JPH03148074A - 測定針による導体パターンの試験方法 - Google Patents
測定針による導体パターンの試験方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
絶縁基板の表面に少なくとも各一端が整列する如く形成
された多数の導体パターンの電気特性を試験する方法に
関し、 該絶縁基板の凹凸およびうねりに影響されず該試験が行
われるようにすることを目的とし、導電性およびゴム状
の弾性を有するシートに可撓性を有する板状の導電体を
重ねた帯状の共通電極を準備し、 該共通電極は該シートが該導体パターンの各−端に連通
ずる如く該絶縁基板に搭載し、該共通電極と移動可能な
測定針との間に所望の試験器を接続し、 該測定針を該導体パターンの各他端に順次接触せしめる
と共に、該測定針の接触する該導体パターンの一端に該
共通電極の対向部分を押し付けることを特徴とし構成す
る。
された多数の導体パターンの電気特性を試験する方法に
関し、 該絶縁基板の凹凸およびうねりに影響されず該試験が行
われるようにすることを目的とし、導電性およびゴム状
の弾性を有するシートに可撓性を有する板状の導電体を
重ねた帯状の共通電極を準備し、 該共通電極は該シートが該導体パターンの各−端に連通
ずる如く該絶縁基板に搭載し、該共通電極と移動可能な
測定針との間に所望の試験器を接続し、 該測定針を該導体パターンの各他端に順次接触せしめる
と共に、該測定針の接触する該導体パターンの一端に該
共通電極の対向部分を押し付けることを特徴とし構成す
る。
本発明は絶縁基板の表面に形成された多数の導体パター
ンの電気特性、特に導体パターンのオープンおよび隣接
する他の導体パターンとのショート等を試験するための
新規方法に関する。
ンの電気特性、特に導体パターンのオープンおよび隣接
する他の導体パターンとのショート等を試験するための
新規方法に関する。
多数の導体パターンが形成された絶縁基板、例えば液晶
パネル（ＬＣＤ）やプラズマデイスプレィパネル（ＦＤ
Ｐ）等においてガラス基板に形成された多数の導体パタ
ーン（電極）は、画像の品位向上のため、高密度化と細
線化が一層進行する方向に向かっている。
パネル（ＬＣＤ）やプラズマデイスプレィパネル（ＦＤ
Ｐ）等においてガラス基板に形成された多数の導体パタ
ーン（電極）は、画像の品位向上のため、高密度化と細
線化が一層進行する方向に向かっている。
そこで、高密度化した導体パターンにおけるオープンや
ショート等の電気特性を、絶縁基板の凹凸やうねりに災
いされることなく、安定に試験する方法が要望されるよ
うになった。
ショート等の電気特性を、絶縁基板の凹凸やうねりに災
いされることなく、安定に試験する方法が要望されるよ
うになった。
第５図はＰＤＰのガラス基板を模式的に示す斜視図、第
６図は第５図に示す電極の従来の試験方法の説明図であ
る。
６図は第５図に示す電極の従来の試験方法の説明図であ
る。
第５図において、ガラス基板（絶縁基板）１の表面には
多数の電極２が一定間隔で形成され、各電極（導体パタ
ーン）２の一端２ａおよび他端２ｂはそれぞれ直線的に
整列する。
多数の電極２が一定間隔で形成され、各電極（導体パタ
ーン）２の一端２ａおよび他端２ｂはそれぞれ直線的に
整列する。
第６図において、電極２の試験装置は、多数の電極端２
ａを連通せしめる共通電極３と、多数の電極端２ｂに順
次接触する測定針（プローブ： ＰＧＳ合金のワイヤ）
４と、測定針４を支持する金属板５と、共通電極３と金
属板５との間に接続した測定器６を具えてなる。
ａを連通せしめる共通電極３と、多数の電極端２ｂに順
次接触する測定針（プローブ： ＰＧＳ合金のワイヤ）
４と、測定針４を支持する金属板５と、共通電極３と金
属板５との間に接続した測定器６を具えてなる。
帯状の共通電極３は、導電性ゴムやステンレスフェルト
の如く導電性およびゴム状の弾性を有する接触部材７と
、厚さ５ｍｍ程度のアルミニウム等にてなる金属板８に
て構成され、全体が適当な押圧力によってガラス基板１
に押し付けられる。
の如く導電性およびゴム状の弾性を有する接触部材７と
、厚さ５ｍｍ程度のアルミニウム等にてなる金属板８に
て構成され、全体が適当な押圧力によってガラス基板１
に押し付けられる。
測定針４は、測定針４自体および金属板５の弾性力を利
用した押圧力で電極端２ｂに接触し、電極端２ｂの整列
方向に移動する。
用した押圧力で電極端２ｂに接触し、電極端２ｂの整列
方向に移動する。
そして電極２のオープン（中間部切断）および抵抗値等
の電気特性は試験器６によって検出されるようになる。
の電気特性は試験器６によって検出されるようになる。
従来の前記試験方法において、ガラス基板１の表面の凹
凸やうねりは、共通電極３の接触部材３ａが吸収するよ
うになる。しかし、ピッチが０．３ｍｍ程度であった電
極２の高密度、細線化が進み、ピッチが０．１ｍｍ程度
になると、電極端２ｂはガラス基板１の凹凸やうねりの
凹部内に形成され、従来の押圧力では共通電極３と接触
しないようになる。
凸やうねりは、共通電極３の接触部材３ａが吸収するよ
うになる。しかし、ピッチが０．３ｍｍ程度であった電
極２の高密度、細線化が進み、ピッチが０．１ｍｍ程度
になると、電極端２ｂはガラス基板１の凹凸やうねりの
凹部内に形成され、従来の押圧力では共通電極３と接触
しないようになる。
かかる接触不良は、共通電極３の押圧力を高めることで
解決可能だが、やたらに押圧力を高めることはガラス基
板ｌを割る恐れがあるため、新規方法が望まれるように
なった。
解決可能だが、やたらに押圧力を高めることはガラス基
板ｌを割る恐れがあるため、新規方法が望まれるように
なった。
特性を測定するに際して、
導電性およびゴム状の弾性を有するシートに可撓性を有
する板状の導電体２２を重ねた帯状の共通電極１３を準
備し、 共通電極１３は該シートが導体パターン２の各−端（右
端）に連通ずる如く絶縁基板１に搭載し、共通電極１３
と移動可能な測定針４との間に所望の試験器６を接続し
、 測定針４を導体パターン２の各他端（左端）２ｂに順次
接触せしめると共に、測定針４の接触する導体パターン
２の一端（右端）が接する共通電極１３の対向部分を、
圧縮コイルばねによって付勢されたゴムリング１７等で
押し付けることを特徴とする。
する板状の導電体２２を重ねた帯状の共通電極１３を準
備し、 共通電極１３は該シートが導体パターン２の各−端（右
端）に連通ずる如く絶縁基板１に搭載し、共通電極１３
と移動可能な測定針４との間に所望の試験器６を接続し
、 測定針４を導体パターン２の各他端（左端）２ｂに順次
接触せしめると共に、測定針４の接触する導体パターン
２の一端（右端）が接する共通電極１３の対向部分を、
圧縮コイルばねによって付勢されたゴムリング１７等で
押し付けることを特徴とする。
上記課題の解決を目的とした本発明は、その実施例に係
わる第１図によれば、絶縁基板１の表面に少なくとも各
一端（図示されない右端）が整列する如（形成された多
数の導体パターン２の電気〔作用〕 上記手段によれば、共通電極１３を押す押圧力は部分的
に作用するため、従来方法における均一の押圧力より試
験対象の電極端２ａに対し大きくすることが可能であり
、かつ、共通電極１３はガラス基板１の表面状態に倣っ
て変形可能であるため、ガラス基板１の表面に凹凸およ
びうねりがあっても、電極端２ａと共通電極１３との電
気的接続が安定化される。
わる第１図によれば、絶縁基板１の表面に少なくとも各
一端（図示されない右端）が整列する如（形成された多
数の導体パターン２の電気〔作用〕 上記手段によれば、共通電極１３を押す押圧力は部分的
に作用するため、従来方法における均一の押圧力より試
験対象の電極端２ａに対し大きくすることが可能であり
、かつ、共通電極１３はガラス基板１の表面状態に倣っ
て変形可能であるため、ガラス基板１の表面に凹凸およ
びうねりがあっても、電極端２ａと共通電極１３との電
気的接続が安定化される。
以下に、図面を用いて本発明方法の実施例を説明する。
第１図は本発明の一実施例による装置要部の平面図、第
２図は第１図に示す測定針支持部の側面図、第３図は第
１図に示す共通電極加圧部の断面図、第４図は第１図に
示す共通電極の構成図である。
２図は第１図に示す測定針支持部の側面図、第３図は第
１図に示す共通電極加圧部の断面図、第４図は第１図に
示す共通電極の構成図である。
第１図において、第５図に示す電極（導体パターン）２
の試験装置１１は、テーブル１２の上にガラス基板（絶
縁基板）■を固定し、ガラス基板１の上には多数の電極
端２ａを連通せしめる共通電極１３を搭載する。
の試験装置１１は、テーブル１２の上にガラス基板（絶
縁基板）■を固定し、ガラス基板１の上には多数の電極
端２ａを連通せしめる共通電極１３を搭載する。
レール２４に案内されて図の上下方向に移動するキャリ
ア１４の一方の端部（図の左端部）には、ばね性を有す
る金属板１５を介して測定針４を支持せしめ、キャリア
１４の他方の端部（図の右端部）には、ガラス基板ｌに
向けて付勢され回転自在なローラ１６を設け、ローラ１
６には該付勢力によって共通電極１３の一部分を押圧す
るゴムリング１７が嵌着されている。
ア１４の一方の端部（図の左端部）には、ばね性を有す
る金属板１５を介して測定針４を支持せしめ、キャリア
１４の他方の端部（図の右端部）には、ガラス基板ｌに
向けて付勢され回転自在なローラ１６を設け、ローラ１
６には該付勢力によって共通電極１３の一部分を押圧す
るゴムリング１７が嵌着されている。
ゴムリング１７は、測定針４が電極端（導体パターンの
他端）２ｂに接触する電極２の電極端（導体パターンの
一端）２ａの上部で、共通電極１３を押下するように構
成され、共通電極１３と金属板１５との間に測定器６が
接続される。
他端）２ｂに接触する電極２の電極端（導体パターンの
一端）２ａの上部で、共通電極１３を押下するように構
成され、共通電極１３と金属板１５との間に測定器６が
接続される。
第２図において、図の左方向に移動する測定針４は、測
定針４自体の弾性および金属板１５の弾性を利用し、１
０〜２０ｇｒ程度の押圧力で電極端２ｂに接触する。
定針４自体の弾性および金属板１５の弾性を利用し、１
０〜２０ｇｒ程度の押圧力で電極端２ｂに接触する。
第３図において、ゴムリング１７が嵌着されたローラ１
６は軸１８に嵌合し、軸１８は圧縮コイルばね１９によ
って下方へ例えば６００ｇｒ程度に付勢され上下動可能
なスライダ２０に支持される。
６は軸１８に嵌合し、軸１８は圧縮コイルばね１９によ
って下方へ例えば６００ｇｒ程度に付勢され上下動可能
なスライダ２０に支持される。
第４図において共通電極１３は、例えば、導電性ゴムや
ステンレスフェルトの如く導電性およびゴム状の弾性を
有する厚さ０．２１程度のシート２１に、直径０．０５
ｎ＋ｍ程度のステンレスワイヤを編んだ金網の如（可撓
性を有する板状の導電体２２を重ねた構成とし、導電体
２２には試験器６に接続する線材２３の一端が接続され
る。
ステンレスフェルトの如く導電性およびゴム状の弾性を
有する厚さ０．２１程度のシート２１に、直径０．０５
ｎ＋ｍ程度のステンレスワイヤを編んだ金網の如（可撓
性を有する板状の導電体２２を重ねた構成とし、導電体
２２には試験器６に接続する線材２３の一端が接続され
る。
このように構成された装置は、レール２４に案内されて
移動するキャリア１４を第１図の下部から上方に向けて
移動させると、測定針４は上下方向に整列する電極２の
各電極端２ｂに順次接触しながら移動すると共に、ゴム
リング１７に押された共通電極１３の一部分は測定針４
の接触する電極端２ｂに連通ずる電極端２ａに向は押圧
され、各電極２のオープン等の電気特性は試験器６によ
って順次検出されるようになる。
移動するキャリア１４を第１図の下部から上方に向けて
移動させると、測定針４は上下方向に整列する電極２の
各電極端２ｂに順次接触しながら移動すると共に、ゴム
リング１７に押された共通電極１３の一部分は測定針４
の接触する電極端２ｂに連通ずる電極端２ａに向は押圧
され、各電極２のオープン等の電気特性は試験器６によ
って順次検出されるようになる。
そして、コイルばね１９によって付勢されたゴムリング
１７が共通電極１３を押す押圧力は部分的に作用するた
め、従来方法における均一の押圧力より電極端２ａに対
し大きくすることが可能であり、かつ、共通電極１３は
ガラス基板１の表面状態に倣って変形可能であるため、
ガラス基板１０表面に凹凸およびうねりがあっても、電
極端２ａと共通電極１３との電気的接続が安定化される
。
１７が共通電極１３を押す押圧力は部分的に作用するた
め、従来方法における均一の押圧力より電極端２ａに対
し大きくすることが可能であり、かつ、共通電極１３は
ガラス基板１の表面状態に倣って変形可能であるため、
ガラス基板１０表面に凹凸およびうねりがあっても、電
極端２ａと共通電極１３との電気的接続が安定化される
。
以上説明したように本発明方法によれば、細線化し高密
度化された導体パターンに対し、該導体パターンを形成
した基板表面の凹凸やうねりに災いされることなく、電
気特性が安定に試験できるようにした効果を有する。
度化された導体パターンに対し、該導体パターンを形成
した基板表面の凹凸やうねりに災いされることなく、電
気特性が安定に試験できるようにした効果を有する。
第１図は本発明の一実施例による装置要部の平面図、
第２図は第１図に示す測定針支持部の側面図、第３図は
第１図に示す共通電極加圧部の断面図、第４図は第１図
に示す共通電極の構成図、第５図はＰＤＰ用ガラス基板
の模式斜視図、第６図は第５図に示す電極の従来の試験
方法の説明図、 ０ である。 図中において、 ■はガラス基板（絶縁基板）、 ２は電極（導体パターン）、 ２ａは電極端（導体パターンの一端）、２ｂは電極端（
導体パターンの他端）、４は測定針、 ６は試験器、 １３は共通電極、 １６はゴムリングが嵌着されたローラ、１７は共通電極
を押圧するゴムリング、１９はゴムリング付勢用コイル
ばね、 ２１は導電性、ゴム状弾性のシート、 ２２は可撓性を有する板状導電体、 を示す。 ■ ５２８−
第１図に示す共通電極加圧部の断面図、第４図は第１図
に示す共通電極の構成図、第５図はＰＤＰ用ガラス基板
の模式斜視図、第６図は第５図に示す電極の従来の試験
方法の説明図、 ０ である。 図中において、 ■はガラス基板（絶縁基板）、 ２は電極（導体パターン）、 ２ａは電極端（導体パターンの一端）、２ｂは電極端（
導体パターンの他端）、４は測定針、 ６は試験器、 １３は共通電極、 １６はゴムリングが嵌着されたローラ、１７は共通電極
を押圧するゴムリング、１９はゴムリング付勢用コイル
ばね、 ２１は導電性、ゴム状弾性のシート、 ２２は可撓性を有する板状導電体、 を示す。 ■ ５２８−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 絶縁基板（１）の表面に少なくとも各一端（２ａ）が整
列する如く形成された多数の導体パターン（２）の電気
特性を測定するに際して、 導電性およびゴム状の弾性を有するシート（２１）に可
撓性を有する板状の導電体（２２）を重ねた帯状の共通
電極（１３）を準備し、 該共通電極（１３）は該シート（２１）が該導体パター
ン（２）の各一端（２ａ）に連通する如く該絶縁基板（
１）に搭載し、 該共通電極（１３）と移動可能な測定針（４）との間に
所望の試験器（６）を接続し、 該測定針（４）を該導体パターン（２）の各他端（２ｂ
）に順次接触せしめると共に、該測定針（４）の接触す
る該導体パターン（２）の一端に該共通電極（１３）の
対向部分を押し付けることを特徴とする測定針による導
体パターンの試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288119A JP2560864B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 測定針による導体パターンの試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288119A JP2560864B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 測定針による導体パターンの試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148074A true JPH03148074A (ja) | 1991-06-24 |
| JP2560864B2 JP2560864B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=17726056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1288119A Expired - Fee Related JP2560864B2 (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 | 測定針による導体パターンの試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2560864B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1600807B1 (en) * | 2004-05-18 | 2008-03-19 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method of detecting breakdown of conducting wires |
| CN102023089A (zh) * | 2010-09-28 | 2011-04-20 | 王占洪 | 经编机成圈运动试验台 |
| CN107656183A (zh) * | 2016-07-25 | 2018-02-02 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 测试装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62284384A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | プロ−ビング方式 |
| JPH01242972A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Seiko Instr & Electron Ltd | パターンの短絡、断線検査装置 |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP1288119A patent/JP2560864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62284384A (ja) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | プロ−ビング方式 |
| JPH01242972A (ja) * | 1988-03-24 | 1989-09-27 | Seiko Instr & Electron Ltd | パターンの短絡、断線検査装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1600807B1 (en) * | 2004-05-18 | 2008-03-19 | Lg Electronics Inc. | Apparatus and method of detecting breakdown of conducting wires |
| CN102023089A (zh) * | 2010-09-28 | 2011-04-20 | 王占洪 | 经编机成圈运动试验台 |
| CN107656183A (zh) * | 2016-07-25 | 2018-02-02 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 测试装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2560864B2 (ja) | 1996-12-04 |
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