JPS6267480A - 回路基板の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は液晶パネルのように１枚の基板に多数の電極が
狭ピッチで配設され、定電％に同時にキズつけることな
く測定する場合の検査方法に関するものである。

従来の技術 近年、ＩＣ，液晶パネル等の回路測定は、電極ピッチ間
隔の狭ピッチ化と電極数の多ビン化、さらには接続方法
の関係から、電極部にキズ全発生させずば行うことが困
難になってきている。従来のプローブ針によるコンタク
ト方式ではこの問題を解決することが困難である。

以下図面を参照しながら上述した従来の基板の測定方法
の一例について説明する。

第４図、第５図は従来の基板測定方法であるプローブ針
方式全示すものである。１は電極２が狭ピッチで多数配
列されている被測定基板（回路基板）である。３はプロ
ーブであり、材質１・１タングステン又はパラジウム合
金で構成される。４はプローブカードでありプローブ３
ケ被測定基板１の電極ピッチに対応したピッチで配設さ
れる。プローブ３とグローブガード４は樹脂系の接着材
で固定されている。５はプローブ３と計測器金納ぶため
の配線パターン、６は前記プローブカード４の補強板で
ある。

発明が解決１〜ようとする問題点 以上のような構成において、被測定電り２に接している
プローブ３の先端部の形状は直径５０μｍ程度であり、
プローブガード４側は１００μｍあ久加圧力は１０　ｇ
〜３０ｇ／本程度であるため被測定電極部２には直径６
ｏμｍ程度のキズが発生する。又、プローブ３のピッチ
間隔は現在製作可能な最小ピッチは２００μｍ程度、１
枚のプローブカード４に取シ付は可能な本数は製作精度
の点から１００本〜１６０本が限界である。

以上のように従来のプローブ３による検査方法では、測
定部にキズが発生する。又被測定電極ピッチ２００μｍ
以下で１００ケ所以上を同時検査することは不可能であ
る。又２００μｍピッチで１５０ケ所程度の同時検査は
従来のプローブ３による方法でも可能であるが、プロー
ブ３の材質、製作精度（ピッチ、高さ、形状）の点で非
常に高コストとなっていた０さらに寿命の点で、タング
ステン、パラジウム合金等の材質は衝撃、振動に弱いた
め測定中に破損する可能性があるという問題点を有して
いた。

本発明は上記欠点に鑑み、狭ピッチで多数配列された電
極を同時にしかもキズを発生することなく検査する回路
基板の検査方法を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するだめ、本発明の回路基板の検査方
法は、回路基板の被測定電極部に対応する測定用電極を
備えた測定用基板を用いて前記被測定電極部の検査を行
う方法において、前記測定用電極と前記被測定電極部を
電気的に接続する多数の導電部が形成された軟弾性コネ
クターを、前記回路基板と前記測定用基板との間に挾み
こみ、これらを抑圧状態下において、前記被測定電極部
の検査を行うことを特徴とする。

作　　用 本発明は上記した構成によって、軟弾性体のコネクター
でコンタクトするため、被測定部にキズが発生すること
がなく、又軟弾性体であるため適当な加圧力を与えるこ
とによって被測定部に、ソリ、歪が存在しても確実に検
査することが可能となる。軟弾性コネクターの導電部を
適宜ピッチに配することにより、最小ピンチ間隔の検査
が可能となシ、電極数に関係なく多数の電極の同時検査
が可能となる。

実施例 以下本発明の一実施例の基板検査方法について、図面を
参照しながら説明する。第１図は実施例における検査方
法の構成を示すものである。第１図において、７は回路
基板（被測定基板）であり、被測定電極８が電極間ピッ
チＡ、電極巾Ｂで多数配置されている。９は軟弾性コネ
クターであり、電施巾Ｂに比較して五ゼ以下のピッチで
金製の導電ワイヤ（導電部）１０が埋め込まれている。

導電ワイヤ１ｏは軟弾性コネクターの上面Ｃと下面りと
を接続している。１１は測定用基板であり被測定電極８
のピッチＡと同一ピッチで測定用電極１２が配設されて
いる。測定用電極１２の巾は被測定電極８の巾Ｂと同一
である。１３は加圧シートであり弾性体で形成されてい
る。１４は前記加圧シート１３を保持するための保持具
である。

又第２図の１５は位置合せ用の顕微鏡、第３図の１６は
被測定電極８の絶縁部である。

以上のように構成された回路基板の検査方法について、
以下第１図〜第３図を用いて動作を説明する。

被測定基板ア、軟弾性コネクター９、測定用電極１２、
加圧シート１３を第２図の如く上下に重ねて押圧する（
押圧手段は図示せず）。この場合測定電極１２と被測定
電極８のピッチ方向の位置合せは、光学顕微鏡１５を用
いて行ない、位置合せ精度は電極巾Ｂの３４までは位置
ズレが発生しても検査可能である。

又、被測定基板７と測定用基板１１の間に歪。

ソリ等が発生しても軟弾性コネクター９と加圧シート１
３によって歪、ソリを吸収して全体を一様に抑圧接続す
ることが可能となる。次に接続状態を第３図を用いて説
明する。被測定電極８と測定用電極１２は図に示すよう
に、軟弾性コネクター９の導電ワイヤ１０を介して接続
している。この場合導電ワイヤ１ｏのピッチは被測定電
極８の％以下であれば軟弾性コネクター９の位置精度は
関係ない。又測定用電極１２と被測定電極８の位置合せ
精度も電極巾が電極ビノチノづ倍であれば、電極巾の’
−５までは位置ズレが生じても接続可能である。

以上のように本実施例によれば、平面状に配設された被
測定電極８の特性測定を行なうとき、軟弾性コネクター
９を被測定電極８と測定用電極１２の間に介することに
よって、被測定電極８にキズを発生させることなく、又
被測定基板７に歪が生じていても、軟弾性コネクター９
に加える押圧力を調整することによって、確実な接続を
得ることが可能である。又測定用電極１２は従来の針に
比べ、高さ方向及びピッチ幅方向の経時変化が発生しな
い。さらに測定用電極１２はメッキ、蒸着等で製作可能
であり高精度低コストで製作可能となる。又、第３図に
示す場合と異なり被測定電極８より突出する絶縁部１６
が存在しても軟弾性コネクター９を用いることによって
測定可能である。

又、軟弾性コネクター９を消耗品とするため低コストで
ある。

なお実施例ておいて被ｉ！＋１１定電ツ８は一列に配設
されているが、平面状であればどのような形状でも測定
可能である。

発明の効果 以上のように本発明は回路基板のｖｌ到定電極と、測定
用基板の測定電極との間に、軟弾性体であり、多数の導
電部の配設されたコネクターを介在させ、これらを押圧
状態下において被測定電極を測定横歪することによって
、回路基板に歪、ソリ等が発生しても確実に前記検査を
行うことが可能となる。

又、コネクターは軟弾性体であるため、測定箇所にキズ
を発生することがない。さらに従来の方法に比べて２０
０μｍピッチ以下の電極間の測定も可能となる。又本発
明は、前記軟弾性コネクターが消耗品となるため、低コ
ストの測定方法となる。

さらに本発明によれば多数の電極（１００ケ所以上）の
同時測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における斜視図、第２図はその
断面図、第３図はその拡大断面図、第４図は従来の方法
を示す斜視図、第５図はその断面図である。 ７・・・・・・回路基板、８・・・・・・被測定電極、
９・・・・・・軟弾性コネクター、１Ｑ・・・・・・導
電部、１１・・・・・・測定用基板、１２・・・・・・
測定用電極。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名７−
−−回１８表石（ ８−１わａＩｌ情ミ、を揮 １２−−−　　、、　　ｆ極 第２図 パハ　３　へ１ 第　４　・図 第　５　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回路基板の被測定電極に対応する測定用電極を備えた測
   定用基板を用いて前記被測定電極の検査を行う方法にお
   いて、前記測定用電極と前記被測定電極を電気的に接続
   する多数の導電部が形成された軟弾性コネクターを、前
   記回路基板と前記測定用基板との間に挾みこみ、これら
   を押圧状態下において、前記被測定電極の検査を行うこ
   とを特徴とする回路基板の検査方法。