JPH065243B2 - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
- Publication number
- JPH065243B2 JPH065243B2 JP61105422A JP10542286A JPH065243B2 JP H065243 B2 JPH065243 B2 JP H065243B2 JP 61105422 A JP61105422 A JP 61105422A JP 10542286 A JP10542286 A JP 10542286A JP H065243 B2 JPH065243 B2 JP H065243B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- electric circuit
- substrate
- conductors
- conductor
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電気回路基板の測定端、例えば液晶パネル
などの出力線の断線，短絡，リーク電流などの検査をす
るのに用いる基板検査装置に関するものである。
などの出力線の断線，短絡，リーク電流などの検査をす
るのに用いる基板検査装置に関するものである。
第５図、第６図はそれぞれ従来の基板検査装置の一例を
示す斜視図である。第５図において、(1)はスプリング
式プローブピン、(2)はプローブピン(1)と電気的導通を
有し、かつ測定回路へと接続される引出し線、(3)はプ
ローブピン(1)を固定するための絶縁性を有するプロー
ブピン固定用基板、(4)は被測定電気回路基板、(5)は被
測定電気回路基板(4)上に形成された電気回路の測定端
である。また第６図において、(1)は板状プローブピ
ン、(2)は板状プローブピン(1)と電気的導通を有し、か
つ測定回路へと接続される引出し線、(3)は板状プロー
ブピン(1)を回定するための絶縁性を有するプローブピ
ン固定用基板、(4)は被測定電気回路基板、(5)は被測定
電気回路基板(4)上に形成された電気回路の測定端であ
る。
示す斜視図である。第５図において、(1)はスプリング
式プローブピン、(2)はプローブピン(1)と電気的導通を
有し、かつ測定回路へと接続される引出し線、(3)はプ
ローブピン(1)を固定するための絶縁性を有するプロー
ブピン固定用基板、(4)は被測定電気回路基板、(5)は被
測定電気回路基板(4)上に形成された電気回路の測定端
である。また第６図において、(1)は板状プローブピ
ン、(2)は板状プローブピン(1)と電気的導通を有し、か
つ測定回路へと接続される引出し線、(3)は板状プロー
ブピン(1)を回定するための絶縁性を有するプローブピ
ン固定用基板、(4)は被測定電気回路基板、(5)は被測定
電気回路基板(4)上に形成された電気回路の測定端であ
る。
次に第５図に示す従来の基板検査装置の構成および動作
について説明する。まず、スプリング式プローブピン
(1)を被測定電気回路基板(4)上の測定端(5)のピッチに
対応するように必要な本数だけプローブピン固定用基板
(3)に埋め込み、固定する。次にプローブピン(1)からの
引出し線(2)を測定回路（図示せず）にはんだ付等で接
続し、被測定電気回路基板(4)の測定端(5)と位置合わせ
し、プローブピン固定用基板(3)全体又は、被測定基板
(4)全体を押しつける。押しつけることにより、プロー
ブピン(1)に内蔵されているスプリングがクッション的
役割をなし、プローブピン(1)と被測定基板(4)上の測定
端(5)との電気的導通を得、引出し線(2)により測定回路
へ電気信号が流れ、被測定基板(4)上の電気回路の断
線，短絡，リーク電流等を検出する。
について説明する。まず、スプリング式プローブピン
(1)を被測定電気回路基板(4)上の測定端(5)のピッチに
対応するように必要な本数だけプローブピン固定用基板
(3)に埋め込み、固定する。次にプローブピン(1)からの
引出し線(2)を測定回路（図示せず）にはんだ付等で接
続し、被測定電気回路基板(4)の測定端(5)と位置合わせ
し、プローブピン固定用基板(3)全体又は、被測定基板
(4)全体を押しつける。押しつけることにより、プロー
ブピン(1)に内蔵されているスプリングがクッション的
役割をなし、プローブピン(1)と被測定基板(4)上の測定
端(5)との電気的導通を得、引出し線(2)により測定回路
へ電気信号が流れ、被測定基板(4)上の電気回路の断
線，短絡，リーク電流等を検出する。
次に第６図に示す従来の基板検査装置の構成および動作
について説明する。先端を細くし、下方へ屈曲させた金
属製の板状プローブピン(1)を被測定基板(4)上の測定端
(5)のピッチに対応するように必要な数量だけプローブ
ピン固定用基板(3)に埋め込み、固定する。次にプロー
ブピン(1)からの引出し線(2)を測定回路（図示せず）に
はんだ付等で接続し、被測定基板(4)上の測定端(5)と位
置合わせし、プローブピン固定用基板(3)全体又は、被
測定基板(4)全体を押しつける。押しつけることによ
り、板状プローブピン(1)自身の弾性によって、適度な
圧力が生じ、板状プローブピン(1)と被測定基板(4)上の
測定端(5)との電気的導通を得、引出し線(2)により測定
回路へ電気信号が流れ、被測定基板(4)上の電気回路の
断線，短絡，リーク電流等を検出する。
について説明する。先端を細くし、下方へ屈曲させた金
属製の板状プローブピン(1)を被測定基板(4)上の測定端
(5)のピッチに対応するように必要な数量だけプローブ
ピン固定用基板(3)に埋め込み、固定する。次にプロー
ブピン(1)からの引出し線(2)を測定回路（図示せず）に
はんだ付等で接続し、被測定基板(4)上の測定端(5)と位
置合わせし、プローブピン固定用基板(3)全体又は、被
測定基板(4)全体を押しつける。押しつけることによ
り、板状プローブピン(1)自身の弾性によって、適度な
圧力が生じ、板状プローブピン(1)と被測定基板(4)上の
測定端(5)との電気的導通を得、引出し線(2)により測定
回路へ電気信号が流れ、被測定基板(4)上の電気回路の
断線，短絡，リーク電流等を検出する。
第５図のような従来の基板検査装置では、プローブピン
(1)の取付けピッチが最小1mm程度であるため、被測定基
板(4)上の測定端(5)のピッチがそれ以下であると対応で
きないという問題点がある。なおプローブピン(1)の配
列を千鳥状（ジグザグ状）にすることも考えられるが測
定端(5)の長さに制限がある場合はこれも不可能とな
る。また第６図のような従来の基板検査装置では、板状
プローブピン(1)の数が増加するとプローブピン固定用
基板(3)に固定するピッチが大きいため、直線配列のプ
ローブピン数が限定されるという問題点がある。このよ
うに第５図，第６図に示すような従来の基板検査装置で
は多ピンかつ微細ピッチ（例えば300ピン，0.3mmピッチ
程度）の測定端(5)を有する電気回路基板（例えば液晶
パネルなど）に対しては、１本ずつか、または数本のブ
ロック毎にプローブピンまたは、被測定基板を移動させ
る方式を取らざるをえず、全測定端を一括で測定するこ
とができないという問題点があった。さらに、第５図，
第６図に示す従来の基板評価装置では金属性の鋭利なプ
ローブピン(1)が測定端(5)と接触するため、薄膜形成の
測定端(5)の場合、この測定端(5)を傷つけてしまい、基
板評価後の実装に支障（例えば熱による割れ、剥離）を
きたすという問題点があった。
(1)の取付けピッチが最小1mm程度であるため、被測定基
板(4)上の測定端(5)のピッチがそれ以下であると対応で
きないという問題点がある。なおプローブピン(1)の配
列を千鳥状（ジグザグ状）にすることも考えられるが測
定端(5)の長さに制限がある場合はこれも不可能とな
る。また第６図のような従来の基板検査装置では、板状
プローブピン(1)の数が増加するとプローブピン固定用
基板(3)に固定するピッチが大きいため、直線配列のプ
ローブピン数が限定されるという問題点がある。このよ
うに第５図，第６図に示すような従来の基板検査装置で
は多ピンかつ微細ピッチ（例えば300ピン，0.3mmピッチ
程度）の測定端(5)を有する電気回路基板（例えば液晶
パネルなど）に対しては、１本ずつか、または数本のブ
ロック毎にプローブピンまたは、被測定基板を移動させ
る方式を取らざるをえず、全測定端を一括で測定するこ
とができないという問題点があった。さらに、第５図，
第６図に示す従来の基板評価装置では金属性の鋭利なプ
ローブピン(1)が測定端(5)と接触するため、薄膜形成の
測定端(5)の場合、この測定端(5)を傷つけてしまい、基
板評価後の実装に支障（例えば熱による割れ、剥離）を
きたすという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、従来不可能であった長尺で微細ピッチ（例え
ば300ピン，0.3mmピッチ）の測定端を有する電気回路基
板に対しても全端子一括で測定でき、しかも、被測定電
気回路基板の測定端の損傷を極力抑えることのできる基
板検査装置を得ることを目的としている。
たもので、従来不可能であった長尺で微細ピッチ（例え
ば300ピン，0.3mmピッチ）の測定端を有する電気回路基
板に対しても全端子一括で測定でき、しかも、被測定電
気回路基板の測定端の損傷を極力抑えることのできる基
板検査装置を得ることを目的としている。
この発明に係る基板検査装置は、支持体とこの支持体に
被測定電気回路基板の測定端と対応した配置で配線され
た複数本の導体とで形成されるプロービング部における
上記複数本の導体を、上記基板の測定端に位置合せして
押圧接触させ、上記基板の電気回路の検査を行うように
したものである。
被測定電気回路基板の測定端と対応した配置で配線され
た複数本の導体とで形成されるプロービング部における
上記複数本の導体を、上記基板の測定端に位置合せして
押圧接触させ、上記基板の電気回路の検査を行うように
したものである。
この発明における複数本の導体は、被測定電気回路基板
の測定端と対応した配置で、しかも導体の厚み分支持体
より突出して配線されている。一方、上記基板の測定端
も基板より厚み分突出して配線されており、両者を位置
合せして押圧することにより上記各突出部同士が接触す
ることになり、従来例のように基板の測定端に先端のと
がったピンなどが接触しないので、上記基板の測定端の
損傷は極力抑えられる。また、この発明におけるプロー
ビング部は支持体に上記複数本の導体を配線して形成さ
れるので、長尺で微細ピッチの測定端を有する電気回路
基板に対しても複数本の端子一括で測定できる。
の測定端と対応した配置で、しかも導体の厚み分支持体
より突出して配線されている。一方、上記基板の測定端
も基板より厚み分突出して配線されており、両者を位置
合せして押圧することにより上記各突出部同士が接触す
ることになり、従来例のように基板の測定端に先端のと
がったピンなどが接触しないので、上記基板の測定端の
損傷は極力抑えられる。また、この発明におけるプロー
ビング部は支持体に上記複数本の導体を配線して形成さ
れるので、長尺で微細ピッチの測定端を有する電気回路
基板に対しても複数本の端子一括で測定できる。
第１図、第２図はそれぞれこの発明の一実施例による基
板検査装置を示す断面図および斜視図である。図におい
て、(11)は例えばゴム系弾性体などの基材、(12)は例え
ばポリイミドフィルムなどの可撓性絶縁シート、(13)は
この可撓性絶縁シート(12)に配線された複数本の導体で
あり、これら導体は被測定電気回路基板(4)の測定端(5)
と対応した配置で配線されている。すなわち、この例で
は、可撓性絶縁シート(12)を基材(11)に固着して支持体
とし、この支持体と導体(13)とでプロービング部を形成
している。なお、導体(13)は例えば銅箔などを可撓性絶
縁シート(12)に接着剤などで貼り付け、フォトエッチン
グなどにより所定のパターンに形成されたものであり、
その終端のパッド（図示せず）からコネクタなどを介し
て測定回路（図示せず）へ配線される。
板検査装置を示す断面図および斜視図である。図におい
て、(11)は例えばゴム系弾性体などの基材、(12)は例え
ばポリイミドフィルムなどの可撓性絶縁シート、(13)は
この可撓性絶縁シート(12)に配線された複数本の導体で
あり、これら導体は被測定電気回路基板(4)の測定端(5)
と対応した配置で配線されている。すなわち、この例で
は、可撓性絶縁シート(12)を基材(11)に固着して支持体
とし、この支持体と導体(13)とでプロービング部を形成
している。なお、導体(13)は例えば銅箔などを可撓性絶
縁シート(12)に接着剤などで貼り付け、フォトエッチン
グなどにより所定のパターンに形成されたものであり、
その終端のパッド（図示せず）からコネクタなどを介し
て測定回路（図示せず）へ配線される。
次に検査方法について説明する。被測定電気回路基板
(4)の測定端(5)に、上記プロービング部における導体(1
3)を位置合せし、図示しない治具等により押圧する。導
体(13)は可撓性絶縁シート(12)より導体(13)の厚み分
（例えば18〜70μｍ）突出しており、測定端(5)もまた
基板(4)よりその厚み分突出しているのが通常であるの
で、押圧されることにより、上記突出部(13)，(5)同士
が接触し、電気的導通が得られる。この際、この例では
基材(11)に弾性体を用いているので、その弾性により、
上記導体(13)と測定端(5)との接触がより確かなものと
なる。次に、導体(13)終端のパッドからのコネクタを測
定回路に連結することにより、被測定電気回路基板(4)
の電気回路の断線，短絡，リーク電流等を検出する。こ
のように、可撓性絶縁シート(12)に測定端(5)と対応し
た配置で導体(13)が配線され、この導体(13)と測定端
(5)とを押圧接触させることにより検査を行なうので、
長尺で微細ピッチ（例えば300ピン、0.3mmピッチ）の基
板でも全測定端(5)一括で検査できる。ここでの測定端
(5)一括測定というメリットは大きく、例えば液晶パネ
ルなどには全面点灯試験が行なえるので電気回路の断
線，短絡等を一目瞭然で判断することができ、実際の使
用状況とほぼ変わらないため、エージングなど種々の特
性評価が可能となり、不良基板(14)などはその場で判断
できるので迅速な対応ができ、実装上の歩留りを向上さ
せることができる。さらには、第５図、第６図に示す従
来例のように、測定端(5)に先のとがったプローブピン
(1)が当接することなく、測定端(5)と導体(13)とはほと
んど面接触であるので、測定端(5)の損傷を極力抑える
ことができ、ひいては導体の損傷が原因で実装上不具合
のあった測定端(5)の割れ，剥離を抑えることができ
る。
(4)の測定端(5)に、上記プロービング部における導体(1
3)を位置合せし、図示しない治具等により押圧する。導
体(13)は可撓性絶縁シート(12)より導体(13)の厚み分
（例えば18〜70μｍ）突出しており、測定端(5)もまた
基板(4)よりその厚み分突出しているのが通常であるの
で、押圧されることにより、上記突出部(13)，(5)同士
が接触し、電気的導通が得られる。この際、この例では
基材(11)に弾性体を用いているので、その弾性により、
上記導体(13)と測定端(5)との接触がより確かなものと
なる。次に、導体(13)終端のパッドからのコネクタを測
定回路に連結することにより、被測定電気回路基板(4)
の電気回路の断線，短絡，リーク電流等を検出する。こ
のように、可撓性絶縁シート(12)に測定端(5)と対応し
た配置で導体(13)が配線され、この導体(13)と測定端
(5)とを押圧接触させることにより検査を行なうので、
長尺で微細ピッチ（例えば300ピン、0.3mmピッチ）の基
板でも全測定端(5)一括で検査できる。ここでの測定端
(5)一括測定というメリットは大きく、例えば液晶パネ
ルなどには全面点灯試験が行なえるので電気回路の断
線，短絡等を一目瞭然で判断することができ、実際の使
用状況とほぼ変わらないため、エージングなど種々の特
性評価が可能となり、不良基板(14)などはその場で判断
できるので迅速な対応ができ、実装上の歩留りを向上さ
せることができる。さらには、第５図、第６図に示す従
来例のように、測定端(5)に先のとがったプローブピン
(1)が当接することなく、測定端(5)と導体(13)とはほと
んど面接触であるので、測定端(5)の損傷を極力抑える
ことができ、ひいては導体の損傷が原因で実装上不具合
のあった測定端(5)の割れ，剥離を抑えることができ
る。
なお、上記実施例では基材(11)としてゴム系弾性体を用
いた場合について説明したが、材質，形状等特に限定す
る必要な無く、例えば、面精度が出れば金属であっても
よく、この場合、自重により導体(13)と測定端(5)の押
圧接触を助け、また変形による劣化も少ない。さらに、
プラスチック等であってもよい。
いた場合について説明したが、材質，形状等特に限定す
る必要な無く、例えば、面精度が出れば金属であっても
よく、この場合、自重により導体(13)と測定端(5)の押
圧接触を助け、また変形による劣化も少ない。さらに、
プラスチック等であってもよい。
また、上記実施例では基材(11)に固着された可撓性絶縁
シート(12)に導体(13)の配線を施した例について説明し
たが、基材(11)に直接的に導体(13)配線を施してプロー
ビング部としてもよく、さらに可撓性絶縁シート(12)に
導体(13)配線を施したものをプロービング部とし、板状
体などの治具を用いて導体(13)を測定端(5)に押圧接触
させるようにしてもよい。
シート(12)に導体(13)の配線を施した例について説明し
たが、基材(11)に直接的に導体(13)配線を施してプロー
ビング部としてもよく、さらに可撓性絶縁シート(12)に
導体(13)配線を施したものをプロービング部とし、板状
体などの治具を用いて導体(13)を測定端(5)に押圧接触
させるようにしてもよい。
また、第３図に示すように、導体(13)を中央部より両端
方向へ交互に千鳥状に配線した可撓性絶縁シート(12)を
用い、このシート(12)を支持体(11)に固定してプロービ
ング部とし、第４図に示すように、被測定用電気回路基
板(4)の測定端(5)と位置合せして上記第１図、第２図に
示す実施例と同様に検査してもよい。この場合、隣接す
る導体間距離が２倍となり、円形パッドの引出しピッチ
も２倍となるため、円形パッドから測定回路へ連結する
ためのコネクタ接続が容易となり、より微細ピッチの測
定端(5)を有する被測定電気回路基板(4)の検査に適用で
きる。
方向へ交互に千鳥状に配線した可撓性絶縁シート(12)を
用い、このシート(12)を支持体(11)に固定してプロービ
ング部とし、第４図に示すように、被測定用電気回路基
板(4)の測定端(5)と位置合せして上記第１図、第２図に
示す実施例と同様に検査してもよい。この場合、隣接す
る導体間距離が２倍となり、円形パッドの引出しピッチ
も２倍となるため、円形パッドから測定回路へ連結する
ためのコネクタ接続が容易となり、より微細ピッチの測
定端(5)を有する被測定電気回路基板(4)の検査に適用で
きる。
さらに、上記実施例では導体(13)として銅箔を用いた場
合について説明したが、この銅箔に金めっき等を施し、
手触などによる銅箔の酸化や腐食等を抑制することも可
能である。
合について説明したが、この銅箔に金めっき等を施し、
手触などによる銅箔の酸化や腐食等を抑制することも可
能である。
以上のように、この発明によれば、支持体とこの支持体
に被測定電気回路基板の測定端と対応した配置で配線さ
れた複数本の導体とで形成されるプロービング部におけ
る上記複数本の導体を、上記基板の測定端に位置合せし
て押圧接触させ、上記基板の電気回路の検査を行うよう
にしたので、長尺で微細ピッチの測定端を有する電気回
路基板に対しても複数本の測定端一括で検査でき、しか
も、上記測定端の損傷を極力抑えることのできる基板検
査装置が得られる効果がある。
に被測定電気回路基板の測定端と対応した配置で配線さ
れた複数本の導体とで形成されるプロービング部におけ
る上記複数本の導体を、上記基板の測定端に位置合せし
て押圧接触させ、上記基板の電気回路の検査を行うよう
にしたので、長尺で微細ピッチの測定端を有する電気回
路基板に対しても複数本の測定端一括で検査でき、しか
も、上記測定端の損傷を極力抑えることのできる基板検
査装置が得られる効果がある。
第１図、第２図はこの発明の一実施例による基板検査装
置を示すそれぞれ断面図および斜視図、第３図はこの発
明の他の実施例に係る可撓性絶縁シートの一部を示す平
面図、第４図は第３図に示すシートを用いたこの発明の
他の実施例による基板検査装置を示す斜視図、第５図、
第６図はそれぞれ従来の基板検査装置を示す斜視図であ
る。 図において、(1)はプローブピン、(4)は被測定電気回路
基板、(5)は測定端、(11)は基材、(12)は可撓性絶縁シ
ート、(13)は導体である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。
置を示すそれぞれ断面図および斜視図、第３図はこの発
明の他の実施例に係る可撓性絶縁シートの一部を示す平
面図、第４図は第３図に示すシートを用いたこの発明の
他の実施例による基板検査装置を示す斜視図、第５図、
第６図はそれぞれ従来の基板検査装置を示す斜視図であ
る。 図において、(1)はプローブピン、(4)は被測定電気回路
基板、(5)は測定端、(11)は基材、(12)は可撓性絶縁シ
ート、(13)は導体である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高砂 隼人 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社材料研究所内 (56)参考文献 特開 昭54−29053（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−284387（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】支持体とこの支持体に被測定電気回路基板
の測定端と対応した配置で配線された複数本の導体とで
形成されるプロービング部における上記複数本の導体
を、上記基板の測定端に位置合せして押圧接触させ、上
記基板の電気回路の検査を行うようにした基板検査装
置。 - 【請求項２】プロービング部は複数本の導体が配線され
た可撓性絶縁シートを基材に固定したものである特許請
求の範囲第１項記載の基板検査装置。 - 【請求項３】プロービング部は複数本の導体が配線され
た可撓性絶縁シートである特許請求の範囲第１項記載の
基板検査装置。 - 【請求項４】支持体は弾性を有する特許請求の範囲第１
項記載の基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105422A JPH065243B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105422A JPH065243B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 基板検査装置 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10-83704A Division JP2948802B2 (ja) | 1986-05-08 | 電気接続用部材 | |
| JP8370398A Division JPH10307149A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 電気接続用部材及びそれを用いた電気測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62261972A JPS62261972A (ja) | 1987-11-14 |
| JPH065243B2 true JPH065243B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=14407159
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61105422A Expired - Fee Related JPH065243B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065243B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0738009B2 (ja) * | 1988-03-07 | 1995-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 液晶基板検査装置 |
| US11340261B2 (en) | 2017-02-02 | 2022-05-24 | Brigham Young University | Flexible electric probe |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5429053A (en) * | 1977-08-08 | 1979-03-03 | Nippon Electric Co | Inspecting apparatus for print substrate pattern |
| JPS60198838A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Nec Corp | プロ−ブカ−ド |
| JPS60260861A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Hitachi Ltd | プロ−ブ |
| JPS612338A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
-
1986
- 1986-05-08 JP JP61105422A patent/JPH065243B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62261972A (ja) | 1987-11-14 |
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