JP3110608B2 - ディスプレイパネル用検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フラットディスプレイ
に用いられるＬＣＤ（Liquid Crystal Display) パネル
（以下、液晶パネルと称する）やＥＬ（Electro Lumine
scence) パネル等のディスプレイパネルの入力端子に接
触し、検査信号を入力することで電気的特性等を検査す
るディスプレイパネル用検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ディスプレイパネルの製造工
程では、周辺回路接続前のディスプレイパネルに対し
て、回路の断線や電気的特性等を調べるために通電テス
ト、いわゆるプロービングテストが行われている。

【０００３】上記ディスプレイパネルのプロービングテ
ストには、ディスプレイパネルの各端子に接触するプロ
ーブを備えたディスプレイパネル用検査装置が使用され
ている。このようなプローブを用いた検査方法では、特
にディスプレイパネル等の被検査体の各端子とプローブ
との接触状態により検査精度が左右される。このため、
被検査体の各端子とプローブとの接触状態の向上を図る
ため、種々の方法が提案されている。

【０００４】例えば、特開平５−２１８１５０号公報に
は、例えば図９に示すように、フレキシブル基板で形成
された圧接部材（コンタクタ）５１の一端が、支持部材
５２の一端側で固定され、他端が、ゴム等の弾性体から
なるクッション材５３を介して支持部材５２の他端側に
配された「プローブカード」が開示されている。

【０００５】また、特開平３−８４４７０号公報には、
例えば図１０（ａ）（ｂ）に示すように、図９に示すク
ッション材５３に代えて、楔形の支持体５４の先端に設
けられた板バネ５５を使用した「半固定プローブボー
ド」が開示されている。

【０００６】上記のプローブカードまたは半固定プロー
ブボードでは、コンタクタ５１が被検査体の端子に接触
するとき、端子面の形状に沿ってクッション材５３また
は板バネ５５を弾性変形させて、被検査体の各端子とコ
ンタク５１との接触状態の向上を図るようになってい
る。したがって、プローブの被検査体の端子への追従性
の向上を図り、検査精度を向上させている。

【０００７】ところが、上記のクッション材５３または
板バネ５５等の弾性体でコンタクタ５１を被検査体の端
子に追従させて、コンタクタ５１と被検査体の端子との
充分な接触状態、即ち導通状態を得るには、被検査体の
１端子当たり２〜５ｇの圧接荷重が必要とされる。この
圧接荷重を得るには、クッション材５３の場合、硬度４
０以上のゴム等の弾性力、板バネ５５の場合、硬度４０
以上のゴム等の弾性体に相当する反発力が必要とされ
る。しかしながら、この場合のクッション材５３および
板バネ５５の弾性変形量は、０．１〜０．２ｍｍ程度に
しかならず、この弾性変形量よりも大きい被検査体のソ
リ、ウネリに対してコンタクタ５１を完全に追従させる
ことができない。このため、特にＬＣＤパネル等の出力
端子の多い被検査体（ＶＧＡカラー規格で４３２０端子
／パネル）では、正確な検査を行うことができないとい
う問題が生じる。

【０００８】そこで、被検査体のソリ、ウネリに対して
コンタクタ５１等の接触部材を充分に追従させるプロー
ブカードとして、例えば図１１（ａ）（ｂ）に示すよう
に、図９および図１０に示すコンタクタ５１の代わりに
被検査体の１００〜２００端子毎に対応して接触する探
針部６１を有するプローバブロック６２を複数個備えた
プローブカードがある。

【０００９】上記プローバブロック６２は、圧接方向と
平行にスライドするマニュピュレータ６３を介してユニ
ットベース６４に取り付けられており、マニュピュレー
タ６３のロックつまみ６５を緩めてマイクロメータ６６
を回すことによって圧接方向にスライドさせて探針部６
１の高さを調整するようになっている。そして、高さ調
整後、再びロックつまみ６５を締めることで調整位置で
プローバブロック６２を固定するようになっている。
尚、上記探針部６１には、検査信号を供給するためのＬ
ＳＩ６８、印刷配線ボードＰＷＢ７０が電気的に接続さ
れている。また、探針部６１は、吊り下げバネ６９によ
りユニットベース６４に吊り下げられている。

【００１０】このようにして、被検査体のソリ、ウネリ
等の端子形状に沿って各プローバブロック６２の高さを
調整することで、被検査体の端子に探針部６１等の接触
部材を追従させることができ、この結果、多端子の被検
査体であっても被検査体の端子と探針部６１との接触状
態を良好にし、検査精度を向上させている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
にマニュピュレータ６３を用いてプローバブロック６２
の高さ調整を行うプローブカードでは、以下に示す問題
点が生じている。

【００１２】 同一種類の被検査体であっても、被検
査体毎にその端子の形状、即ちソリやウネリは異なる。
このため、上記のプローブカードにより、一度被検査体
のソリ、ウネリに対応させて各探針部６１の高さ調整を
行っても、他の被検査体のソリ、ウネリに対応させると
きには、再びマニュピュレータ６３を操作して各探針部
６１の高さを調整する必要がある。したがって、探針部
６１の被検査体に対する追従性を低下させ、探針部６１
と被検査体の端子との接触不良を生じさせ、このため、
検査精度の低下を招く虞がある。

【００１３】 各探針部６１の高さ調整後、探針部６
１がユニットベース６４に固定されているので、被検査
体の接触面にホコリ等の異物が載っている場合、異物の
載った接触面に探針部６１が接触したとき、異物と接触
した探針部６１に集中して全体の押しつけ荷重がかか
る。このため、探針部６１の先端が損傷し易くなり、こ
の結果、探針部６１の耐久性を低下させるという問題が
生じる。

【００１４】 プローバブロック６２を交換する場
合、ブロック毎あるいはブロック全体の交換に係わら
ず、交換後には、再び各探針部６１の精密な高さ調整を
行う必要があり、このため、プローバブロック６２の交
換には、多大な時間と労力を要するという問題が生じ
る。

【００１５】 一般に、探針部６１の高さ調整用のマ
ニュピュレータ６３は高額であるので、被検査体の種類
毎に必要とされるプローブカードに使用すれば、設備投
資に係る費用が増大するという問題が生じる。

【００１６】本発明は、上記の各問題点に鑑みなされた
ものであって、その目的は、高額なマニュピュレータ等
の調整器を用いることなく、被検査体の接触面のソリ、
ウネリ等の形状に沿って探針を被検査体の接触面に安定
して接触させることができ、これによって、検査精度の
向上を図るとともに、設備投資に係る費用を低減させる
ようなディスプレイパネル用検査装置を提供することに
ある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明のディスプレイパ
ネル用検査装置は、ディスプレイパネルの入力端子に接
触する導電性の接触部材を有し、この接触部材を介して
検査信号を入力し、ディスプレイパネルの電気的特性を
検査するディスプレイパネル用検査装置において、上記
接触部材に電気的に接続され、ディスプレイパネルに検
査信号を供給する検査信号供給手段と、上記接触部材を
所定出力端子毎に分割して形成される複数の分割体と、
上記各分割体を、個別にディスプレイパネルの入力端子
への接触方向に移動自在に支持する支持手段であって、
上記各分割体にそれぞれ設けられる一対のシャフトと、
上記シャフトを摺動自在に支持するストロークベアリン
グと、固定位置に取付けられ、上記ストロークベアリン
グが取付けられる支持体とを備える、そのような支持手
段と、上記各分割体と支持体との間に設けられ、上記各
分割体を個別にディスプレイパネルの入力端子への接触
方向に付勢する付勢手段とが備えられていることを特徴
としている。

【００１８】

【作用】上記の構成によれば、接触部材を、所定出力端
子毎に分割した複数の分割体とし、この分割体を個別に
ディスプレイパネルの入力端子への接触方向に移動自在
に支持し、この方向に付勢することで、各分割体を所定
圧力でディスプレイパネルの入力端子に接触させること
ができる。これにより、各分割体は、例えばディスプレ
イパネルの入力端子の形状にソリ、ウネリ等の変形が存
在してもその変形量に応じて、即ち接触面の形状に応じ
て所定圧力を保持しながら移動することができる。した
がって、ソリ、ウネリ等の変形が存在するディスプレイ
パネルの入力端子に対する各分割体の追従性を向上させ
ることができる。この結果、接触部材とディスプレイパ
ネルの入力端子との接触状態を良好にし、検査精度の向
上を図ることができる。

【００１９】また、各分割体は、ディスプレイパネルの
入力端子への圧接時において、個別に移動するようにな
っているので、ディスプレイパネルの入力端子上にゴ
ミ、ホコリ等の異物が存在し、分割体の接触部材がこの
異物に当接しても、異物に当接した接触部材に無理な圧
接荷重がかからない。これにより、接触部材にかかる負
担を軽減することができるので、接触部材の接触部を保
護することができる。

【００２０】また、各分割体は、ディスプレイパネルの
入力端子への圧接時において、接触面形状に応じて移動
するようになっているので、予め各分割体の高さ調整を
行う必要がなくなる。これにより、分割体の高さ調整に
使用される調整機器を設ける必要がなくなるので、検査
装置を安価に製造することができ、設備投資費を低減す
ることができる。

【００２１】また、付勢手段が、分割体と支持体との間
に設けられていることで、分割体の移動のための機構を
まとめて配置することができるとともに、分割体の移動
のための機構を簡素なものとすることができる。これに
より、装置の小型化を図るとともに、装置の製造にかか
る費用を低減することができる。

【００２２】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図６に
基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、本実施例
では、ディスプレイパネルとして液晶パネルを使用した
場合について以下に説明する。

【００２３】本実施例にかかるディスプレイパネル用検
査装置としてのプローバユニットは、図１に示すよう
に、１個当たり１００〜２００出力端子を備えた探針部
（接触部材）１を有するプローバブロック（分割体）２
を複数個備えている。

【００２４】上記プローバブロック２は、ポリカーボネ
イトからなる基台３上に、上記探針部１と、液晶パネル
に点灯駆動用信号等の検査信号を供給する検査信号供給
手段としての、液晶パネル駆動用ドライバ等のＬＳＩ４
および印刷配線ボードＰＷＢ（Printed Writing Board)
５を備えている。

【００２５】上記探針部１は、複数の棒状部材としての
タングステン針からなる探針（プローブ）からなり、そ
れぞれが接触しないように、基台３前面側でプローブ押
さえ具６によって押さえられて支持されている。尚、上
記プローブの素材は、タングステンに限らず、導電性を
有するものであれば他の素材を使用しても良い。

【００２６】また、上記探針部１の一端側は、上記ＬＳ
Ｉ４に電気的に接続されると共に、ＬＳＩ４の圧着固定
に伴って基台３上に固定される。このＬＳＩ４は、フレ
キシブルプリント基板７を介して上記印刷配線ボードＰ
ＷＢ５が電気的に接続され、探針部１に液晶パネル点灯
駆動用信号を供給するようになっている。この印刷配線
ボードＰＷＢ５は、他のプローバブロック２のＬＳＩ４
に対しても電気的に接続されている。

【００２７】尚、探針部１とＬＳＩ４との接合は、中継
プリント基板を介して、例えば探針と中継基板とは半田
付けで行えば良く、また、中継基板とＬＳＩ４との接合
は、表面実装手法で行えば良い。さらに、印刷配線ボー
ドＰＷＢ５は、ブラッケト１０により固定されている。

【００２８】一方、探針部１の他端側は、略Ｌ字状に折
曲され、それぞれのプローブの先端部が、液晶パネルの
それぞれの入力端子に接触し得る構成となっている。こ
れにより、液晶パネルを点灯駆動させることによって行
われる表示品位検査において、液晶パネルの各入力端子
に点灯駆動用信号を供給するようになっている。

【００２９】また、各プローバブロック２は、それぞれ
取付けプレート８を介してユニットベース（支持体）９
に取付けられている。このとき、プローバブロック２と
取付けプレート８とは、ネジ等で強固に固定され、取付
けプレート８とユニットベース９とは、取付けプレート
８が矢印Ｘ・Ｙ方向に移動自在となるように支持手段に
より支持されている。即ち、プローバブロック２は、ユ
ニットベース９に対して矢印Ｘ・Ｙ方向に移動自在に支
持された状態となる。

【００３０】ここで、上記のプローバブロック２の支持
手段について、図２を参照しながら以下に説明する。
尚、図２（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本実施例のプローバユ
ニットの三面図を示すものである。

【００３１】図２に示すように、取付けプレート８の下
面には、下方に突出した２本のシャフト１１・１１が固
定されている。このシャフト１１は、ユニットベース９
に組み込まれた一対のストロークベアリング１２・１２
により支持されるとともに、先端部は、このストローク
ベアリング１２を貫通した位置でストッパ１３によって
固定されている。したがって、このストロークベアリン
グ１２がプローバブロック２の移動ガイドとなる。ま
た、取付けプレート８とユニットベース９との間に、押
しバネ（付勢手段）１４を設けることで、プローバブロ
ック２を矢印Ｘ方向に付勢し、この方向に一定の圧力を
付与するようになっている。したがって、探針部１が、
液晶パネルの端子部に対して所定の圧力で接触し得るよ
うになっている。但し、プローバブロック２は、取付け
プレート８とユニットベース９との間隔分だけ移動可能
となっている。

【００３２】尚、プローバブロック２の印刷配線ボード
ＰＷＢ５は、ブラッケト１０に接続されているが、この
ブラッケト１０は、フレキシブル基板７の柔軟性によ
り、プローバブロック２の移動による被検査体の端子へ
の追従性に関して影響を与えない位置に配設されてい
る。

【００３３】また、上記したようにプローバブロック２
がユニットベース９に対して矢印Ｘ・Ｙ方向に移動する
とき、その移動量を１ｍｍとした場合の横ブレの繰り返
し誤差は２〜３μｍ（ストロークベアリング１２として
１級のものを使用）となり、実用上、昇降時の位置ズレ
等は無視できることが、本発明者により確認されてい
る。

【００３４】上記構成のプローバユニットの被検査体へ
の圧接機構について、図３を参照しながら以下に説明す
る。

【００３５】上記構成のプローバユニットを利用したデ
ィスプレイパネル用検査装置は、例えば図３に示すよう
に、ユニットベース９が、図示しないＬＭガイド等のス
ライドガイドを介してスライドベース１６に設けられた
Ｌ型のプレート１５に固定されている。このときのスラ
イドベース１６の推進力、即ちプレート１５の矢印Ｘ・
Ｙ方向への移動推進力は、スライドベース１６の背面側
に設けられたシリンダ１７によって付与されるようにな
っている。

【００３６】したがって、上記圧接機構により、プロー
バユニットを、下降させることで、プローバブロック２
の探針部１を下方に載置された被検査体としての液晶パ
ネル１８の端子部（入力端子）１９に接触させるように
なっている。

【００３７】尚、上記液晶パネル１８は、表面にＩＴＯ
（Indium Tin Oxide) 等からなる透明電極がそれぞれ形
成された一対のガラス基板からなり、この液晶パネルの
周縁、即ち３辺に、上記透明電極からなる上記の端子部
１９が形成されている。

【００３８】このとき、上記のプローバブロック２の探
針部１と液晶パネル１８の端子部１９とは、図４に示す
ように、各プローバブロック２…が、液晶パネル１８の
端子部１９のソリ、ウネリ、厚み変化に沿って接触した
状態となっている。

【００３９】ところで、上記の液晶パネル１８は、ソ
リ、ウネリ、厚み変化により最大０．３ｍｍの変化量を
有している。また、上記した移動機構を有しないプロー
バユニットの寸法許容量は、探針部１の持つ弾性変化量
によって０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度となっており、ま
た、前記した公報に係るフレキシブルプリント基板をコ
ンタクタとして使用したプローバユニットの寸法許容量
は、プリント基板の弾性変化量によって０．１ｍｍ〜
０．２ｍｍ程度となっている。さらに、プローバブロッ
ク自体の加工による誤差（通常０．１ｍｍ前後）であ
る。つまり、従来のプローバユニットでは、液晶パネル
の寸法変化を完全に吸収することができないことが明ら
かであった。

【００４０】そこで、本実施例のように、プローバユニ
ットを幾つかのブロック、即ち複数のプローバブロック
２に分割し、それぞれを個別に駆動させることで、図４
に示すように、被検査体である液晶パネル１８に対して
追従性を飛躍的に向上させることができる。この場合の
プローバブロック２は、１個当たりの被検査体の寸法変
化が数１０μｍであり、上下動のストローク量が１ｍｍ
程度であるので、プローバユニットの加工による誤差を
含めて液晶パネル１８の寸法変化を完全に吸収すること
ができる。

【００４１】上記の構成によれば、各プローバブロック
２を被検査体である液晶パネル１８の端子部１９への圧
接方向に平行して自在に移動させるシャフト１１、スト
ロークベアリング１２、ストッパ１３からなる支持手段
を有するとともに、圧接方向への一定の押し付け荷重を
与える付勢手段としての押しバネ１４が設けられている
ことで、プローバブロック２の探針部１の探針自体が備
える弾性力によるストローク量を超える昇降量をプロー
バブロック２自体に与えることができる。

【００４２】これにより、各プローバブロック２の探針
部１の高さ位置の不揃いや被検査体の平坦性によらず、
常に、一定の圧力で均一にプローバブロック２の探針部
１先端を液晶パネル１８の端子部１９に圧接させること
ができる。即ち、プローバブロック２は、液晶パネル１
８の形状に対して自在に追従することができる。

【００４３】また、各プローバブロック２は、接触面の
トラブル（異物や接触面の欠け割れ）が発生した場合に
おいても、液晶パネル１８のソリ、ウネリ等の変化量に
相当する昇降ストローク分だけそれぞれが独立して動く
ので、各プローバブロック２は一定圧接荷重を超える力
が印加されない。これにより、プローバブロック２の探
針部１の先端部を保護することができる。

【００４４】ここで、上記構成のディスプレイパネル用
検査装置によるプローバユニットと液晶パネル端子との
接触抵抗を測定したものを図５に示す。

【００４５】尚、このときの測定条件は、被検査体とし
て液晶パネル１８を使用し、プローバブロック２の探針
部１における探針特性としての最適押し込み量を０．３
ｍｍ、先端の高さバラツキを０．１ｍｍ、ユニットベー
ス９と取付けプレート８との組み付け精度の誤差を０．
１５ｍｍ（加工精度誤差は０．０４ｍｍ）、探針一本当
たりの圧接荷重を５ｇとする。

【００４６】図５は、横軸に、１２個の１６０出力のプ
ローバブロック２を取り、縦軸に、接触抵抗値を取り、
各プローバブロック２における１６０探針分の接触抵抗
値をプロットしたものである。この抵抗値は、探針とＩ
ＴＯ膜との接触抵抗とともに、ＩＴＯの面抵抗も同時に
測定しており、抵抗値測定用のテスタの探針は探針部１
の探針の１ｍｍ前方に形成された導電性ペーストのショ
ートリングに下ろしている。この時のＩＴＯ面抵抗は、
２０Ωであった（ＩＴＯ膜の膜厚は１５００Å）。

【００４７】以上の測定結果より、１９２０本におよぶ
探針の接触抵抗は、各ブロック毎に１０Ω程度のバラツ
キに収まり、安定した接触が得られることが確認でき
た。したがって、液晶パネル１８の端子部１９の表面形
状に対して、各プローバブロック２が適切に接触してい
ることが分かった。

【００４８】また、上記構成のプローバユニットの液晶
パネルの端子部への接触抵抗測定における比較例とし
て、取付けプレート８をユニットベース９に固定した場
合、即ちプローバブロック２がユニットベース９に対し
て移動しないように構成したプローバユニットの液晶パ
ネルの端子部への接触抵抗測定を行った。この結果を、
図６に示す。尚、測定条件、図中の横軸、縦軸は、前記
の測定と同様とする。

【００４９】以上の測定結果より、６番目および１０番
目に対応するプローバブロックの出力端子、即ち８０１
〜９６０の出力端子および１４４１〜１６００の出力端
子では、接触抵抗が無限大、即ち液晶パネルの端子部と
接触しなかった探針が存在していることが確認できた。
また、総じて、各プローバブロックの接触抵抗値のバラ
ツキが大きくなり、この結果、プローバブロックの探針
部と液晶パネル１８の端子部１９との接触を安定して行
うことができないことが分かった。

【００５０】以上のことから、本実施例のプローバユニ
ットは、各プローバブロック２の探針部１の高さ位置の
不揃いや被検査体の平坦性によらず、常に、一定の圧力
で均一にプローバブロック２の探針部１先端を液晶パネ
ル１８の端子部１９に圧接させることができる。したが
って、プローバブロック２は、液晶パネル１８の形状に
対して自在に追従することができる。

【００５１】また、各プローバブロック２は、液晶パネ
ル１８の端子部１９への圧接時において、端子部１９の
接触面の形状に応じて移動するようになっているので、
予め各プローバブロック２の探針部１の高さ調整を行う
必要がなくなる。

【００５２】したがって、液晶パネル１８のソリ、ウネ
リに対する追従性を向上させるだけでなく、各プローバ
ブロック２の取付け高さ位置の精密な調整を不要とし、
プローバブロック２の加工精度だけで充分な高さ位置精
度を得ることができる。これにより、プローバブロック
２間の高さ調整用の部材、例えばマニュピュレータのよ
うな高額な調整機器を必要としないので、ディスプレイ
パネル用検査装置での設備投資費を低減させることがで
き、また、プローバブロック２の交換の操作性を向上さ
せることができる。

【００５３】また、プローバブロック２の探針部１は、
常に、安定して被検査体の接触面に接触することができ
るので、接触抵抗のバラツキを無くし、検査精度の向上
を図ることができる。

【００５４】また、プローバブロック２が所定出力端子
毎、即ち１００〜２００出力端子毎に分割された探針部
１を有していることから、ディスプレイパネルにおいて
入力端子数の多いもの、特にＬＣＤパネル等の出力端子
の多い被検査体（ＶＧＡカラー規格で４３２０端子／パ
ネル）での探針部１の入力端子への追従性を向上させる
ことができ、この結果、多端子被検査体に対する検査精
度を向上させることができる。

【００５５】さらに、上記プローバユニットでは、押し
バネ１４を組み込み、押し付け圧力をほぼ一定に保たせ
ることで、各プローバブロック２にはバネ圧を超える荷
重が印加されないことから、被検査体の接触面に異物が
載っていたり、接触面自体の欠け割れ等のトラブルに対
して、プローバブロック２の探針部１先端を傷め、耐久
性を低下させたり、破損に至らしめることを防止するこ
とができる。

【００５６】また、プローバブロック２の支持手段とし
てのストロークベアリング１２がユニットベース９に設
けられ、付勢手段としての押しバネ１４が、プローバブ
ロック２とユニットベース９との間に設けられているこ
とで、プローバブロック２の移動のための機構が簡素な
構成で済む。このことにより、装置の小型化を図るとと
もに、装置の製造にかかる費用を低減することができ
る。

【００５７】尚、本実施例では、プローバブロック２の
移動機構として図２に示すように、シャフト１１、スト
ロークベアリング１２、押しバネ１４からなる移動機構
を使用しているが、例えば、図７に示すように、図１に
示す取付けプレート８に代えて取付けプレート２１を備
えたプローバユニットを使用しても良い。

【００５８】上記の取付けプレート２１を備えたプロー
バユニットについて、図７および図８を参照しながら以
下に説明する。尚、本説明では、図１および図２に示し
た部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付
記し、その説明は省略する。

【００５９】図７に示すように、プローバブロック２
は、取付けプレート２１に固定されている。この取付け
プレート２１は、ユニットベース２２に対して圧接方向
に移動自在に設けられている。

【００６０】ここで、上記のプローバブロック２の支持
手段について、図８を参照しながら以下に説明する。
尚、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本構成例のプローバユ
ニットの三面図を示すものである。

【００６１】上記取付けプレート２１は、一端側でカム
フロワーベアリング２３とシャフト２４とを介してユニ
ットベース２２に取付けられている。つまり、取付けプ
レート２１は、取付けプレート２１の後端側に設けら
れ、二股に別れた取付け部２１ａ・２１ａが、ユニット
ベース２２上面側に設けられた矩形台状の突出部２２ａ
…を挟み込むようにしてニットベース２２に取り付けら
れている。

【００６２】上記取付けプレート２１の取付け部２１ａ
には、上記したカムフロワーベアリング２３が組み込ま
れており、各ユニットベース２２のカムフロワーベアリ
ング２３の中心を上記シャフト２４が貫通し、両端側に
配された取付けプレート２１においてストッパ２５によ
り外側に圧力がかかるように固定されている。これによ
り、取付けプレート２１は、シャフト２４を中心軸とし
てユニットベース２２に対して回動自在となる。

【００６３】このとき、プローバブロック２の探針部１
の先端は、取付けプレート２１の回転動作に伴い円弧動
作を行うが、この動作による探針部１のストローク量は
１ｍｍ程度であるので、ほぼ水平な上下方向に動作させ
ることができる。

【００６４】また、取付けプレート２１とユニットベー
ス２２との間に取付けプレート２１を圧接方向に付勢す
る押しバネ２６が設けられている。これにより、プロー
バブロック２の探針部１先端は、被検査体の接触面側に
向かって、所定圧力で保持された状態となるので、被検
査体の接触面との接触時において一定の接触圧を与える
ことができる。

【００６５】以上の構成のプローバユニットにおいて
も、前記した図１に示すプローバユニットと同様な作用
・効果を得ることができる。

【００６６】

【発明の効果】本発明のディスプレイパネル用検査装置
は、以上のように、ディスプレイパネルの入力端子に接
触する導電性の接触部材を有し、この接触部材を介して
検査信号を入力し、ディスプレイパネルの電気的特性を
検査するディスプレイパネル用検査装置において、上記
接触部材に電気的に接続され、ディスプレイパネルに検
査信号を供給する検査信号供給手段と、上記接触部材を
所定出力端子毎に分割して形成される複数の分割体と、
上記各分割体を、個別にディスプレイパネルの入力端子
への接触方向に移動自在に支持する支持手段であって、
上記各分割体にそれぞれ設けられる一対のシャフトと、
上記シャフトを摺動自在に支持するストロークベアリン
グと、固定位置に取付けられ、上記ストロークベアリン
グが取付けられる支持体とを備える、そのような支持手
段と、上記各分割体と支持体との間に設けられ、上記各
分割体を個別にディスプレイパネルの入力端子への接触
方向に付勢する付勢手段とが備えられている構成であ
る。

【００６７】これにより、各分割体は、例えばディスプ
レイパネルの入力端子の形状にソリ、ウネリ等の変形が
存在してもその変形量に応じて、即ち接触面の形状に応
じて所定圧力を保持しながら移動することが可能とな
る。

【００６８】したがって、ソリ、ウネリ等の変形が存在
するディスプレイパネルの入力端子に対する各分割体の
追従性を向上させることができ、この結果、ディスプレ
イパネルの入力端子と接触部材との接触状態が良好とな
り、検査精度を向上させることができるという効果を奏
する。

【００６９】また、付勢手段は、上記分割体と支持体と
の間に設けられている構成である。これにより、装置の
小型化を図るとともに、装置の製造にかかる費用を低減
することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るディスプレイパネル用
検査装置としてのプローバユニットの斜視図である。

【図２】図１に示すプローバユニットの三面図を示すも
のであり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図、
同図（ｃ）は背面図である。

【図３】図１に示すプローバユニットの探針部の液晶パ
ネルの端子部への圧接機構を示す説明図である。

【図４】図３に示す圧接機構によりプローバユニットの
探針部と液晶パネルの端子部との圧接状態を示す説明図
である。

【図５】図１に示すプローバユニットにおける液晶パネ
ルの端子部への接触抵抗を測定した結果を示すグラフで
ある。

【図６】図１に示すプローバユニットにおいて、プロー
バブロックをユニットベースに固定した場合での液晶パ
ネルの端子部への接触抵抗を測定した結果を示すグラフ
である。

【図７】他の構成例に係るディスプレイパネル用検査装
置としてのプローバユニットの斜視図である。

【図８】図７に示すプローバユニットの三面図を示すも
のであり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図、
同図（ｃ）は背面図である。

【図９】従来のディスプレイパネル用検査装置としての
プローバユニットの斜視図である。

【図１０】従来のディスプレイパネル用検査装置として
のプローバユニットの斜視図である。

【図１１】従来のディスプレイパネル用検査装置として
のプローバユニットの斜視図である。

【符号の説明】

１ 探針部（接触部材） ２ プローバブロック（分割体） ４ ＬＳＩ（検査信号供給手段） ５ 印刷配線ボードＰＷＢ（検査信号供給手段） ９ ユニットベース（支持体） １１ シャフト １２ ストロークベアリング １３ ストッパ（支持手段） １４ 押しバネ（付勢手段） １８ 液晶パネル（ディスプレイパネル） １９ 端子部（入力端子）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/00 G01R 1/073 G02F 1/13

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ディスプレイパネルの入力端子に接触する
   導電性の接触部材を有し、この接触部材を介して検査信
   号を入力し、ディスプレイパネルの電気的特性を検査す
   るディスプレイパネル用検査装置において、 上記接触部材に電気的に接続され、ディスプレイパネル
   に検査信号を供給する検査信号供給手段と、 上記接触部材を所定出力端子毎に分割して形成される複
   数の分割体と、 上記各分割体を、個別にディスプレイパネルの入力端子
   への接触方向に移動自在に支持する支持手段であって、 上記各分割体にそれぞれ設けられる一対のシャフトと、 上記シャフトを摺動自在に支持するストロークベアリン
   グと、 固定位置に取付けられ、上記ストロークベアリングが取
   付けられる支持体とを備える、そのような支持手段 と、上記各分割体と支持体との間に設けられ、 上記各分割体
   を個別にディスプレイパネルの入力端子への接触方向に
   付勢する付勢手段とが備えられていることを特徴とする
   ディスプレイパネル用検査装置。