JPH06230064A - 微細導線の通電検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 機械的接触でも接触痕や損傷を生じさせずに
液晶基板の透明電極などの微細導線の導通チェックを可
能とする。 【構成】 走査ヘッド１がローラー５〜８と電極ベルト
９、テンションローラー３５を含む。電極ベルト９は帯
状電極９ａを形成した無端ベルトである。３個のガイド
ローラー６〜８はガイドローラ支持プレート２４の３つ
の端部に三角形の頂点をなすように設け、電極ベルト９
を掛け回してその内面を弾性ローラー５に接触させる。
テンションローラー３５は電極ベルト９の一斜辺に摺接
してテンション調節及び帯状電極９ａへの電圧印加を行
なう。電極ベルト９を透明電極の一端に、検出ヘッド２
の針状電極４８を透明電極４の他端に接触移動させ、両
電極間に印加した電圧の変化で、透明電極の導通、非導
通状態を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用電
極基板や、ある種のフレキシブル配線基板等のように基
板面上に多数の微細導線を形成した基板の通電検出装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ用電極基板において
は、基板面上に多数の微細な透明電極が形成されるが、
透明電極が途中で途切れてしまう状態（オープン）が発
生しやすく、そのような不具合の生じた電極基板を用い
て液晶装置を形成すると、画像欠陥が生じ、製品不良と
なってしまう。このため透明電極間の通電チェックが必
要であり、また極小ピッチで微細導線を設けたフレキシ
ブル配線基板等でも同様の事情により通電チェックが必
要とされ、従来より数多くの技術が提案されている。

【０００３】このような通電チェックに用いられる装置
として最も一般的なものは、一方側の電極端子を針状の
電極とし、他方側の電極端子を透明電極の長手方向と直
角方向に適当な長さを有する導電ゴムとし、これらを適
当な間隔だけ離して配置し、基板上の透明電極の端部に
それぞれ接触させ、電圧を印加しながら透明電極の長手
方向と直角方向へ移動させ、通電の有無を検出するとい
うものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な装置では、基板上にゴムの痕が残ったり、基板面の僅
かな凹凸によってもゴムと接触しない透明電極が生じて
不完全なチェックになったりしやすく、これを防止する
ためにゴムの接触圧を上げると基板を破損しやすくなる
などの問題があった。

【０００５】このため電極先端に液状の接触端部を備え
るようにしたものが多く提案されるようになっていた。
例えば、特開昭４９−５７３７０号公報には、接触針の
先端から水銀アマルガムを球状に垂らし、これを基板面
上の微細導線に接触させて導通をチェックする技術が開
示されている。また特開昭６３−２１５０４７号公報に
は、接触針を上向きの細い筒状とし、その先端から導電
性の液体を表面張力により盛りあがらせ、これを基板面
の微細導線に接触させるようにした技術が開示されてい
る。さらに本出願人の実開平０２−２６８０号公報に
は、接触針に代えて所定面積を有するフェルト部材を備
え、フェルト部材に導電性の液体を染み込ませ、これを
基板面に接触させて導通をチェックするようにした技術
が開示されている。

【０００６】しかしながらこれら従来の技術は液体また
は液状物質の管理が面倒で、特に特開昭４９−５７３７
０号公報の技術においては有毒な水銀の管理が非常に大
変であり、また特開昭６３−２１５０４７号公報及び実
開平０２−２６８０号公報の技術では、基板面に液が付
着残留して基板面を汚しやすいという問題がある。さら
に、特開昭４９−５７３７０号公報や特開昭６３−２１
５０４７号公報の技術では、接触針の先端から液や液状
物質を適当な量だけ出すようにすることが接触針内にお
ける液の抵抗により非常に難しく、またび実開平０２−
２６８０号公報の技術ではそれに加えてフェルト部材に
液体を常に均一に染み込ませのには一定の時間が必要で
あるため、通電チェックを高速で行なうことができず、
解決が望まれていた。

【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなしたもの
で、液体を用いないようにすることにより上記各公報に
記載の技術における問題を解決し、また機械的な基板面
との接触を用いるにもかかわらず接触痕がついたり損傷
などの不具合を生じさせずにすむ微細導線の通電検出装
置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る微細導線の
通電検出装置は上記目的を達成するために、基板上に多
数並列に形成された微細導線の両端部に各々電極端子を
接触させ、通電により上記微細導線の導通を検出する装
置において、一方の電極端子が、無端ベルトの外面に導
通材を無端帯状に形成してなるものであり、該電極端子
を掛け回す複数のローラーからなる支持装置を含むこと
を特徴とする構成としたものである。

【０００９】本発明に係る微細導線の通電検出装置は、
上記支持装置が、上記複数のローラー間に位置して上記
無端ベルトを上記基板上へ接触させる弾性ローラーを備
える構成とすることができる。

【００１０】本発明に係る微細導線の通電検出装置は、
３個のローラーを三角形の頂点位置に配して上記無端ベ
ルトを掛け回し、上記弾性ローラーを、下端部が上記無
端ベルトの下辺よりも下方へ突出する位置で配置し、さ
らに上記無端ベルトの斜辺部分の外側にテンションロー
ラーを設け、上記無端ベルトの張りを調節可能するとと
もに、該テンションローラーにより上記導通材に電圧を
印加するようにした構成とすることもできる。

【００１１】

【実施例】以下本発明に係る微細導線の通電検出装置の
一実施例を図１ないし図６を参照して説明する。なお以
下の実施例では液晶基板の透明電極の導通、非導通をチ
ェックする例についてのみ説明するが、同様の構造、構
成を有するフレキシブル基板等においても同様の構成及
び方法でチェックできる。

【００１２】本実施例の微細導線の通電検出装置は主
に、走査ヘッド１と検出ヘッド２とからなり液晶基板３
上に形成された多数の透明電極４の非導通（オープン）
を検出するようにしたものである。なお透明電極４は、
走査ヘッド１側ではピッチが小さくて電極間が狭く、検
出ヘッド２側ではピッチが大きく電極間が広くなるのが
通常であるが、図では同一のピッチで描いてある。

【００１３】走査ヘッド１は複数のローラー５〜８とこ
れに掛け回した電極ベルト９、これらを支持するローラ
ー支持部１０及び電極ベルト９にテンションを掛けるた
めのテンション機構部１１から構成してある。

【００１４】ローラー５〜８は詳細には弾性ローラー５
及び３個のガイドローラー６〜８である。弾性ローラー
５は支持軸１２、軸受１３、ホイール１４及びシリコン
スポンジ１５からなる。ホイール１４は軸受１３より比
較的径が大きく、外縁断面中央にシリコンスポンジ１５
を嵌めるための凹部が設けてある。なおシリコンスポン
ジ１５は、液晶基板３の透明電極４に対する接触性を高
めるために先細状に形成してある。ガイドローラー６〜
８はそれぞれ、支持軸１６、軸受１７、ホイール１８か
らなる。ホイール１８は軸受１７より若干径が大きい程
度で、外縁断面中央に電極ベルト９を掛け回すための凹
部が形成してある。なお図ではホイール１８の凹部の底
面は平坦なものとしてあるが、電極ベルト９のずれ防止
のために中高状にするとよい。

【００１５】電極ベルト９は、ポリイミドまたはポリイ
ミドのベース材中央長手方向に所定幅の銅箔エッチング
を帯状に施し、その中央部に金またはインジウムのメッ
キを細幅に施して帯状電極９ａを形成し、かつ無端ベル
トとしたものである。

【００１６】ローラー支持部１０は、ガイドシャフト１
９の把持部２０、連結プレート２１、押圧体保持部２
２、スライドブロック２３、ガイドローラ支持プレート
２４から主に構成してある。連結プレート２１は、把持
部２０と反対側の端部にガイド突起２５を備え、スライ
ドブロック２３がこれに嵌合して上下にスライドできる
ようになっている。押圧体保持部２２は、連結柱２６及
び保持ブロック２７からなり、保持ブロック２７の上部
に押圧体２８を取り付ける。またガイドローラ支持プレ
ート２４は、略逆Ｔ字形を有し、３つの端部にそれぞれ
上述したガイドローラー６〜８の支持軸１６が三角形の
頂点をなすように、またその三角形の中央に弾性ローラ
ー５がそれぞれの支持軸１２ねじ込まんである。なお保
持ブロック２７とスライドブロック２３との間にはスプ
リング２９が張り渡してあり、スライドブロック２３を
保持ブロック２７側、即ち上方側へ引き上げ付勢してあ
る。

【００１７】押圧体２８は、マイクロメータヘッドと同
等のもので、下端から突出させたスピンドル３０に装着
したピン３１をスライドブロック２３の上端面に当接さ
せており、ヘッド部分の操作によりスピンドル３０を上
下させてピン３１の下方への突出長を変えることがで
き、これによってスライドブロック２３の位置を可変さ
せる。

【００１８】テンション機構部１１は主に、支持ガイド
プレート３２、位置決めブロック３３、スライドプレー
ト３４及びテンションローラー３５からなる。支持ガイ
ドプレート３２は、ローラー支持部１０のガイドローラ
支持プレート２４にその下端を取り付けてあり、上下中
央部分に設けたガイドバー３６にスライドプレート３４
を嵌着させてスライドプレート３４の支持及び上下スラ
イドをガイドするようにしてある。位置決めブロック３
３は、支持ガイドプレート３２の上端に取り付けてあ
り、その下端面とスライドプレート３４の上端面との間
にはスプリング３７を配してスライドプレート３４を下
方へ押し下げ付勢してある。なお図中のスタッドボルト
３８はスプリング３７の付勢力を調整するものである。

【００１９】テンションローラー３５は主に、支持軸３
９、軸受４０及び電極ローラー４１からなる。電極ロー
ラー４１は電極ベルト９の一斜辺に摺接してテンション
を調節するとともに、帯状電極９ａとの接触により電圧
を印加するものである。なお、電極ローラー４１への通
電手段については図示及び説明を省略するが、従来公知
または周知の手段を採用すればよい。

【００２０】検出ヘッド２は主に、ガイドシャフト１９
の把持部４２連結柱４３、押圧体４４とその保持ブロッ
ク４５、位置決め押圧体４６とその保持部を兼ねるスラ
イドブロック４７及び針状電極４８からなる。

【００２１】把持部４２はローラー支持部１０の把持部
２０とほぼ同一のものである。連結柱４３は把持部４２
の端部に連結してあり、その上端に保持ブロック４５を
取り付け、保持ブロック４５上に押圧体４４を設けてあ
る。スライドブロック４７は連結柱４３に沿って上下に
スライドできる。

【００２２】押圧体４４はローラー支持部１０の押圧体
２８と同様にマイクロメーターヘッド状のもので、下端
から突出させたスピンドル５０をスライドブロック４７
の上端面に当接させており、ヘッド部分の操作によりス
ピンドル５０を上下させ、これによってスライドブロッ
ク４７の位置を可変させる。

【００２３】スライドブロック４７の下端面にはその先
端に針状電極４８を取り付けたカンチレバー５１が取り
付けてあり、位置決め押圧体４６により針状電極４８の
位置を調節できるようになっている。位置決め押圧体４
６も押圧体２８、４４同様マイクロメーターヘッド状の
ものである。

【００２４】なお操作ヘッド１、検出ヘッド２ともガイ
ドシャフト１９に沿う位置の可変及びガイドシャフト１
９を中心とする回動が可能であり、また図示せぬがガイ
ドシャフト１９は直交方向に伸びるガイドレールに沿っ
て可動となっている。また後述するように通電チェック
時にオープン個所、リーク個所を検出したときに、液晶
基板３上にマーキングを施す手段を上述の検出ヘッド２
に備えるようにするが、このような手段は公知の装置を
採用すればよいので、図示及び説明を省略する。

【００２５】次に本実施例の動作を説明する。まずガイ
ドシャフト１９を中心として走査ヘッド１と検出ヘッド
２を回動させて図示せぬ検査装置台上の所定の検査位置
を明け、図１に示すように液晶基板３を透明電極４を上
に向けて、透明電極４の長手方向が走査ヘッド１と検出
ヘッド２の移動方向と直角になるようにセットする。そ
の状態で走査ヘッド１と検出ヘッド２を回動させて液晶
基板３上に位置させ、電極ベルト９が透明電極４の一方
側の端部近傍に、また針状電極４８が他方側の端部近傍
に位置するようにガイドシャフト１９の長手方向に沿う
位置を調整する。なお上述のように一般的には透明電極
４のピッチに広狭があるので、走査ヘッド１を幅狭側に
位置させるほうが好ましい。

【００２６】ついで走査ヘッド１においては、ローラー
支持部１０の押圧体２８によりガイドローラー支持プレ
ート２４の上下方向位置を調節し、弾性ローラー５のシ
リコンスポンジ１５による電極ベルト９の液晶基板３へ
の押圧力及び電極ベルト９と透明電極４の接触長さを調
整する。またこれに合わせて、テンション機構部１１の
スタッドボルト３８を操作することにより、スライドプ
レート３４を移動させ、テンションローラー３５による
電極ベルト９へのテンションを調整する。なおこの押圧
力及び電極ベルト９の接触長さは検査対象によって最適
なものに調整する。また印加電圧は液晶基板の通電チェ
ックでは１５ｖ程度とするとよい。ただし検査対象によ
って印加電圧を最適に調整する必要がある。

【００２７】さらに検出ヘッド２においては、押圧体４
４の操作によりスライドブロック４７を上下にスライド
させ、位置決め押圧体４６により針状電極４８の位置を
調節し、針状電極４８と液晶基板３の透明電極との摺接
が好的な状態となるように調節する。

【００２８】以上のようにセッティングを行なった状態
では、走査ヘッド１の弾性ローラー５のシリコンスポン
ジ１５が接触圧によってつぶれ、これによって電極ベル
ト９は複数本の透明電極４の全数に確実に接触する。ま
た検出ヘッド２の針状電極４８は１本の透明電極４また
は２本の透明電極４、４間に位置することになる。従っ
て針状電極４８が透明電極４に接触しているときには確
実に電極ベルト９の帯状電極９ａがその透明電極４の他
端に接触する。この状態で走査ヘッド１と検出ヘッド２
の間に所定の電圧を印加し、ガイドシャフト１９の移動
により、液晶基板上を走査ヘッド１と検出ヘッド２とを
移動させ、透明電極４のオープンをチェックする。透明
電極にオープン箇所があると印加電圧がそのまま検出さ
れので、これを適宜の判定回路によりチェックすればよ
い。

【００２９】

【発明の効果】本発明に係る微細導線の通電検出装置は
以上説明してきたように、基板上に多数並列に形成され
た微細導線の両端部に接触させる電極端子の一方を、複
数のローラーからなる支持装置にかけ回した外面に導通
材を無端帯状に形成してなる無端ベルトとしたので、基
板面との接触を機械的なものとしたにもかかわらず接触
痕や損傷などの不具合が生じなくなり、検査対象となる
基板面の汚れによる不具合もなく面倒な液体などの管理
もいらないという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る微細導線の通電検出装置の一実施
例を示す斜視図である。

【図２】図１の装置の走査ヘッドを示す拡大正面図であ
る。

【図３】図１の装置の走査ヘッドを示す拡大平面図であ
る。

【図４】図２のIV−IV線に沿う部分断面図である。

【図５】図２のV−V線に沿う部分断面図である。

【図６】図１の装置の検出ヘッドを示す拡大側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 走査ヘッド ２ 検出ヘッド ３ 液晶基板 ４ 透明電極 ５ 弾性ローラー ６〜８ ガイドローラー ９ 電極ベルト ９ａ 帯状電極 １０ ローラー支持部 １１ テンション機構部 １５ シリコンスポンジ １９ ガイドシャフト ２８ 押圧体 ３５ テンションローラー ４１ 電極ローラー ４４ 押圧体 ４６ 位置決め押圧体 ４８ 針状電極

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に多数並列に形成された微細導線
   の両端部に各々電極端子を接触させ、通電により上記微
   細導線の導通を検出する装置において、一方の電極端子
   が、無端ベルトの外面に導通材を無端帯状に形成してな
   るものであり、該電極端子を掛け回す複数のローラーか
   らなる支持装置を含むことを特徴とする微細導線の通電
   検出装置。
2. 【請求項２】 請求項１の微細導線の通電検出装置にお
   いて、上記支持装置は、上記複数のローラー間に位置し
   て上記無端ベルトを上記基板上へ接触させる弾性ローラ
   ーを備えることを特徴とする微細導線の通電検出装置。
3. 【請求項３】 請求項２の微細導線の通電検出装置にお
   いて、３個のローラーを三角形の頂点位置に配して上記
   無端ベルトを掛け回し、上記弾性ローラーを、下端部が
   上記無端ベルトの下辺よりも下方へ突出する位置で配置
   し、さらに上記無端ベルトの斜辺部分の外側にテンショ
   ンローラーを設け、上記無端ベルトの張りを調節可能と
   するとともに、該テンションローラーにより上記導通材
   に電圧を印加するようにしたことを特徴とする微細導線
   の通電検出装置。