JPH02108974A - 基板用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、基板用プローブに関し、例えば液晶表示装
置（ＬＣＤ）が構成されるガラス基板の試験に用いられ
るものに利用して有効な技術に関するものである。

〔従来の技術〕

液晶パネルの試験に用いられるプローブボードの例とし
て、例えば特開昭６３−１７３９７１号公報がある。こ
の公報に開示されるでいるプローブボードは、ゴムに金
を混入してちりばめて導電部分を持たせ、それをガラス
基板の電極へ接触させるプローブとして用いるものであ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記構成のプローブボードでは、ゴムに金を混入させる
必要があり、その製造に格別の技術ないし装置を必要と
しその分コストが高くなるという問題を有する。また、
高密度に配置される液晶パネル等のガラス基板の電極に
正しく接触しているか否かを、その試験結果の検討によ
って知ることになる。すなわち、被測定物であるガラス
基板側の不良なのか、プローブの接触不良なのかが分か
りに＜＜、不良解析の結果から接触不良と判断して、改
めてセツティング等を含む再試験を行うため試験効率が
悪くなるという問題がある。

この発明の目的は、簡単な構成で、しかも接触の有無を
検出することが可能な基板用プローブを提供することに
ある。

この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を節単に説明すれば、下記の通りである。

すなわち、弾力性を持つ円筒形を芯として、その円周方
向に沿って測定すべき電極に適合したピッチの配線が形
成されたフレキシブル配線基板を巻くとともに、プロー
ブとして作用させる配線をその接触部で切断させる。

〔作　用〕 上記した手段にれば、フレキシブル配線基板技術をその
まま利用して高密度のピッチで多数の測定用プローブを
形成できるとともに、接触部で配線を切断されているか
ら、その再配線の通電の有無によりその接触部が測定す
べき基板の電極に接触したか否かを知ることができる。

〔実施例〕

第１図には、この発明に係る基板用プローブの一実施例
の斜視図が示されている。

同図では、図面が複雑化されてしまうのを防ぐために、
５つのプローブとそれに対応した５つの電極を持つ液晶
パネル用のガラス基板が例示的に示されている。

この実施例のプローブは、フレキシブル配線基板ＦＰＣ
が利用される。すなわち、フレキシブル配線基板ＦＰＣ
は、公知の配８ＩＡ基板技術により、適当なフレキシブ
ルなフィルム状の基板に配線パターンが形成される。こ
の配線パターンば、測定ずべきガラス基板ＬＣＤの電極
のピッチに合わせて形成される。このフレキシブル配線
基板ＦＰＣは、帯状前にされ、そこに形成された配線が
プローブとプローブをテスターに導く配線として利用さ
れる。なお、同図では、実際と異なるがフィルム状の基
板は配線の厚みの部分に含まれると理解されたい。

上記フレキシブル配線基板ＦＰＣは、その中央部が弾力
性を持つ円筒形のシリコンゴムに対して、その円周に沿
って配線が構成されるよう巻かれて接着される。ずなわ
ら、フレキシブル配線基板ＦＰＣは、上記シリコンゴム
を芯として略円筒形に構成される。特に制限されないが
、上記フレキシブル配線基板ＦＰＣの配線が形成される
側の表面は、後述するような接触部分を除いて絶縁性の
被膜が形成される。図示しない絶縁ブロック等によって
、円筒形にされた配線基板の上部からシリコンゴムを押
し潰すように、同図に矢印で示したような圧着力Ｆを作
用させ、円筒形の下部分の配線がガラス基板ＬＣＤの電
極に所望の接触圧を持って接触させられる。このような
接着力Ｆの作用によって、もともと円筒形であったシリ
コンゴムは、その断面部分が同図に示すような楕円形に
変形するものとなる。このような接触部分は、上記絶縁
被膜が形成されないからガラス基板ＬＣＤの電極に対し
て電気的接続が行われる。

この実施例では、上記接触の有無を検出するために、上
記プローブとして作用する配線は、上記接触部で切断さ
れる。それ故、上記シリコンゴムを境にして、上側の配
線と下側の配線とは電気的に分離された状態にされる。

したがって、適当な位置合わせ装置により、上記基板用
プローブ対して、測定すべき液晶パネル等のガラス基板
ＬＣＤを位置合わせした状態で、図示しない絶縁ブロッ
ク等により円筒形の上側から圧着力Ｆを作用させて、シ
リコンゴムの下側の配線部分をガラス基板の電極へ接触
させる。このとき、上側のフレキシブル配線基板ＦＰＣ
の配線側から電流Ｉを流す。上記プローブに正しくガラ
ス基板が位置合わせされているならば、上記電流Ｉはガ
ラス基板側の電極を介して下側のフレシキブル配線基板
ＦＰＣの配線に流れる電流ビとして検出される。

このように、対応する一対の配線間の通電を検出するこ
とにより、プローブの電極への接触をモニターすること
ができる。また、上記電流Ｉ゛の検出に時点を基準にし
て、上記絶縁ブロックによる追い込み量を設定すること
により、プローブが所望の接触圧を持ってガラス基板Ｌ
ＣＤの電極に接続されるよう制御できる。これにより、
接触圧不足による接触不良や過剰な圧着力Ｆをかけるこ
とによるガラス基板ＬＣＤの破損等を防止することがで
きる。

もしも、位置ズレにより非接触状態なら、上記電流トが
検出されないから、直ちに位置修正を指示することがで
きる。これにより、無駄なテスト時間を費やすことなく
、位置修正が可能となり、効率的な試験を実現できるも
のとなる。

また、上記位置ズレによってプローブがガラス基板ＬＣ
Ｄの隣接する２つの電極にまたがって誤接触した場合で
も、上記電流Ｉが下側の２つの配線に分流して流れるこ
とからそのような誤った接触も検出することができる。

この場合も、直ちに位置合わせ修正の指示がなされるも
のとなり、みすみす不良となるような無駄な試験時間を
費やすことかない。

第２図には、プローブの他の一実施例の概略断面図が示
されている。この実施例では、上記のような絶縁ブロッ
クによるプローブの圧着に代え、板バネを上側のフレキ
シブル配線基板ＦＰＣに沿わせて、言い換えるならば、
板バネにフレキシブル配線基板を電気絶縁性をもって貼
り付け、シリコンゴムを芯とする先端部をガラス基板Ｌ
ＣＤに押し付けるようにする。また、上記シリコンゴム
を芯とするプローブ部分をガラス基板Ｌ　ＣＩ）の電極
表面に沿って矢印で示すように摺動させながら圧着させ
る。この構成においては、プローブとしての配線表面や
、ガラス基板ＬＣＤの電極表面に生じる酸化膜等やゴミ
等の絶縁物を除くことができるから、良好な電気的接触
を得ることができるものである。この構成では、上記板
ハネのバネ力Ｆに応じて接触圧力が決定される。

この構成においても、上記接触部でプローブとしての配
線を切断させることより、接触の有無の検出が可能にな
る。また、上記２つの配線をダブルコンタクト　（ケル
ビンコンタクト）として用いるものであってもよい。例
えば、ガラス基板に形成された電極等の配線抵抗値を測
定する場合、例えば、上側のフレキシブル配線基板ＦＰ
Ｃの配線を通して電流を供給し、下側のフレシキブル配
線基板ＦＰＣの配線を通して電圧を測定する。ガラス基
板に形成された配線の両端に上記電流と電圧端子を設け
るという４端子測定法を行うことにって、ガラス基板側
の電極（配線）の抵抗値を上記フレキシブル配線基板等
における配線抵抗値に無関係に精度良く測定できるもの
である。

上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 （１）弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯として、
その円周方向に沿って測定すべき電極に適合したピッチ
の配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻くととも
にその接触部で配線を切断させる。

この構成においては、フレキシブル配線基板技術をその
まま利用して高密度のピンチで多数の測定用プローブを
形成できるから低コストで高密度の測定電極に対応させ
た基板用プローブを得ることができるという効果が得ら
れる。

（２）上記プローブとして作用させられるフレキシブル
配線を接触部で切断させることにより、その両院線の通
電の有無によりその接触部が測定すべき基板の電極に接
触したか否かを知ることができるという効果が得られる
。

（３）上記（２）により、ブｑ−ブと測定すべき基板と
の位置ずれを試験開始前に知ることができるから、直ち
に位置修正を行うことによって実質的な試験時間の短縮
化、高効率化を実現できるという効果が得られる。

（４）上記（２）により、接触開始時点が判るから、プ
ローブの測定電極への追い込み量（接触圧力）を所望の
接触圧に高い精度を持って設定できるという効果が得ら
れる。

（５）上記（２）により、ダブルコンタクトが可能にな
るから、四端子法を採ることができ、測定すべき基板の
配線抵抗値を高精度で測定できるという効果が得られる
。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、フレキシブル基
板にシフトレジスタ等の半導体集積回路装置を搭載し、
フレキシブル配線基板に構成され、テスター側との接続
を行う配線数を削減するものとしてもよい。あるいは、
簡単な試験回路を搭載させて、試験結果のみをテスター
側に転送させるものとしてもよい。プローブを基板の電
極に押し付けるための芯となる弾性体は、前記のような
シリコンゴムの他、同様な性質を持つものであれば何で
あってもよい。フレキシブル配線基板の配線が形成され
た表面は、前記接触部を除いて絶縁被膜をコーティング
することが取り扱いを簡便にする上で望ましいがそれに
限定されるものではない。

また、上記フレキシブル配線基板が巻かれる芯となる弾
性体を比較的硬く構成し、その上から配線基板の電極に
押しつける絶縁ブロックにより大きい弾性を持たせて、
ガラス基板への接触を和らげる構成としてもよい。

この発明に係る基板用プローブは、前記液晶パネル等の
ガラス基板の他、電子部品を実装させるための各種配線
基板等各種配線基板の試験に利用することができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、弾力性を持つ円筒形のシリコンゴムを芯と
して、その円周方向に沿って測定すべき電極に適合した
ピッチの配線が形成されたフレキシブル配線基板を巻く
とともにその接触部で配線を切断させる。この構成にお
いては、フレキシブル配線基板技術をそのまま利用して
高密度のピッチで多数の測定用プローブを形成できるか
ら低コストで高密度の測定電極に対応させることができ
るともとに、プローブとして作用する配線を接触部で切
断させることによりその両配線の通電の有無によりその
接触部が測定すべき基板の電極に接触したか否かを知る
ことができる基板用プローブが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る基板用プローブの一実施例を
示す概略斜視図、 第２図は、この発明の他の一実施例を示す概略断面図で
ある。 ＬＣＤ・・ガラス基板（液晶パネル）、ＦＰｃ・・フレ
キシブル配線基板、■、ビ　・・電流第　１　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ほゞ円筒形とされた弾性体を芯として、その円周方
   向に沿って測定すべき電極に適合したピッチの配線が形
   成されたフレキシブル配線基板が巻かれてなり、その接
   触部で配線が切断されてなることを特徴とする基板用プ
   ローブ。 ２、上記接触部で切断された一対の配線は、その接触部
   が測定すべき電極に接触した際の通電試験を行うために
   も用いられるものであることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の基板用プローブ。 ３、上記基板は、ＬＣＤが形成されるガラス基板である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１又は第２項記載の
   基板用プローブ。