KR102195339B1 - 도전성 입자 - Google Patents

도전성 입자 Download PDF

Info

Publication number
KR102195339B1
KR102195339B1 KR1020190153264A KR20190153264A KR102195339B1 KR 102195339 B1 KR102195339 B1 KR 102195339B1 KR 1020190153264 A KR1020190153264 A KR 1020190153264A KR 20190153264 A KR20190153264 A KR 20190153264A KR 102195339 B1 KR102195339 B1 KR 102195339B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive
conductive particles
convex portion
width
shape
Prior art date
Application number
KR1020190153264A
Other languages
English (en)
Inventor
김규선
Original Assignee
김규선
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김규선 filed Critical 김규선
Priority to KR1020190153264A priority Critical patent/KR102195339B1/ko
Priority to PCT/KR2020/016252 priority patent/WO2021107484A1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102195339B1 publication Critical patent/KR102195339B1/ko
Priority to US17/343,223 priority patent/US11373779B2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/0735—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card arranged on a flexible frame or film
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예는 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 도전성 입자을 제공한다.

Description

도전성 입자 {CONDUCTIVE PARTICLE}
본 발명은 도전성 입자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 등의 피검사 디바이스의 제조 공정이 끝나면 피검사 디바이스에 대한 테스트가 필요하다. 즉, 제조가 완료된 반도체 소자 등의 피검사 디바이스는 그 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시하게 된다. 구체적으로는 테스트 장비로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 전달하여 그 피검사 디바이스의 불량여부를 판정하게 된다.
이러한 검사용 소켓은 개별 피검사 디바이스가 정확한 위치로 이동하여 테스트 보드상에 장착된 소켓과 정확하게 반복 접촉시 안정적인 기계적 접촉 능력과 신호 전달시 전기적 접촉점에서의 신호 왜곡이 최소화될 수 있도록 안정적인 전기적 접촉능력이 요구된다.
이때, 테스트 보드와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 검사용 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 검사용 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 반도체 소자의 기술 변화로 이방성을 가지는 탄성시트를 이용한 검사용 소켓이 늘어나고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다.
종래 기술에 따른 검사용 소켓(10)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 기재(11) 중에 다수의 도전성 입자(12)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(12)는 비규칙적인 구형태의 입자로서, 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(13)를 이루며 이러한 도전부(13)가 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 한편, 상기 도전부는 절연지지부(11)에 의하여 절연지지 된다.
이러한 검사용 소켓(10)은 테스트 보드(30)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(13)가 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이 피검사 디바이스(20)가 하강하면 그 피검사 디바이스(20)의 리드(21)가 각각의 도전부(13)와 접촉하면서 그 도전부(13)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(13) 내의 도전성 입자(12)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트 보드(30)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 검사용 소켓(10)를 거쳐 피검사 디바이스(20)로 전달되고, 그 피검사 디바이스에서 오는 반사신호는 반대로 검사용 소켓(10)을 거쳐 테스트 보드(30)로 전달된다.
이러한 검사용 소켓은 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다.
또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트 보드와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.
다만, 이러한 종래 기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 도전성 입자가 구형인 경우 인접한 구형 입자와의 접촉이 점접촉으로 이루어지기 때문에, 안정적인 전기적 접속이 어렵다는 문제점이 있게 된다. 일반적으로 전기적인 접속은 접촉되는 면적이 넓을수록 유리하다. 그러나, 구형으로 이루어진 입자들간의 접촉은 점접촉만이 가능하기 때문에 그 접촉되는 면적이 적어서 저항이 증가되어 손실이 많아지고 이에 따라 안정적인 접속을 하기 어려운 문제점이 있게 된다.
그리고, 도전성 입자가 구형이면, 압축 범위의 한계 때문에 반복적으로 가압되는 경우 탄성물질로부터 쉽게 이탈될 염려가 있게 된다. 즉, 피검사 디바이스의 전극이 수직방향으로 반복하여 수만회 이상 그 도전성 입자와 접촉하게 되는 경우 탄성물질과 도전성 입자의 접촉력이 약해지거나 탄성물질이 찢어져버리는 문제점이 있다. 이와 같이 도전성 입자가 탄성물질로부터 이탈되는 경우에는 전기적 흐름을 전달해주는 구성이 상실되기 때문에 전극과 패드와의 전기적 접속력이 저하되거나 상실하게 되는 것이다. 특히 구형 입자의 경우에는 인접한 탄성물질과의 접촉면적이 적어서 이러한 문제점이 현저하게 나타나게 된다.
또한, 기존의 도전성 입자가 구형인 경우 오랜시간 반복적으로 가압되는 경우 피검사체와 도전부의 접촉 상태, 도전부의 분포 위치에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일이 발생하고 이로 인해 도전부간 저항 편차가 발생하게 될 가능성이 높아지게 된다. 구체적으로, 검사용 소켓은 피검사 디바이스와 접촉하게 되면 탄성물질 특성상 풍선 효과와 같이 압축 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓 내의 도전부들도 위치에 따라 검사용 소켓이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부의 도전성 입자들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 되는 것이다. 도전성 입자가 구형인 경우 저항증가 문제로 인해 도전부의 높이에 한계가 있으며, 이로 인해 압축시 검사용 소켓의 부피 변화가 크게 된다. 즉, 오랜 시간 반복적으로 가압되는 경우 도전부의 형상 변화 가능성이 높아지고, 이에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일로 인해 저항 편차가 발생하게 되는 문제점이 있다.
한국 등록특허공보 제10-1782604호 (2017.09.21)
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 도전성 입자를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 압축시 상측 도전성 입자의 제2 볼록부 하부 표면과 하측 도전성 입자의 제1 볼록부 상부 표면은 면 접촉을 유지하면서 회전하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 도전성 입자가 블록 형상으로 형성되어 수직 방향으로 정렬되는 경우 도전부의 견고성이 향상될 수 있다.
또한, 도전성 입자의 길이가 기존 입자 대비 늘어나 자기력선 인가시 하나의 도전 컬럼 내의 도전성 입자의 개수가 기존 구형 입자의 개수보다 줄어 전체적인 저항이 낮아짐에 따라 검사용 소켓의 전기적 성능이 향상될 수 있다.
그리고, 도전부의 길이를 늘일 수 있어 검사용 소켓의 압축 변형양을 늘일 수 있다. 따라서 전체적인 체적이 증가함에 따라 같은 압력이 가해져도 변형이 적어지고 도전부 간의 동작 균일도가 개선될 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다.
도 2는 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.
도 7의 (a) 및 (b)는 각각 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면 및 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.
도 8의 (a) 및 (b)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면 및 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표를 나타낸다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이고, 도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.
도 2을 참조하여 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항을 Rp 라 하고, 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항을 Rc라 하면, 도전성 입자(110)가 수직 방향으로 정렬되어 형성되는 도전 컬럼(120)의 저항 RL 은 각각의 저항들이 직렬 연결인 바, RL = ΣRp + ΣRc 이 된다.
이때, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항(Rp) 보다 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항(Rc)이 상대적으로 크기 때문에, RL ≒ ΣRc 이 된다. 또한, 도전부 전체 저항(Rtotal)은 N 개의 도전 컬럼(120)이 병렬 연결되어 있는 바, Rtotal ≒ ΣRc / N 이 된다.
즉, 도전성 입자(110)의 크기와 재질이 동일하다고 할 때, 도전부(100)의 저항은 도전 컬럼(120)의 개수와 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)의 개수에 따라 결정된다. 도전 컬럼(120)이 많을수록, 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)가 적을수록 도전부(100)에 낮은 저항이 형성된다.
하지만, 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)의 리드(21)가 작아지면서 도전부(100)의 직경도 작아져 도전 컬럼(120)의 수는 줄어들 수밖에 없다. 또한, 저항을 고려하여 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)를 줄일 경우 탄성구간이 작아져 각각의 도전부(100)와 피검사 장치(20)의 리드(21)와의 접촉압 불균일로 인해 도전부(100)들의 저항 편차가 커지게 되는 문제가 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 도전부(100) 및 절연성 지지부(200)를 포함하여 구성된다.
검사용 소켓(1000)은 소정의 두께를 가지는 시트 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 검사용 소켓(1000)은 면방향으로의 전기적인 흐름은 없고 두께방향으로의 전기적인 흐름만을 가능하도록 구성되어 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 테스트 보드(30)의 패드(31)를 상하방향으로 전기적으로 연결시킨다.
이러한 검사용 소켓(1000)은 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사를 수행하기 위하여 사용되며, 이로써 제조된 피검사 디바이스(20)의 불량여부를 판단하게 된다.
절연성 지지부(200)는 검사용 소켓(1000)의 몸체를 이루며, 후술하는 각 도전부(100)가 접촉 하중을 받을 때 상기 도전부(100)를 지지하고, 서로 인접한 도전부(100) 사이의 전기적 접속을 차단하는 역할을 한다.
더욱 구체적으로, 절연성 지지부(200)는 반도체 소자 등의 피검사 디바이스(20)의 리드(21) 또는 테스트 보드(30)의 패드(31)가 접촉될 경우, 접촉력을 흡수하여 각 도전부(100)를 보호하는 역할을 한다.
절연성 지지부(200)는 가교 구조를 갖는 절연성 고분자 물질로 구성되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 상기 절연성 고분자 물질로는 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등이 사용될 수 있다. 특히, 이중에서 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 실리콘 고무로는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 전단 속도 10-1초에서 105 포어즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기 및 히드록실기를 함유하는 것 중의 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.
도전부(100)는 두께방향으로 연장되어 있어서 두께방향으로 가압되었을 때 압축되면서 두께방향으로 전기적 흐름이 가능하게 하고, 각각의 도전부(100)는 서로 면방향으로 이격되어 배치되어 있다. 상기 도전부(100) 사이에는 절연성을 가지는 절연성 지지부(200)가 배치되어 있어서 도전부(100)들 사이의 전기적 흐름이 차단되게 된다.
도전부(100)는 그 상단이 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 접촉 가능하며 하단은 상기 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉 가능하도록 구성된다. 상기 도전부(100)의 상단과 하단사이에는 다수의 도전성 입자(110)가 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 배향되어 있도록 형성된다. 이러한 다수의 도전성 입자(110)들은 도전부(100)가 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되는 경우 서로 접촉하면서 전기적인 접속을 가능하게 하는 역할을 수행한다.
즉, 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되기 전에는 도전성 입자(110)들이 미세하게 이격되거나 약하게 접촉되어 있으며, 도전부(100)가 가압되어 압축되면 도전성 입자(110)들이 서로 확실하게 접촉됨으로써 전기적 접속을 가능하게 하는 것이다.
구체적으로 그 도전부(100)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(110)가 상하방향으로 밀집되어 배열된 형태를 가지게 되며, 각각의 도전부(100)는 대략적으로 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되는 위치에 배열되어 있게 된다.
이때, 도전부(100)에 자기력선이 작용하면, 각각의 도전성 입자(110)는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬되고, 수직방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)(120)을 형성하게 된다. 즉, 도전부(100)는 다수의 도전 컬럼(120)들이 병렬 배치되는 구조로 구성된다.
한편, 도전성 입자(110)로는 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성 금속의 도금을 실시한 것이 사용될 수 있다.
전술한 바와 같이, 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)는 리드(21) 수는 증가하고, 리드(21) 사이의 피치는 감소하는 방향으로 기술 개발이 진행되고 있으며, 이에 따라 검사용 소켓(1000) 역시 이런 기술 개발 방향에 맞추어 제조되고 있다. 다만, 검사용 소켓(1000)은 리드(21) 피치가 감소할수록 도전부의 직경이 작아지기 때문에 도전입자도 작아질 수밖에 없다. 도전입자가 작아지면 도전부의 컬럼도 줄게 되어 피검사 장치와 접촉시 압력에 위한 탄성 구간이 감소되어 파손이 용이해지고, 도전부(100)간 저항 불균일로 인해 수명이 저하되는 문제가 있다. 또한, 도전부(100) 직경이 작아질수록 도전 컬럼(120)의 숫자가 줄어 저항이 증가하고, 허용전류가 감소하는 등 전기적 성능이 저하되는 문제도 있게 된다.
일 실시예에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 도전성 입자(110)는 블록(block) 형상을 갖도록 구성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께(d)를 갖고, 너비(w) 보다 길이(l)가 큰 블록 형상을 갖도록 구성될 수 있다.
보다 구체적으로, 본 발명의 도전성 입자(110)의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하로 형성될 수 있다. 본 발명의 도전성 입자(110)는 약 2배 내외의 길이비를 가지고 있어 도전 컬럼(120)을 기존보다 대략 30% 내지 50% 이상 늘릴 수 있으면서도, 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)의 개수는 오히려 줄어 낮은 저항을 유지할 수 있게 된다. 즉, 본 발명의 도전성 입자(110)는 전술한 R1의 범위 내에서 도전부(100)의 전기적 특성은 유지시키면서도 도전부(100)의 동작성은 향상시켜 전체적인 검사용 소켓(1000)의 수명을 늘릴 수 있게 된다. R1이 1.2 미만이면 도전 컬럼(120)의 저항을 줄이는 저항 개선 효과가 저조하게 되며, R1이 2.5 초과면 압축시 도전성 입자(120) 사이의 이탈 가능성이 높아지게 된다.
또한, 도전성 입자(110)의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하로 구성될 수 있다. 이 경우, 도전성 입자(110)들이 자기장에 의하여 특정방향으로 용이하게 배열될 수 있게 된다. 즉, 도전성 입자(110)들이 길이 방향 중심축에 대하여 무작위적으로 회전하지 않고 특정한 방향으로 배열되도록 하여 상하 도전성 입자(110)들 간의 선 또는 면 접촉이 보다 용이하게 될 수 있다. R2가 1.1 미만이면 도전성 입자(110)들이 서로 제각각으로 회전하여 특정방향으로의 정렬이 어렵게 될 수 있으며, R2가 5.0 초과면 도전성 입자(110)가 대략 판 형상으로 형성되어 두께방향으로 세워졌을 때 도전부(100)가 견고하지 않을 수 있다.
일 실시예에 따르면, 도전성 입자(110)는 기둥형의 몸체부(111), 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 제1 볼록부(112) 및 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 제2 볼록부(113)를 포함하여 구성될 수 있다.
몸체부(111)는 대략 기둥 형상일 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께를 갖는 사각 기둥 형상일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 다각 기둥 형상이 가능함은 물론이다.
몸체부(111)는 자기장에 의하여 탄성 물질 내에 정렬될 때 각각의 도전부(100)가 두께방향으로 세워질 수 있는 형상과 치수를 가지는 것이 좋으며, 일방향으로 길게 연장된 기둥형태를 가지는 것이 바람직하다.
제1 볼록부(112)는 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 상부 표면을 갖도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 하부 표면을 갖도록 구성될 수 있다.
상단과 하단에 돌기와 홈을 갖는 형태의 도전성 입자의 경우, 서로 요철처럼 결합되는 현상을 추구하게 된다. 그러나, 이 경우 실제 자기력선이 인가되는 경우 돌기 형상 부위에 자기력선의 세기가 커지기 때문에 각각의 도전성 입자의 돌기와 홈이 결합되기보다는 돌기간 연결될 확률이 높아지게 된다. 또한, 표면 형상이 매끄럽지 못해 압력이 높을수록 절연성 지지부와 도전성 입자 간의 접착력이 분리될 가능성이 높게 되어 내구성이 저하될 수 있다. 또한, 표면 형상이 매끄럽지 못해 압력이 높을수록 절연성 지지부와 도전성 입자 간의 접착력이 분리될 가능성이 높게 되어 내구성이 저하될 수 있다.
즉, 본 발명의 도전성 입자(110)의 경우, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)가 돌기나 홈이 형성되지 않고 완만하게 연결되는 표면을 가지고 있어, 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다.
한편, 본 발명의 도전성 입자(110)는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖도록 구성될 수 있으며, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖도록 구성될 수 있다. 이로써, 피검사 장치(20)에 의한 압축시 도전부(100)를 형성하는 각각의 도전성 입자(110)가 균일한 움직임을 보일 수 있으며, 이에 따라 도전부(100) 사이의 동작 균일도가 개선되어 검사용 소켓(1000)의 품질이 균질하게 유지될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 볼록부(112)의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부(111)의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 나아가, 몸체부(111)의 측면(114)은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성될 수 있다. 이로써, 하나의 도전성 입자(110)와 측면에 인접한 다른 도전성 입자(110) 사이에 공간이 형성될 수 있으며, 상기 공간에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자(110)가 도전부(100)로부터 이탈되는 것이 최소화될 수 있다. 즉, 도전부(100)의 견고성이 향상될 수 있다.
한편, 도전성 입자(110)의 측면(114) 상에 복수의 요철이 마련되도록 구성되는 것도 가능하다. 이와 같이 측면(114) 상에 다수의 요철이 마련되어 있게 되면 요철 사이에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자의 이탈을 확실하게 방지할 수 있는 장점이 있게 된다.
도 5를 참조하여 본 발명의 도전성 입자(110)의 다양한 실시예를 살펴보면, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113) 중 적어도 하나는 반원 형상, 삼각 형상, 사각 형상, 사다리꼴 형상 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 이때, 각각의 꼭지점은 완만하게 라운드(round)지도록 형성될 수 있다. 이처럼, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)가 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 형상으로 형성됨에 따라 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 도전입자의 표면적이 커져 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다. 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니고, 돌기와 홈을 형성하지 않는 형상이면 무엇이든 적용될 수 있다.
도 6의 (a)를 참조하여 비슷한 단면적을 갖는 구형 도전성 입자와 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자를 비교하면, 본 발명의 도전성 입자(110)의 경우 도전 컬럼(120)의 개수가 약 1.1 내지 1.2배 늘어나게 된다.
또한, 도 6의 (b)를 참조하면, 구형 도전성 입자 보다 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자의 길이가 2배인 경우, 같은 높이에서 도전성 입자(110) 간의 접촉 부분이 거의 반으로 줄게 되어 도전 컬럼(120)의 저항은 약 1/2이 된다.
즉, 본 발명에 따른 블록 형상의 도전성 입자(110)로 이루어진 도전부(100)의 전체 저항은 구형 도전성 입자로 이루어진 도전부의 저항보다 현저하게 줄어들어 검사용 소켓(1000)의 전체적인 전기적 성능이 향상되는 이점이 있다.
도 7의 (a)는 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 7의 (b)는 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.
도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 검사용 소켓(1000)의 경우 피검사 장치(20)가 상부에서 가압하면 탄성중합체(elastomer)의 특성상 압축을 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓(1000) 내에 있는 도전부(100)들도 위치에 따라 검사용 소켓(1000)이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부(100)의 도전성 입자(110)들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부(100)의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 된다.
이때, 도전부(100)의 품질은 초기 상태에서는 각 도전부(100)들 간의 차이가 크지 않지만 오랜시간 반복 접촉하게 되면 도전부(100) 간의 동작 차이로 인해 저항 편차가 발생하게 된다. 즉, 도전부(100)의 변화가 클수록 도전 컬럼(120)에 손상을 주게 되며, 이로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 감소하게 된다.
도 7의 (b)를 참조하여 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1mm를 갖는 검사용 소켓과 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 각각을 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓의 체적 변화율이 더 작게 된다. 즉, 도전 컬럼의 손상 가능성이 더 낮아 검사용 소켓의 수명이 늘어나게 된다. 다만, 높이를 키우면 전체적인 체적이 증가하여 체적 변화를 줄일 수 있지만 도전 컬럼 내 도전성 입자의 개수가 늘어나 저항이 증가하게 된다.
도 8의 (a)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면이고, 도 8의 (b)는 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표이다.
도 8의 (a)를 참조하면, 일반적으로 검사용 소켓(1000) 압축시 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110) 간 변위각(θ) 임계치는 약 45 도이며, 변위각(θ)이 임계치를 넘어서게 되면 절연성 지지부(200)와 도전성 입자(110) 간의 접착 상태가 분리되면서 도전 컬럼(120)이 붕괴된다. 즉, 도전부(100)의 저항이 증가하게 된다.
도 8의 (a) 및 도 8의 (b)를 참조하여, 종래의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓과, 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 종래의 검사용 소켓 보다 약 2배의 두께를 갖으면서도 하나의 도전 컬럼(120) 내 도전성 입자(110)의 개수는 15개로 종래의 20개인 경우 보다 오히려 더 적게 구성될 수 있다.
또한, 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때 도전성 입자의 변위각(θ)은 38.92° 이고, 종래의 42.54°인 경우 보다 더 작게 형성될 수 있다. 즉, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 기존의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓에 비해 압축 변위량을 늘릴 수 있으며, 압축 변위량이 늘면 동일한 스트로크에서 압축 압력도 줄어들게 된다. 이에 따라 검사용 소켓(1000)의 피로 수명이 증가하여 내구성이 향상될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1000 검사용 소켓
100 도전부
110 도전성 입자
111 몸체부
112 제1 볼록부
113 제2 볼록부
114 몸체부 측면
120 도전 컬럼
200 절연성 지지부
20 피검사 장치
21 리드
30 테스트 보드
31 패드
Rp 도전성 입자의 고유 저항
Rc 도전성 입자 간의 접촉 저항
RL 도전 컬럼의 저항
Rtotal 도전부 전체 저항

Claims (15)

  1. 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서,
    상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되,
    기둥형의 몸체부;
    상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부; 및
    상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하고,
    상기 도전성 입자는 블록(block) 형상으로 형성되며,
    상기 패드의 가압 시 상, 하에 인접한 다른 도전성 입자와 서로의 제1 볼록부 또는 제2 볼록부를 따라 슬라이딩 회전하는 도전성 입자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  3. 제2항에 있어서,
    압축시 상측 도전성 입자의 제2 볼록부 하부 표면과 하측 도전성 입자의 제1 볼록부 상부 표면은 면 접촉을 유지하면서 회전하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
KR1020190153264A 2019-11-26 2019-11-26 도전성 입자 KR102195339B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190153264A KR102195339B1 (ko) 2019-11-26 2019-11-26 도전성 입자
PCT/KR2020/016252 WO2021107484A1 (ko) 2019-11-26 2020-11-18 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓
US17/343,223 US11373779B2 (en) 2019-11-26 2021-06-09 Conductive particles and test socket having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190153264A KR102195339B1 (ko) 2019-11-26 2019-11-26 도전성 입자

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102195339B1 true KR102195339B1 (ko) 2020-12-24

Family

ID=74087345

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190153264A KR102195339B1 (ko) 2019-11-26 2019-11-26 도전성 입자

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102195339B1 (ko)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050027251A (ko) * 2002-08-09 2005-03-18 제이에스알 가부시끼가이샤 이방 도전성 커넥터 및 도전성 페이스트 조성물, 프로우브부재 및 웨이퍼 검사 장치 및 웨이퍼 검사 방법
KR20090071312A (ko) * 2007-12-27 2009-07-01 주식회사 아이에스시테크놀러지 판형 도전입자를 포함한 실리콘 콘택터
KR20100052956A (ko) * 2008-11-11 2010-05-20 이재학 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓
KR20170005950A (ko) * 2015-07-06 2017-01-17 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전 필름 및 그 제조방법
KR101739536B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-24 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101739537B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-25 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101769882B1 (ko) * 2016-02-15 2017-09-05 (주)티에스이 검사용 소켓
KR101782604B1 (ko) 2016-02-02 2017-09-27 (주)티에스이 검사용 소켓
KR20170127319A (ko) * 2016-05-11 2017-11-21 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101901982B1 (ko) * 2017-07-19 2018-09-27 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050027251A (ko) * 2002-08-09 2005-03-18 제이에스알 가부시끼가이샤 이방 도전성 커넥터 및 도전성 페이스트 조성물, 프로우브부재 및 웨이퍼 검사 장치 및 웨이퍼 검사 방법
KR20090071312A (ko) * 2007-12-27 2009-07-01 주식회사 아이에스시테크놀러지 판형 도전입자를 포함한 실리콘 콘택터
KR20100052956A (ko) * 2008-11-11 2010-05-20 이재학 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓
KR20170005950A (ko) * 2015-07-06 2017-01-17 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전 필름 및 그 제조방법
KR101782604B1 (ko) 2016-02-02 2017-09-27 (주)티에스이 검사용 소켓
KR101769882B1 (ko) * 2016-02-15 2017-09-05 (주)티에스이 검사용 소켓
KR101739536B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-24 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101739537B1 (ko) * 2016-05-11 2017-05-25 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR20170127319A (ko) * 2016-05-11 2017-11-21 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101901982B1 (ko) * 2017-07-19 2018-09-27 주식회사 아이에스시 검사용 소켓 및 도전성 입자

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101706331B1 (ko) 검사용 소켓
KR101739536B1 (ko) 검사용 소켓 및 도전성 입자
KR101019721B1 (ko) 기둥형 입자를 가지는 테스트 소켓
CN108780116B (zh) 测试插座以及导电颗粒
CN108780115B (zh) 测试插座以及导电颗粒
KR102002694B1 (ko) 전도성 접촉부 및 이를 포함하는 이방 전도성 시트
JP2016505155A (ja) 高密度導電部を有するテスト用ソケット
KR101976701B1 (ko) 이방 도전성 시트
KR101973609B1 (ko) 정형 및 비정형의 도전성 입자가 혼재된 도전부를 구비하는 반도체 검사용 러버소켓
KR101614472B1 (ko) 검사용 커넥터
KR102204910B1 (ko) 검사용 소켓
KR101173191B1 (ko) 테스트 소켓
KR102195339B1 (ko) 도전성 입자
KR101920855B1 (ko) 검사용 소켓
US9831589B2 (en) Compressible pin assembly having frictionlessly connected contact elements
KR102173427B1 (ko) 이방 전도성 시트
CN113030532A (zh) 用于检查的探针装置
US11693027B2 (en) Conductive particle and testing socket comprising the same
KR102004501B1 (ko) 이방 전도성 시트
KR102094618B1 (ko) 마이크로 접촉 핀
US11373779B2 (en) Conductive particles and test socket having the same
KR102388678B1 (ko) 검사용 소켓
KR102032652B1 (ko) 스프링을 구비한 이방 전도성 시트
KR101580549B1 (ko) 이방 도전성 커넥터, 그의 제조 방법 및 장치
KR20240027662A (ko) 도전성 입자 및 이를 포함하는 검사용 소켓

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant