KR20100052956A

KR20100052956A - 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓

Info

Publication number: KR20100052956A
Application number: KR1020080111870A
Authority: KR
Inventors: 이재학
Original assignee: 이재학
Priority date: 2008-11-11
Filing date: 2008-11-11
Publication date: 2010-05-20
Also published as: KR101019721B1

Abstract

본 발명은 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 전극과 테스트장치의 패드를 전기적으로 연결시켜 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하도록 하는 테스트 소켓에 있어서,

상단은 상기 피검사 디바이스의 전극과 접촉가능하며 하단은 상기 테스트장치의 패드와 접촉가능하고, 상단과 하단 사이에는 다수의 도전성 입자가 탄성물질 내에 상하방향으로 배향되어 있는 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키면서 지지하는 절연지지부를 포함하되, 상기 도전성 입자는 일방향으로 연장된 기둥의 형태를 이루고 있는 기둥형 입자인 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓에 대한 것이다.

도전부, 절연지지부, 기둥형 입자

Description

기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓{Test socket with pillar particle}

본 발명은 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 전기적 저항이 감소되고, 쉽게 인접한 탄성물질로부터 이탈되지 않으며, 원하는 방향으로의 배향이 용이한 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓에 대한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 소자등의 피검사 디바이스는 그 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 테스트장치로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 흘려보내 그 피검사 디바이스의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 테스트장치와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 테스트소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 이방성을 가지는 탄성시트를 이용한 테스트 소켓이 주로 사용되어 오고 있다.

이러한 탄성시트를 이용한 테스트 소켓의 일예는 도 1에 도시된다. 상기 테스트 소켓(100)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 기재(112) 중에 다수의 도전성 입자(111)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(111)는 구형의 입자로서, 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(110)를 이루며 이러한 도 전부(110)가 상기 피검사 디바이스(130)의 전극(131)과 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 한편, 상기 도전부는 절연지지부(120)에 의하여 절연지지되어 있게 된다.

이러한 테스트 소켓(100)는 테스트장치(140)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(110)가 테스트장치(140)의 패드(141)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 2에 도시한 바와 같이 피검사 디바이스(130)가 하강하면 그 피검사 디바이스(130)의 전극(131)가 각각의 도전부(110)와 접촉하면서 그 도전부(110)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(110) 내의 도전성 입자(111)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트장치(140)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 테스트 소켓(100)를 거쳐 피검사 디바이스(130)로 전달되고, 그 반사신호는 반대로 테스트 소켓(100)를 거쳐 테스트장치(140)로 들어오게 된다.

이러한 테스트 소켓는 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. 또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트장치와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.

이러한 종래기술에 따른 테스트소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 도전성 입자가 구형으로 이루어진 경우에는 인접한 구형 입자와의 접촉이 점접촉으로 이루어지기 때문에, 안정적인 전기적 접속이 어렵다는 문제점이 있게 된다. 일반적으로 전기적인 접속은 접촉되는 면적이 넓을 수록 유리하다. 그러나, 구형으로 이루어진 입자들간의 접촉은 점접촉만이 가능하기 때문에 그 접촉되는 면적이 적어서 저항이 증가되어 손실이 많아지고 이에 따라 안정적인 접속을 하기 어려운 문제점이 있게 된다.

둘째, 도전성 입자가 구형인 경우에는 반복적으로 가압되는 경우엔 탄성물질로부터 쉽게 이탈될 염려가 있게 된다. 즉, 피검사 디바이스의 전극이 수직방향으로 반복하여 수만회 이상 그 도전성 입자와 접촉하게 되는 경우에는 탄성물질과 도전성 입자의 접촉력이 약해지거나 탄성물질이 찢어져버리는 문제점이 있다. 이와 같이 도전성 입자가 탄성물질로부터 이탈되는 경우에는 전기적 흐름을 전달해주는 구성이 상실되기 때문에 전극과 패드와의 전기적 접속력이 저하되거나 상실하게 되는 것이다. 특히 구형 입자의 경우에는 인접한 탄성물질과의 접촉면적이 적어서 이러한 문제점이 현저하게 된다.

셋째, 테스트소켓을 제작하기 위해서는 액상의 탄성물질 내에서 도전성 입자들을 자기력선에 의하여 정렬한 후에 그 탄성물질을 굳혀서 원하는 방향으로 배열하게 되는데, 이때 구형인 경우에는 자기력선에 의하여 원하는 방향으로 배열되기 어렵다는 문제점이 있다. 이에 따라 인접한 도전부에 닿지 않고서 도전부 사이의 간격을 줄이는데 한계가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 인접한 도전성 입자와의 접촉면적을 넓게 하여 전기적인 저항을 줄이고, 탄성물질과의 접촉면적을 넓혀서 탄성물질로부터 쉽게 이탈되지 않고, 자기장에 의하여 쉽게 배향되어 도전부 사이의 간격을 보다 줄일 수 있는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓을 제공하는 것을 목적을 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓은, 피검사 디바이스의 전극과 테스트장치의 패드를 전기적으로 연결시켜 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하도록 하는 테스트 소켓에 있어서, 상단은 상기 피검사 디바이스의 전극과 접촉가능하며 하단은 상기 테스트장치의 패드와 접촉가능하고, 상단과 하단 사이에는 다수의 도전성 입자가 탄성물질 내에 상하방향으로 배향되어 있는 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키면서 지지하는 절연지지부를 포함하되, 상기 도전성 입자는 일방향으로 연장된 기둥의 형태를 이루고 있는 기둥형 입자이다.

상기 테스트 소켓에서,

상기 기둥형 입자는 원기둥의 형태로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서, 상기 원기둥의 일방향의 길이를 L 이라고 하고 직경을 D라고 하였을 때, L/D 는 1보다 크고 50 보다 작은 범위내에 포함되어 있는 것 이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서,

상기 도전부는 대각선 방향으로 정렬되어 있는 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서,

상기 도전성 입자에는 구형 입자를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서, 상기 기둥형 입자는 상단이 피검사 디바이스의 전극과 접촉할 수 있도록 도전부의 상측에 배치되고, 상기 구형 입자는 그 기둥형 입자의 하측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서,

상기 기둥형 입자는 상하 일렬로 배치되어 각각의 도전부를 구성하는 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서, 상기 절연지지부는 실리콘 고무로 이루어진 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서, 상기 절연지지부는 합성수지소재로 이루어진 시트에 구멍이 형성된 형태로 이루어지고, 상기 구멍 내에는 상기 각각의 도전부가 상기 절연지지부의 상면보다 상측으로 돌출되어 배치되고, 상기 도전부의 탄성물질은 고경도의 접착 수지인 것이 바람직하다.

상기 테스트 소켓에서,

상기 도전성 입자는 그 상단이 탄성물질보다 상측으로 돌출되어 있는 것이 바람직하다.

상술한 구성을 가지는 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 그 도전성 입자가 기둥형으로 이루어지기 때문에, 인접한 도전성 입자와의 접촉면적인 증가되어 전체적인 전기적 저항이 감소하고 이에 따라 안정적인 전기적 접속을 가능하게 한다.

또한, 기둥형 입자의 경우에는 탄성물질과 접하고 있는 표면적이 넓기 때문에 탄성 물질에 강하게 접착되어 있으며 이에 따라 반복적인 테스트 과정에서도 탄성물질로부터 이탈될 염려가 적다. 이에 따라 전도성을 장기간 일정하게 유지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 기둥형 입자의 경우에는 자기력선에 의하여 배열되는 것이 용이하여 좁은 간격을 가지는 테스트 소켓에도 적용할 수 있는 장점이 있다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 소켓의 도면이고, 도 4는 도 3의 작동도이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트소켓(10)은 소정의 두께를 가지는 시트의 형태로 이루어지되, 그 시트는 면방향으로의 전기적인 흐름은 없고 두께방향으로의 전기적인 흐름만을 가능하게 하여 피검사 디바이스(130)의 전극(131)과 테스트장치(140)의 패드(141)를 상하방향으로 전기적 연결을 가능하게 하는 것이다. 이러한 테스트소켓(10)은 피검사 디바이스(130)의 전기적 검사를 수행하기 위 하여 사용된다.

상기 테스트소켓(10)은, 도전부(20)와 절연지지부(30)로 이루어진다.

상기 도전부(20)는 그 상단이 상기 피검사 디바이스(130)의 전극(131)과 접촉가능하며 하단은 상기 테스트장치(140)의 패드(141)와 접촉될 수 있도록 되어 있으며, 그 상단과 하단사이에는 다수의 도전성 입자(21)가 탄성물질(22) 내에 상하방향으로 배향되어 있도록 형성된다. 구체적으로 그 도전부(20)는 탄성물질(22) 내에 다수의 도전성 입자(21)가 상하방향으로 배열된 형태를 가지게 되며, 상기 각각의 도전부(20)는 대략적으로 피검사 디바이스(130)의 전극(131)과 대응되는 위치에 배열되어 있게 된다.

상기 탄성물질(22)은 가교 구조를 갖는 절연성 고분자 물질이 바람직하다. 이 가교 고분자 물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성 고분자 물질 형성 재료로는 여러가지를 사용할 수 있고, 그 구체예로는 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. 이중에서, 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.

이러한 실리콘 고무로는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직 하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 전단 속도 10^-1초에서 10⁵ 포어즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기 및 히드록실기를 함유하는 것 중의 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.

상기 도전성 입자(21)는 일방향으로 연장된 기둥의 형태로 이루어지는 것이 바람직하며, 구체적으로는 상하방향으로 연장된 형태를 가지는 것이 가능하다. 이러한 도전성 입자(21)는 원기둥인 것이 가공하기에 용이하나 이에 한정되는 것은 아니며 다각형의 기둥도 가능한 것은 물론이다. 예를 들어, 삼각기둥, 사각기둥 등의 다양한 형태의 기둥이 사용될 수 있으며 부정형의 단면형태를 가지는 기둥도 가능하다.

한편, 상기 도전성 입자(21)로 사용되는 원기둥의 형상비는 그 원기둥의 일방향의 길이를 L 이라고 하고, 직경을 D라고 하였을 때, 1 < L/D < 50 의 범위인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 5< L/D < 50 인 것이 좋다.(더 바람직한 범위이므로 구지 삭제할 필요는 없을 것으로 보입니다.) 상기 L/D가 1 보다 작은 경우에는 자기력에 의하여 두께방향으로 배향시키는 것이 어려워서 바람직하지 못하고, L/D가 50보다 큰 경우에는 수직방향으로의 하중이 가해졌을 때의 그 하중을 견디는 것이 용이하지 않다는 문제점이 있어 바람직하지 못하다.

한편, 도전성 입자(21)의 소재는 자기력선을 작용시킴으로써 쉽게 상하방향으로 배열하도록 배향시킬 수 있도록 자성을 나타내는 것을 사용된다.

이러한 도전성 입자(21)의 구체예로는 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성 금속의 도금을 실시한 것이 사용될 수 있다.

한편, 도전성 입자(21)의 코어로서 반드시 자성을 가지는 것을 사용할 필요는 없으며 비자성 금속입자, 글래스, 카본 등의 무기 물질로 이루어지는 입자, 또는 폴리스티렌, 디비닐벤젠에 의해서 가교된 폴리스티렌 등의 중합체로 이루어지는 입자 및 탄성 섬유, 유리 섬유를 단섬유를 분쇄공정을 거쳐 일정한 길이이하로 제작하여 사용된 것을 코어 입자로 하고, 해당 코어 입자의 표면에 니켈, 금 등의 도전성 자성체의 도금을 실시한 것, 또는 코어 입자에 도전성 자성체 및 산화되기 어려운 도전성 금속의 양쪽을 피복한 것을 사용할 수 있음은 물론이다.

상기 절연지지부(30)는 각각의 도전부(20)를 서로 절연시키면서 지지하는 것으로서, 상기 도전부(20)의 탄성물질(22)과 동일한 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다. 한편, 상기 탄성물질(22)과 반드시 동일한 소재를 사용할 필요는 없으며 다른 절연성이 있는 소재를 사용하는 것도 가능하다.

이러한 본 실시예에 따른 테스트소켓(10)은 다음과 같이 제작된다.

우선, 유동성의 탄성 물질 내에 도전성 입자(21)가 분포되어 있는 성형용 재료를 준비하고, 그 성형용 재료를 금형(미도시) 내에 삽입한다. 이후에, 상기 성형 용 재료에 그 상하방향으로 자장을 가하여 상기 도전성 입자(21)가 자기력선과 평행한 상하방향으로 배열될 수 있도록 한다. 이후에는 성형용 재료를 경화시켜 테스트소켓(10)의 제조를 완료하게 된다.

한편, 상기 절연지지부(30)의 가장자리에는 소정의 관통구멍을 가지는 프레임(31)을 설치하고 상기 절연지지부(30)가 상기 프레임(31)의 관통구멍을 덮도록 고정된다. 한편, 상기 프레임(31)은 상기 테스트소켓(10)에 고정설치된다.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트소켓(10)을 이용하여 다음과 같이 테스트할 수 있다.

먼저, 테스트장치(140)의 위에 테스트소켓(10)을 탑재한다. 구체적으로는 각각의 도전부(20)의 하단이 상기 테스트장치(140)의 패드(141)에 접촉하도록 상기 테스트장치(140)를 배치시킨다. 이후에, 상기 피검사 디바이스(130)를 하강시키면서 상기 피검사 디바이스(130)의 전극(131)이 상기 도전부(20)의 상단에 접촉하도록 한다. 이때 피검사 디바이스(130)를 더욱 하강시키면 상기 피검사 디바이스(130)는 도전부(20)를 가압하게 되면서, 상기 도전부(20) 내의 도전성 입자(21)들은 각각의 양단이 서로 접촉하여 전기적으로 연결가능한 상태를 이루게 되는 것이다. 이때, 테스트장치(140)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 신호는 테스트소켓을 거쳐서 피검사 디바이스(130)로 전달되어 테스트가 진행된다.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 소켓은 각각의 도전성 입자가 원기둥의 형태를 가지고 있기 때문에, 그 원기둥형 도전성 입자를 상하방향으로 배열하는 경우에는 인접한 도전성 입자와 면접촉을 하게 된다. 즉, 원형단면의 상하단부가 서로 접촉하는 면접촉을 가능하게 되는 것이다. 이에 반해서 종래기술에서는 구형으로 이루어져 있기 때문에 그 도전성 입자들이 점접촉을 하게 되고, 이에 따라 전체적인 저항이 증가되는 문제점이 있게 되는 것이다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 원기둥형 입자는 표면적이 크므로 주변의 탄성물질과의 접착력이 증가하게 되어, 특히 종래기술에 따른 구형입자와 비교시 형상비가 높은 원기둥형 입자가 표면적이 크기 때문에 탄성물질과의 접착력이 강하고 이에 따라 반복하여 테스트가 진행되는 경우에도 그 탄성물질로부터 이탈될 염려가 적어 안정적인 전기적 접속을 가능하게 할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 원기둥형 입자는 그 테스트 소켓을 제작하는 과정에서 자기력선의 방향으로 쉽게 배향될 수 있어 상하방향으로의 정렬이 용이하고, 인접한 도전부와 쇼트를 일으킬 만한 입자가 거의 없게 되는 장점이 있게 된다. 이에 반해서 종래의 구형입자는 상하방향으로 일정하게 배향하는 것이 어렵고 이에 따라 도전부 사이의 간격을 좁게 하는 경우에는 인접한 도전부와 쇼트를 일으켜 부정확한 테스트결과를 유발할 염려가 있게 되는 것이다.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 소켓은 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.

첫째, 상술한 실시예에서는 도전부(20)가 수직인 상하방향으로 정렬되어 있는 것을 기술하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 5에 도시한 바와 같이 각각의 도전부(20)가 대각선방향으로 정렬되는 것도 가능하다. 이와 같이 대각선방향으로 정렬되는 경우에는 수직인 경우에 비하여 압축변형을 쉽게 허용하는 경향이 있 게 된다. 이에 따라 반복적인 하중이 가해지는 경우에도 장기간 사용할 수 있는 장점이 있는 것이다.

둘째, 상술한 실시예에서는 기둥형 입자만을 도전성 입자(21)로 사용하고 있으나, 그 도전성 입자에 구형 입자가 더 포함하는 것도 가능하다. 예를 들면 도 6에 도시한 바와같이, 기둥형 입자는 상단이 피검사 디바이스의 전극과 접촉할 수 있도록 도전부(20)의 상측에 배치되고, 상기 구형 입자는 그 기둥형 입자의 하측에 배치되어 있는 것이 가능하다.

한편, 기둥형 입자와 구형 입자의 위치관계가 반드시 도 6에 도시된 바와 같이 기둥형 입자가 상측에 배치되고 구형 입자가 하측에 배치되는 것으로 특정되는 것은 아니라, 도 7에 도시된 바와 같이 각각의 기둥형 입자와 구형 입자가 서로 무작위로 뒤섞여 도전부(20) 내에 분포되는 것도 가능하다.

셋째, 상술한 실시예에서는 기둥형 입자가 탄성물질(22) 내에 분포되어 있는 것을 도시하였으나, 상기 기둥형 입자는 그 상단이 탄성물질보다 상측으로 돌출되도록 배치되는 것도 가능하다. 즉, 도 8에 도시한 바와 같이 기둥형 입자의 상단이 돌출되는 것이 가능하다. 이러한 경우에는 전극의 형태가 볼형이 아니라 평면인 형태인 경우에 보다 전기적으로 용이하게 연결될 수 있도록 한다. 또한, 그 기둥형 입자의 상단이 직접 전극과 접촉하여 그 전극에 뭍어있는 이물질 등을 제거하는 기능을 수행할 뿐 아니라, 그 전극 내에 파고들어가서 전기적으로 확실하게 연결될 수 있도록 하는 장점이 있다.

넷째, 상술한 실시예에서는 절연지지부(30)가 탄성물질(22)과 동일한 소재 및 두께를 가지도록 구성되어 있으나, 도 9에 도시한 바와 같이, 절연지지부(30)는 합성수지소재로 이루어진 시트에 구멍이 형성된 형태로 이루어지고, 그 구멍 내에는 각각의 도전부(20)가 배치되어 있는 것도 가능하다. 이때 상기 도전부(20)는 절연지지부(30)의 상면보다 상측으로 돌출되도록 배치되어 전극과의 접촉력을 증가시킬 수 있다. 한편, 이때 사용되는 도전부(20)의 탄성물질(22)은 고경도의 접착 수지인 것이 바람직하다.

다섯째, 상술한 실시예의 도전부(20)는 다수의 도전성 입자(21)가 다열로 배치되어 하나의 군을 형상한 것을 예로 들었으나, 도 10에 도시한 바와 같이 상하 일렬로 배치되어 구성되는 것도 가능하다. 즉, 일정한 간격으로 패턴을 형성하지 않고 수직배열하는 것도 가능하다.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 테스트 소켓의 도면.

도 2는 도 1의 작동도.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 소켓의 도면

도 4는 도 3의 작동도.

도 5 내지 도 10는 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 소켓의 도면.

Claims

피검사 디바이스의 전극과 테스트장치의 패드를 전기적으로 연결시켜 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하도록 하는 테스트 소켓에 있어서,

상단은 상기 피검사 디바이스의 전극과 접촉가능하며 하단은 상기 테스트장치의 패드와 접촉가능하고, 상단과 하단 사이에는 다수의 도전성 입자가 탄성물질 내에 상하방향으로 배향되어 있는 도전부; 및

상기 도전부를 서로 절연시키면서 지지하는 절연지지부를 포함하되,

상기 도전성 입자는 일방향으로 연장된 기둥의 형태를 이루고 있는 기둥형 입자인 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 기둥형 입자는 원기둥의 형태로 구성되어 있는 것을 특징을 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제2항에 있어서,

상기 원기둥의 일방향의 길이를 L 이라고 하고 직경을 D라고 하였을 때, L/D 는 1보다 크고 50 보다 작은 범위내에 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 도전부는 대각선 방향으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 도전성 입자에는 구형 입자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제5항에 있어서,

상기 기둥형 입자는 상단이 피검사 디바이스의 전극과 접촉할 수 있도록 도전부의 상측에 배치되고, 상기 구형 입자는 그 기둥형 입자의 하측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 기둥형 입자는 상하 일렬로 배치되어 각각의 도전부를 구성하는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 절연지지부는 실리콘 고무로 이루어진 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항에 있어서,

상기 절연지지부는 합성수지소재로 이루어진 시트에 구멍이 형성된 형태로 이루어지고, 상기 구멍 내에는 상기 각각의 도전부가 상기 절연지지부의 상면보다 상측으로 돌출되어 배치되고,

상기 도전부의 탄성물질은 고경도의 접착 수지인 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 도전성 입자는 그 상단이 탄성물질보다 상측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓.