JPH0926446A

JPH0926446A - 電気抵抗測定装置

Info

Publication number: JPH0926446A
Application number: JP17471695A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Kimura; 潔木村; Onori Yamada; 大典山田
Original assignee: NICHIGOU SHOJI KK; Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Current assignee: NICHIGOU SHOJI KK; JSR Corp
Priority date: 1995-07-11
Filing date: 1995-07-11
Publication date: 1997-01-28
Anticipated expiration: 2015-07-11
Also published as: JP3276267B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定物を破壊または損傷させることなし
に、所期の電気抵抗の測定を高い精度で行うことができ
る電気抵抗測定装置を提供すること。【解決手段】被測定物の表面に検査ヘッドを圧接し、
当該検査ヘッドが圧接された個所における電気抵抗を測
定する装置であって、前記検査ヘッドは、互いに離間し
て配設された複数の検査電極と、これらの検査電極の各
々に電気的に接続され、それぞれの接触面が実質上同一
平面上に位置するよう配置された複数の接触部材とを具
えてなり、前記接触部材は、弾性エラストマーにより導
電性粒子が結着されてなる導電ゴムにより構成され、当
該導電ゴムに含有されている導電性粒子の割合が５０〜
９５体積％であることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の表面に
検査ヘッドを圧接し、当該検査ヘッドが圧接された個所
における電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置に関し、
特にイオン注入層を有するウエハ、透明電極シート、サ
ーマルヘッド等の平坦な表面を有する被測定物の電気抵
抗を測定するために好適な電気抵抗測定装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】最近において、情報表示装置として液晶
表示装置が広く使用されるに至っている。この液晶表示
装置のセルを構成するガラス基板には、当該セル内に充
填された液晶に電圧を作用させてその配向状態を制御す
る透明導電膜が設けられる。そして、この透明導電膜
は、通常、酸化インジウムと酸化スズよりなるＩＴＯと
称される薄膜材料よりなるものとされ、スパッタ法、真
空蒸着法などの蒸着技術によってガラス基板の一面上に
形成されるのが一般的である。然るに、蒸着技術によっ
て形成される薄膜材料は、小さい厚みを有するものとさ
れること、実際の蒸着の条件が相当に微妙なものである
ことなどの理由から、広い面積部分にわたって膜厚を均
一なものとすることが容易ではなく、特に局部的に膜厚
が過大または過小の不良個所の形成を防止することはき
わめて困難である。

【０００３】このような不良個所を有する透明導電膜が
形成されたガラス基板を液晶表示装置に組み込んだ場合
には、当然のことながら、当該不良個所の電気抵抗が局
部的に過大または過小の状態であるため、当該不良個所
において所期の液晶表示作用が阻害されることとなる。
しかしながら、液晶表示装置が製品とされた後にそのよ
うな不良個所が発見された場合には、製品全体が無用の
ものとなって経済的損害が大きくなるので、ガラス基板
に透明導電膜が形成された早期の段階において、当該透
明導電膜の全体について電気抵抗の状態を検査し、上記
のような不良個所を検出することが要請されている。そ
して、このような検査のためには、透明導電膜が形成さ
れたガラス基板の上面を測定対象表面とし、この測定対
象表面における多数の測定個所における電気抵抗の大き
さを測定することがきわめて有効である。

【０００４】また、半導体ウエハなどの薄板材料につい
ても、その表面における多数の測定個所について電気抵
抗を測定し、電気抵抗状態が異常な不良個所を発見する
検査を行うことが必要とされている。

【０００５】従来、以上のような検査を実施するための
装置として、表面電気抵抗測定装置が使用されている。
この表面電気抵抗測定装置は、図８に模式的に示すよう
に、例えば半導体ウエハよりなる被測定物９０の測定対
象表面９１における測定個所に対し、例えば０．５〜１
ｍｍ程度の微小な等距離の間隔で一直線上に並んだ４本
の接触プローブＰＡ，ＰＢ，ＰＣ，ＰＤを押圧して接触
させ、この状態で、外側の接触プローブＰＡおよびＰＤ
に電源装置９２から電流を供給し、内側の接触プローブ
ＰＢおよびＰＣによって検出される電圧信号を電気信号
処理装置９５において処理することにより、当該測定個
所の電気抵抗の大きさを求めるものである。このような
電気抵抗の測定を、測定対象表面における複数の測定個
所おいて繰り返すことにより、当該被測定物の当該表面
における電気抵抗の分布情報を得ることができる。

【０００６】そして、上記のようにして得られる電気信
号について、当該被測定物の厚みなどの条件を因子とし
て補正処理することにより、当該被測定物が薄膜材料で
ある場合には、例えば、通常シート抵抗と称される厚み
方向における電気抵抗情報として有用な情報を得ること
ができる。このように、この方法は、適宜の基板上に形
成された薄膜、例えばガラス基板上に形成された透明導
電膜に適用することができ、その電気抵抗の分布情報を
得ることができる。

【０００７】以上の方法は一般に「四探針法」として知
られており、その具体的な内容は、例えば「シリコンの
物性と評価法」（電子材料シリーズ、丸善株式会社発
行）第１６５頁以下の「電気特性の評価」の章、「半導
体評価技術」（宇佐美晶著、工業調査会発行）の第５０
頁以下に紹介されている。

【０００８】然るに、上記の表面電気抵抗測定装置にお
いては、接触プローブを測定対象表面に相当に大きい押
圧力で接触させることが必要であるが、接触プローブは
金属製であってその先端は尖頭状とされているため、被
測定物の表面には、接触プローブが押圧されることによ
って傷が不可避的に発生するようになる。このため、例
えば液晶表示装置のためのガラス基板上の透明導電膜に
ついて電気抵抗の測定を行ったときには、当該透明導電
膜が破壊されてしまい、当該ガラス基板は使用すること
が不可能なものとなってしまう。このような事情から、
電気抵抗の測定は、製品のすべてについて行うことがで
きず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ず、結局、
製品の歩留りを大きくすることはできない。

【０００９】このような問題を解決するため、検査ヘッ
ドにおける複数の検査電極の各々の表面に、絶縁性弾性
材料中に導電性粒子が含有されてなる共通の感圧異方導
電性シートが配置された電気抵抗測定装置が提案されて
いる（特開平３−１０７７７２号公報参照）。この感圧
異方導電性シートは、その厚み方向に押圧された場合
に、当該押圧された個所に厚み方向に伸びる導電路が形
成されるものである。上記の電気抵抗測定装置によれ
ば、被測定物の測定対象表面に対する各検査電極の接触
が感圧異方導電性シートを介してなされるため、当該被
測定物を破壊または損傷することなく電気抵抗を測定す
ることができる。

【００１０】しかしながら、上記の電気抵抗測定装置に
おいては、次のような問題がある。（１）感圧異方導電性シートとしては、通常、導電性粒
子の含有割合が５〜２０体積％のものが用いられ、それ
自体比較的高い抵抗率を有する。そのため、電気信号測
定装置により検出される電圧信号の強度が低いものとな
り、その結果、被測定物の電気抵抗を高い精度で測定す
ることが困難である。（２）寸法の大きい被測定物の電気抵抗の測定において
は、検査ヘッドに多数の検査電極を設け、当該検査ヘッ
ドを被測定物の測定対象表面に接触させた状態で、例え
ばスキャナー装置によって電流を供給する電極および電
圧を測定する電極を順次切り換えることにより、１回の
動作で多数の測定個所についての電気抵抗を測定するこ
とが行われている。然るに、寸法の大きい被測定物にお
いては、反りが生じて測定対象表面に起伏が形成されて
いるものが多い。このような被測定物の電気抵抗を測定
する場合には、感圧異方導電性シートの厚みが例えば
０．２ｍｍ程度の極めて薄いものであるため、当該感圧
異方導電性シートを、被測定物の測定対象表面に対して
その起伏に追従した状態で接触させることが困難であ
る。その結果、測定個所によって接触抵抗の値や感圧異
方導電性シートに形成される導電路の電気抵抗の値が異
なるため、測定される電気抵抗の値は、各測定個所の間
における誤差範囲が極めて大きいものとなる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
被測定物を破壊または損傷させることなしに、所期の電
気抵抗の測定を高い精度で行うことができる電気抵抗測
定装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の電気抵抗測定装
置は、被測定物の表面に検査ヘッドを圧接し、当該検査
ヘッドが圧接された個所における電気抵抗を測定する装
置であって、前記検査ヘッドは、互いに離間して配設さ
れた複数の検査電極と、これらの検査電極の各々に電気
的に接続され、それぞれの接触面が実質上同一平面上に
位置するよう配置された複数の接触部材とを具えてな
り、前記接触部材は、弾性エラストマーにより導電性粒
子が結着されてなる導電ゴムにより構成され、当該導電
ゴムに含有されている導電性粒子の割合が５０〜９５体
積％であることを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の電気抵抗測定装置
について具体的に説明する。図１は、本発明の電気抵抗
測定装置の一例の構成を示す説明図である。この電気抵
抗測定装置は、四探針法を利用して平板状の被測定物１
の電気抵抗を測定する装置であり、２は被測定物１が載
置される水平な支持台であって、樹脂等の絶縁性材料に
より構成されている。この支持台２の上方には、被測定
物１の測定対象表面に圧接される検査ヘッド１０が配置
されている。３０は、検査ヘッド１０を下方に押圧して
下降させるための押圧板であり、この押圧板３０の下面
に、発泡ポリウレタン、発泡ゴム等よりなる弾性緩衝板
３１を介して、検査ヘッド１０が固定されている。ま
た、押圧板３０は、ロッド３２を介してエアシリンダー
よりなる押圧機構（図示省略）に連結されている。

【００１４】検査ヘッド１０においては、絶縁性材料よ
りなる水平な電極保持板１５が設けられ、この電極保持
板１５には、例えば４つのロッド状の金属製導電ピンよ
りなる検査電極１１，１２，１３，１４が、等間隔で一
列に並んだ状態で当該電極保持板１５を貫通するよう設
けられている。電極保持板１５を構成する絶縁性材料と
しては、例えばエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ
イミド樹脂等の樹脂材料、若しくはこれらの樹脂材料に
ガラス繊維や無機充填材が含有されてなる複合材料、ま
たはガラス、セラミック等の無機材料などを用いること
ができる。

【００１５】４つの検査電極１１〜１４のうち、外側の
２つの検査電極１１，１４の基端（図で上端）は、それ
ぞれ配線２６を介して電流計４１および抵抗器４２を有
する電源装置４０に接続されており、内側の２つの検査
電極１２，１３の基端は、それぞれ配線２６を介して電
圧計４６を有する電気信号処理装置４５に接続されてい
る。また、電極保持板１５の上面は、例えば絶縁性のレ
ジストが硬化されてなる絶縁層２５により被覆されてい
る。

【００１６】電極保持板１５の下面には、接触部材保持
板２０が適宜の固定手段により当該電極保持板１５に固
定されて配置され、この接触部材保持板２０には、検査
電極１１，１２，１３，１４のそれぞれに対応する、各
々弾性を有する４つの導電ゴムよりなる接触部材２１，
２２，２３，２４が、当該接触部材保持板２０を貫通し
てその下面から突出するよう設けられている。

【００１７】接触部材２１〜２４は、図２に示すよう
に、円柱状の作用部ａと、この作用部ａの上端側の外周
に沿って形成された鍔部ｂとなり、それぞれの上面が対
応する検査電極１１〜１４の先端面（図１で下面）に接
続されると共に、それぞれの下面である接触面ｃが実質
上同一平面上に位置するよう配置されている。接触部材
２１〜２４の厚みｔは、例えば０．５〜５．０ｍｍであ
り、接触面ｃの直径は０．５〜５．０ｍｍ（面積が０．
２〜１９．６ｍｍ²）である。

【００１８】接触部材２１〜２４を構成する導電ゴム
は、導電性粒子が弾性エラストマーにより結着されてな
るものである。

【００１９】導電性粒子としては、例えば金、銀、銅、
ニッケル、鉄、錫、アルミニウム、コバルト等の金属の
粒子若しくはこれらの合金の粒子、またはこれらの粒子
の表面に貴金属のメッキを施したもの、ポリスチレン等
のポリマー粒子若しくはジルコニア、アルミナ、シリ
カ、チタニア等の無機粒子に貴金属のメッキを施したも
のなどを用いることができる。これらの中では、接触抵
抗が小さいことなどの電気的特性の点で、金メッキが施
された金属粒子を用いることが好ましい。

【００２０】また、導電性粒子としては、その粒子径が
１０〜１０００μｍ、特に１０〜６０μｍのものを用い
ることが好ましい。粒子径が１０μｍ未満の導電性粒子
を用いる場合には、得られる導電ゴムは固有抵抗値の高
いものとなる。一方、粒子径が１０００μｍ未満の導電
性粒子を用いる場合には、得られる導電ゴムは弾性が小
さいものとなる。

【００２１】導電性粒子を結着するための弾性エラスト
マーとしては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ネオプ
レンゴム、アクリルゴム、ポリブタジエンゴム、ブチル
ゴム、ポリイソプレンゴム、フッ素ゴム、ホスファーゼ
ンゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴ
ム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ポリエステル
系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴムな
どを用いることができる。これらの中では、良好な弾力
性が得られる点で、シリコーンゴムが好ましい。

【００２２】接触部材２１〜２４を構成する導電ゴムと
しては、導電性粒子の含有割合が５０〜９５体積％のも
の、好ましくは７０〜８０体積％のものが用いられる。
導電性粒子の含有割合が５０体積％未満の場合には、得
られる接触部材は、それ自体が抵抗率の高いものとなる
ため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難とな
る。一方、導電性粒子の含有割合が９５体積％を超える
場合には、十分な弾性を有する導電ゴムが得られない。

【００２３】また、接触部材２１〜２４を構成する導電
ゴムとしては、その硬度（ＪＩＳＡＨｓ）が１０〜８０
の範囲のものを用いることが好ましく、より好ましくは
１５〜６０、更に好ましくは２０〜４０である。硬度が
１０未満の導電ゴムを用いる場合には、永久歪みが早期
に生じるため、繰り返しの使用による耐久性が低いもの
となる。一方、硬度が８０を超える導電ゴムを用いる場
合には、被測定物を破壊または損傷させる恐れがある。

【００２４】更に、接触部材２１〜２４は、押圧による
変形率が５〜１０％の範囲で使用されることが好まし
い。変形率が５％未満で使用される場合には、当該接触
部材を被測定物の測定対象表面に対して安定して接触さ
せることが困難となる。一方、変形率が１０％を超えて
使用される場合には、接触部材には、永久歪みが生じや
すく、繰り返しの使用による耐久性が低下する。

【００２５】以上の構成の電気抵抗測定装置において
は、次のようにして電気抵抗の測定が行われる。支持台
２上に被測定物１を載置し、この状態で、押圧板３０に
より弾性緩衝板３１を介して検査ヘッド１０を押圧して
下降させることにより、被測定物１の測定対象表面に検
査ヘッド１０の接触部材２１〜２４が、例えば５〜３０
ｇ／ｍｍ ²の押圧力で圧接され、これにより、被測定物
１の測定対象表面と検査電極２１〜２４とが電気的に接
続される。そして、４つの検査電極１１〜１４のうち、
外側の２つの検査電極１１，１４に電源装置４０から電
流を供給し、内側の２つの検査電極１２，１３によって
検出される電圧信号を電気信号処理装置４５において処
理することにより、当該測定個所の電気抵抗の測定が達
成される。

【００２６】上記の構成の電気抵抗測定装置によれば、
導電ゴムよりなる接触部材２１〜２４を介して、被測定
物１の測定対象表面と、検査電極２１〜２４との電気的
接続が達成されるので、被測定物１の測定対象表面に傷
が生じることを確実に防止することができ、被測定物１
を損傷または破壊することなしに電気抵抗を測定するこ
とができる。しかも、接触部材２１〜２４を構成する導
電ゴムは、導電性粒子が５０〜９５体積％の割合で含有
されてなり、それ自体高い導電性を有するものであるた
め、検査電極１２，１３において高い強度の電圧信号が
検出され、その結果、被測定物１の電気抵抗を高い精度
で測定することができる。

【００２７】図３は、本発明の電気抵抗測定装置の他の
例の概略を示す説明図である。この電気抵抗測定装置に
おいては、水平に固定配置された検査ヘッド固定板５０
の下面に、例えば３つの棒状に長い検査ヘッド５１が平
行に離間して配設されおり、検査ヘッド５１の各々は、
スキャナー装置６０を介して電気信号処理装置６１に接
続されており、スキャナー装置６０および電気信号処理
装置６１は、それぞれ制御装置６２に接続されている。
検査ヘッド固定板５０の下方には、被測定物１が載置さ
れる、上下方向に移動可能な水平な支持台６５が設けら
れ、この支持台６５はロッド６６を介して押圧機構６７
に接続され、この押圧機構６７は制御装置６２に接続さ
れている。

【００２８】図４に示すように、検査ヘッド５１におい
ては、絶縁性材料よりなる電極保持板５２が設けられ、
この電極保持板５２の下面には、多数の円板状の検査電
極５３が等間隔で一列に並ぶよう配設され、検査電極５
３の各々の下面には、図２に示す接触部材と同様の構成
の接触部材５５が設けられており、これらの接触部材５
５は、絶縁性材料よりなる接触部材保持板５４により、
当該接触部材保持板５４を貫通してその下面から突出
し、それぞれの接触面が実質上同一平面上に位置するよ
う保持されている。

【００２９】上記の構成の電気抵抗測定装置において
は、支持台６５上に被測定物１を載置し、この状態で、
押圧機構６７により支持台６５を上昇させることによ
り、被測定物１の測定対象表面が、検査ヘッド５１の接
触部材５５の各々に例えば５〜３０ｇ／ｍｍ²の押圧力
で圧接され、これにより、被測定物１の測定対象表面と
検査電極５３の各々とが電気的に接続される。このと
き、接触部材５５の各々は、被測定物１の測定対象表面
における起伏に応じて変形される。そして、スキャナー
装置６０によって、電流を供給する検査電極および電圧
を測定する検査電極５１が選択され、当該検査電極５１
に対応する接触部材５５が圧接された個所における電気
抵抗が測定されると共に、電流を供給する検査電極およ
び電圧を測定する検査電極５１が順次切り換えられるこ
とにより、多数の測定個所についての電気抵抗の測定が
達成される。

【００３０】上記の構成の電気抵抗測定装置によれば、
図１に示す構成の電気抵抗測定装置と同様に、被測定物
１を損傷または破壊することなしに高い精度で電気抵抗
を測定することができる。しかも、被測定物１の測定対
象表面に対する検査ヘッド５１の圧接を１回行うことに
より、当該被測定物１の測定対象表面における多数の測
定個所についての電気抵抗を測定することができるの
で、電気抵抗の測定において高い時間的効率が得られ
る。

【００３１】また、接触部材５５を構成する導電ゴム
は、それ自体高い導電性を有するものであるため、接触
部材５５の厚みを十分に大きいものとすることができ、
これにより、接触部材５５の各々は、被測定物１の測定
対象表面に起伏があるときにも、その起伏に追従させた
状態で測定対象表面に圧接され、しかも、接触部材５５
は、押圧によって導電性が変化することがないので、多
数の測定個所の各々の間における誤差範囲を極めて小さ
いものとすることができる。

【００３２】図５は、本発明の電気抵抗測定装置の他の
例を示す説明図である。この電気抵抗測定装置は、いわ
ゆるハンディタイプのものであり、例えば電源、電流
計、電圧計および制御機構を内蔵した装置本体７０と、
円柱状の検査ヘッド７５と、装置本体７０と検査ヘッド
７５とを接続する接続ケーブル７２とにより構成されて
いる。７１は、装置本体７０に設けられた電気抵抗の値
の表示部である。

【００３３】図６に示すように、検査ヘッド７５におい
ては、内部の中央に隔壁７７を有する円筒状の樹脂製の
ハウジング７６と、このハウジング７６の一端側（図で
上側）を塞ぐ樹脂製のキャップ７８とが設けられてお
り、キャップ７８には、接続ケーブル７２が固定されて
いる。

【００３４】ハウジング７６内には、その中心軸に沿っ
て伸びるリベット状の一方の導電部材８１が隔壁７７を
貫通するよう設けられ、この一方の導電部材８１とハウ
ジング７６の内壁との間には、一方の導電部材８１と同
方向に伸びるリベット状の他方の導電部材８２が隔壁７
７を貫通するよう設けられている。一方の導電部材８１
および他方の導電部材８２の各々の基端には、それぞれ
接続ケーブル７２により導入されたリード線７３が接続
されている。ハウジング７６内における他端側には、一
端に底部８４ａが形成された、ハウジング７６の内径に
適合する外径を有する円筒状検査電極８４が配置され、
この円筒状検査電極８４の筒孔内における他端側の中央
位置には、アイソレーター８７を介して円板状検査電極
８３が配置されており、この円板状検査電極８３の一面
に、一方の導電部材８１の先端が接続され、円筒状検査
電極８４の底部８４ａに、他方の導電部材８２の先端が
接続されている。円板状検査電極８３の他面には、当該
円板状検査電極８３の直径と実質上同一の直径を有する
円板状接触部材８５が設けられ、円筒状検査電極８４の
他端には、当該円筒状検査電極８４の外径および内径と
実質上同一の外径および内径を有するリング状接触部材
８６が設けられており、円板状接触部材８５およびリン
グ状接触部材８６は、それぞれの接触面（図で下面）が
ハウジング７６の他端から突出し、互いに実質上同一平
面上に位置するよう配置されている。また、円板状接触
部材８５およびリング状接触部材８６は、それぞれ弾性
エラストマーにより導電性粒子が５０〜９５体積％の割
合で結着されてなる弾性を有する導電ゴムにより構成さ
れている。

【００３５】上記の構成の電気抵抗測定装置において
は、検査ヘッド７５における円板状接触部材８５および
リング状接触部材８６が配置された面を被測定物の測定
対象表面に圧接することにより、被測定物の測定対象表
面と円板状検査電極８３および円筒状検査電極８４の各
々とが電気的に接続され、この状態で、所要の電気抵抗
の測定が行われる。上記の構成の電気抵抗測定装置によ
れば、円板状接触部材８５およびリング状接触部材８６
が弾性を有する導電ゴムにより構成されているため、こ
れらの接触面の全面を測定対象表面に十分に圧接させる
ことができ、しかも、圧接された個所に傷が生ずるよう
なこともない。従って、被測定物を破壊または損傷させ
ることなしに、所期の電気抵抗の測定を高い精度で行う
ことができる。

【００３６】

【実施例】以下、本発明の電気抵抗測定装置を、更に具
体的な実施例により説明する。下記の条件に従って、図
３および図４に示す電気抵抗測定装置を作製した。検査ヘッド（５１）の数：３個，各検査ヘッド（５１）の配置間隔：５０〜１５０ｍｍ，各検査ヘッド（５１）における検査電極（５３）の数：
１４０個，検査電極（５３）のピッチ：３ｍｍ，接触部材（５５）の寸法：厚み２ｍｍ，接触面の直径２
ｍｍ，接触部材（５５）を構成する導電ゴムの材質：導電性粒子；表面に金メッキが施されたニッケル粒子，
平均粒子径４０μｍ，弾性エラストマー；シリコーンゴム，導電性粒子の割合；７０体積％，接触部材（５５）を構成する導電ゴムの特性：硬度（ＪＩＳ−ＡＨＳ）；３０，押圧による変形率；５〜１０％接触部材（５５）に加わる押圧力：２０ｇ／ｍｍ²

【００３７】上記の電気抵抗測定装置を用い、縦幅が５
００ｍｍ、横幅が５００ｍｍのガラス基板の表面に、厚
みが２００〜２５００Åの透明導電膜が形成されてなる
被測定物について、図７に示す位置の合計１５個の個所
における電気抵抗を測定した。結果を表１に示す。

【００３８】

【表１】

【００３９】電気抵抗を測定した後、被測定物を観察し
たところ、すべての測定個所において透明導電膜の損傷
は認められなかった。また、図８に示す接触プローブに
よる電気抵抗測定装置を用いて、上記の被測定物につい
てそれぞれの個所における電気抵抗を測定したところ、
ほぼ同様の値が得られ、高い精度で電気抵抗が測定され
ていることが確認された。

【００４０】

【発明の効果】本発明の電気抵抗測定装置によれば、検
査ヘッドに導電ゴムよりなる接触部材が設けられてお
り、この接触部材を介して、被測定物の測定対象表面と
検査電極との電気的接続が達成されるので、被測定物の
測定対象表面に傷が生じることを確実に防止することが
でき、被測定物を損傷または破壊することなしに電気抵
抗を測定することができる。また、接触部材を構成する
導電ゴムは、導電性粒子が５０〜９５体積％の割合で含
有されているので、それ自体高い導電性を有するもので
ある。従って、被測定物の電気抵抗を高い精度で測定す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電気抵抗測定装置の一例の構成を示す
説明図である。

【図２】検査ヘッドの一例の構成を示す説明用断面図で
ある。

【図３】本発明の電気抵抗測定装置の他の例を示す説明
図である。

【図４】図３の電気抵抗測定装置の検査ヘッドの構成を
示す説明用断面図である。

【図５】本発明の電気抵抗測定装置の更に他の例を示す
説明図である。

【図６】図５に示す電気抵抗測定装置の検査ヘッドの構
成を示す説明用断面図である。

【図７】実施例において電気抵抗を測定した被測定物の
測定対象表面における測定個所を示す説明図である。

【図８】四探針法を利用した従来の電気抵抗測定装置の
構成の概略を示す説明図である。

【符号の説明】

１被測定物２支持台１０検査ヘッド１１，１２，１３，１４検査電極１５電極保持板２０接触部材保持板２１，２２，２３，２４接触部材２５絶縁層２６配線３０押圧板３１弾性緩衝板３２ロッド４０電源装置４１電流計４２抵抗器４５電気信号処理装置４６電圧計５０検査ヘッド固定板５１検査ヘッド５２電極保持板５３検査電極５４接触部材保持板５５接触部材６０スキャナー装置６１電気信号処理装置６２制御装置６５支持台６６ロッド６７押圧機構７０装置本体７１表示部７２接続ケーブル７３リード線７５検査ヘッド７６ハウジング７７隔壁７８キャップ８１一方の導電部材８２他方の導電部材８３円板状検査電極８４円筒状検査電極８５円板状接触部材８６リング状接触部材８７アイソレーター９０被測定物９１測定対象表面９２電源装置９５電気信号処理装置ＰＡ，ＰＢ，ＰＣ，ＰＤ接触プローブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の表面に検査ヘッドを圧接し、
当該検査ヘッドが圧接された個所における電気抵抗を測
定する装置であって、前記検査ヘッドは、互いに離間して配設された複数の検
査電極と、これらの検査電極の各々に電気的に接続され、それぞれ
の接触面が実質上同一平面上に位置するよう配置された
複数の接触部材とを具えてなり、前記接触部材は、弾性エラストマーにより導電性粒子が
結着されてなる導電ゴムにより構成され、当該導電ゴム
に含有されている導電性粒子の割合が５０〜９５体積％
であることを特徴とする電気抵抗測定装置。