WO2007007869A1 - 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 - Google Patents

Description

明 細 書

電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および 測定方法

技術分野

[0001] 本発明は、電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置およ び測定方法に関する。

背景技術

[0002] 近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に 伴って、 BGAや CSPなどの LSIパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装 置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求 されている。そのため、このような回路基板の電気的検查においては、その電極間に おける配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。

従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図 30に示すように、被検 查回路基板 90の互いに電気的に接続された 2つの被検査電極 91 , 92の各々に対 し、電流供給用プローブ PA, PDおよび電圧測定用プローブ PB, PCを押圧して接 触させ、この状態で、電流供給用プローブ PA, PDの間に電源装置 93から電流を供 給し、このときに電圧測定用プローブ PB, PCによって検出される電圧信号を電気信 号処理装置 94において処理することにより、当該被検査電極 91 , 92間の電気抵抗 の大きさを求める四端子法が採用されている。

[0003] しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブ PA, PDおよび電圧測 定用プローブ PB, PCを被検査電極 91 , 92に対して相当に大きい押圧力で接触さ せることが必要であり、し力も当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とさ れているため、プローブが押圧されることによって被検査電極 91 , 92の表面が損傷 してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事 情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができ ず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくする ことはできない。 [0004] このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電 性エラストマ一により構成された電気抵抗測定装置が提案されている。

例えば、（i)特許文献 1には、エラストマ一により導電性粒子が結着された導電ゴム よりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置 してなる電気抵抗測定装置が開示され、（ii)特許文献 2には、同一の被検査電極に 電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接する よう設けられた、異方導電性エラストマ一よりなる共通の弾性接続用部材を有する電 気抵抗測定装置が開示され、 （m )特許文献 3には、表面に複数の検査電極が形成 された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラスト マーよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査 電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち 2つを選択し、その一 方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵 抗測定装置が開示されている。

このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾 性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることに よって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗 の測定を行うことができる。

[0005] しかしながら、上記 (i)および上記 (ii)の構成の電気抵抗測定装置によって、電極 間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。

近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチも しくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記 (i)および上記 (Π)の構成の 電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被 検查電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電 極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検查 電極が高密度で配置された被検查回路基板についての電気抵抗の測定を行うため の電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検查電極の各々に対応して、当 該被検查電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに 離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被 検查電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて 小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。

また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料 によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で 、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検查を一括して行い 、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造 する方法が採用されている。

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きぐまた、被検 查電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その 製造プロセスにおける工程数が多ぐ加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いた め、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なく なレ、。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の 配置位置力 位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記 (i)お よび上記 (ii)の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、 被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電 気的に接続させることは極めて困難である。

具体的な一例を挙げて説明すると、図 31に示すように、直径 Lが 300 / mの被検 查電極 Tに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検查電極 Tに電気的に接続 される電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vの離間距離 Dは 150 μ m程度で ある力 図 32 (a)および (b)に示すように、被検查回路基板の位置合わせにおいて、 電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vに対する被検查電極 Tの位置が、図 31 に示す所期の位置から電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vが並ぶ方向に 7 5 μ mずれたときには、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vのいずれか一方 と被検查電極 Tとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことがで きない。

このような問題を解決する手段として、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 V の離間距離 Dを小さくする、例えば 100 z m以下にすることが考えられる力 そのよう な電気抵抗測定装置を作製することは、実際上極めて困難である。 [0007] 一方、上記 (iii )の電気抵抗測定装置によれば、被検查電極の各々に対応して、電 流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を 測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さい サイズの被検查電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検查回路基 板との位置ずれに対する許容度が大きぐまた、当該電気抵抗測定装置の作製が容 易である。

し力 ながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装 置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗 の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である

[0008] このような問題を解決するため、絶縁性基板の表面に、コア電極およびこのコア電 極を包囲するよう設けられたリング状電極よりなる複数の接続電極対が形成されてな る電気抵抗測定用コネクターが提案されている（特許文献 4参照。）。

このような電気抵抗測定用コネクターによれば、電気抵抗を測定すべき回路基板に おける被検査電極上に、コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをす れば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになる 。従って、回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであ つても、被検查電極に対するコア電極およびリング状電極の両方の電気的接続が確 実に達成されるので、コア電極およびリング状電極のいずれか一方を電流供給用電 極とし、他方を電圧測定用電極として使用することにより、回路基板の電気抵抗の測 定を高い精度で確実に行うことができる。

し力 ながら、上記の電気抵抗測定用コネクタ一は、全体の構造が複雑で高い歩 留りで製造することが困難である、という問題がある。

[0009] 特許文献 1 :特開平 9一 26446号公報

特許文献 2：特開 2000— 74965号公報

特許文献 3：特開 2000— 241485号公報

特許文献 4 :特開 2003— 322665号公報

発明の開示 [0010] 本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第 1の目的は、 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検 查電極を有するものであっても、当該被検查回路基板に対する所要の電気的接続を 確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行う ことができ、更に、小さいコストで製造することが可能な電気抵抗測定用コネクターを 提供することにある。

本発明の第 2の目的は、上記の電気抵抗測定用コネクターを使用した回路基板の 電気抵抗測定装置および電気抵抗測定方法を提供することにある。

[0011] 本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、第 1の電極シートと、この第 1の電極シート の裏面に配置された異方導電性エラストマ一シートと、この異方導電性エラストマ一 シートの裏面に配置された第 2の電極シートとを有してなり、

前記第 1の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極の ノ ターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁 性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形 成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状 電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、

前記異方導電性エラストマ一シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパタ ーンに従って形成された複数の貫通孔を有し、

前記第 2の電極シートは、前記被検查電極のパターンに対応するパターンに従つ て配置された複数の検查用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極の ノ ターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの 検查用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有し てなり、

前記検查用コア電極は、前記異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および前記 第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記被検查電極に電気 的に接続されることを特徴とする。

[0012] また、本発明の電気抵抗測定用コネクタ一は、第 1の電極シートと、この第 1の電極 シートの表面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シートと、前記第 1の電極 シートの裏面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シートと、この第 2の異方導 電性エラストマ一シートの裏面に配置された第 2の電極シートとを有してなり、 前記第 1の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検查電極の ノ ターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁 性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形 成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状 電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、

前記第 2の異方導電性エラストマ一シートは、前記被検査電極のパターンに対応す るパターンに従って形成された複数の貫通孔を有し、

前記第 2の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従つ て配置された複数の検査用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極の ノ ターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの 検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有し てなり、

前記検査用コア電極は、前記第 2の異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および 前記第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記第 1の異方導 電性エラストマ一シートを介して前記被検査電極に電気的に接続されることを特徴と する。

[0013] 本発明の電気抵抗測定用コネクターにおいては、第 2の電極シートにおける検查 用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に 設けられていることが好ましい。

[0014] 本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基 板の一面側に配置される、上記の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、 被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネ クタ一における第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検查用コ ァ電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、

この測定可能状態において、指定された 1つの一面側被検查電極に電気的に接続 された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、 他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの一面側被検査 電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする。

[0015] 本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、被検查回路基板の他面側に 配置される他面側検查用回路基板を具えてなり、

前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面 側被検查電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面 側被検查電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形 成されてレ、ることが好ましレ、。

[0016] 本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基 板の一面に、上記の電気抵抗測定用コネクターを配置し、

当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネク ターにおける第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検査用コア 電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、

この測定可能状態において、指定された 1つの一面側被検査電極に電気的に接続 された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、 他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの一面側被検査 電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする。

[0017] 上記の構成の電気抵抗測定用コネクターによれば、第 1の電極シートにおける絶縁 性シートには、第 2の電極シートにおける検查用コア電極が進入する貫通孔が形成さ れ、この貫通孔の周囲には、当該貫通孔を包囲するようリング状電極が形成されてい るため、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検查電極上に、検查用コア電極 の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検查電極上にはリン グ状電極の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、回路基板が大面積でサイ ズの小さレ、多数の被検查電極を有するものであっても、被検查電極に対する検查用 コア電極およびリング状電極の両方の電気的接続を確実に達成することができる。し かも、検查用コア電極およびング状電極は互いに電気的に独立したものであるため、 被検查電極に電気的に接続された検查用コア電極およびリング状電極のうち、一方 を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該回路基 板にっレ、ての電気抵抗を高レ、精度で測定することができる。

また、第 1の電極シートおよび第 2の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため 、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することが可能である。従って 、回路基板の電気抵抗測定において、検查コストの低減化を図ることができる。 図面の簡単な説明

[図 1]本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断 面図である。

[図 2]図 1に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートの要部を拡大 して示す平面図である。

[図 3]図 1に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートの要部を拡大 して示す説明用断面図である。

[図 4]第 1の電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。

[図 5]積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 6]積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を 示す説明用断面図である。

[図 7]積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状 態を示す説明用断面図である。

[図 8]第 1の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面図であ る。

[図 9]第 1の異方導電性エラストマ一シートを製造するための一面側成形部材、他面 側成形部材およびスぺーサーを示す説明用断面図である。

[図 10]他面側成形部材の表面に導電性エラストマ一用材料が塗布された状態を示 す説明用断面図である。

[図 11]一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマ一用材料層が 形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 12]図 11に示す導電性エラストマ一用材料層を拡大して示す説明用断面図であ る。

[図 13]図 11に示す導電性エラストマ一用材料層に対して厚み方向に磁場を作用さ せた状態を示す説明用断面図である。

園 14]第 2の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面図で ある。

園 15]第 2の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。

園 16]第 2の電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図であ る。

園 17]積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図であ る。

園 18]積層材料における絶縁性支持シートに貫通孔が形成された状態を示す説明 用断面図である。

園 19]複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。

園 20]複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。 園 21]複合積層材料における絶縁性支持シートの貫通孔に検査用コア電極および 接続用コア電極が形成された状態を示す説明用断面図である。

園 22]複合積層材料力 レジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。 園 23]本発明に係る電気抵抗測定用コネクターが被検査回路基板の一面に配置さ れた状態を示す説明用断面図である。

園 24]電気抵抗測定用コネクターが押圧された状態を示す説明用断面図である。

[図 25]被検査電極と接続電極対との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図であ る。

[図 26]被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。

園 27]本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、 被検查回路基板と共に示す説明図である。

園 28]図 27に示す回路基板の電気抵抗測定装置において、被検查回路基板の一 面側被検查電極が検查電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説 明用断面図である。

園 29]第 1の電極シートにおけるリング状電極の変形例を示す平面図である。

園 30]電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電 極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。

[図 31]従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給 用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。

[図 32]従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給 用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図 である。

符号の説明

1 電気抵抗測定用コネクター

2 ホノレダー

3 位置決めピン

5 被検査回路基板

6 一面側被検查電極

7 他面側被検查電極

8a, 8b 回路

10 第 1の電極シート

10A 積層材料

10H 貫通孔

11 絶縁性シート

12 貫通孔

13 リング状電極

14 中継電極

15 短絡部

16 配線部

16A 金属層

17 第 1の異方導電性エラストマ一シート

17A 導電性エラストマ一用材料層

17B 導電性エラストマ一用材料

18 第 2の異方導電性エラストマ一シート 貫通孔

第 2の電極シートA 複合積層材料

B 積層材料

絶縁性支持シート 貫通孔

A 金属層

B 金属薄層

K 開口

レジスト膜

K パターン孔

検査用コア電極a 胴部

b 端子部

接続用コア電極a 胴部

b 端子部

一面側成形部材 他面側成形部材 スぺーサ一

K 開口

加圧ロール

支持ローノレ

加圧ロール装置 電気抵抗測定用コネクター 検査用回路基板a 電流供給用電極b 電圧測定用電極 43 端子電極

45 異方導電性エラストマ一層

46 導電路形成部

47 絶縁部

50a 上部側検查ヘッド

50b 下部側検查ヘッド

51a, 51b 検查電極装置

52a, 52b 電極ピン

53a, 53b 電線

54a, 54b 支柱

55a, 55b 異方導電性シート

56a 上部側支持板

56b 下部側支持板

57a, 57b コネクター

90 被検査回路基板

91, 92 被検査電極

93 電源装置

94 電気信号処理装置

PA, PD 電流供給用プローブ

PB, PC 電圧測定用プローブ

A 電流供給用電極

V 電圧測定用電極

T 被検查電極

P 導電性粒子

z 切り込み

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する, 〈電気抵抗測定用コネクター〉 図 1は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明 用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター 1は、回路基板における電極間の 電気抵抗を測定するために用いられるものであって、第 1の電極シート 10と、この第 1 の電極シート 10の表面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 17と、第 1 の電極シート 10の裏面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 18と、この 第 2の異方導電性エラストマ一シート 18の裏面に配置された第 2の電極シート 20とに より構成されている。

[0021] 図 2は、第 1の電極シート 10の要部を拡大して示す平面図であり、図 3は、第 1の電 極シート 10の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 1の電極シート 10は 、電気抵抗を測定すべき回路基板 (以下、「被検査回路基板」という。）における被検 查電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔_{1 2}が形成された柔軟 な絶縁性シート 11を有する。この絶縁性シート 11の表面には、当該絶縁性シート 11 の貫通孔 12の各々を包囲するよう複数のリング状電極 13が形成されている。また、 絶縁性シート 11の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極 14が形成さ れている。図示の例では、中継電極 14の各々は、絶縁性シート 11の貫通孔 12の間 の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極 14の各々は、絶縁性シート 11をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部 15および絶縁性シート 11の表面に形 成された配線部 16を介して、リング状電極 13に電気的に接続されている。

[0022] 絶縁性シート 11を構成する材料としては、高い機械的強度を有する樹脂材料を用 レ、ることが好ましぐその具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。 また、リング状電極 13、中継電極 14、短絡部 15および配線部 16を構成する材料と しては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。 絶縁性シート 11の厚みは、当該絶縁性シート 11が柔軟性を有するものであれば特 に限定されないが、例えば 5〜50 z mであることが好ましぐより好ましくは 8〜30 μ mである。

絶縁性シート 11の貫通孔 12の径は、後述する第 2の電極シート 20の検查用コア電 極 25が移動可能に揷入される得る大きさであればよぐ例えば検查用コア電極 25の 径の 1. 05〜2倍、好ましくは 1. 1〜： L 7倍である。 リング状電極 13の内径は、当該リング状電極 13に電気的に接続される被検查電極 の径に応じて設定され、被検查電極に対する電気的接続を確実に達成することがで きる点で、被検查電極の径の 50〜： 110%であることが好ましぐより好ましくは 70〜1 00%である。

また、リング状電極 13の内径は、後述する第 2電極シート 20における検查用コア電 極 25との絶縁性を確保する観点から、検查用コア電極 25の径の 1.：!〜 2倍であるこ と力 S好ましく、より好ましくは 1. 2〜： 1. 7倍である。

[0023] このような第 1の電極シート 10は、例えば以下のようにして製造することができる。

先ず、図 4に示すように、絶縁性シート 11の表面に金属層 16Aが形成されてなる積 層材料 10Aを用意し、この積層材料 10Aに、図 5に示すように、絶縁性シート 11およ び金属層 16Aの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔 10Hを、形成すべき 第 1の電極シート 10の短絡部 15のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔 10H が形成された積層材料 10Aに対してフォトリソグラフィーおよびメツキ処理を施すこと により、図 6に示すように、絶縁性シート 11の裏面に中継電極 14を形成すると共に、 当該中継電極 14と金属層 16Aとを電気的に接続する、当該絶縁性シート 11の厚み 方向に伸びる短絡部 15を形成する。その後、金属層 16に対してフォトリソグラフィー およびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図 7に示すように、絶 縁性シート 11の表面にリング状電極 13および配線部 16を形成する。そして、リング 状電極 13をマスクとして絶縁性シート 11にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁 性シート 11に貫通孔 12を形成し、以て第 1の電極シート 10が得られる。

[0024] 図 8は、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17の一部を拡大して示す説明用断面 図である。この第 1の異方導電性エラストマ一シート 17は、絶縁性の弾性高分子物質 中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された 状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されて なるものである。 第 1の異方導電性エラストマ一シート 17を形成する弾性高分子物 質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を 得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを 用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレン ゴム、スチレン一ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル一ブタジエン共重合体ゴ ムなどの共役ジェン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン一ブタジエン一ジェ ンブロック共重合体ゴム、スチレン一イソプレンブロック共重合体などのブロック共重 合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロ口プレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム 、ェピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン一プロピレン共重合体ゴム、ェチレ ン一プロピレン一ジェン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、 成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。 シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。 液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度 10— ecで 10⁵ポアズ以下のものが好ましく 、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基ゃヒドロキシル基を含有するものなどのいず れであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生 ゴム、メチルフエ二ルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

また、シリコーンゴムは、その分子量 Mw (標準ポリスチレン換算重量平均分子量を いう。以下同じ。）が 10, 000〜40, 000のものであることが好ましい。また、得られる 異方導電性エラストマ一シートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数 (標準ポリスチレン換算重量平均分子量 Mwと標準ポリスチレン換算数平均分子量 Mnとの比 Mw/Mnの値をいう。以下同じ。）が 2以下のものが好ましい。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 17に含有される導電性粒子 Pとしては、後述 する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることか ら、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、 鉄、コバルト、ニッケノレなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子 またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子 の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメツキを施したも の、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマ 一粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金 属のメツキを施したものなどが挙げられる。

これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッ キを施したものを用いることが好ましい。 芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではな レ、が、例えば化学メツキまたは電解メツキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いら れている。

[0026] 導電性粒子 Pとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場 合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（ 芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が 40%以上であることが 好ましぐさらに好ましくは 45%以上、特に好ましくは 47〜95%である。

また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の 0. 5〜50質量％であることが好ましぐよ り好ましくは 2〜30質量％、さらに好ましくは 3〜25質量％、特に好ましくは 4〜20質 量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の 0. 5〜30質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜20質量％、さらに好ましくは 3〜： 15質量％である。

[0027] また、導電性粒子 Pの数平均粒子径は、 3〜20 μ mであることが好ましぐより好ま しくは 5〜： 15 / mである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造 方法において、導電性粒子 Pを厚み方向に配向させることが困難となることがある。 一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラスト マーシートを得ることが困難となることがある。

また、導電性粒子 Pの粒子径分布（DwZDn)は、 1〜： 10であることが好ましぐより 好ましくは 1. 01〜7、さらに好ましくは 1. 05〜5、特に好ましくは 1.：!〜 4である。 また、導電性粒子 Pの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材 料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれ らが凝集した 2次粒子であることが好ましレ、。

また、導電性粒子 Pとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や 潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子 表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマ一シートの耐久性が向上 する。

[0028] このような導電性粒子 Pは、異方導電性エラストマ一シート中に体積分率で 10〜40 %、特に 15〜35%となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小であ る場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマ一シート が得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電 性エラストーシートは脆弱なものとなりやす 異方導電性エラストマ一シートとして必 要な弾性が得られなレ、こと力 Sある。

[0029] また、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17の厚みは、 10〜100 z mであること が好ましぐより好ましくは 15〜70 x mである。この厚みが過小である場合には、十 分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高 レ、分解能が得られなレ、ことがある。

[0030] 第 1の異方導電性エラストマ一シート 17は、以下のようにして製造することができる 先ず、図 9に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材 30および他面側成 形部材 31と、 目的とする第 1の異方導電性エラストマ一シート 17の平面形状に適合 する形状の開口 32Kを有すると共に当該第 1の異方導電性エラストマ一シート 17の 厚みに対応する厚みを有する枠状のスぺーサー 32とを用意すると共に、硬化されて 弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてな る導電性エラストマ一用材料を調製する。

そして、図 10に示すように、他面側成形部材 31の成形面（図 10において上面）上 にスぺーサー 32を配置し、他面側成形部材 31の成形面上におけるスぺーサー 32 の開口 32K内に、調製した導電性エラストマ一用材料 17Bを塗布し、その後、この導 電性エラストマ一用材料 17B上に一面側成形部材 30をその成形面（図 10において 下面）が導電性エラストマ一用材料 17Bに接するよう配置する。

以上において、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31としては、ポリイミド 樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。 また、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31を構成する樹脂シートの厚み は、 50〜500 111でぁることカ 子ましく、より好ましくは 75〜300 x mである。この厚 みが 50 μ m未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがあ る。一方、この厚みが 500 z mを超える場合には、後述する導電性エラストマ一用材 料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。 [0031] 次いで、図 11に示すように、加圧ロール 33および支持ロール 34よりなる加圧ロー ル装置 35を用い、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31によって導電性ェ ラストマー用材料 17Bを挟圧することにより、当該一面側成形部材 30と当該他面側 成形部材 31との間に、所要の厚みの導電性エラストマ一用材料層 17Aを形成する。 この導電性エラストマ一用材料層 17Aにおいては、図 12に拡大して示すように、導 電性粒子 Pが均一に分散した状態で含有されている。

その後、一面側成形部材 30の裏面および他面側成形部材 31の裏面に、例えば一 対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマ一用材 料層 17Aの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマ一用材 料層 17Aにおレ、ては、当該導電性エラストマ一用材料層 17A中に分散されてレ、る導 電性粒子 Pが、図 13に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方 向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子 Pに よる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。

そして、この状態において、導電性エラストマ一用材料層 17Aを硬化処理すること により、弾性高分子物質中に、導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、 力つ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第 1の異方導電性エラストマ一シート 17が製造される。

[0032] 以上において、導電性エラストマ一用材料層 17Aの硬化処理は、平行磁場を作用 させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うことも できる。

導電性エラストマ一用材料層 17Aに作用される平行磁場の強度は、平均で 0. 02 〜2. 5テスラとなる大きさが好ましい。

導電性エラストマ一用材料層 17Aの硬化処理は、使用される材料によって適宜選 定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間 は、導電性エラストマ一用材料層 17Aを構成する高分子物質用材料などの種類、導 電性粒子 Pの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

[0033] 図 14は、第 2の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面 図である。この第 2の異方導電性エラストマ一シート 18は、絶縁性の弾性高分子物質 中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された 状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されて なるものであり、それぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔 19が形成されているこ とを除き、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17と基本的に同様の構成である。第 2 の異方異方導電性エラストマ一シート 18の貫通孔 19は、被検查回路基板における 被検查電極のパターンに対応するパターンに従って形成されている。

第 2の異方導電性エラストマ一シート 18の貫通孔 19の径は、後述する第 2の電極 シート 20の検査用コア電極 25が移動可能に挿入される得る大きさであればよぐ例 えば検査用コア電極 25の径の 1.：!〜 2倍、好ましくは 1. 2〜： 1. 7倍である。

このような第 2の異方導電性エラストマ一シート 18は、第 1の異方導電性エラストマ 一シート 17と同様の方法によって異方導電性エラストマ一シートを製造し、その後、 当該異方導電性エラストマ一シートに、例えばレーザー加工を施すことによって貫通 孔 19を形成することにより、得られる。

図 15は、第 2の電極シート 20の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 2 の電極シート 20は、被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパターン に従って配置された複数の検査用コア電極 25と、第 1の電極シート 10における中継 電極 14のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極 2 6と、検查用コア電極 25および接続用コア電極 26の各々を支持する絶縁性支持シ ート 21とにより構成されている。具体的には、絶縁性支持シート 21には、それぞれ厚 み方向に伸びる複数の貫通孔 22が、被検查回路基板の被検查電極のパターンに 対応するパターンおよび第 1の電極シート 10における中継電極 14のパターンに対応 するパターンに従って形成されており、この絶縁性支持シート 21の各貫通孔 22に、 検查用コア電極 25および接続用コァ電極 26の各々が当該絶縁性支持シート 21の 両面の各々から突出するよう配置されている。

検查用コア電極 25の各々は、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22に揷通された円柱 状の胴部 25aと、この胴部 25aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁 性支持シート 21の表面に露出する端子部 25bとにより構成されている。検查用コア 電極 25における胴部 25aの長さは、絶縁性支持シート 21の厚みより大きぐまた、当 該胴部 25aの径は、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の径より小さいものとされてお り、これにより、当該検查用コア電極 25は、絶縁性支持シート 21の厚み方向に移動 可能とされている。また、検查用コア電極 25における端子部 25bの径は、絶縁性支 持シート 21の貫通孔 22の径より大きレ、ものとされている。

接続用コア電極 26の各々は、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22に揷通された円柱 状の胴部 26aと、この胴部 26aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁 性支持シート 21の表面に露出する端子部 26bとにより構成されている。接続用コア 電極 26における胴部 26aの長さは、絶縁性支持シート 21の厚みより大きぐまた、当 該月同部 26aの径は、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の径より小さいものとされてお り、これにより、当該接続用コア電極 26は、絶縁性支持シート 21の厚み方向に移動 可能とされている。また、接続用コア電極 26における端子部 26bの径は、絶縁性支 持シート 21の貫通孔 22の径より大きレ、ものとされている。

[0035] 絶縁性支持シート 21を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエ ステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型ェポ キシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の 繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料 をフイラ一として含有した複合樹脂材料などを用いることができる。

また、絶縁性支持シート 21の厚みは、 10〜200 z mであることが好ましぐより好ま しくは 15〜： 100 z mである。

また、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の径は、 20〜80 111でぁることカ 子ましく、 より好ましくは 30〜60 μ mである。

[0036] 検查用コア電極 25および接続用コア電極 26を構成する材料としては、剛性を有す る金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において、絶縁性 支持シート 21に形成される金属薄層よりエッチングされにくいものを用いることが好ま しレ、。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムな どの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。

検查用コア電極 25および接続用コア電極 26の各々における月同部 25a, 26aの径 r 2は、 18 /i m以上であることが好ましぐより好ましくは 25 μ ΐη以上である。この径が 過小である場合には、検查用コア電極 25および接続用コア電極 26に必要な強度が 得られないことがある。また、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の径と検查用コア電 極 25および接続用コア電極 26の各々における胴部 25a, 26aの径との差は、 Ι μ τη 以上であることが好ましぐより好ましくは 2 z m以上である。この差が過小である場合 には、絶縁性支持シート 21の厚み方向に対して検查用コア電極 25および接続用コ ァ電極 26を移動させることが困難となることがある。

検查用コア電極 25および接続用コア電極 26の各々における端子部 25b, 26bの 径は、被検査電極の径の 70〜150%であることが好ましレ、。また、検査用コア電極 2 5および接続用コア電極 26の各々における端子部 25b, 26bの径と絶縁性支持シー ト 21の貫通孔 22の径との差は、 5 /i m以上であることが好ましぐより好ましくは 10 μ m以上である。この差が過小である場合には、検査用コア電極 25および接続用コア 電極 26が絶縁性支持シート 21から脱落する恐れがある。

絶縁性支持シート 21の厚み方向における検査用コア電極 25および接続用コア電 極 26の各々の移動可能距離、すなわち検査用コア電極 25および接続用コア電極 2 6の各々における胴部 25a, 26aの長さと絶縁性支持シート 21の厚みとの差は、 5〜 50 μ ΐηであることが好ましく、より好ましくは 8〜40 x mである。これらの移動可能距 離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一 方、これらの移動可能距離が過大である場合には、絶縁性支持シート 21の貫通孔 2 2から露出する検查用コア電極 25の胴部 25aおよび接続用コア電極 26の胴部 26a の長さが大きくなり、検査に使用したときに、検查用コア電極 25の胴部 25aおよび接 続用コア電極 26の胴部 26aが座屈または損傷するおそれがある。

上記の第 2の電極シート 20は、例えば以下のようにして製造することができる。 先ず、図 16に示すように、絶縁性支持シート 21の一面に易エッチング性の金属層 23Aがー体的に積層されてなる積層材料 20Bを用意し、この積層材料 20Bにおける 金属層 23Aに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図 17に 示すように、金属層 23Aに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って 複数の開口 23Kを形成する。次いで、図 18に示すように、積層材料 20Bにおける絶 縁性支持シート 21に、それぞれ金属層 23Aの開口 23Kに連通して厚み方向に伸び る貫通孔 22を形成する。そして、図 19に示すように、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の内壁面および金属層 23Aの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄 層 23Bを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 22が 形成された絶縁性支持シート 21と、この絶縁性支持シート 21の一面に積層された、 それぞれ絶縁性支持シート 21の貫通孔 22に連通する複数の開口 23Kを有する易 エッチング性の金属層 23Aと、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の内壁面および金 属層 23Aの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層 23Bとを有してな る複合積層材料 20Aが製造される。

以上において、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22を形成する方法としては、レーザ 一加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。

金属層 23Aおよび金属薄層 23Bを構成する易エッチング性の金属材料としては、 銅、ニッケノレなどを用いることができる。

また、金属層 23Aの厚みは、 目的とする検査用コア電極 25および接続用コア電極 26の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、 5〜50 / mであることが 好ましぐより好ましくは 8〜40 /i mである。

また、金属薄層 23Bの厚みは、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22の径と形成すベ き検査用コア電極 25および接続用コア電極 26の各々における胴部 25a, 26aの径と を考慮して設定される。

また、金属薄層 23Bを形成する方法としては、無電解メツキ法などを利用することが できる。

そして、この複合積層材料 20Aに対してフォトメツキ処理を施すことにより、絶縁性 支持シート 21の貫通孔 22の各々に検查用コア電極 25および接続用コア電極 26を 形成する。具体的に説明すると、図 20に示すように、絶縁性支持シート 21の一面に 形成された金属層 23Aの表面および絶縁性支持シート 21の他面の各々に、形成す べき検查用コア電極 25および接続用コア電極 26における端子部 25b, 26bのパタ ーンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性支持シート 21の貫通孔 22に連通 する複数のパターン孔 24Kが形成されたレジスト膜 24を形成する。次いで、金属層 2 3 Aを共通電極として電解メツキ処理を施して当該金属層 23Aにおける露出した部分 および金属薄層 23Bの表面に金属を堆積させ、絶縁性支持シート 21の貫通孔 22内 およびレジスト膜 24のパターン孔 24K内に金属を充填することにより、図 21に示すよ うに、それぞれ絶縁性支持シート 21の厚み方向に伸びる検查用コア電極 25および 接続用コア電極 26を形成する。

このようにして検查用コア電極 25および接続用コア電極 26を形成した後、金属層 2 3Aの表面からレジスト膜 24を除去することにより、図 22に示すように、金属層 23Aを 露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層 23Aを除去することにより、第 2 の電極シート 20が得られる。

上記の電気抵抗測定用コネクター 1においては、図 23に示すように、被検査回路 基板 5の一面に、電気抵抗測定用コネクター 1における各検査用コア電極 25が当該 被検査回路基板 5の各一面側被検査電極 6上に位置するよう配置され、更に、適宜 の手段によって電気抵抗測定用コネクター 1が押圧される。そして、この状態におい ては、図 24に示すように、第 1の電極シート 10におけるリング状電極 13の各々は、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17を介して、被検査回路基板 5の一面側被検査 電極 2の各々に電気的に接続される。また、第 2の電極シート 20における検査用コア 電極 25の各々は、第 2の異方導電性エラストマ一シート 18の貫通孔 19および第 1の 電極シート 10の貫通孔 12に進入し、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17を介し て、被検查回路基板 5の一面側被検查電極 2の各々に電気的に接続される。また、 第 2の電極シート 20の接続用コア電極 26の各々は、第 2の異方導電性エラストマ一 シート 18を介して、第 1の電極シート 10における中継電極 14に電気的に接続される このとき、第 1の電極シート 10におけるリング状電極 13は、絶縁性シート 11の貫通 孔 12を包囲するよう形成されているため、図 25に示すように、絶縁性シート 11の貫 通孔 12に進入する検查用コア電極 25の中心位置が一面側被検查電極 6の中心位 置力も位置ずれした場合であっても、一面側被検查電極 2に検查用コア電極 25が電 気的に接続されていれば、リング状電極 13も必ず一面側被検查電極 6に電気的に 接続される。

このような状態において、被検査回路基板 5における複数の一面側被検査電極 6の うち 1つの一面側被検查電極 6を指定し、この指定された一面側被検查電極 6に電気 的に接続されている検查用コア電極 25およびリング状電極 13のうち、一方を電流供 給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、指定された一面側被 検查電極 6に係る電気抵抗の測定が行われる。

[0040] ここで、被検查回路基板 5としては、図 26 (a)に示すように、一面に形成された一面 側被検查電極 6のみを有し、当該一面側被検查電極 6間に形成された回路 8aのみ を有するもの、図 26 (b)に示すように、一面に形成された一面側被検查電極 6および 他面に形成された他面側被検査電極 7を有し、一面側被検査電極 6と他面側被検査 電極 7との間に形成された回路 8bのみを有するもの、図 26 (c)に示すように、一面に 形成された一面側被検査電極 6および他面に形成された他面側被検査電極 7を有し 、一面側被検査電極 6間に形成された回路 8aおよび一面側被検査電極 6と他面側 被検査電極 7との間に形成された回路 8bの両方を有するもののいずれであってもよ い。

[0041] 上記の構成の電気抵抗測定用コネクター 1によれば、第 1の電極シート 10における 絶縁性シート 11には、第 2の電極シート 20における検査用コア電極 25が進入する貫 通孔 12が形成され、この貫通孔 12の周囲には、当該貫通孔 12を包囲するようリング 状電極 13が形成されているため、被検査回路基板 5における一面側被検査電極 6 上に、検查用コア電極 25の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当 該一面側被検查電極 6上にはリング状電極 13の少なくとも一部が位置されるようにな り、従って、被検查回路基板 5が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検查電極 6を有するものであっても、一面側被検查電極 6に対する検查用コア電極 25およびリ ング状電極 13の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検查用 コア電極 25およびング状電極 13は互いに電気的に独立されているので、当該一面 側被検查電極 6に電気的に接続された検查用コア電極 25およびリング状電極 13の うち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当 該被検查回路基板 5についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。 また、第 1の電極シート 10および第 2の電極シート 20は、それぞれ簡単な構造であ るため、電気抵抗測定用コネクター 1全体を小さいコストで製造することが可能である 。従って、検查コストの低減化を図ることができる。

[0042] 〈回路基板の電気抵抗測定装置〉

図 27は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す 説明図である。この電気抵抗測定装置は、一面に一面側被検査電極 6を有すると共 に他面に他面側被検查電極 7を有する被検查回路基板 5について、各配線パターン の電気抵抗測定試験を行うためのものであって、被検查回路基板 5を検查実行領域 Eに保持するためのホルダー 2を有し、このホルダー 2には、被検查回路基板 5を検 查実行領域 Eにおける適正な位置に配置するための位置決めピン 3が設けられてい る。

検査実行領域 Eの上方には、図 1に示す構成の電気抵抗測定用コネクター 1およ びおよび上部側検査ヘッド 50aが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド 50aの上方には、上部側支持板 56aが配置されており、上部側検査ヘッド 50aは、支 柱 54aによって上部側支持板 56aに固定されている。一方、検査実行領域 Eの下方 には、電気抵抗測定用コネクター 40および下部側検査ヘッド 50bが上からこの順で 配置され、更に、下部側検査ヘッド 50bの下方には、下部側支持板 56bが配置され ており、下部側検査ヘッド 50bは、支柱 54bによって下部側支持板 56bに固定されて いる。

[0043] 電気抵抗測定用コネクター 40は、検查用回路基板 41上に異方導電性エラストマ 一層 45がー体的に形成されて構成されている。

検查用回路基板 41の表面（図 27において上面）には、互いに離間して配置された 電流供給用電極 42aおよび電圧測定用検查電極 42bよりなる検查電極対が、被検 查回路基板 5の他面側被検查電極 7の配置パターンに対応するパターンに従って配 置されている。検查用回路基板 41の裏面には、適宜のパターンに従って端子電極 4 3が配置されており、これらの端子電極 43の各々は、電流供給用電極 42aおよび電 圧測定用検查電極 42bのレ、ずれかに電気的に接続されてレ、る。

検查用回路基板 41における電流供給用電極 42aと電圧測定用検查電極 42bとの 間の離間距離は 10 μ m以上であることが好ましい。この離間距離が 10 μ m未満であ る場合には、異方導電性エラストマ一層 45を介して電流供給用電極 42aと電圧測定 用検查電極 42bとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定 することが困難となることがある。

一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検查電 極 7の寸法およびピッチによって定まり、通常は 500 x m以下である。この離間距離 が過大である場合には、他面側被検查電極 7の 1つに対して両検查電極を適切に配 置することが困難となることがある。

[0044] 異方導電性エラストマ一層 45は、検查用回路基板 41の検查用電極対のパターン に対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部 46と、これらを相互に 絶縁する絶縁部 47とにより構成されており、導電路形成部 46は、検査用回路基板 4 1の検査電極対における電流供給用電極 42aおよび電圧測定用検査電極 42bの両 方の全面に接するよう配置されてレ、る。

異方導電性エラストマ一層 45における導電路形成部 46は、弾性高分子物質中に 磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなるもので ある。一方、絶縁部 47は弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含 有されていなレ、ものである。

導電路形成部 46は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向 における導電性より高いことが好ましぐ具体的には、面方向の電気抵抗値に対する 厚み方向の電気抵抗値の比が 1以下、特に 0. 5以下であるような電気的特性を有す るものであることが好ましい。この比が 1を超える場合には、導電路形成部 46を介して 電流供給用電極 42aと電圧測定用検查電極 42bとの間に流れる電流が大きくなるた め、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。

異方導電性エラストマ一層 45を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として は、段 1の異方導電性エラストマ一シート 17を構成する弾性高分子物質および導電 性粒子として例示したものと同様のものを用いることができる。

このような異方導電性エラストマ一層 45は、適宜の方法例えば特開 2000— 7496 5号公報に記載された方法によって形成することができる。

[0045] 上部側検查ヘッド 50aは、板状の検查電極装置 51aと、この検查電極装置 51aの 下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート 55aとにより構成されて いる。検查電極装置 51aは、電気抵抗測定用コネクター 1における検查用コア電極 2 5および接続用コア電極 26のパターンに対応するパターンに従って配列された複数 の電極ピン 52aを有し、これらの電極ピン 52aの各々は、電線 53aによって、上部側 支持板 56aに設けられたコネクター 57aに電気的に接続され、更に、このコネクター 5 7aを介してテスターの検查回路（図示省略）に電気的に接続されている。

下部側検查ヘッド 50bは、板状の検查電極装置 5 lbと、この検查電極装置 5 lbの 上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート 55bとにより構成されて いる。検査電極装置 51bは、電気抵抗測定用コネクター 40における端子電極 43の ノ ターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン 52bを有し、これら の電極ピン 52bの各々は、電線 53bによって、下部側支持板 56bに設けられたコネク ター 57bに電気的に接続され、更に、このコネクター 57bを介してテスターの検査回 路（図示省略）に電気的に接続されている。

[0046] 上部側検査ヘッド 50aおよび下部側検査ヘッド 50bにおける異方導電性シート 55a ， 55bは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成され てなるものである。このような異方導電性シート 55a, 55bとしては、各導電路形成部 が少なくとも一面にぉレ、て厚み方向に突出するよう形成されてレ、るものが、高レ、電気 的な接触安定性を発揮する点で好ましい。

[0047] このような回路基板の電気抵抗測定置においては、被検查回路基板 5がホルダー

2によって検查実行領域 Eに保持され、この状態で、上部側支持板 56aおよび下部 側支持板 56bの各々が被検查回路基板 5に接近する方向に移動することにより、当 該被検査回路基板 5が電気抵抗測定用コネクター 1および電気抵抗測定用コネクタ 一 40によって挟圧される。

この状態においては、被検查回路基板 5の一面側被検查電極 6の各々は、図 28に 示すように、電気抵抗測定用コネクター 1におけるリング状電極 13および検查用コア 電極 25の両方に、第 1の異方導電性エラストマ一シート 17を介して電気的に接続さ れ、この電気抵抗測定用コネクター 1における検查用コア電極 25および接続用コア 電極 26の各々は、異方導電性シート 55aを介して検查電極装置 51aの電極ピン 52a に電気的に接続されている。一方、被検査回路基板 5の他面側被検査電極 7は、電 気抵抗測定用コネクター 40の検查用回路基板 41の検查用電極対における電流供 給用電極 42aおよび電圧測定用電極 42bの両方に、異方導電性エラストマ一層 45 を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター 40の端子電極 43の各 々は、異方導電性シート 55bを介して検查電極装置 51bの電極ピン 52bに電気的に 接続されている。

[0048] このようにして、被検查回路基板 5の被検查電極 6, 7の各々が、上部側検查ヘッド 50aにおける検查電極装置 51aの検查電極 52aおよび下部側検查ヘッド 50bにおけ る検査電極装置 51bの検査電極 52bの各々に電気的に接続されることにより、テスタ 一の検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態 である。 そして、この測定可能状態において、被検査回路基板 5における複数の一 面側被検査電極 6のうち 1つの一面側被検査電極 6を指定し、この指定された一面側 被検査電極 6に電気的に接続されている検査用コア電極 25およびリング状電極 13 のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、 電流供給用電極とされた検査用コァ電極 25またはリング状電極 13と、指定された一 面側被検査電極 6に対応する他面側被検査電極 7に電気的に接続された検査電極 対における電流供給用電極 42aとの間に電流を供給すると共に、電圧測定用電極と された検査用コア電極 25またはリング状電極 13と、指定された一面側被検査電極 6 に対応する他面側被検查電極 7に電気的に接続された検查電極対における電圧測 定用検查電極 42bとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定さ れた一面側被検查電極 6とこれに対応する他面側被検查電極 7との間に形成された 配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する一面側被検查電極 6を 順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。

[0049] 上記の回路基板の電気的検查装置によれば、図 1に示す構成の電気抵抗測定用 コネクター 1を有するため、被検查回路基板 5が大面積でサイズの小さい多数の一面 側被検查電極 6を有するものであっても、一面側被検查電極 6に対する電気的接続 を確実に達成することができ、当該被検查回路基板 5についての電気抵抗を高い精 度で測定することができる。

[0050] 本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが 可能である。

例えば、電気抵抗測定用コネクターにおいては、第 1の異方導電性エラストマーシ ートは必須のものではなぐリング状電極および検查用コア電極が被検查回路基板 の被検查電極に直接に接触する構成のものであってもよい。

また、図 29に示すように、第 1の電極シート 10におけるリング状電極 13は、その内 縁部に切り込み Zが形成されていてもよレ、。このようて構成によれば、リング状電極 13 の可撓性が向上し、被検查電極が半田ボールなどの突起状のものである場合に、当 該被検査電極とリング状電極 13との接触性が向上する、という効果が得られる。 実施例

[0051] 〈評価用回路装置の作製〉

下記の仕様の評価用回路基板を作製した。

すなわち、この評価用回路基板は、寸法が 30mm (縦） X 30mm (横） X 0. 8mm ( 厚み）で、上面側被検查電極はそれぞれ半田バンプにより構成されている。上面側 被検查電極は、その総数が 900個で、各々の直径が約 100 x m、突出高さが約 80 x m、最小ピッチが 225 z mである。下面側被検查電極は、円形のプレート状のもの であり、その総数が 900個で、各々の直径が 500 z m、最小ピッチが 800 x mで配置 されている。また、上面側被検查電極と下面側被検查電極とは、内部配線によって 互いに 1対 1の関係で電気的に接続されてレ、る。

[0052] 〈実施例 1〉

以下のようにして、上記の評価用回路基板の電気抵抗を測定するための電気抵抗 測定用コネクターを製造した。

[0053] 〔上部側の電気抵抗測定用コネクター〕

(1)第 1の電極シートの製造：

厚みが 25 μ mの液晶ポリマーよりなる絶縁性シートの表面に厚みが 9 μ mの銅より なる金属層が一体的に積層されてなる積層材料 (新日鐵化学製の「エスパネックス LC09— 25— 00NE」）を用意し、この積層材料における金属層上にドライフィルムレ ジストをラミネートすることによりレジスト膜を形成した。

次いで、形成されたレジスト膜に対して露光処理および現像処理を施すことにより、 当該レジスト膜に形成すべき短絡部のパターンに従って直径が 50 z mの円形のパタ 一ン孔を形成し、更に、エッチング処理を行うことにより、金属層にレジスト膜のパター ン孔と同一のパターンの開口を形成し、その後、レジスト膜を除去した。

その後、積層材料における絶縁性シートに対して、金属層に形成された開口を介し て C〇 レーザー加工機を用いてレーザー加工を施すことにより、金属層の開口に連 通する貫通孔を形成した。

次いで、積層材料における絶縁性シートの裏面に厚み 15 mのドライフィルムレジ ストをラミネートして露光処理および現像処理を施すことにより、絶縁性シートの貫通 孔に対応する位置に直径 60 μ mの円形のパターン孔が形成されたレジスト膜を形成 し、更に、この積層材料における金属層上に保護フィルムを配置した。

そして、積層材料に金属層を共通電極としてスルファミン酸ニッケルが溶解されたメ ツキ液を用いて電解メツキ処理を施すことにより、金属層の開口、絶縁性シートの貫 通孔およびレジスト膜のパターン孔の各々の内部に金属を充填することにより、当該 絶縁性シートの裏面に中継電極を形成すると共に、この中継電極と金属層とを電気 的に接続する短絡部を形成した。その後、レジスト膜の表面を研磨処理して平坦化し た後、金属層上に配置された保護フィルムおよび絶縁性シートの表面に形成された レジスト膜を除去した。

次いで、金属層上にレジスト膜を形成し、このレジスト膜に対して露光処理および現 像処理を施すことにより、形成すべきリング状電極および配線部に対応するパターン のレジストパターンを形成し、更に、金属層に対してエッチング処理を施すことにより 、絶縁性シートの表面に円形のリング状電極および配線部を形成し、その後、レジス トパターンを除去した。

そして、リング状電極をマスクとして絶縁性シートに紫外線レーザー加工を施すこと により、当該絶縁性シートに貫通孔を形成し、以て、第 1の電極シートを製造した。 得られた第 1の電極シートについて説明すると、以下の通りである。

絶縁性シートは、材質が液晶ポリマーで、縦横の寸法が 30mm X 30mm、厚みが 2 5 μ mであり、貫通孔の直径が 80 μ m、貫通孔のピッチが 225 μ mである。

リング状電極は、材質が銅で、外径が 160 /i m、内径が 80 x m 厚みが 9 /i mであ り、ピッチが 225 z mである。

中継電極は、材質がニッケルで、直径が 60 μ m、厚みが約 15 μ mであり、ピッチが 225 μ mである。

短絡部は、材質がニッケルで、直径が 50 μ mである。

配線部は、材質が銅で厚みが 9 μ mであり、短絡部に連結された、外径が 96 a m の円形のランドと、線幅が 60 z mのラインとからなる。

また、絶縁性シートの貫通孔とそれに隣接する中継電極との中心間距離は 160 μ mである。

(2)第 2の電極シートの製造：

厚みが 25 μ mの液晶ポリマーよりなる絶縁性支持シートの一面に厚みが 18 μ mの 銅よりなる金属層が一体的に積層されてなる積層材料 (新日鐡化学製の「エスパネッ タス LC18— 25— 00NE」）を用意し、この積層材料における金属層上にドライフィ ルムレジストをラミネートすることによりレジスト膜を形成した。

次いで、形成されたレジスト膜に対して露光処理および現像処理を施すことにより、 当該レジスト膜に、第 1の電極シートの貫通孔および中継電極のパターンに対応する パターンに従って直径が 40 μ ΐηの円形のパターン孔を形成し、更に、金属層にエツ チング処理を施すことにより、当該金属層にレジスト膜のパターン孔と同一のパター ンの開口を形成し、その後、レジスト膜を除去した。

着いて、積層材料における絶縁性支持シートに、金属層に形成された開口を介し て C〇 レーザー加工機を用いてレーザー加工を施すことにより、金属層の開口に連 通する貫通孔を形成した。

そして、絶縁性支持シートの貫通孔の内壁面に無電解銅メツキ処理を施し、更に、 金属層を共通電極として電解銅メツキ処理を施すことにより、絶縁性支持シートの貫 通孔の内壁面および金属層の開口縁を覆うよう、厚みが 5 z mの銅よりなる筒状の金 属薄層を形成し、以て、複合積層材料を製造した。ここで、金属薄層を形成した後の 貫通孔の直径は約 30 μ mであった。

次いで、複合積層材料の両面 (絶縁性支持シートの一面に形成された金属層の表 面および絶縁性支持シートの他面）の各々に、厚みが 15 μ mのドライフィルムレジス トをラミネートして露光処理および現像処理を施すことにより、形成すべき剛性導体に おける端子部のパターンに対応するパターンに従って直径 50 μ mの円形のパター ン孔が形成されたレジスト膜を形成した。その後、金属層を共通電極としてスルフアミ ン酸ニッケルが溶解されたメツキ液を用いて電解メツキ処理を施すことにより、それぞ れニッケルよりなる検查用コア電極および接続用コア電極を形成した。

そして、検查用コア電極および接続用コア電極の各々の端子部の表面を研磨する ことにより、それぞれの端子部の表面を平坦ィ匕すると共に当該端子部の厚みをレジス ト膜の厚みに一致させた。次いで、複合積層材料の両面からレジスト膜を除去した後 、当該複合積層材料に対して、塩化第二鉄が溶解されたエッチング液を用いて、 60 °C、 3時間のエッチング処理を施すことにより、金属層および金属薄層を除去し、以て 、複合導電性シートを製造した。

得られた複合導電性シートについて説明すると、絶縁性支持シートは、材質が液晶 ポリマーで、縦横の寸法が 30mm X 30mm、厚み dが 25 /i m、貫通孔の直径が 40 μ ηι、検査用コア電極および接続用コア電極は、総数が 2400で、胴部の径が 30 μ m、端子部の径が 50 μ m、胴部の長さ力 S48 μ m、移動距離が 23 μ mある。

[0056] (3)第 1の異方導電性エラストマ一シートの製造：

付加型液状シリコーンゴム 100重量部に数平均粒子径が 8 μ mの導電性粒子 400 重量部を添加して混合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、導電性エラスト マー用材料を調製した。

以上において、導電性粒子としては、ニッケル粒子を芯粒子とし、この芯粒子に無 電解金メッキが施されてなるもの（平均被覆量:芯粒子の重量の 2重量％となる量)を 用いた。

[0057] 他面側成形部材の成形面上に、 90mm X 90mmの矩形の開口を有する、厚みが 20 a mの枠状のスぺーサーを配置した後、スぺーサ一の開口内に、調製した導電 性エラストマ一用材料を塗布し、この導電性エラストマ一用材料上に一面側成形部 材をその成形面が導電性エラストマ一用材料に接するよう配置した。

以上において、一面側成形部材および他面側成形部材としては、厚みが 0. lmm のポリエステ /レ樹 j¾旨シートを用いた。 その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用レ、、一面側成形 部材および他面側成形部材によって導電性エラストマ一用材料を挟圧することにより 、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが 20 x mの導電性エラ ストマー用材料層を形成した。

そして、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、 導電性エラストマ一用材料層に対してその厚み方向に 0. 3Tの平行磁場を作用させ ながら、 120°C、 0. 5時間の条件で導電性エラストマ一用材料層の硬化処理を行うこ とにより、厚みが 20 μ mの矩形の異方導電性エラストマ一シートを製造した。

そして、得られた異方導電性エラストマ一シートを縦横の寸法が 30mm X 30mmに 切断したものを第 1の異方導電性エラストマーシートとした。

[0058] (4)第 2の異方導電性エラストマ一シートの製造：

上記（3)の第 1の異方導電性エラストマ一シートの製造において、枠状のスぺーサ 一として厚みを 20 μ mのもの力 ら 30 μ mのものに変更したこと以外は同様にして異 方導電性エラストマ一シートを製造した。

そして、得られた異方導電性エラストマ一シートに紫外線レーザー加工を施すこと により、評価用回路基板における上面側被検査電極に対応するパターンに従って直 径が 100 / mの貫通孔を形成し、その後、当該異方導電性エラスマーシートを縦横 の寸法が 30mm X 30mmに切断することにより、第 2の異方導電性エラストマーシー トを製造した。

[0059] (5)電気抵抗測定用コネクターの作製：

第 1の電極シートの表面に第 1の異方導電性エラストマ一シートを配置し、この第 1 の電極シートの裏面に、第 2の異方導電性エラストマ一シートを、その貫通孔の位置 が当該第 1の電極シートの貫通孔の位置と一致するよう位置合わせして配置し、この 第 2の異方導電性エラストマ一シートの裏面に、第 2の電極シートを、その検查用コア 電極の位置が当該第 2の異方導電性エラトスマーシートの貫通孔の位置と一致する よう位置合わせ配置し、これらを固定することにより、電気抵抗測定用コネクターを作 製した。

[0060] 〔下部側の電気抵抗測定用コネクター〕 図 27に示す構成に従い、検查用回路基板上に異方導電性エラストマ一層が一体 的に積層されてなる下記の仕様の電気抵抗測定用コネクターを製造した。

検查用回路基板は、その表面には、縦横の寸法が 0. 15mm X 0. 5mmの矩形の 電流供給用検查電極および縦横のサイズが 0. 15mm X 0. 5mmの矩形の電圧測 定用検查電極からなる検查電極対が、評価用回路基板の下面側被検查電極のバタ ーンに対応するパターンに従って形成され、検查電極対の各々における電流供給用 検査電極と電圧測定用検査電極との離間距離は 0. 2mmである。検査用回路基板 の裏面には、直径が 0. 4mmの円形の端子電極が 0. 75mmのピッチで形成されて いる。

異方導電性エラストマ一層における導電路形成部は、シリコーンゴム中に、表面に 金メッキが施されたニッケル粒子 (数平均粒子径 30 μ m)よりなる導電性粒子が 25体 積％の割合で含有されてなり、その寸法は、直径が 0. 6mm、厚み 0. 1mmである。 異方導電性エラストマ一層における絶縁部は、シリコーンゴムよりなり、その厚みが 0. 8mmである。

〔検査装置の作製〕

上記の電気抵抗測定用コネクターを用い、図 27に示す構成に従って、レール搬送 型回路基板自動検査機（日本電産リード社製，品名： STARREC V5)の検査部に 適合する検査装置を作製した。

この検查装置の上部側検查ヘッドにぉレ、て、検查電極装置には 900本の検查ピン 力 μ mのピッチの格子点位置に従って配列されている。

また、上部側検查ヘッドにおける異方導電性シートの各々は、それぞれ厚み方向 に伸びる導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されてなる偏在型異方導電性 シートである。具体的に説明すると、導電路形成部の各々は、シリコーンゴム中に、 金メッキ処理を施したニッケル粒子（平均粒子径が 12 μ m)が体積分率で 25%となる 割合で含有されてなり、 160 z mのピッチの格子点位置に従って配置されている。ま た、導電路形成部の各々は、絶縁部の両面の各々から突出するよう形成されており、 その直径が 0. lmm、厚みが 0. 12mmであり、絶縁部の両面からの突出高さはそれ ぞれ 0· 01mmである。また、絶縁部は、シリコーンゴムよりなり、その厚みは 0. lmm である。

一方、下部側検查ヘッドにおいて、検查電極装置には 900本の検查ピンが 750 μ mのピッチの格子点位置に従って配列されている。

また、下部側検查ヘッドにおける異方導電性シートの各々は、それぞれ厚み方向 に伸びる導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されてなる偏在型異方導電性 シートである。具体的に説明すると、導電路形成部の各々は、シリコーンゴム中に、 金メッキ処理を施したニッケル粒子（平均粒子径が 35 μ m)が体積分率で 25%となる 割合で含有されてなり、 0. 75mmのピッチの格子点位置に従って配置されている。 また、導電路形成部の各々は、絶縁部の両面の各々から突出するよう形成されてお り、その直径が 0. 4mm、厚みが 0. 55mmであり、絶縁部の両面からの突出高さは それぞれ 0. 05mmである。一方、絶縁部は、 BTレジン力 なる補強板の両面にシリ コーンゴムよりなる弾性層が形成されて構成されている。補強板の厚みは 0. lmm、 2つの弾性層の厚みはそれぞれ 0. 175mmで、絶縁部全体の厚みは 0. 45mmであ る。

〔評価〕

(1)接続安定性試験：

上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機 rSTARREC V5Jの検査 部に装着し、当該検査装置の検査領域に評価用回路基板を位置合わせして配置し た。次いで、所定のプレス荷重で、評価用回路基板に対して加圧操作を行い、この 状態で、当該評価用回路基板について、上部側の電気抵抗測定用コネクタ一にお けるリング状電極と下部側の電気抵抗測定用コネクタ一における電流供給用電極と の間において 1mAの電流を印加しながら、上部側の電気抵抗測定用コネクターに おける検查用コア電極と下部側の電気抵抗測定用コネクターにおける電圧測定用電 極との間の電圧を測定して電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値 力 SlO Q以上となった検查点（以下、「NG検査点」という。）の数を測定した。この NG 検查点数を測定する操作を合計で 10回行った後、延べ検查点数（900 X 10 = 900 0)における NG検查点の割合（以下、「NG検査点割合」という。）を算出した。そして 、このような NG検査点割合を求める工程を、プレス荷重を 100〜210kgfの範囲で 段階的に変更して行うことにより、 NG検查点が 0. 01 %以下となる最小のプレス荷重 (以下、「接続可能荷重」という。）を求めた。実際の回路基板の検查においては、 NG 検查点割合が 0. 01 %以下であることが必要とされており、 NG検查点割合が 0. 01 %を超える場合には、良品の被検查回路基板を不良品と判定するおそれがあるため 、回路基板について信頼性の高い電気的検查を行うことが困難である。

上記の NG検查点割合を求める工程においては、 NG検查点数を測定する操作が 1回終了する毎に、評価用回路基板に対する加圧を解除して無加圧状態とし、その 後、次の NG検査点数を測定する操作を行った。その結果を下記表 1に示す。

以上において、接続可能荷重が小さい値であることは、電気抵抗測定用コネクター における凹凸吸収能が高いことを意味する。そして、凹凸吸収能の高い電気抵抗測 定用コネクターを用いることにより、回路基板に対する安定な電気的接続が小さい荷 重で達成されるので、当該電気抵抗測定用コネクターおよびその他の検査装置にお ける構成部材並びに被検査回路基板の各々に、加圧による劣化が生じることが抑制 される。その結果、検査装置における各構成部材の使用寿命が長くなり、また、検査 装置の構成部材として、比較的に耐久性の低いものを使用することが可能となること から、検査装置全体の製造コストの低減化を図ることができるので、好ましい。

〔絶縁性試験〕

上記の検查装置をレール搬送型回路基板自動検查機 rSTARREC V5Jの検查 部に装着し、当該検查装置の検查領域に、縦横の寸法がそれぞれ 100mmで厚み が 0. 8mmの表面に絶縁性コーティング処理を施したガラス繊維補強型エポキシ樹 脂よりなる基板を配置した。次いで、所定のプレス荷重で基板に対して加圧操作を行 レ、、上部側の電気抵抗測定用コネクターにおけるリング状電極と検查用コア電極との 間の電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値が 10k Q以上となったも の（以下、「絶縁良好電極対」という。）の数を測定した。この絶縁良好電極対の数を 測定する操作を合計で 10回行った後、延べ電極対数（900 X 10 = 9000)における 絶縁良好電極対の割合 (以下、「絶縁良好電極対割合」という。）を算出した。実際の 回路基板の検查におレ、ては、絶縁良好電極対割合が 99%以上であることが必要と されており、絶縁良好電極対割合が 99%未満である場合には、リング状電極に供給 される電流が検查用コア電極にリークして不良品の被検查回路基板を良品と判定す るおそれがあるため、回路基板について信頼性の高い電気的検查を行うことが困難 である。そして、このような絶縁良好電極対割合を求める工程を、プレス荷重を 100 〜210kgfの範囲で段階的に変更して行った。結果を表 2に示す。

[0064] 〈比較例 1〉

上部側の電気抵抗測定用コネクタ一として、以下のものを使用したこと以外は実施 例 1と同様にして検査装置を構成し、その評価を行った。

この電気抵抗測定用コネクタ一は、検査用回路基板と、この検査用回路基板の表 面上に配置された異方導電性エラストマ一シートとにより構成されている。

検査用回路基板は、縦横の寸法が 30mm X 30mmのガラス繊維補強型エポキシ 樹脂よりなり、その表面には、縦横の寸法が120 111 60 / 111の矩形の電流供給用 検査電極および縦横の寸法が 120 μ m X 60 μ mの矩形の電圧測定用検査電極か らなる検査電極対が、評価用回路基板の上面側被検査電極のパターンに対応する パターンに従って形成され、検査電極対の各々における電流供給用検査電極と電 圧測定用検査電極との離間距離は 30 μ ηである。検査用回路基板の裏面には、直 径が 0. 4mmの円形の端子電極が 0. 75mmのピッチで 900個形成されている。 一方、異方導電性エラストマ一シートは、実施例 1に係る電気抵抗測定用コネクタ 一における第 1の異方導電性エラストマ一シートと同様の構成（厚みが 20 μ mのもの )である。

以上、結果を表 1および表 2に示す。

[0065] 〈比較例 2〉

比較例 1において、上部側の電気抵抗測定用コネクターにおける異方導電性エラ ストマーシートとして厚みが 50 μ mのものを用いたこと以外は同様にして検查装置を 構成し、その評価を行った。

以上、結果を表 1および表 2に示す。

[0066] 〈比較例 3〉

比較例 1において、上部側の電気抵抗測定用コネクターにおける異方導電性エラ ストマーシートとして以下のものを用いたこと以外は同様にして検査装置を構成し、そ の評価を行った。

この異方導電性エラストマ一シートは、いわゆる偏在型のものであって、縦横の寸 法が 120 μ m X 60 μ mで厚み 120 μ mの導電路形成部力 検查用回路基板におけ る電流供給用検查電極および電圧測定用検查電極のパターンに対応するパターン に従って配置され、これらの導電路形成部の各々は、厚み 80 x mの絶縁部により隔 絶されている。また、導電路形成部は絶縁部の両面の各々から突出した状態に形成 されており、その突出高さはそれぞれ 20 a mである。

導電路形成部は、シリコーンゴム中に導電性粒子が 30体積％となる割合で含有さ れてなり、一方、絶縁部はシリコーンゴムにより構成されている。導電路形成部および 絶縁部を形成するシリコーンコム並びに導電路形成部を構成する導電性粒子は、実 施例 1に係る電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の異方導電性エラストマーシー トと同様のものである。

以上、結果を表 1および表 2に示す。

[表 1]

[表 2] 絶縁良好電極対割合 （％)

プレス荷重

1 0 0 1 1 0 1 3 0 1 5 0 1 8 0 2 1 0

( k g f ) 実施例 1 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 比較例 1 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 1 0 0 比較例 2 1 0 0 1 0 0 1 0 0 9 9. 8 9 9. 5 9 9. 2 比較例 3 8 0≥ 8 0≥ 8 0≥ 8 0≥ 8 0≥ 8 0≥ 表 1および表 2の結果から明らかなように、実施例 1に係る検查装置によれば、評価 用回路基板に対して所要の電気的接続を確実に達成することができ、し力も、所期 の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができることが確認された。

Claims

請求の範囲

[1] 第 1の電極シートと、この第 1の電極シートの裏面に配置された異方導電性エラスト マーシートと、この異方導電性エラストマ一シートの裏面に配置された第 2の電極シ 一トとを有してなり、

前記第 1の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極の ノ ターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁 性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形 成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状 電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、

前記異方導電性エラストマ一シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパタ ーンに従って形成された複数の貫通孔を有し、

前記第 2の電極シートは、前記被検查電極のパターンに対応するパターンに従つ て配置された複数の検查用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極の ノ ターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの 検查用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有し てなり、

前記検查用コア電極は、前記異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および前記 第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記被検查電極に電気 的に接続されることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。

[2] 第 1の電極シートと、この第 1の電極シートの表面に配置された第 1の異方導電性ェ ラストマーシートと、前記第 1の電極シートの裏面に配置された第 2の異方導電性エラ ストマーシートと、この第 2の異方導電性エラストマ一シートの裏面に配置された第 2 の電極シートとを有してなり、

前記第 1の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極の ノ ターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁 性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形 成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状 電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、 前記第 2の異方導電性エラストマ一シートは、前記被検查電極のパターンに対応す るパターンに従って形成された複数の貫通孔を有し、

前記第 2の電極シートは、前記被検查電極のパターンに対応するパターンに従つ て配置された複数の検查用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極の ノ ターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの 検查用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有し てなり、

前記検査用コア電極は、前記第 2の異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および 前記第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記第 1の異方導 電性エラストマ一シートを介して前記被検査電極に電気的に接続されることを特徴と する電気抵抗測定用コネクター。

[3] 第 2の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持 シートの厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項 1または請求 項 2に記載の電気抵抗測定用コネクター。

[4] 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項 1乃至請 求項 3のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、

被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネ クタ一における第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検查用コ ァ電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、

この測定可能状態において、指定された 1つの一面側被検查電極に電気的に接続 された検查用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、 他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの一面側被検査 電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定 装置。

[5] 被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を具えてなり、 前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面 側被検查電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面 側被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形 成されていることを特徴とする請求項 4に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、請求項 1乃至請求項 3のいず れかに記載の電気抵抗測定用コネクターを配置し、

当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネク ターにおける第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検查用コア 電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、

この測定可能状態において、指定された 1つの一面側被検查電極に電気的に接続 された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、 他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの一面側被検査 電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定 方法。