JP2985432B2 - 電気的特性検査装置 - Google Patents
電気的特性検査装置Info
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- JP2985432B2 JP2985432B2 JP3268729A JP26872991A JP2985432B2 JP 2985432 B2 JP2985432 B2 JP 2985432B2 JP 3268729 A JP3268729 A JP 3268729A JP 26872991 A JP26872991 A JP 26872991A JP 2985432 B2 JP2985432 B2 JP 2985432B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ＴＡＢ式半導
体装置の電気的特性を検査するための特性検査装置に関
する。
体装置の電気的特性を検査するための特性検査装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶表示装置のドライバ用にＴ
ＡＢ式半導体装置（以下、ＴＡＢ式ＩＣという）が多用
されている。このようなＴＡＢ式ＩＣは、例えば、図２
に示すように、半導体ペレット１のバンプ電極１１に、
ＴＡＢテープ２に形成されたインナーリード２１を接合
一体として構成されている。
ＡＢ式半導体装置（以下、ＴＡＢ式ＩＣという）が多用
されている。このようなＴＡＢ式ＩＣは、例えば、図２
に示すように、半導体ペレット１のバンプ電極１１に、
ＴＡＢテープ２に形成されたインナーリード２１を接合
一体として構成されている。
【０００３】上記ＴＡＢテープ２は、所定間隔で透孔２
２が穿孔されたフィルム２３に銅箔をラミネートし、該
銅箔をエッチングして多数本のインナーリード２１を形
成すると共に、該インナーリード２１の他端をフィルム
２３の端縁沿いに穿孔される窓２４より外側にまで延設
し、各端部にそれぞれ特性検査用パッド２５を千鳥状に
配置している。
２が穿孔されたフィルム２３に銅箔をラミネートし、該
銅箔をエッチングして多数本のインナーリード２１を形
成すると共に、該インナーリード２１の他端をフィルム
２３の端縁沿いに穿孔される窓２４より外側にまで延設
し、各端部にそれぞれ特性検査用パッド２５を千鳥状に
配置している。
【０００４】このＴＡＢテープ２のインナーリード２１
に半導体ペレット１の対応するバンプ電極１１が接合さ
れ、その後、図６に示す特性検査装置３によりＴＡＢ式
ＩＣとしての特性が検査される。
に半導体ペレット１の対応するバンプ電極１１が接合さ
れ、その後、図６に示す特性検査装置３によりＴＡＢ式
ＩＣとしての特性が検査される。
【０００５】特性検査装置３は、上記ＴＡＢテープ２の
特性検査用パッド２５に当接されるニードル３１をプロ
ーブカード３２に多数本植設したもので、各ニードル３
１と検査用パッド２５とを位置決めし、上方より押圧板
４を下降させてニードル３１を検査用パッド２５に弾性
接触させて電気的特性を検査している。
特性検査用パッド２５に当接されるニードル３１をプロ
ーブカード３２に多数本植設したもので、各ニードル３
１と検査用パッド２５とを位置決めし、上方より押圧板
４を下降させてニードル３１を検査用パッド２５に弾性
接触させて電気的特性を検査している。
【０００６】上記特性検査を繰り返していると、特性検
査用パッド２５から生じたメッキ屑がニードル３１の先
端に付着したり、外力によってインナーリード２１が曲
がると接触が不確実となり、正確な検査ができなくなる
ため、定期的に或は機種切替毎に各ニードル３１の状態
を検査している。この検査は、プローブカード３２を目
視または、顕微鏡等によって観察して良否を判断してい
る。
査用パッド２５から生じたメッキ屑がニードル３１の先
端に付着したり、外力によってインナーリード２１が曲
がると接触が不確実となり、正確な検査ができなくなる
ため、定期的に或は機種切替毎に各ニードル３１の状態
を検査している。この検査は、プローブカード３２を目
視または、顕微鏡等によって観察して良否を判断してい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この特性検査装置３の
検査を行う場合、ＴＡＢ式ＩＣの多リード化によりイン
ナーリード２１の巾が細くなると共に、間隔が狭くなる
等により、それぞれインナーリード２１の状態を目視ま
たは、顕微鏡で観察することが極めて困難となり、メッ
キ屑の付着やニードル３１の折れ曲がりを見落とし易い
といった問題があった。
検査を行う場合、ＴＡＢ式ＩＣの多リード化によりイン
ナーリード２１の巾が細くなると共に、間隔が狭くなる
等により、それぞれインナーリード２１の状態を目視ま
たは、顕微鏡で観察することが極めて困難となり、メッ
キ屑の付着やニードル３１の折れ曲がりを見落とし易い
といった問題があった。
【０００８】また、この検査のために押圧板４とプロー
ブカード３２の脱着が必要で、この作業が繁雑で時間も
かかるといった問題があった。
ブカード３２の脱着が必要で、この作業が繁雑で時間も
かかるといった問題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の電気的特性検査装置は、平坦面に多数の電
極パッドを形成した被検査物を押圧板にて押圧し、電極
パッドと対向して植立した検査用ニードルに弾性接触さ
せる電気的特性検査装置において、上記押圧板は、絶縁
体部分と導体部分とから構成され、各部分を選択的かつ
直接的に検査用ニードルに当接させ得るようにしたこと
を特徴とする。
に、本発明の電気的特性検査装置は、平坦面に多数の電
極パッドを形成した被検査物を押圧板にて押圧し、電極
パッドと対向して植立した検査用ニードルに弾性接触さ
せる電気的特性検査装置において、上記押圧板は、絶縁
体部分と導体部分とから構成され、各部分を選択的かつ
直接的に検査用ニードルに当接させ得るようにしたこと
を特徴とする。
【００１０】
【作用】上記構成により、押圧板の導体部分と絶縁体部
分とを選択的かつ直接的に各ニードルに当接させて各ニ
ードル間の電気的接続状態を検査することにより、特性
検査装置の良否が短時間で確実に判別できる。
分とを選択的かつ直接的に各ニードルに当接させて各ニ
ードル間の電気的接続状態を検査することにより、特性
検査装置の良否が短時間で確実に判別できる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例に係る電気的特性
検査装置を構成する押圧板５の概略斜視図、図２は特性
検査装置にて特性を検査するためのＴＡＢテープ２を用
いたＴＡＢ式ＩＣ６の概略斜視図、図３は特性検査装置
３を構成するプローブカード３２の概略斜視図である。
検査装置を構成する押圧板５の概略斜視図、図２は特性
検査装置にて特性を検査するためのＴＡＢテープ２を用
いたＴＡＢ式ＩＣ６の概略斜視図、図３は特性検査装置
３を構成するプローブカード３２の概略斜視図である。
【００１３】特性検査装置３にて特性が検査されるＴＡ
Ｂ式ＩＣ６は、図２に示して既述したように、所定間隔
で透孔２２が穿孔されたフィルム２３に銅箔をラミネー
トし、該銅箔に多数本のインナーリード２３を含む配線
パターン２０をエッチング等より形成し、該インナーリ
ード２１の他端をフィルム２３の端縁沿いに穿孔される
窓２４より外側にまで延設して各端部にそれぞれ特性検
査用パッド２５を千鳥状に配置したＴＡＢテープ２を用
い、該ＴＡＢテープ２の各インナーリード２１と半導体
ペレット１の対応するバンプ電極１１とを接合一体とし
たものである。
Ｂ式ＩＣ６は、図２に示して既述したように、所定間隔
で透孔２２が穿孔されたフィルム２３に銅箔をラミネー
トし、該銅箔に多数本のインナーリード２３を含む配線
パターン２０をエッチング等より形成し、該インナーリ
ード２１の他端をフィルム２３の端縁沿いに穿孔される
窓２４より外側にまで延設して各端部にそれぞれ特性検
査用パッド２５を千鳥状に配置したＴＡＢテープ２を用
い、該ＴＡＢテープ２の各インナーリード２１と半導体
ペレット１の対応するバンプ電極１１とを接合一体とし
たものである。
【００１４】このＴＡＢ式ＩＣ６を構成する各ＴＡＢテ
ープ２の特性検査用パッド２５に当接して電気的特性を
チェックする特性検査装置３を構成するプローブカード
３２は、図３に示すように、基板３０上に上記ＴＡＢテ
ープ２の一つのＴＡＢ式ＩＣ６に対応する特性検査用パ
ッド２５に接触するように先端３３が上方に折曲して先
鋭で、他端が基板３０に固定されたニードル３１が多数
本設けられたもので、先端３３において上下に弾性を有
する状態となっている。
ープ２の特性検査用パッド２５に当接して電気的特性を
チェックする特性検査装置３を構成するプローブカード
３２は、図３に示すように、基板３０上に上記ＴＡＢテ
ープ２の一つのＴＡＢ式ＩＣ６に対応する特性検査用パ
ッド２５に接触するように先端３３が上方に折曲して先
鋭で、他端が基板３０に固定されたニードル３１が多数
本設けられたもので、先端３３において上下に弾性を有
する状態となっている。
【００１５】上記特性検査装置３の各ニードル３１の状
態検査を行うための検査装置を構成する押圧板５は絶縁
性の良好なセラミック等の成形品であり、図示していな
い例えば、Ｘ−Ｙ方向に移動自在に配置されるもので、
図１に示すように、ＴＡＢ式ＩＣ６の横幅とほぼ等し
く、略二つ分のＴＡＢ式ＩＣ６に対応する長さをもつ矩
形状を呈し、下面には長手方向両側に突出する下端押圧
面５１，５１と中央の逃げ部５２が形成されており、上
記下端押圧面５１，５１にて上記プローブカード３２の
両側の各ニードル３１の先端３２をそれぞれ一体で押圧
できるようになっている。そして、この押圧板５の長手
方向中央部分を境界として、一方側をその表面に金メッ
キ等の良導電体膜を形成した導体部分５３とし、他方を
そのままの絶縁体部分５４としている。
態検査を行うための検査装置を構成する押圧板５は絶縁
性の良好なセラミック等の成形品であり、図示していな
い例えば、Ｘ−Ｙ方向に移動自在に配置されるもので、
図１に示すように、ＴＡＢ式ＩＣ６の横幅とほぼ等し
く、略二つ分のＴＡＢ式ＩＣ６に対応する長さをもつ矩
形状を呈し、下面には長手方向両側に突出する下端押圧
面５１，５１と中央の逃げ部５２が形成されており、上
記下端押圧面５１，５１にて上記プローブカード３２の
両側の各ニードル３１の先端３２をそれぞれ一体で押圧
できるようになっている。そして、この押圧板５の長手
方向中央部分を境界として、一方側をその表面に金メッ
キ等の良導電体膜を形成した導体部分５３とし、他方を
そのままの絶縁体部分５４としている。
【００１６】本発明の検査装置は、ＴＡＢ式ＩＣ６の電
気的特性検査工程時と特性検査装置３のプローブカード
３２の各ニードル３１の検査時にそれぞれ兼用できるも
のである。即ち、ＴＡＢ式ＩＣ６の電気的特性検査工程
時には、押圧板５を移動させて絶縁体部分５４を特性検
査装置３の上方に配置させ、図６に示して既述したよう
に下降させ、下端押圧面５１にてＴＡＢ式ＩＣ６の各特
性検査用パッド２５をプローブカード３２の対応するニ
ードル３１に押圧して当接させることができる。この状
態で該プローブカード３２にてＴＡＢ式ＩＣ６の電気特
性検査を行うことができる。
気的特性検査工程時と特性検査装置３のプローブカード
３２の各ニードル３１の検査時にそれぞれ兼用できるも
のである。即ち、ＴＡＢ式ＩＣ６の電気的特性検査工程
時には、押圧板５を移動させて絶縁体部分５４を特性検
査装置３の上方に配置させ、図６に示して既述したよう
に下降させ、下端押圧面５１にてＴＡＢ式ＩＣ６の各特
性検査用パッド２５をプローブカード３２の対応するニ
ードル３１に押圧して当接させることができる。この状
態で該プローブカード３２にてＴＡＢ式ＩＣ６の電気特
性検査を行うことができる。
【００１７】上記ＴＡＢ式ＩＣ６の電気的特性検査を一
定時間繰り返したり、機種の切り替え時等になると、図
４に示すように、ＴＡＢ式ＩＣ６を押圧板５と特性検査
装置３間から取り除く。そして、押圧板５を下降させて
下端押圧面５１，５１で直接プローブカード３２の各ニ
ードル３１を押圧してからそれぞれのニードル３１を通
電する。このとき、ニードル３１の先端３３が折れ曲が
って隣接するニードル３１と接触状態になっていると、
この部分が導通するので、電気的にニードル３１の折れ
曲がり不良を検出することができる。
定時間繰り返したり、機種の切り替え時等になると、図
４に示すように、ＴＡＢ式ＩＣ６を押圧板５と特性検査
装置３間から取り除く。そして、押圧板５を下降させて
下端押圧面５１，５１で直接プローブカード３２の各ニ
ードル３１を押圧してからそれぞれのニードル３１を通
電する。このとき、ニードル３１の先端３３が折れ曲が
って隣接するニードル３１と接触状態になっていると、
この部分が導通するので、電気的にニードル３１の折れ
曲がり不良を検出することができる。
【００１８】次に、押圧板５を移動させて導体部分５３
を特性検査装置３のプローブカード３２上に配置させ、
押圧板５を下降させて下端押圧面５１，５１で直接プロ
ーブカード３２の各ニードル３１を押圧し、それぞれの
ニードル３１に通電する。このとき、ニードル３１の先
端３３が折れ曲がって押圧板５の下端押圧面５１，５１
と接触していなければ、押圧板５の下端押圧面５１，５
１が導体部分５３となっているので、このニードル３１
は非導通状態となる。また、ニードル３１の先端３３に
メッキ屑等が付着していると、このメッキ屑にてニード
ル３１の電気抵抗が増大しニードル３１の不具合を電気
的に検出することができるようになる。
を特性検査装置３のプローブカード３２上に配置させ、
押圧板５を下降させて下端押圧面５１，５１で直接プロ
ーブカード３２の各ニードル３１を押圧し、それぞれの
ニードル３１に通電する。このとき、ニードル３１の先
端３３が折れ曲がって押圧板５の下端押圧面５１，５１
と接触していなければ、押圧板５の下端押圧面５１，５
１が導体部分５３となっているので、このニードル３１
は非導通状態となる。また、ニードル３１の先端３３に
メッキ屑等が付着していると、このメッキ屑にてニード
ル３１の電気抵抗が増大しニードル３１の不具合を電気
的に検出することができるようになる。
【００１９】従って、本発明の検査装置における押圧板
５は、ＴＡＢ式ＩＣ６の電気的特性検査時のＴＡＢ式Ｉ
Ｃ６とプローブカード３２の各ニードル３１とを接触さ
せるための押圧と、特性検査装置３のプローブカード３
２の各ニードル３１の状態検査を導体部分５３と絶縁体
部分５４を使い分け、電気的にニードル３１の不具合を
正確に検出することができるようになるので、マイクロ
コンピュータによって検査の自動化が図れるようにな
る。また、特性検査装置３を構成するプローブカード３
２をＴＡＢ式ＩＣ６の検査位置に固定したまま取り外す
ことなくそのまま状態で各ニードル３１の状態検査が行
えるので、検査時間の大幅な短縮が可能となる。
５は、ＴＡＢ式ＩＣ６の電気的特性検査時のＴＡＢ式Ｉ
Ｃ６とプローブカード３２の各ニードル３１とを接触さ
せるための押圧と、特性検査装置３のプローブカード３
２の各ニードル３１の状態検査を導体部分５３と絶縁体
部分５４を使い分け、電気的にニードル３１の不具合を
正確に検出することができるようになるので、マイクロ
コンピュータによって検査の自動化が図れるようにな
る。また、特性検査装置３を構成するプローブカード３
２をＴＡＢ式ＩＣ６の検査位置に固定したまま取り外す
ことなくそのまま状態で各ニードル３１の状態検査が行
えるので、検査時間の大幅な短縮が可能となる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の特性検査装置の検査装置では、特性検査装置の各ニー
ドルの状態を、押圧板を接触させた状態での通電による
導通・非導通又電気抵抗の増大などにより電気的に判断
できるので、検査の正確さと検査時間の短縮が可能にな
るといった効果を奏する。
の特性検査装置の検査装置では、特性検査装置の各ニー
ドルの状態を、押圧板を接触させた状態での通電による
導通・非導通又電気抵抗の増大などにより電気的に判断
できるので、検査の正確さと検査時間の短縮が可能にな
るといった効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例に係る特性検査装置の検査装
置を構成する押圧板の概略斜視図。
置を構成する押圧板の概略斜視図。
【図２】本発明の検査装置にて特性を検査する特性検査
装置にて電気特性が検査されるＴＡＢ式ＩＣの概略斜視
図。
装置にて電気特性が検査されるＴＡＢ式ＩＣの概略斜視
図。
【図３】本発明の検査装置にて検査を行う特性検査装置
を構成するプローブカードの概略斜視図。
を構成するプローブカードの概略斜視図。
【図４】本発明の検査装置の導体部分による特性検査装
置の各ニードルの検査状態を示す概略側面図。
置の各ニードルの検査状態を示す概略側面図。
【図５】本発明の検査装置の非導体部分による特性検査
装置の各ニードルの検査状態を示す概略側面図。
装置の各ニードルの検査状態を示す概略側面図。
【図６】従来のＴＡＢ式ＩＣの特性検査と特性検査装置
の検査を説明する概略側面図。
の検査を説明する概略側面図。
１ 半導体ペレット ２ ＴＡＢテープ ３ 特性検査装置 ５ 押圧板 ２０ 配線パターン ２５ 検査用パッド ３１ ニードル ５３ 導体部分 ５４ 絶縁体部分
Claims (1)
- 【請求項１】平坦面に多数の電極パッドを形成した被検
査物を押圧板にて押圧し、電極パッドと対向して植立し
た検査用ニードルに弾性接触させる電気的特性検査装置
において、上記押圧板は、絶縁体部分と導体部分とから
構成され、各部分を選択的かつ直接的に検査用ニードル
に当接させ得るようにしたことを特徴とする電気的特性
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268729A JP2985432B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電気的特性検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268729A JP2985432B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電気的特性検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582604A JPH0582604A (ja) | 1993-04-02 |
| JP2985432B2 true JP2985432B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=17462541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3268729A Expired - Fee Related JP2985432B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電気的特性検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2985432B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3268729A patent/JP2985432B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0582604A (ja) | 1993-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990831 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |