WO2007029766A1

WO2007029766A1 - ウエハ検査用プローブカード並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法

Info

Publication number: WO2007029766A1
Application number: PCT/JP2006/317737
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Kimura; Sugiro Shimoda; Fujio Hara
Original assignee: Jsr Corporation
Priority date: 2005-09-08
Filing date: 2006-09-07
Publication date: 2007-03-15
Also published as: TW200720664A; JPWO2007029766A1

Abstract

　大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するウエハでも、所要の電気的接続が確実に達成され、精度の高い抵抗測定が確実に行われ、小さいコストで製造可能なウエハ検査用プローブカード、これを用いたウエハ検査装置および方法が開示されている。プローブカードは、第１の電極シートと、その表面に配置された第１の異方導電性シートと、第１の電極シートの裏面に配置された、被検査電極に対応して貫通孔が形成された第２の異方導電性シートと、その裏面に配置された第２の電極シートとを有し、第１の電極シートは、被検査電極に対応して貫通孔が形成された柔軟な絶縁性シートと、絶縁性シートの表面に貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、絶縁性シートの裏面に形成された中継電極とを有し、第２の電極シートは、被検査電極に対応して配置された複数の検査用コア電極と、中継電極に対応して配置された複数の接続用コア電極とを有する。

Description

明細書

ウェハ検査用プローブカード並びにウェハ検査装置およびウェハ検査方法

技術分野

[0001] 本発明は、ウェハに形成された複数の集積回路における各回路の電気抵抗をゥェハの状態で測定するために用いられるウェハ検査用プローブカード並びにこのゥェハ検査用プローブカードを使用したウェハ検査装置およびウェハ検査方法に関する背景技術

[0002] 近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速ィ匕の要請に伴って、 BGAや CSPなどの集積回路装置としては、各回路の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、半導体集積回路装置の電気的検査においては、各回路の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。

而して、フリップチップ実装法に用いられる集積回路装置（半導体チップ)の製造ェ程においては、半田よりなる突起状の電極（半田ボール）がウェハの状態で形成され、その後、当該ウェハに対してダイシングが行われる。従って、当該集積回路装置における各回路の電気抵抗の測定をウェハの状態で行うことができれば、検査効率の向上を図ることが可能である。

[0003] 従来、回路の電気抵抗の測定においては、例えば、図 46に示すように、検査対象物 90における回路の端子である 2つの被検査電極 91, 92の各々に対し、電流供給用プローブ PA, PDおよび電圧測定用プローブ PB, PCを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブ PA, PDの間に電源装置 93から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブ PB, PCによって検出される電圧信号を電気信号処理装置 9 4において処理することにより、当該被検査電極 91, 92間の回路の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。

し力しながら、上記の方法においては、電流供給用プローブ PA, PDおよび電圧測定用プローブ PB, PCを被検査電極 91, 92に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、し力も当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極 91, 92の表面が損傷してしまい、当該検査対象物は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての検査対象物について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。

[0004] このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマ一により構成された電気抵抗測定装置が提案されている。

例えば、（i)特許文献 1には、エラストマ一により導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置が開示され、（ii)特許文献 2には、同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマ一よりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置が開示され、 (iii )特許文献 3には、表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち 2つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置が開示されている。

このような電気抵抗測定装置によれば、被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。

[0005] し力しながら、上記 (i)および上記 (ii)の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。

近年、集積回路においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記 (i)および上記 (ii)の構成の電気抵抗測定装置においては、被検査電極の各々に弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された検査対象物についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置におヽては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さ！ヽサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要であり、更に、電気抵抗測定を行う際には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続することが必要である。

[0006] 然るに、検査対象物がウェハである場合には、その面積が相当に大きぐまた、被検査電極の数も極めて多いものであるため、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である具体的な一例を挙げて説明すると、図 47に示すように、直径 Lが 100 mの被検查電極 Tに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極 Tに電気的に接続される電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vの離間距離 Dは 50 μ m程度であるが、図 48 (a)および (b)に示すように、ウェハの位置合わせにおいて、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vに対する被検査電極 Tの位置が、図 47に示す所期の位置から電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vが並ぶ方向に 25 μ mずれたときには、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 Vのヽずれか一方と被検査電極 Tとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができな!/、。このような問題を解決する手段として、電流供給用電極 Aおよび電圧測定用電極 V の離間距離 Dを小さくすることが考えられるが、そのような電気抵抗測定装置を作製することは、実際上極めて困難である。

[0007] 一方、上記 (iii )の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき検査対象物が、ウェハのように、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該検査対象物との位置ずれに対する許容度が大きぐまた、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。

し力しながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低、検査対象物につ、て、その電気抵抗の測定を高、精度で行うことは困難である。

[0008] このような問題を解決するため、絶縁性基板の表面に、コア電極およびこのコア電極を包囲するよう設けられたリング状電極よりなる複数の接続電極対が形成されてなる電気抵抗測定用コネクターが提案されてヽる (特許文献 4参照。 )。

このような電気抵抗測定用コネクターによれば、被検査電極上に、コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになる。従って、検査対象物が大面積でサイズの小さ、多数の被検査電極を有するものであっても、被検査電極に対するコア電極およびリング状電極の両方の電気的接続が確実に達成されるので、コア電極およびリング状電極の!/ヽずれか一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として使用することにより、電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。

し力しながら、上記の電気抵抗測定用コネクタ一は、全体の構造が複雑で高い歩留りで製造することが困難である、という問題がある。

[0009] 特許文献 1 :特開平 9 26446号公報

特許文献 2：特開 2000 - 74965号公報

特許文献 3：特開 2000— 241485号公報

特許文献 4：特開 2003— 322665号公報

発明の開示

[0010] 本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第 1の目的は、電気抵抗を測定すべきウェハが、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該ウェハに対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、し力も、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、小さいコストで製造することが可能なウェハ検査用プローブカードを提供することにある。本発明の第 2の目的は、上記のウェハ検査用プローブカードを使用したウェハ検查装置およびウェハ検査方法を提供することにある。

本発明のウェハ検査用プローブカードは、検査対象であるウェハに形成された全てのまたは一部の集積回路における各回路の電気抵抗をウェハの状態で測定するために用いられるウェハ検査用プローブカードであって、

検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に配置された異方導電性コネクタ一と、この異方導電性コネクター上に配置された電気抵抗測定用コネクターとを具えてなり、

前記電気抵抗測定用コネクタ一は、第 1の電極シートと、この第 1の電極シートの表面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シートと、前記第 1の電極シートの裏面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シートと、この第 2の異方導電性エラストマ一シートの裏面に配置された第 2の電極シートとを有してなり、

前記第 1の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従つて形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、

前記第 2の異方導電性エラストマ一シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有し、

前記第 2の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従つて配置された複数の検査用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極のノターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極とを有してなり、

前記検査用回路基板は、その表面に前記第 2の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の検査用電極を有してなり、

前記検査用コア電極は、前記第 2の異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および前記第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記第 1の異方導電性エラストマ一シートを介して前記被検査電極に電気的に接続されることを特徴とする。

[0012] 本発明のウェハ検査用プローブカードにおいては、第 2の電極シートは、検査用コァ電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートを有してなり、前記検査用コア電極および前記接続用コア電極の各々は、前記絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられて、ることが好ま U、。

また、第 2の電極シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成されたスぺーサーシートと、このスぺーサーシートの両面の各々に一体的に積層された 2つのカバーシートとを有してなり、

前記カバーシートの各々には、前記スぺーサーシートの貫通孔に対応して当該スぺーサ一シートの貫通孔の径より小さい径を有する複数の貫通孔が形成されており検査用コア電極および接続用コア電極の各々は、前記スぺーサーシートの貫通孔内に位置された、前記カバーシートの貫通孔の径より大きい径を有するフランジ部と、このフランジ部の両端の各々に形成された、前記カバーシートの貫通孔に揷通されて当該カバーシートの表面力突出する 2つの端子部とからなり、当該検査用コア電極および当該接続用コア電極の各々 1S 前記スぺーサーシートに対してその厚み方向に移動可能に設けられて、ることが好ま U、。

また、異方導電性コネクタ一は、第 2の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する絶縁部とを有してなることが好まし、。

[0013] 本発明のウェハ検査装置は、上記のウェハ検査用プローブカードを具えてなり、検査対象であるウェハにおける被検査電極の各々に、電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、

この測定可能状態において、指定された 1つの被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする。

[0014] 本発明のウェハ検査方法は、検査対象であるウェハの表面に、上記のウェハ検査用プローブカードを配置し、

当該ウェハの被検査電極の各々に、前記ウェハ検査用プローブカードの電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検査用コア電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、

この測定可能状態において、指定された 1つの被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする。

[0015] 上記の構成のウェハ検査用プローブカードによれば、電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートの絶縁性シートには、第 2の電極シートの検査用コア電極が進入する貫通孔が形成され、この貫通孔の周囲には、当該貫通孔を包囲するようリング状電極が形成されているため、検査対象であるウェハにおける被検査電極上に、検査用コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、検査対象であるウェハが大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであつても、被検査電極に対する検査用コア電極およびリング状電極の両方の電気的接続を確実に達成することができる。し力も、検査用コア電極およびリング状電極は互いに電気的に独立したものであるため、被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該ウェハにっ、ての電気抵抗を高、精度で測定することがでさる。

また、第 1の電極シートおよび第 2の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、ウェハの検査において、検査コストの低減ィ匕を図ることができる。

図面の簡単な説明 [図 1]本発明に係るプローブカードの一例の構成を示す説明用断面図である。

[図 2]図 1に示すプローブカードの要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。

[図 3]図 1に示すプローブカードにおける検査用回路基板を示す平面図である。

[図 4]検査用回路基板におけるリード電極部を拡大して示す説明図である。

[図 5]電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートの要部を拡大して示す平面図である。

[図 6]電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。

[図 7]第 1の電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。

[図 8]積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 9]積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 10]積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 11]第 1の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。

[図 12]第 1の異方導電性エラストマ一シートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスぺーサーを示す説明用断面図である。

[図 13]他面側成形部材の表面に導電性エラストマ一用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。

[図 14]一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマ一用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 15]図 14に示す導電性エラストマ一用材料層を拡大して示す説明用断面図である。

[図 16]図 14に示す導電性エラストマ一用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。

[図 17]第 2の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。圆 18]第 2の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。

圆 19]第 2の電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。

圆 20]積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 21]積層材料における絶縁性支持シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 22]複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。

圆 23]複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 24]複合積層材料における絶縁性支持シートの貫通孔に検査用コア電極および接続用コア電極が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 25]複合積層材料カゝらレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。圆 26]異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。

[図 27]異方導電性コネクターを得るための金型内に、導電性エラストマ一材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 28]導電性エラストマ一材料層の厚み方向に磁場が作用された状態を示す説明用断面図である。

圆 29]本発明に係るプローブカードがウェハの一面に配置された状態を示す説明用断面図である。

圆 30]プローブカードが押圧された状態を示す説明用断面図である。

圆 31]被検査電極に対して位置ずれが生じた状態を示す説明図である。

[図 32]本発明に係るプローブカードの他の例における要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。

圆 33]図 32に示すプローブカードにおける第 2の電極シートの構成を示す説明用断面図である。

圆 34]スぺーサーシート材を示す説明用断面図である。

圆 35]スぺーサーシートを示す説明用断面図である。

[図 36]スぺーサーシートの貫通孔内に金属体が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 37]スぺーサーシートの表面に接着層が形成され、裏面に接着層を介してカバーシートが一体的に積層された状態を示す説明用断面図である。

[図 38]接着層上にカバーシートが配置され、このカバーシート上に接着層を介して榭脂シートか積層された状態を示す説明用断面図である。

圆 39]榭脂シート、カバーシート、金属体およひ接着層の各々に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 40]金属薄層が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 41]検査用コア電極および接続用コア電極が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 42]金属薄層および金属体が除去された状態を示す説明用断面図である。

圆 43]本発明に係るウェハ検査装置の一例における構成を示す説明用断面図である。

圆 44]図 43に示すウェハ検査装置の要部の構成を拡大して示す説明用断面図である。

圆 45]図 43に示すウェハ検査装置におけるコネクターを拡大して示す説明用断面図である。

[図 46]電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。

[図 47]従来の回路の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。

[図 48]従来の回路の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。

符号の説明

2 コントローラー

3 入出力端子

3R 入出力端子部コネクター

A 導電ピン

B 支持部材

ウェハ載置台

ウエノヽ

被検査電極

プローブカード

検査用回路基板

第 1の基板素子

リード電極

R リード電極部

ホノレダ一

K 開口

第 2の基板素子

検査用電極

R 検査用電極部

補強部材

電気抵抗測定用コネクター異方導電性コネクターA 導電性エラストマ一用材料層導電路形成部

絶縁部

第 1の電極シート

A 積層材料

H 貫通孔

絶縁性シート

貫通孔

リング状電極中継電極

短絡部

配線部

A 金属層

第 1の異方導電性エラストマ一シートA 導電性エラストマ一用材料層B 導電性エラストマ一用材料

第 2の異方導電性エラストマ一シート貫通孔

第 2の電極シート

A 複合積層材料

B 積層材料

絶縁性支持シート

貫通孔

A 金属層

B 金属薄層

K 開口

レジスト膜

K パターン孔

検査用コア電極

a 胴部

b 端子部

接続用コア電極

a 月同部

b 端子部

一面側成形部材

他面側成形部材

スぺーサー K 開口

加圧ロール支持ローノレ加圧ロール装置上型

基板

強磁性体部非磁性体部下型

基板

強磁性体部非磁性体部第 2の電極シートスぺーサーシートA スぺーサーシート材H 貫通孔

a, 72b, 72c 接着層H, 72h 貫通孔K 開口

, 74 カバーシートH, 74H 貫通孔検査用コア電極a フランジ §b 端子部

a 榭脂シートb 金属薄層

H 貫通孔

接続用コア電極 77a フランジ §

77b 端子部

90 検査対象物

91, 92 被検査電極

93 電源装置

94 電気信号処理装置

PA, PD 電流供給用プローブ

PB, PC 電圧測定用プローブ

A 電流供給用電極

V 電圧測定用電極

T 被検査電極

P 導電性粒子

発明を実施するための最良の形態

[0018] 以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

〈ウェハ検査用プローブカード〉

図 1は、本発明に係るウェハ検査用プローブカード (以下、単に「プローブカード」という。）の一例における構成を示す説明用断面図であり、図 2は、図 1に示すプローブカードの要部の構成を示す説明用断面図である。

このプローブカード 10は、例えばウェハに形成された全ての集積回路に対して各回路の電気抵抗の測定をウェハの状態で一括して行うために用いられるものであつて、検査用回路基板 11と、この検査用回路基板 11の一面（図 1にお、て上面）に配置された異方導電性コネクター 25と、この異方導電性コネクター 25上に配置された電気抵抗測定用コネクター 20とにより構成されている。

[0019] 検査用回路基板 11は、図 3にも示すように、円板状の第 1の基板素子 12を有し、この第 1の基板素子 12の表面（図 1および図 2において上面）における中央部には、正八角形の板状の第 2の基板素子 15が配置され、この第 2の基板素子 15は、第 1の基板素子 12の表面に固定されたホルダー 14に保持されている。また、第 1の基板素子 12の裏面における中央部には、補強部材 17が設けられている。第 1の基板素子 12の表面における中央部には、複数の接続用電極 (図示省略）が適宜のパターンに従って形成されている。一方、第 1の基板素子 12の裏面における周縁部には、図 4に示すように、複数のリード電極 13が当該第 1の基板素子 12の周方向に沿って並ぶよう配置されたリード電極部 13Rが形成されている。リード電極 13 のパターンは、後述するウェハ検査装置におけるコントローラーの入出力端子のパターンに対応するパターンである。そして、リード電極 13の各々は内部配線（図示省略 )を介して接続用電極に電気的に接続されている。

第 2の基板素子 15の表面（図 1および図 2において上面）には、複数の検査用電極 16が、後述する第 2の電極シート 40における検査用コア電極 45および接続用コア電極 46のパターンに対応するパターンに従って配置された検査用電極部 16Rが形成されている。一方、第 2の基板素子 15の裏面には、複数の端子電極（図示省略)が適宜のパターンに従って配置されており、端子電極の各々は内部配線（図示省略）を介して検査用電極 16に電気的に接続されている。

そして、第 1の基板素子 12の接続用電極と第 2の基板素子 15の端子電極とは適宜の手段によって電気的に接続されている。

[0020] 検査用回路基板 11における第 1の基板素子 12を構成する基板材料としては、従来公知の種々の材料を用いることができ、その具体例としては、ガラス繊維補強型ェポキシ榭脂、ガラス繊維補強型フエノール榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン榭脂等の複合榭脂基板材料などが挙げられる。

検査用回路基板 11における第 2の基板素子 15を構成する材料としては、線熱膨張係数が 3 X 10— ⁵ZK以下のものを用いることが好ましぐより好ましくは 1 X 10— ⁷〜1 X 10" ⁵/κ,特に好ましくは 1 X 10— ⁶〜6 X 10— ⁶Ζκである。このような基板材料の具体例としては、パイレックス (登録商標)ガラス、石英ガラス、アルミナ、ベリリア、炭化ケィ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等よりなる無機系基板材料、 42合金、コバール、インバー等の鉄—ニッケル合金鋼よりなる金属板をコア材としてエポキシ榭脂またはポリイミド榭脂等の榭脂を積層した積層基板材料などが挙げられる。

[0021] ホルダー 14は、第 2の基板素子 15の外形に適合する正八角形状の開口 14Kを有し、この開口 14K内に第 2の基板素子 15が収容されている。また、ホルダー 14の外縁は円形である。

[0022] 電気抵抗測定用コネクター 20は、第 1の電極シート 30と、この第 1の電極シート 30 の表面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 37と、第 1の電極シート 30 の裏面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 38と、この第 2の異方導電性エラストマ一シート 38の裏面に配置された第 2の電極シート 40とにより構成されている。

[0023] 図 5は、第 1の電極シート 30の要部を拡大して示す平面図であり、図 6は、第 1の電極シート 30の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 1の電極シート 30は、検査対象であるウェハに形成された全ての集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔 32が形成された柔軟な絶縁性シート 3 1を有する。この絶縁性シート 31の表面には、当該絶縁性シート 31の貫通孔 32の各々を包囲するよう複数のリング状電極 33が形成されている。また、絶縁性シート 31の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極 34が形成されている。図示の例では、中継電極 34の各々は、絶縁性シート 31の貫通孔 32の間の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極 34の各々は、絶縁性シート 31をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部 35および絶縁性シート 31の表面に形成された配線部 3 6を介して、リング状電極 33に電気的に接続されて!、る。

[0024] 絶縁性シート 31を構成する材料としては、高い機械的強度を有する榭脂材料を用いることが好ましぐその具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。また、リング状電極 33、中継電極 34、短絡部 35および配線部 36を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。絶縁性シート 31の厚みは、当該絶縁性シート 31が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば 5〜50 μ mであることが好ましぐより好ましくは 8〜25 μ mである。

絶縁性シート 31の貫通孔 32の径は、後述する第 2の電極シート 40の検査用コア電極 45が移動可能に挿入され得る大きさであればよぐ例えば検査用コア電極 45の径の 1. 05〜2倍、好ましくは 1. 1〜1. 7倍である。リング状電極 33の内径は、当該リング状電極 33に電気的に接続される被検査電極の径に応じて設定され、被検査電極に対する電気的接続を確実に達成することができる点で、被検査電極の径の 50〜110%であることが好ましぐより好ましくは 70〜1 00%である。

また、リング状電極 33の内径は、後述する第 2電極シート 40における検査用コア電極 45との絶縁性を確保する観点から、検査用コア電極 45の径の 1. 1〜2倍であること力 S好ましく、より好ましくは 1. 2〜1. 7倍である。

[0025] このような第 1の電極シート 30は、例えば以下のようにして製造することができる。

先ず、図 7に示すように、絶縁性シート 31の表面に金属層 36Aが形成されてなる積層材料 30Aを用意し、この積層材料 30Aに、図 8に示すように、絶縁性シート 31および金属層 36Aの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔 30Hを、形成すべき第 1の電極シート 30の短絡部 35のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔 30H が形成された積層材料 30Aに対してフォトリソグラフィーおよびメツキ処理を施すことにより、図 9に示すように、絶縁性シート 31の裏面に中継電極 34を形成すると共に、当該中継電極 34と金属層 36 Aとを電気的に接続する、当該絶縁性シート 31の厚み方向に伸びる短絡部 35を形成する。その後、金属層 36に対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図 10に示すように、絶縁性シート 31の表面にリング状電極 33および配線部 36を形成する。そして、リング状電極 33をマスクとして絶縁性シート 31にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁性シート 31に貫通孔 32を形成し、以て第 1の電極シート 30が得られる。

[0026] 図 11は、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37の一部を拡大して示す説明用断面図である。この第 1の異方導電性エラストマ一シート 37は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 37を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好まし、。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン —ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル—ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジェン系ゴムおよびこれらの水素添カ卩物、スチレンブタジエンジェンブロック共重合体ゴム、スチレンイソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロ口プレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、ェピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン一プロピレン共重合体ゴム、エチレン一プロピレンジェン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形カ卩ェ性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ま、。

シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好まし、。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度 10— ^ecで 10⁵ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビュル基ゃヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビ-ルシリコーン生ゴム、メチルフエ-ルビ-ルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

また、シリコーンゴムは、その分子量 Mw (標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が 10, 000-40, 000のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマ一シートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数 (標準ポリスチレン換算重量平均分子量 Mwと標準ポリスチレン換算数平均分子量 Mnとの比 MwZMnの値をいう。以下同じ。）が 2以下のものが好ましい。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 37に含有される導電性粒子 Pとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメツキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマ一粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメツキを施したものなどが挙げられる。

これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ま、。

芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えばィ匕学メツキまたは電解メツキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

[0028] 導電性粒子 Pとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合)が 40%以上であることが好ましぐさらに好ましくは 45%以上、特に好ましくは 47〜95%である。

また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の 0. 5〜50質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜30質量％、さらに好ましくは 3〜25質量％、特に好ましくは 4〜20質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の 0. 5〜30質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜20質量％、さらに好ましくは 3〜15質量％でぁる。

[0029] また、導電性粒子 Pの数平均粒子径は、 3〜20 μ mであることが好ましぐより好ましくは 5〜 15 mである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子 Pを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。

また、導電性粒子 Pの粒子径分布 (DwZDn)は、 1〜： LOであることが好ましぐより好ましくは 1. 01〜7、さらに好ましくは 1. 05〜5、特に好ましくは 1. 1〜4である。また、導電性粒子 Pの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した 2次粒子であることが好ま、。

また、導電性粒子 Pとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマ一シートの耐久性が向上する。

[0030] このような導電性粒子 Pは、異方導電性エラストマ一シート中に体積分率で 10〜40 %、特に 15〜35%となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高、導電性を有する異方導電性エラストマ一シートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすぐ異方導電性エラストマ一シートとして必要な弾性が得られな、ことがある。

[0031] また、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37の厚みは、 20〜： LOO μ mであることが好ましぐより好ましくは 25〜70 /ζ πιである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高

V、分解能が得られな、ことがある。

[0032] 第 1の異方導電性エラストマ一シート 37は、以下のようにして製造することができる先ず、図 12に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材 50および他面側成形部材 51と、目的とする第 1の異方導電性エラストマ一シート 37の平面形状に適合する形状の開口 52Κを有すると共に当該第 1の異方導電性エラストマ一シート 37の厚みに対応する厚みを有する枠状のスぺーサー 52とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマ一用材料を調製する。

そして、図 13に示すように、他面側成形部材 51の成形面（図 13において上面）上にスぺーサー 52を配置し、他面側成形部材 51の成形面上におけるスぺーサー 52 の開口 52Κ内に、調製した導電性エラストマ一用材料 37Βを塗布し、その後、この導電性エラストマ一用材料 37Β上に一面側成形部材 50をその成形面（図 13において下面）が導電性エラストマ一用材料 37Βに接するよう配置する。

以上において、一面側成形部材 50および他面側成形部材 51としては、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、アクリル榭脂などよりなる榭脂シートを用いることができる。また、一面側成形部材 50および他面側成形部材 51を構成する榭脂シートの厚みは、 50〜500 μ mであること力 S好ましく、より好ましくは 75〜300 μ mである。この厚みが 50 m未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが 500 /z mを超える場合には、後述する導電性エラストマ一用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

[0033] 次いで、図 14に示すように、加圧ロール 53および支持ロール 54よりなる加圧ロール装置 55を用い、一面側成形部材 50および他面側成形部材 51によって導電性ェラストマー用材料 37Bを挟圧することにより、当該一面側成形部材 50と当該他面側成形部材 51との間に、所要の厚みの導電性エラストマ一用材料層 37Aを形成する。この導電性エラストマ一用材料層 37Aにおいては、図 15に拡大して示すように、導電性粒子 Pが均一に分散した状態で含有されている。

その後、一面側成形部材 50の裏面および他面側成形部材 51の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマ一用材料層 37Aの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマ一用材料層 37Aにお、ては、当該導電性エラストマ一用材料層 37A中に分散されて!、る導電性粒子 Pが、図 16に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子 Pによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。

そして、この状態において、導電性エラストマ一用材料層 37Aを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第 1の異方導電性エラストマ一シート 37が製造される。

[0034] 以上におヽて、導電性エラストマ一用材料層 37Aの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。

導電性エラストマ一用材料層 37Aに作用される平行磁場の強度は、平均で 0. 02 〜2. 5テスラとなる大きさが好ましい。

導電性エラストマ一用材料層 37Aの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定される力通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマ一用材料層 37Aを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子 Pの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

[0035] 図 17は、第 2の異方導電性エラストマ一シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 2の異方導電性エラストマ一シート 38は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものであり、それぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔 39が形成されていることを除き、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37と基本的に同様の構成である。第 2 の異方導電性エラストマ一シート 38の貫通孔 39は、検査対象であるウェハにおける被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成されている。

第 2の異方導電性エラストマ一シート 38の貫通孔 39の径は、後述する第 2の電極シート 40の検査用コア電極 45が移動可能に挿入され得る大きさであればよぐ例えば検査用コア電極 45の径の 1. 1〜2倍、好ましくは 1. 2〜1. 7倍である。

このような第 2の異方導電性エラストマ一シート 38は、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37と同様の方法によって異方導電性エラストマ一シートを製造し、その後、当該異方導電性エラストマ一シートに、例えばレーザー加工を施すことによって貫通孔 39を形成することにより、得られる。

図 18は、第 2の電極シート 40の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 2 の電極シート 40は、検査対象であるウェハにおける被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極 45と、第 1の電極シート 30における中継電極 34のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極 46と、検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々を支持する絶縁性支持シート 41とにより構成されている。具体的には、絶縁性支持シート 41には、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 42が、検査対象であるウェハの被検査電極のパターンに対応するパターンおよび第 1の電極シート 30における中継電極 34のパターンに対応するパターンに従って形成されており、この絶縁性支持シート 41の各貫通孔 42に、検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々が当該絶縁性支持シート 41の両面の各々力も突出するよう配置されている。

検査用コア電極 45の各々は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42に揷通された円柱状の胴部 45aと、この胴部 45aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート 41の表面に露出する端子部 45bとにより構成されている。検査用コア電極 45における胴部 45aの長さは、絶縁性支持シート 41の厚みより大きぐまた、当該月同部 45aの径は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径より小さいものとされており、これにより、当該検査用コア電極 45は、絶縁性支持シート 41の厚み方向に移動可能とされている。また、検査用コア電極 45における端子部 45bの径は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径より大き、ものとされて、る。

接続用コア電極 46の各々は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42に揷通された円柱状の胴部 46aと、この胴部 46aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート 41の表面に露出する端子部 46bとにより構成されている。接続用コア電極 46における胴部 46aの長さは、絶縁性支持シート 41の厚みより大きぐまた、当該月同部 46aの径は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径より小さいものとされており、これ〖こより、当該接続用コア電極 46は、絶縁性支持シート 41の厚み方向に移動可能とされている。また、接続用コア電極 46における端子部 46bの径は、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径より大き、ものとされて、る。

[0037] 絶縁性支持シート 41を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド榭脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の榭脂材料、ガラス繊維補強型ェポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の繊維補強型榭脂材料、エポキシ榭脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として含有した複合榭脂材料などを用いることができる。

また、絶縁性支持シート 41の厚みは、 10〜200 mであることが好ましぐより好ましくは 15〜： LOO /z mである。

また、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径は、 20〜80 mであることが好ましぐより好ましくは 30〜60 μ mである。

[0038] 検査用コア電極 45および接続用コア電極 46を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において、絶縁性支持シート 41に形成される金属薄層よりエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。

検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々における胴部 45a, 46aの径は、 18 /z m以上であることが好ましぐより好ましくは 25 m以上である。この径が過小である場合には、検査用コア電極 45および接続用コア電極 46に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径と検査用コア電極 4 5および接続用コア電極 46の各々における胴部 45a, 46aの径との差は、 1 m以上であることが好ましぐより好ましくは 2 m以上である。この差が過小である場合には、絶縁性支持シート 41の厚み方向に対して検査用コァ電極 45および接続用コア電極 46を移動させることが困難となることがある。

検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々における端子部 45b, 46bの径は、被検査電極の径の 70〜 150%であることが好ましい。また、検査用コア電極 4 5および接続用コア電極 46の各々における端子部 45b, 46bの径と絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の径との差は、 5 m以上であることが好ましぐより好ましくは 10 m以上である。この差が過小である場合には、検査用コア電極 45および接続用コア電極 46が絶縁性支持シート 41から脱落する恐れがある。

絶縁性支持シート 41の厚み方向における検査用コア電極 45および接続用コァ電極 46の各々の移動可能距離、すなわち検査用コア電極 45および接続用コア電極 4 6の各々における胴部 45a, 46aの長さと絶縁性支持シート 41の厚みとの差は、 5〜 50 μ mであることが好ましぐより好ましくは 10〜40 μ mである。これらの移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、これらの移動可能距離が過大である場合には、絶縁性支持シート 41の貫通孔 4 2から露出する検査用コア電極 45の胴部 45aおよび接続用コア電極 46の胴部 46a の長さが大きくなり、検査に使用したときに、検査用コア電極 45の胴部 45aおよび接続用コア電極 46の胴部 46aが座屈または損傷するおそれがある。

上記の第 2の電極シート 40は、例えば以下のようにして製造することができる。先ず、図 19に示すように、絶縁性支持シート 41の一面に易エッチング性の金属層 43Aがー体的に積層されてなる積層材料 40Bを用意し、この積層材料 40Bにおける金属層 43Aに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図 20に示すように、金属層 43Aに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って複数の開口 43Kを形成する。次いで、図 21に示すように、積層材料 40Bにおける絶縁性支持シート 41に、それぞれ金属層 43Aの開口 43Kに連通して厚み方向に伸びる貫通孔 42を形成する。そして、図 22に示すように、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の内壁面および金属層 43Aの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層 43Bを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 42が形成された絶縁性支持シート 41と、この絶縁性支持シート 41の一面に積層された、それぞれ絶縁性支持シート 41の貫通孔 42に連通する複数の開口 43Kを有する易エッチング性の金属層 43Aと、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の内壁面および金属層 43Aの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層 43Bとを有してなる複合積層材料 40Aが製造される。

以上において、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42を形成する方法としては、レーザ一加工法、ドリルカ卩工法、エッチングカ卩工法などを利用することができる。

金属層 43Aおよび金属薄層 43Bを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅、ニッケルなどを用いることができる。

また、金属層 43Aの厚みは、目的とする検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、 5〜25 /ζ πιであることが好ましぐより好ましくは 8〜20 μ mである。

また、金属薄層 43Bの厚みは、絶縁性支持シート 21の貫通孔 42の径と形成すベき検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々における胴部 45a, 46aの径とを考慮して設定される。

また、金属薄層 43Bを形成する方法としては、無電解メツキ法などを利用することができる。

そして、この複合積層材料 40Aに対してフォトメツキ処理を施すことにより、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42の各々に検査用コア電極 45および接続用コア電極 46を形成する。具体的に説明すると、図 23に示すように、絶縁性支持シート 41の一面に形成された金属層 43Aの表面および絶縁性支持シート 41の他面の各々に、形成すべき検査用コア電極 45および接続用コア電極 46における端子部 45b, 46bのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性支持シート 41の貫通孔 42に連通する複数のパターン孔 44Kが形成されたレジスト膜 44を形成する。次いで、金属層 4 3Aを共通電極として電解メツキ処理を施して当該金属層 43Aにおける露出した部分および金属薄層 43Bの表面に金属を堆積させ、絶縁性支持シート 41の貫通孔 42内およびレジスト膜 44のパターン孔 44K内に金属を充填することにより、図 24に示すように、それぞれ絶縁性支持シート 41の厚み方向に伸びる検査用コア電極 45および接続用コア電極 46を形成する。

このようにして検査用コア電極 45および接続用コア電極 46を形成した後、金属層 4 3Aの表面からレジスト膜 44を除去することにより、図 25に示すように、金属層 43Aを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層 43Aを除去することにより、第 2 の電極シート 40が得られる。

[0041] 図 26は、異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。この異方導電性コネクター 25は、第 2の電極シート 40における検査用コア電極 45および接続用コア電極 46のパターンに対応するパターンに従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 26と、これらの導電路形成部 26を相互に絶縁する絶縁部 27とにより構成されている。導電路形成部 26は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。一方、絶縁部 27は、絶縁性の弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或、は殆ど含有されて、な、ものである。

[0042] 導電路形成部 26および絶縁部 27を構成する弾性高分子物質並びに導電路形成部 26を構成する導電性粒子 Pとしては、前述の第 1の異方導電性エラストマ一シートを構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものを適宜選択して用いることがでさる。

また、導電路形成部 26の厚みは、 50〜3000 mであること力 S好ましく、より好まし < ίま 70〜2500 μ m、特に好まし <ίま 100〜2000 μ mである。この厚み力 50 μ m以上であれば、十分な強度を有する導電路形成部 26が確実に得られる。一方、この厚みが 3000 m以下であれば、所要の導電性特性を有する導電路形成部 26が確実に得られる。

導電路形成部 26における導電性粒子 Pの含有割合は、体積分率で 10〜60%、特に 15〜50%となる割合で用いられることが好ましい。この割合が 10%未満の場合には、十分に電気抵抗値の小さい導電路形成部 26が得られないことがある。一方、この割合が 60%を超える場合には、得られる導電路形成部 26は脆弱なものとなりやすぐ導電路形成部 26として必要な弾性が得られないことがある。

[0043] このような異方導電性コネクター 25は、例えば以下のようにして製造することができる。

図 27に示すように、異方導電性コネクター製造用の金型内に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子 Pが分散されてなる導電性エラストマ一用材料層 25Aを形成する。

ここで、金型は、基板 61上に、例えば検査対象であるウェハにおける被検査電極と同一のパターンに従って強磁性体部 62が配置されると共に、当該強磁性体部 62以外の部分に非磁性体部 63が配置されてなる上型 60と、基板 66上に、検査対象であるウェハにおける被検査電極と対掌のパターンに従って強磁性体部 67が配置されると共に、当該強磁性体部 67以外の部分に非磁性体部 68が配置されてなる下型 65とにより構成されている。

上型 60および下型 65における基板 61, 66および強磁性体部 62, 67を構成する材料としては、ニッケル、コバルトまたはこれらの合金などが挙げられる。

上型 60および下型 65における非磁性体部 63, 68を構成する材料としては、放射線硬化性榭脂材料を好適に用いることができる。

[0044] 次いで、上型 60の上面および下型 65の下面に一対の電磁石（図示省略）を配置し、この電磁石を作動させることにより、上型 60の強磁性体部 62からこれに対応する下型 65の強磁性体部 67に向力方向に平行磁場を作用させる。このとき、上型 60の強磁性体部 62および下型 65の強磁性体部 67の各々が磁極として作用するため、上型 60の強磁性体部 62と下型 65の強磁性体部 67との間の領域には、それ以外の領域よりも大きい強度の磁場が作用する。その結果、導電性エラストマ一用材料層 2 5Aにおヽては、当該導電性エラストマ一用材料層 25A中に分散されて!ヽた導電性粒子 Pが、図 28に示すように、上型 60の強磁性体部 62と下型 65の強磁性体部 67との間に位置する部分に向かって移動して当該部分に集合し、更に厚み方向に並ぶよう配向する。この状態で、導電性エラストマ一用材料層 25Aに対して例えば加熱による硬化処理を行うことにより、導電性粒子 Pが含有されてなる厚み方向に伸びる多数の導電路形成部 26とこれらを相互に絶縁する絶縁部 27とよりなる、図 26に示す異方導電性コネクター 25が製造される。

上記のプローブカード 10においては、図 29に示すように、検査対象であるウェハ 6 の一面に、電気抵抗測定用コネクター 20における検査用コア電極 45の各々が当該ウェハ 6における被検査電極 7の上方に位置するよう、プローブカード 10が配置され、更に、当該プローブカード 10が適宜の手段によって押圧される。そして、この状態においては、図 30に示すように、第 1の電極シート 30におけるリング状電極 33の各々は、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37を介して、ウェハ 6の被検査電極 7の各々に電気的に接続される。また、第 2の電極シート 40における検査用コア電極 45 の各々は、第 2の異方導電性エラストマ一シート 38の貫通孔 39および第 1の電極シート 30の貫通孔 32に進入し、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37を介して、ゥェハ 6の被検査電極 7の各々に電気的に接続される。また、第 2の電極シート 40の接続用コア電極 46の各々は、第 2の異方導電性エラストマ一シート 38を介して、第 1の電極シート 30における中継電極 34に電気的に接続される。更に、第 2の電極シート 40 における検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々は、異方導電性コネクター 25における導電路形成部 26を介して、検査用回路基板における第 2の基板素子 15の検査用電極 16に電気的に接続される。

このとき、第 1の電極シート 30におけるリング状電極 33は、絶縁性シート 31の貫通孔 32を包囲するよう形成されているため、図 31〖こ示すよう〖こ、絶縁性シート 31の貫通孔 32に進入する検査用コア電極 45の中心位置が被検査電極 7の中心位置から位置ずれした場合であっても、被検査電極 6に検査用コア電極 45が電気的に接続されていれば、リング状電極 33も必ず被検査電極 7に電気的に接続される。

このような状態において、ウェハ 6における複数の被検査電極 7のうち 1つの被検査電極 7を指定し、この指定された被検査電極 7に電気的に接続されている検査用コア電極 45およびリング状電極 33のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、指定された被検査電極 7に係る電気抵抗の測定が行われる。

[0046] 上記の構成のプローブカード 10によれば、電気抵抗測定用コネクター 20における第 1の電極シート 30の絶縁性シート 31には、第 2の電極シート 40の検査用コア電極 45が進入する貫通孔 32が形成され、この貫通孔 32の周囲には、当該貫通孔 32を包囲するようリング状電極 33が形成されているため、検査対象であるウェハ 6における被検査電極 7上に、検査用コア電極 45の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極 7上にはリング状電極 33の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、ウェハ 6が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極 7を有するものであっても、被検査電極 7に対する検査用コア電極 45およびリング状電極 33 の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しカゝも、検査用コア電極 45およびング状電極 33は互いに電気的に独立されているので、当該被検査電極 7に電気的に接続された検査用コア電極 45およびリング状電極 33のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該ウェハ 6についての電気抵抗を高、精度で測定することができる。

また、第 1の電極シート 30および第 2の電極シート 40は、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター 20全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、検査コストの低減ィ匕を図ることができる。

[0047] 図 32は、本発明に係るプローブカードの他の例における要部の構成を示す説明用断面図である。

このプローブカード 10は、例えばウェハに形成された全ての集積回路に対して各回路の電気抵抗の測定をウェハの状態で一括して行うために用いられるものであつて、検査用回路基板 11 (図 1参照）と、この検査用回路基板 11における第 2の基板素子 15の一面（図 1において上面）に配置された異方導電性コネクター 25と、この異方導電性コネクター 25上に配置された電気抵抗測定用コネクター 20とにより構成されている。この例のプローブカードは、電気抵抗測定用コネクター 20における第 2の電極シート 70を除き、基本的に図 1および図 2に示すプローブカード 10ど同様の構成である。

[0048] 図 33は、電気抵抗測定用コネクター 20における第 2の電極シート 70の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第 2の電極ート 70は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 71H力検査対象であるウェハの被検査電極のパターンに対応するパターンおよび第 1の電極シート 30における中継電極 34のパターンに対応するパターンに従って形成されたスぺーサーシート 71と、このスぺーサーシート 71の両面の各々に接着層 72a, 72bを介して一体的に積層されたカバーシート 73, 74と、スぺーサーシート 71の貫通孔 71Hの各々に配置された検査用コア電極 75および接続用コア電極 77とにより構成されている。カバーシート 73, 74の各々には、スぺーサーシート 71の貫通孔 71Hに対応して当該スぺーサーシート 71の貫通孔 71Hの径より小さ、径を有する複数の貫通孔 73H, 74Hが形成されて、る。

検査用コア電極 75および接続用コア電極 77の各々は、スぺーサーシート 71の貫通孔 71H内に位置された、カバーシート 73, 74の貫通孔 73H, 74Hの径より大きい径を有する円板状のフランジ部 75a, 77aを有し、このフランジ部 75a, 77aの両端面の各々には、それぞれカバーシート 73, 74の貫通孔 73H, 74Hに揷通されて当該カバーシート 73, 74の表面力も突出する、 2つの棒状の端子部 75b, 77bがー体に連結されて形成されてヽる。

そして、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77の各々におけるフランジ部 75 a, 77aは、その径がスぺーサ一シート 71の貫通孔 71Hの径より小さいものとされ、その厚みがスぺーサーシート 71の厚みより小さいものとされており、これにより、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77の各々は、スぺーサーシート 71に対してその厚み方向に移動可能とされて、る。

スぺーサーシート 71を構成する材料としては、金属材料や非金属材料を用いることができる。

金属材料の具体例としては、ステンレス、インバーなどのインバー型合金、エリンバ一などのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、 42合金などの磁性金属の合金または合金鋼、金、銀、銅、鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらの合金などを挙げることができる。

また、非金属材料の具体例としては、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、フッ素榭脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の機械的強度の高い榭脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の複合榭脂材料、エポキシ榭脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として混入した複合榭脂材料などを用いることができるが、熱膨張係数が小さい点で、ポリイミド榭脂、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂等の複合榭脂材料、ボロンナイトライドをフイラ一として混入したエポキシ榭脂等の複合榭脂材料などと用いることができる。

スぺーサーシート 71の厚みは、 10〜200 mであることが好ましぐより好ましくは 1 5〜： LOO /z mである。

また、スぺーサーシート 71の貫通孔 71Hの径は、 20〜300 μ mであることが好ましく、より好ましくは 30〜 150 μ mである。

[0050] 接着層 72a, 72bを構成する材料としては、アルカリ現像型接着剤、ポリイミド系接着剤、ポリウレタン系接着剤、シリコン系接着剤、エポキシ榭脂系接着剤、エチレン一酢酸ビュル共重合体を主成分とするホットメルト接着剤、ポリアミドやポリエステルを主成分とするホットメルト接着剤、ポリプロピレン等のポリオレフインを主成分とするホットメルト接着剤などを用いることができるが、後述する製造方法において、剛性導体 15のフランジ部 15aを容易に形成することができる点で、アルカリ現像型接着剤を用、ることが好まし!/、。

[0051] カバーシート 73, 74を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド榭脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の榭脂材料、ガラス繊維補強型ェポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の繊維補強型榭脂材料、エポキシ榭脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として含有した複合榭脂材料などを用いることができる。

また、カバーシート 73, 74の厚みは、 5〜50 mであることが好ましぐより好ましくは 8〜30 μ mである。

また、カバーシート 73, 74の貫通孔 73H, 74Hの径は、 15〜120 mであること力好ましく、より好ましくは 20〜80 μ mである。

[0052] 検査用コア電極 75および接続用コア電極 77を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法においてスぺーサ一シート 71およびカバーシート 73, 74などに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。検査用コア電極 75および接続用コア電極 77におけるフランジ部 75a, 77aの径とスぺーサ一シート 71の貫通孔 71Hの径との差は、 1 m以上であることが好ましぐより好ましくは 2 μ m以上である。この差が過小である場合には、スぺーサーシート 71の厚み方向に対して検査用コア電極 75および接続用コア電極 77のフランジ部 7 5a, 77aを移動させることが困難となることがある。

また、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77におけるフランジ部 75a, 77aの径とカバーシート 73, 74の貫通孔 73H, 74Hの径との差は、 5 μ m以上であることが好ましぐより好ましくは 10 m以上である。この差が過小である場合には、検査用コァ電極 75および接続用コア電極 77が脱落する恐れがある。

検査用コア電極 75および接続用コア電極 77における端子部 75b, 77bの径は、被検査電極の径の 50〜150%であることが好ましい。また、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77における端子部 75b, 77bの径とカバーシート 73, 74の貫通孔 7 3H, 74Hの径との差は、 1 m以上であることが好ましぐより好ましくは 2 m以上である。この差が過小である場合には、スぺーサーシート 71の厚み方向に対して検查用コア電極 75および接続用コア電極 77のフランジ部 75a, 77aを移動させることが困難となることがある。

スぺーサーシート 71の厚み方向における検査用コア電極 75および接続用コア電極 77の移動可能距離、すなわちフランジ部 75a, 77aの厚みとスぺーサーシート 71 の厚みとの差は、 3〜 150 mであることが好ましぐより好ましくは 5〜： ίΟΟ /ζ πι、さらに好ましくは 10〜50 /ζ πιである。フランジ部 75a, 77aの移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、フランジ部 75 a, 77aの移動可能距離が過大である場合には、検査用コア電極 75および接続用コァ電極 77におけるフランジ部 75a, 77aおよび端子部 75b, 77bの長さが過大となり、ウェハとの接続時の圧力により、端子部やフランジ部の座屈や曲がりを生じる結果、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77の移動が困難となることがある。 [0053] 上記の第 2の電極シート 70は、例えば以下のようにして製造することができる。先ず、図 34に示すように、金属よりなるスぺーサーシート材 71Aを用意し、このスぺーサーシート材 71Aに対してフォトリソグラフィーおよびエッチング処理を施すことにより、図 35に示すように、形成すべき検査用コア電極 75および接続用コア電極 77のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔 71Hが形成されてなるスぺーサ一シート 71が形成される。

このようにして得られたスぺーサーシート 71に対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことにより、図 36に示すように、スぺーサーシート 71の貫通孔 71H内に易エッチング性の金属体 Mを形成する。次いで、図 37に示すように、スぺーサーシート 71および金属体 Mの各々の表面にアルカリ現像型接着剤よりなる接着層 72aを形成すると共に、スぺーサーシート 71および金属体 Mの裏面に、接着層 72bを介してカバーシート 74を一体的に積層する。ここで、接着層 72aの開口 72Kは、露光処理および現像処理を施すことにより形成することができる。そして、図 38に示すよう〖こ、接着層 72a上に、カバーシート 73を一体的に積層すると共に、このカバーシート 73 上に接着層 72cを介して榭脂シート 76aを一体的に積層する。

[0054] 次いで、図 39に示すように、例えば紫外線レーザー加工によって、榭脂シート 76a 、接着層 72c、カバーシート 73、金属体 M、接着層 72bおよびカバーシート 74の各々に、接着層 72aの開口 72Kに連通する貫通孔 76H, 72h, 73H、 H, 72H, 74H を形成し、更に、無電解メツキ処理を施すことにより、図 40に示すように、榭脂シート 7 6a、接着層 72c、カバーシート 73、金属体 M、接着層 72bおよびカバーシート 74の各々の貫通孔 76H, 72h, H, 72H, 74Hおよび接着層 72Kの開口の内面に、易ェツチング性の金属薄層 76bを形成する。

そして、金属薄層 76bに対して例えば電解メツキ処理を施すことにより、図 41に示すように、金属薄層 76bによって区画された空間内に金属が充填されて検査用コア電極 75および接続用コア電極 77が形成される。

このようにして検査用コア電極 75および接続用コア電極 77を形成した後、エツチング処理を施して金属薄層 76bおよび金属体 Mを除去することにより、図 42に示すように、検査用コア電極 75および接続用コア電極 77におけるフランジ部 75a, 77aをスぺーサ一シート 71の厚み方向に移動可能な状態とし、更に、榭脂シート 76aおよび接着層 72cを除去することにより、図 33に示す第 2の電極シート 70が得られる。

[0055] 上記の構成のプローブカードによれば、電気抵抗測定用コネクター 20における第 1の電極シート 30の絶縁性シート 31には、第 2の電極シート 70の検査用コア電極 75 が進入する貫通孔 32が形成され、この貫通孔 32の周囲には、当該貫通孔 32を包囲するようリング状電極 33が形成されているため、検査対象であるウェハにおける被検查電極上に、検査用コア電極 75の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極 33の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、ウェハが大面積でサイズの小さい多数の被検査電極 7を有するものであつても、被検査電極に対する検査用コア電極 75およびリング状電極 33の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しカゝも、検査用コア電極 75およびング状電極 33は互ヽに電気的に独立されて、るので、当該被検査電極 7に電気的に接続された検査用コア電極 75およびリング状電極 33のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該ウェハについての電気抵抗を高 V、精度で測定することができる。

また、第 1の電極シート 30および第 2の電極シート 70は、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター 20全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、検査コストの低減ィ匕を図ることができる。

[0056] 〔ウェハ検査装置〕

図 43は、本発明に係るウェハ検査装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図であり、図 44は、図 43に示すウェハ検査装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。このウェハ検査装置は、ウェハに形成された複数の集積回路における各回路の電気抵抗をウェハの状態で一括して測定するためのものである。

このウェハ検査装置は、検査対象であるウェハ 6の温度制御、ウェハ 6の検査を行うための電源供給、信号の入出力制御およびウェハ 6からの出力信号を検出して当該ウェハ 6における集積回路の良否の判定を行うためのコントローラー 2を有する。図 45に示すように、コントローラー 2は、その下面に、多数の入出力端子 3が円周方向に沿って配置された入出力端子部 3Rを有する。コントローラー 2の下方には、図 1に示す構成のプローブカード 10力その検査用回路基板 11のリード電極 13の各々力当該コントローラー 2の入出力端子 3に対向するよう、適宜の保持手段によって保持された状態で配置されている。

コントローラー 2の入出力端子部 3Rとプローブカード 10における検査用回路基板 1 1のリード電極部 13Rとの間には、コネクター 4が配置され、当該コネクター 4によって、検査用回路基板 11のリード電極 13の各々がコントローラー 2の入出力端子 3の各々に電気的に接続されている。図示の例のコネクター 4は、長さ方向に弹性的に圧縮可能な複数の導電ピン 4Aと、これらの導電ピン 4Aを支持する支持部材 4Bとにより構成され、導電ピン 4Aは、コントローラー 2の入出力端子 3と第 1の基板素子 32に形成されたリード電極 33との間に位置するよう配列されている。

プローブカード 10の下方には、検査対象であるウェハ 6が載置されるウェハ載置台 5が設けられている。

このようなウェハ検査装置においては、ウェハ載置台 5上に検査対象であるウェハ 6が載置され、次いで、プローブカード 10が下方に加圧されることにより、ウェハ 6がプローブカード 10とウェハ載置台 5とによって挟圧される。

この状態においては、ウェハ 6の被検査電極 7の各々は、図 30に示すように、プローブカード 10におけるリング状電極 33および検査用コア電極 45の両方に、第 1の異方導電性エラストマ一シート 37を介して電気的に接続され、検査用コア電極 45および接続用コア電極 46の各々は、異方導電性コネクター 25を介して検査用回路基板における第 2の基板素子 15の検査用電極 16に電気的に接続されている。

このようにして、ウェハ 6の被検査電極 7の各々が検査用電極 16に電気的に接続されることにより、コントローラー 2の入出力端子 3に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。

そして、この測定可能状態において、ウェハ 6における複数の被検査電極 7のうち 1 つの被検査電極 7を指定し、この指定された被検査電極 7に電気的に接続されてヽる検査用コア電極 45およびリング状電極 33のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、電流供給用電極とされた検査用コア電極 45またはリング状電極 33と、指定された被検査電極 7に対応する被検査電極 7 ( 指定された被検査電極 7と共に回路の端子を構成する他方の被検査電極 7)に電気的に接続された検査用コア電極 45またはリング状電極 33との間に電流を供給すると共に、電圧測定用電極とされた検査用コア電極 45またはリング状電極 33と、指定された被検査電極 7に対応する被検査電極 7に電気的に接続された検査用コア電極 4 5またはリング状電極 33との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された被検査電極 7とこれに対応する被検査電極 7との間に形成された回路の電気抵抗値が取得される。そして、指定する被検査電極 7を順次変更することにより、ゥェハ 6に形成された全ての回路の電気抵抗の測定が行われる。

[0058] 上記のウェハ検査装置によれば、図 1に示す構成のプローブカード 10を有するため、検査対象であるウェハ 6が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極 7を有するものであっても、被検査電極 7に対する電気的接続を確実に達成することができ、当該ウェハ 6についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。

[0059] 本発明は、上記の実施の形態に限定されず、以下のように、種々の変更を加えることが可能である。

(1)異方導電性コネクター 25においては、導電路形成部 26が絶縁部 27の一面または両面力突出した状態に形成されたものであってもよい。

(2)異方導電性コネクター 25は、検査用回路基板 11の表面に一体的に形成されていてもよい。

(3)異方導電性コネクター 25は、例えば特開 2000— 164041号公報などに記載された構成のように、フレーム板を有するものであってもよ！/、。

(4)上記のプローブカード 10は、ウェハに形成された全ての集積回路における被検查電極に係る電気抵抗を一括して測定するものである力本発明においては、ゥェハに形成された一部（例えば 32個）の集積回路における被検査電極に係る電気抵抗を一括して測定するものであってもよ、。このような構成のプローブカードにぉ、ては、ウェハに形成された全ての集積回路の中から選択された複数 (例えば 32個）の集積回路の被検査電極に、プローブカード 10を電気的に接続して電気抵抗の測定を行い、その後、他の集積回路の中から選択された複数の集積回路の被検査電極に、プローブカードを電気的に接続して電気抵抗の測定を行う工程を繰り返すことにより、ウェハに形成された全ての集積回路における各回路の電気抵抗を測定することができる。

(5)ウェハ検査装置におけるコントローラー 2と検査用回路基板 11を電気的に接続するコネクター 4は、図 45に示すものに限定されず、種々の構造のものを用いることにができる。

(6)第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートには、これらを支持する支持体が設けられていてもよい。ここで、支持体を構成する材料としては、金属材料、榭脂材料などを用いることができる。

(7)第 2の異方導電性エラストマ一シートは長尺な形状を有し、当該第 2の異方導電性エラストマ一シートをその長手方向に移動させるための移動機構が設けられた構成であってもよい。また、複数の第 2の異方導電性エラストマ一シートが長尺なフィルム状の支持体に支持され、当該支持体をその長手方向に移動させるための移動機構が設けられた構成であってもよい。ここで、支持体を構成する材料としては、金属材料、榭脂材料などを用いることができる。

このような構成によれば、第 2の異方導電性エラストマ一シートに故障が生じたときには、第 2の異方導電性エラストマ一シートの交換作業を、当該第 2の異方導電性ェラストマーシートまたはこれを支持する支持体を移動機構によって移動させるという簡単な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができる。

Claims

請求の範囲

検査対象であるウェハに形成された全てのまたは一部の集積回路における各回路の電気抵抗をウェハの状態で測定するために用いられるウェハ検査用プローブカードであって、検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に配置された異方導電性コネクターと、この異方導電性コネクター上に配置された電気抵抗測定用コネクターとを具えてなり、

前記第 2の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従つて配置された複数の検査用コア電極と、前記第 1の電極シートにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極とを有してなり、

前記検査用コア電極は、前記第 2の異方導電性エラストマ一シートの貫通孔および前記第 1の電極シートにおける絶縁性シートの貫通孔に進入し、前記第 1の異方導電性エラストマ一シートを介して前記被検査電極に電気的に接続されることを特徴とするウェハ検査用プローブカード。

[2] 第 2の電極シートは、検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートを有してなり、前記検査用コア電極および前記接続用コア電極の各々は、前記絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項 1に記載のウェハ検査用プローブカード。

[3] 第 2の電極シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成されたスぺーサーシートと、このスぺーサーシートの両面の各々に一体的に積層された 2つの力バーシートとを有してなり、

前記カバーシートの各々には、前記スぺーサーシートの貫通孔に対応して当該スぺーサ一シートの貫通孔の径より小さい径を有する複数の貫通孔が形成されており検査用コア電極および接続用コア電極の各々は、前記スぺーサーシートの貫通孔内に位置された、前記カバーシートの貫通孔の径より大きい径を有するフランジ部と、このフランジ部の両端の各々に形成された、前記カバーシートの貫通孔に揷通されて当該カバーシートの表面力突出する 2つの端子部とからなり、当該検査用コア電極および当該接続用コア電極の各々 1S 前記スぺーサーシートに対してその厚み方向に移動可能に設けられて、ることを特徴とする請求項 1に記載のウェハ検査用プローブカード。

[4] 異方導電性コネクタ一は、第 2の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する絶縁部とを有してなることを特徴とする請求項 1乃至請求項 3のいずれかに記載のウェハ検査用プローブカード。

[5] 請求項 1乃至請求項 4のいずれかに記載のウェハ検査用プローブカードを具えてなり、検査対象であるウェハにおける被検査電極の各々に、電気抵抗測定用コネクターにおける第 1の電極シートのリング状電極および第 2の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、

この測定可能状態において、指定された 1つの被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とするウェハ検査装置。

検査対象であるウェハの表面に、請求項 1乃至請求項 4のいずれかに記載のゥェハ検査用プローブカードを配置し、

この測定可能状態において、指定された 1つの被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された 1つの被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とするウェハ検査方法。