることにより、その両配線の通
電の有無によりその接触部が測定すべき基板の電極に接
触したか否かを知ることができるという効果が得られ
る。
配線を接触部で切断させることにより、その両配線の通
電の有無によりその接触部が測定すべき基板の電極に接
触したか否かを知ることができるという効果が得られ
る。
（３）上記（２）により、プローブと測定すべき基板と
の位置ずれを試験開始前に知ることができるから、直ち
に位置修正を行うことによって実質的な試験時間の短縮
化、高効率化を実現できるという効果が得られる。
の位置ずれを試験開始前に知ることができるから、直ち
に位置修正を行うことによって実質的な試験時間の短縮
化、高効率化を実現できるという効果が得られる。
（４）上記（２）により、接触開始時点が判るから、プ
ローブの測定電極への追い込み量（接触圧力）を所望の
接触圧に高い精度を持って設定できるという効果が得ら
れる。
ローブの測定電極への追い込み量（接触圧力）を所望の
接触圧に高い精度を持って設定できるという効果が得ら
れる。
（５）上記（２）により、ダブルコンタクトが可能にな
るから、四端子法を採ることができ、測定すべき基板の
配線抵抗値を高精度で測定できるという効果が得られ
る。
るから、四端子法を採ることができ、測定すべき基板の
配線抵抗値を高精度で測定できるという効果が得られ
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、フレキシブル
基板にシフトレジスタ等の半導体集積回路装置を搭載
し、フレキシブル配線基板に構成され、テスター側との
接続を行う配線数を削減するものとしてもよい。あるい
は、簡単な試験回路を搭載させて、試験結果のみをテス
ター側に転送させるものとしてもよい。プローブを基板
の電極に押し付けるための芯となる弾性体は、前記のよ
うなシリコンゴムの他、同様な性質を持つものであれば
何であってもよい。フレキシブル配線基板の配線が形成
された表面は、前記接触部を除いて絶縁被膜をコーティ
ングすることが取り扱いを簡便にする上で望ましいがそ
れに限定されるものではない。
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、フレキシブル
基板にシフトレジスタ等の半導体集積回路装置を搭載
し、フレキシブル配線基板に構成され、テスター側との
接続を行う配線数を削減するものとしてもよい。あるい
は、簡単な試験回路を搭載させて、試験結果のみをテス
ター側に転送させるものとしてもよい。プローブを基板
の電極に押し付けるための芯となる弾性体は、前記のよ
うなシリコンゴムの他、同様な性質を持つものであれば
何であってもよい。フレキシブル配線基板の配線が形成
された表面は、前記接触部を除いて絶縁被膜をコーティ
ングすることが取り扱いを簡便にする上で望ましいがそ
れに限定されるものではない。
また、上記フレキシブル配線基板が巻かれる芯となる
弾性体を比較的硬く構成し、その上から配線基板の電極
に押しつける絶縁ブロックにより大きい弾性を持たせ
て、ガラス基板への接触を和らげる構成としてもよい。
弾性体を比較的硬く構成し、その上から配線基板の電極
に押しつける絶縁ブロックにより大きい弾性を持たせ
て、ガラス基板への接触を和らげる構成としてもよい。
この発明に係る基板用プローブは、前記液晶パネル等
のガラス基板の他、電子部品を実装させるための各種配
線基板等各種配線基板の試験に利用することができる。
のガラス基板の他、電子部品を実装させるための各種配
線基板等各種配線基板の試験に利用することができる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯
として、その円周方向に沿って測定すべき電極に適合し
たピッチの配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻
くとともにその接触部で配線を切断させる。この構成に
おいては、フレキシブル配線基板技術をそのまま利用し
て高密度のピッチで多数の測定用プローブを形成できる
から低コストで高密度の測定電極に対応させることがで
きるともとに、プローブとして作用する配線を接触部で
切断させることによりその両配線の通電の有無によりそ
の接触部が測定すべき基板の電極に接触したか否かを知
ることができる基板用プローブが得られる。
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯
として、その円周方向に沿って測定すべき電極に適合し
たピッチの配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻
くとともにその接触部で配線を切断させる。この構成に
おいては、フレキシブル配線基板技術をそのまま利用し
て高密度のピッチで多数の測定用プローブを形成できる
から低コストで高密度の測定電極に対応させることがで
きるともとに、プローブとして作用する配線を接触部で
切断させることによりその両配線の通電の有無によりそ
の接触部が測定すべき基板の電極に接触したか否かを知
ることができる基板用プローブが得られる。
第１図は、この発明に係る基板用プローブの一実施例を
示す概略斜視図、 第２図は、この発明の他の一実施例を示す概略断面図で
ある。 LCD……ガラス基板（液晶パネル）、FPC……フレキシブ
ル配線基板、I,I′……電流
示す概略斜視図、 第２図は、この発明の他の一実施例を示す概略断面図で
ある。 LCD……ガラス基板（液晶パネル）、FPC……フレキシブ
ル配線基板、I,I′……電流
Claims (3)
- 【請求項１】ほゞ円筒形とされた弾性体を芯として、そ
の円周方向に沿って測定すべき電極に適合したピッチの
配線が形成されたフレキシブル配線基板が巻かれてな
り、その接触部で配線が切断されてなることを特徴とす
る基板用プローブ。 - 【請求項２】上記接触部で切断された一対の配線は、そ
の接触部が測定すべき電極に接触した際の通電試験を行
うためにも用いられるものであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の基板用プローブ。 - 【請求項３】上記基板は、LCDが形成されるガラス基板
であることを特徴とする特許請求の範囲第１又は第２項
記載の基板用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63262618A JP2707119B2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | 基板用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63262618A JP2707119B2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | 基板用プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108974A JPH02108974A (ja) | 1990-04-20 |
| JP2707119B2 true JP2707119B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=17378295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63262618A Expired - Fee Related JP2707119B2 (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | 基板用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2707119B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100972049B1 (ko) * | 2009-03-10 | 2010-07-22 | 주식회사 프로이천 | 패널 테스트를 위한 프로브 유닛 |
| US11340261B2 (en) | 2017-02-02 | 2022-05-24 | Brigham Young University | Flexible electric probe |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP63262618A patent/JP2707119B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02108974A (ja) | 1990-04-20 |
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