JPH06300781A - 表示パネル用プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マニピュレータを搭載した複数のプローブア
ッセンブリを備える表示パネル用プローバにおいて、マ
ニピュレータとプローブ針支持体との間に荷重吸収装置
を設けることにより、プローブ針に必要以上の荷重がか
からないようにする。 【構成】 プローブ針支持体２８は、圧縮スプリング５
４を備えた２本のネジシャフト５６と、１本の太いガイ
ドシャフト５８とによって、中間ブロック２７に接続さ
れている。ナット６０をある程度まで締めると、プロー
ブ針支持体２８には圧縮スプリング５４によって下方に
予荷重が付与される。各プローブ針４８が電極から受け
る荷重の合計が上記予荷重よりも大きくなると、圧縮ス
プリング５４に対抗してプローブ針支持体２８が上方に
移動し、予荷重以上の荷重がプローブ針支持体２８に作
用するのを防止できる。したがって、各プローブ針の受
ける荷重も限界荷重を越えない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は表示パネル用プローバ
に関し、例えば大型の液晶表示パネルを検査するのに用
いるプローバに関する。

【０００２】

【従来の技術】表示パネル用プローバとして特開平３−
２１８４７２号公報に開示されたものが知られている。
図５はこの表示パネル用プローバを模式的に示した平面
図である。この表示パネル用プローバは複数のプローブ
アッセンブリ１０を備え、これらは取付板１２に固定さ
れている。各プローブアッセンブリ１０にはプローブ針
支持体１４があり、このプローブ針支持体１４に複数の
プローブ針１６の基端が固定されている。プローブ針１
６は液晶表示パネル１８の被測定電極に適合するように
配列されている。各プローブアッセンブリ１０には、プ
ローブ針１６の先端位置の調整を可能にするマニピュレ
ータ２０が搭載されている。このマニピュレータ２０に
よって、プローブ針支持体１４を、Ｘ方向、Ｙ方向、お
よびＺ方向（紙面に垂直な方向）に微小移動可能にする
とともに、θ回転（Ｙ軸回りの回転）方向の調整も可能
にしている。

【０００３】この表示パネル用プローバは、表示パネル
の大画面化に伴う電極の増大に対して、比較的少ない数
のプローブ針を備えたプローブアッセンブリの組み合わ
せによって対処できるという利点がある。例えば、大型
の液晶表示パネルにあっては、表示パネルの一辺に配列
される電極の数は数百個から数千個程度にもなるが、各
辺を上述のように複数のプローブアッセンブリに分割す
ることにより、プローブ針の位置合わせが容易かつ正確
に実施できる。

【０００４】この表示パネル用プローバの動作を簡単に
説明すると、まず、液晶表示パネルの検査を開始する前
に、各プローブアッセンブリ１０においてプローブ針の
位置調整作業を行う。すなわち、液晶表示パネル１８を
検査位置に置いてから、それぞれのプローブアッセンブ
リ１０のマニピュレータ２０を用いて、プローブ針支持
体１４をＸＹＺ方向およびθ回転方向に微調節する。こ
れにより、各プローブアッセンブリ１０のプローブ針１
６が液晶表示パネル１８の被測定電極に対して正しく位
置決めされる。このような調整作業が完了すると、すべ
てのプローブアッセンブリは液晶表示パネルの被測定電
極に対して同時に接触可能になる。その後、液晶表示パ
ネルをＺ方向に移動させてプローブ針に所定のオーバー
ドライブ量をかけてから、所定の検査（例えば液晶表示
パネルの全面点灯検査）を実施する。なお、同一種類の
液晶表示パネルに対しては、上述の調整作業をやり直す
ことなく、次々と検査を実施することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの基板
には厚さのバラツキやうねりのバラツキが存在するが、
これは、プローブ針のたわみにより吸収される。その
際、すべてのプローブ針のたわみ量を所定のオーバード
ライブ量の範囲内にする必要がある。ところが、近年、
液晶表示パネルの大型化に伴い、基板の厚さとうねりの
バラツキが大きくなる傾向がある。その結果、多数の液
晶表示パネルを連続して検査する場合、上述の従来の表
示パネル用プローバを用いても、特定のプローブアッセ
ンブリのプローブ針に設定値以上のオーバードライブ量
がかかることがある。そうなると、このプローブ針には
限界以上の荷重がかかり、弾性限界を越えて変形した
り、耐久性が減少したり、極端なときには破損したりす
る、という問題が発生し、コンタクトの信頼性が著しく
低下する。

【０００６】なお、プローブ針を用いた通常の検査装置
に関して言えば、プローブ針に加わる荷重を一定にする
ための技術は次のように知られている。特開昭６２−２
５７７４３号公報に開示された技術によれば、圧力セン
サと流動性の絶縁体とを利用してプローブカードのプロ
ーブ針に一定の荷重を作用させている。また、特開平３
−２１１７４４号公報に開示された技術によれば、プロ
ーブ針に作用する荷重を圧電素子によって検出してプロ
ーブ針支持体を移動させることにより、プローブ針に一
定の荷重を作用させている。さらに、特開平３−２７３
１６８号公報および特開平４−２６２２６３号公報に開
示された技術によれば、プローブ針支持体をスプリング
で支持することにより、プローブ針に一定の荷重を作用
させている。

【０００７】この発明の目的は、マニピュレータを搭載
した複数のプローブアッセンブリを備える表示パネル用
プローバにおいて、プローブ針に必要以上の荷重がかか
らないようにすることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、表示パネ
ルの被測定電極に適合するように配列された複数のプロ
ーブ針を備える複数のプローブアッセンブリと、この複
数のプローブアッセンブリを取り付けることができて表
示パネルの被測定電極に対して各プローブアッセンブリ
のプローブ針を同時に接触させるようにした取付板と、
各プローブアッセンブリに搭載されてプローブ針の先端
位置を調整可能にするマニピュレータとを備えてなる表
示パネル用プローバにおいて、プローブ針を支持するプ
ローブ針支持体とマニピュレータとの間に荷重吸収装置
を設けたものである。

【０００９】各プローブアッセンブリに搭載されるマニ
ピュレータは、プローブ針の先端位置を調整するための
ものであって、少なくとも、表示パネルに平行な平面内
でプローブ針支持体を２次元的に移動調整できるもので
ある。好ましくは、プローブ針支持体を３次元的に移動
調整したり、回転調整したりできるようにする。この発
明における荷重吸収装置は、プローブ針に過大な荷重が
かからないようにするためのものであり、荷重を吸収す
るための機構としては種々の形態が考えられる。

【００１０】第２の発明は、第１の発明における荷重吸
収装置を、所望の設定荷重だけあらかじめ圧縮した状態
の圧縮スプリングから構成したものである。プローブ針
支持体は、前記圧縮スプリングによって、表示パネルの
電極から受ける荷重の方向とは逆の方向に、前記設定荷
重だけマニピュレータに対して予荷重が付与される。

【００１１】第３の発明は、第１の発明における荷重吸
収装置を、プローブ針が受ける荷重の方向に間隔を置い
て互いに平行に配置された２枚の弾性板から構成したも
のである。プローブ針支持体は前記弾性板を介してマニ
ピュレータに結合される。

【００１２】第４の発明は、第１の発明における荷重吸
収装置を、プローブ針が被測定電極に接触したことを検
出するセンサと、表示パネルを前記取付板に向かって相
対的に移動させる表示パネル相対移動装置と、プローブ
針支持体をマニピュレータに対して荷重の方向に移動さ
せる支持体移動装置とから構成したものである。そし
て、前記センサによる接触検出時点から、表示パネルの
前記相対移動に同期して、プローブ針の荷重が軽減する
方向にプローブ針支持体を移動させることを特徴として
いる。ここで、表示パネルを取付板に向かって相対的に
移動させる表示パネル相対移動装置としては、取付板を
静止させておいて液晶パネルを取付板の方向に移動させ
るような機構としてもよいし、その反対に、液晶パネル
を静止させておいて取付板を液晶パネルの方向に移動さ
せるような機構としてもよい。

【００１３】第５の発明は、第１の発明における荷重吸
収装置を、プローブ針が被測定電極に接触したことを検
出するセンサと、プローブ針支持体をマニピュレータに
対して荷重の方向に移動させる支持体移動装置とから構
成したものである。そして、それぞれのプローブアッセ
ンブリにおいて、前記センサによる接触検出時点から、
プローブ針支持体を表示パネルの方向に所定のオーバー
ドライブ量だけ移動させることを特徴としている。

【００１４】

【作用】複数のプローブアッセンブリを備えるプロ−バ
を大型の表示パネルの多数の電極に押し付けたときに、
プローブアッセンブリによってプローブ針が電極から受
ける荷重が異なることが予想される。そして、特定のプ
ローブアッセンブリのプローブ針に過大な荷重がかかっ
た場合には、プローブ針支持体とマニピュレータとの間
に設けた荷重吸収装置がこれを吸収するので、プローブ
針に過大な荷重がかかるのを防止できる。

【００１５】

【実施例】図１は、この発明の第１実施例の表示パネル
用プローバを構成する一つのプローブアッセンブリを示
すものであり、（Ａ）はプローブアッセンブリの平面
図、（Ｂ）はその側面図である。また、図２（Ａ）はこ
のプローブアッセンブリの正面図、（Ｂ）は荷重吸収装
置の斜視図である。表示パネル用プローバの全体構成は
図５に示す従来技術と同様であり、従来技術と本発明と
の違いは、個々のプローブアッセンブリの構造にある。

【００１６】図１及び図２に示すプローブアッセンブリ
は、荷重吸収装置として圧縮コイルスプリングを用いて
いる。図１（Ｂ）において、マニピュレータベース２２
はネジ２４（図１（Ａ）参照）によって取付板２６に固
定され、この時点でプローブ針支持体２８のＹ方向の位
置決めがなされる。Ｘフレーム３０はＸスライド３２を
介してマニピュレータベース２２に摺動可能に搭載され
ている。回転中心に対して偏心しているＸカム３４を回
転すると、Ｘスライド３２を介してＸフレーム３０がＸ
方向に移動する。Ｘフレーム３０にはＸ方向の長孔があ
いていて、この中にネジ３６が通っており、ネジ３６の
先端はマニピュレータベース２２に噛み合っている。Ｘ
フレーム３０のＸ方向の位置決めが完了したら、ネジ３
６を締め付けることによりＸフレーム３０をマニピュレ
ータベース２２に固定する。

【００１７】Ｚフレーム４２は、Ｚスライド４０を介し
て上下方向に摺動可能に、Ｘフレーム３０に取り付けら
れている。Ｘフレーム３０のＹ方向先端には引っ張りコ
イルスプリング３７の一端が固定され、このスプリング
３７はＺフレーム４２の貫通孔の内部を通過して、その
他端が中間ブロック２７の上面に固定されている。Ｚフ
レーム４２は中間ブロック２７を介して引っ張りコイル
スプリング３７によって上方に引っ張られている。一方
で、Ｚフレーム４２の上面には鋼球が埋め込まれてい
て、この鋼球はＺアジャストネジ３８の下端に接触して
いる。したがって、Ｚアジャストネジ３８を回転すると
Ｚフレーム４２がＺ方向に移動する。これにより、プロ
ーブ針支持体２８のＺ方向の原点合わせを行う。

【００１８】図２（Ａ）において、中間ブロック２７の
上面には上方突き出し部２５があって、この上方突き出
し部２５はヒンジ軸３９によって回動可能に支持されて
いる。このシャフト３９はＺフレーム４２に固定されて
いる。したがって、中間ブロック２７はヒンジ軸３９の
回りにθ回転可能である。中間ブロック２７の上面には
鋼球が埋め込まれていて、この鋼球はヒンジアジャスト
ネジ４４（図１（Ｂ）参照）の下端に接触している。し
たがって、ヒンジアジャストネジ４４を回転すると中間
ブロック２７はヒンジ軸３９の回りに回転する。これに
より、プローブ針の先端の並びと液晶基板との平行調整
を行う。

【００１９】この明細書では、ＸＹＺ方向及びθ回転を
次のように定義している。Ｘ方向とは、液晶表示パネル
に平行な面内においてプローブ針が並んでいる方向を指
す。Ｙ方向とは、液晶表示パネルに平行な面内において
Ｘ方向に垂直な方向を指す。Ｚ方向とは、液晶表示パネ
ルに垂直な方向を指す。θ回転とは、Ｙ軸回りの回転を
指す。

【００２０】図１（Ｂ）に戻って、この実施例では、プ
ローブアッセンブリに搭載されるマニピュレータは、マ
ニピュレータベース２２、Ｘフレーム３０、Ｘスライド
３２、Ｚスライド４０、Ｚフレーム４２、中間ブロック
２７などで構成されている。このマニュピレータは、上
述のように、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の位置調整とθ回転
方向の調整とが可能である。なお、Ｙ軸方向の位置調整
機構は特に搭載していない。というのは、Ｙ軸方向は、
液晶表示パネルの電極の長手方向に一致しており、プロ
ーブ針がＹ軸方向にある程度ずれていても、電極に接触
するのに支障がないからである。もちろん、必要に応じ
て、Ｙ軸方向の位置調整機構を搭載してもよい。

【００２１】プローブ針支持体２８の下面にはプリント
基板４６と針押さえ５０が接着剤で固定されている。プ
ローブ針４８の中間部は針押さえ５０に接着剤で固定さ
れ、プローブ針４８の基端部はプリント基板４６の配線
パターンに半田付けされている。プリント基板４６の配
線パターンにはフレキシブル配線基板５２が圧着により
接続されている。

【００２２】次に、この実施例の特徴的な部分である荷
重吸収装置について説明する。中間ブロック２７は、上
述のようにＺフレーム４２に対してθ回転可能に取り付
けられている。そして、この中間ブロック２７にプロー
ブ針支持体２８が所定の予荷重をもって弾性的に取り付
けられている。すなわち、プローブ針支持体２８は、圧
縮コイルスプリング５４を備えた２本のネジシャフト５
６と、１本の太いガイドシャフト５８とによって、中間
ブロック２７に接続されている。ネジシャフト５６はプ
ローブ針支持体２８の上面に固定されており、その先端
にはネジが切られていてナット６０と噛み合う。中間ブ
ロック２７の下面には凹部が形成されていて、この中に
圧縮コイルスプリング５４の上端が収納されている。圧
縮コイルスプリング５４の他端はプローブ針支持体２８
の上面に接触している。ナット６０をある程度まで締め
た状態では、圧縮コイルスプリング５４は適度に圧縮さ
れた状態にあり、プローブ針支持体２８は圧縮コイルス
プリング５４によって下方に荷重が付与されている。こ
のプローブ針支持体２８に対する予荷重は、ナット６０
の締め付け具合によって調節できる。図２（Ｂ）はこの
荷重吸収装置の斜視図である。

【００２３】図１（Ｂ）において、プローブ針４８が液
晶表示パネルの電極に押し付けられると、各プローブ針
４８は電極から荷重を受けることになる。その結果、プ
ローブアッセンブリに取り付けられた複数のプローブ針
４８にかかる荷重の合計が、プローブ針支持体２８に対
して上向きに作用する。この合計荷重が上記予荷重より
も小さいときは、プローブ針支持体２８は中間ブロック
２７に対して移動しない。合計荷重が上記予荷重よりも
大きくなると、圧縮コイルスプリング５４に対抗してプ
ローブ針支持体２８が上方に移動する。その結果、予荷
重以上の荷重がプローブ針支持体２８に作用するのを防
止できる。ここで、１本のプローブ針４８が安全に受け
ることのできる限界荷重をＦとし、プローブ針支持体２
８に固定されたプローブ針４８の本数をＮ本とすると、
プローブ針支持体２８の予荷重をＮ×Ｆに設定しておけ
ば、各プローブ針４８が限界荷重以上に負荷を受けるこ
とがなくなる。

【００２４】太いガイドシャフト５８はプローブ針支持
体２８の上面に固定され、中間ブロック２７に形成され
た貫通孔内を上下方向に摺動できる。このガイドシャフ
ト５８のおかげで、プローブ針支持体２８はＸＹ方向に
ずれることなく上下方向に移動できる。

【００２５】プローブアッセンブリのＸ方向の寸法は２
０〜４０ｍｍ程度であり、また、プローブ針４８の配列
ピッチは例えば０．１ｍｍである。２０ｍｍ幅のプロー
ブアッセンブリに０．１ｍｍピッチでプローブ針を配列
した場合には、一つのプローブアッセンブリに２００本
のプローブ針を取り付けることができる。この場合、１
本のプローブ針が受ける限界荷重を１５ｇとすると、プ
ローブ針支持体２８の限界荷重は約３ｋｇである。した
がって、上述の予荷重は約３ｋｇに設定すればよい。実
際には安全を考慮してもう少し小さい予荷重としてもよ
い。

【００２６】次に、この発明の第２実施例を説明する。
図３（Ａ）は第２実施例におけるプローブアッセンブリ
の側面図であり、（Ｂ）はその荷重吸収装置の斜視図で
ある。この実施例の荷重吸収装置は２枚の弾性板６２、
６４から構成されている。中間ブロック２７ａには第１
の弾性板支持ブロック６６が固定され、プローブ針支持
体２８ａには第２の弾性板支持ブロック６８が固定さ
れ、二つの弾性板支持ブロック６６、６８の間には２枚
の弾性板６２、６４が結合されている。これらの弾性板
６２、６４は、プローブ針４８ａが受ける荷重の方向
（すなわちＺ方向）に間隔を置いて互いに平行に配置さ
れている。これら弾性板６２、６４は、バネ性のある薄
板で形成されている。

【００２７】この実施例においては、プローブ針４８ａ
が液晶表示パネルの電極から荷重を受けると、その合計
荷重に応じてプローブ針支持体２８ａが弾性板の作用で
上方に移動する。その結果、プローブ針４８ａが受ける
荷重は、プローブ針自体のたわみと、弾性板６２、６４
のたわみとに分散される。ところで、１枚の弾性板だけ
を用いると、プローブ針支持体２８ａは、第１の弾性板
支持ブロック６６と弾性板との結合点を中心として回転
することになるが、この実施例では２枚の弾性板を用い
ているため、プローブ針支持体２８ａは上方にほぼ平行
移動する。なお、プローブ針支持体２８が上方に移動す
るとき、弾性板のたわみにより、プローブ針支持体２８
ａはわずかに矢印７０の方向に後退する。このような後
退により、プローブ針４８ａの先端は電極の上をわずか
にすべって、プロー針と電極との接触部を自己清浄し、
クリーンな接触面が得られる。したがって、このような
わずかな後退現象はむしろ好ましい。図３に示す実施例
のその他の構造は図１に示す実施例と同じである。

【００２８】次に、この発明の第３実施例を説明する。
図４は、第３実施例におけるプローブアッセンブリの側
面図である。この実施例の荷重吸収装置は、プローブ針
が電極に接触したのを検出するセンサと、プローブ針支
持体を移動させるためのパルスモータとを備えている。
Ｘフレーム３０ｂの上面にはパルスモータ７２が取り付
けられ、その出力軸はカップリング７４を介してネジ軸
７６に結合されている。Ｚフレーム４２ｂはネジ軸７６
に噛み合っており、ネジ軸７６の回転に伴ってＺスライ
ド４０ｂに沿ってＺ方向に上下移動できる。中間ブロッ
ク２７ｂは図１の実施例と同様にＺフレーム４２ｂに回
転可能に取り付けられている。ただし、引っ張りコイル
スプリング３７ｂの上端はＺフレーム４２ｂの上端付近
に固定されているのが図１の実施例と異なっている。プ
ローブ針支持体２８ｂは中間ブロック２７ｂに固定され
ている。プローブ針４８ｂのうち、Ｘ方向の両端の２本
のプローブ針は、電極との接触を検知するセンサの役割
も兼ねている。すなわち、これら両端の２本のプローブ
針のいずれかが液晶表示パネルの電極に接触すると、そ
の接触信号が制御装置に送られるようになっている。

【００２９】次に、この実施例の動作を説明する。最初
は、すべてのプローブアッセンブリのプローブ針４８ｂ
が液晶表示パネルの電極から離れた状態にある。プロー
ブアッセンブリを取り付けてある取付板２６ｂは常に静
止状態にある。これに対して、液晶表示パネルをゆっく
りと上昇させていくと、いずれかのプローブアッセンブ
リのプローブ針４８ｂが最初に液晶表示パネルの電極に
接触する。このとき、センサ兼用のプローブ針４８ｂか
ら接触信号が制御装置に送られる。すると、この時点か
ら、当該プローブアッセンブリのパルスモータ７２に駆
動信号が送られて、液晶表示パネルの上昇運動に同期し
て当該プローブアッセンブリのプローブ針支持体２８ｂ
が上昇するように、パルスモータ７２が回転する。すな
わち、液晶表示パネルの上昇と共に、プローブ針支持体
２８ｂも上昇していき、その結果、プローブ針４８ｂに
は荷重がほとんど作用しない。同様な動作が、各プロー
ブアッセンブリで次々と起こる。そして、最後のプロー
ブアッセンブリにおいて接触信号が得られたら、すべて
のプローブアッセンブリのパルスモータ７２の駆動を停
止する。この時点では、すべてのプローブアッセンブリ
のプローブ針４８ｂが液晶表示パネルの電極に軽く接触
した状態にある。すなわち、特定のプローブアッセンブ
リのプローブ針だけが大きな荷重を受けるようなことは
ない。この状態から、さらに液晶表示パネルを所定のオ
ーバードライブ量だけ上昇させることにより、各プロー
ブアッセンブリのプローブ針４８ｂと電極との間に所定
の接触圧がかかることになる。

【００３０】上述の図４の実施例において、液晶表示パ
ネルを上昇させる代わりに、液晶表示パネルを静止させ
ておいて取付板２６ｂの方を下降させてもよい。図４に
示す実施例のその他の構造は図１に示す実施例と同じで
ある。

【００３１】次に、この発明の第４実施例を説明する。
この第４実施例の機械的な構造は、図４に示すものと同
じである。ただし、パルスモータの制御方法が異なる。
したがって、図４を用いて第４実施例の動作を説明す
る。この実施例では、取付板２６ｂも液晶表示パネルも
両方静止させておく。そして、それぞれのプローブアッ
センブリにおいて、パルスモータ７２を駆動してプロー
ブ針支持体２８ｂをゆっくりと下降させていく。センサ
兼用のプローブ針４８ｂから接触信号が得られたら、そ
の時点から所定パルス数だけパルスモータ７２を駆動し
て所定のオーバードライブ量だけプローブ針支持体２８
ｂを下降させ、そこで停止する。これにより、このプロ
ーブアッセンブリのプローブ針４８ｂと電極との間に所
定の接触圧がかかることになる。ほかのプローブアッセ
ンブリについても同様な動作が生じ、すべてのプローブ
アッセンブリにおいて所定の接触圧が得られる。

【００３２】そのほかの実施例として、プローブ針にか
かる荷重を圧電素子で検出して、所定の荷重以上になっ
たらパルスモータを駆動してプローブ針支持体を上昇さ
せるような構成にすることもできる。

【００３３】以上の実施例の説明では、液晶表示パネル
を検査する場合を例にして説明したが、この発明の表示
パネル用プローバは、液晶パネル以外の表示パネルにも
適用できる。例えば、プラズマディスプレイパネルや、
エレクトロルミネッセントパネルにも適用できる。

【００３４】

【発明の効果】この発明の表示パネル用プローバは、各
プローブアッセンブリのマニピュレータとプローブ針支
持体との間に荷重吸収装置を設けたので、複数のプロー
ブアッセンブリのそれぞれにおいてプローブ針に過大な
荷重がかかるのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例のプローブアッセンブリ
の平面図と側面図である。

【図２】第１実施例のプローブアッセンブリの正面図と
荷重吸収装置の斜視図である。

【図３】第２実施例のプローブアッセンブリの側面図と
荷重吸収装置の斜視図である。

【図４】第３実施例のプローブアッセンブリの側面図で
ある。

【図５】従来の表示パネル用プローバの平面図である。

【符号の説明】

２２…マニピュレータベース ２６…取付板 ２７…中間ブロック ２８…プローブ針支持体 ３０…Ｘフレーム ３２…Ｘスライド ４０…Ｚスライド ４２…Ｚフレーム ４８…プローブ針 ５４…圧縮コイルスプリング ５６…ネジシャフト ５８…ガイドシャフト ６０…ナット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示パネルの被測定電極に適合するよう
   に配列された複数のプローブ針を備える複数のプローブ
   アッセンブリと、この複数のプローブアッセンブリを取
   り付けることができて表示パネルの被測定電極に対して
   各プローブアッセンブリのプローブ針を同時に接触させ
   るようにした取付板と、各プローブアッセンブリに搭載
   されてプローブ針の先端位置を調整可能にするマニピュ
   レータとを備えてなる表示パネル用プローバにおいて、 プローブ針を支持するプローブ針支持体とマニピュレー
   タとの間に荷重吸収装置を設けたことを特徴とする表示
   パネル用プローバ。
2. 【請求項２】 前記荷重吸収装置は、所望の設定荷重だ
   けあらかじめ圧縮した状態の圧縮スプリングからなり、
   プローブ針支持体は、前記圧縮スプリングによって、表
   示パネルの電極から受ける荷重の方向とは逆の方向に、
   前記設定荷重だけマニピュレータに対して予荷重が付与
   されていることを特徴とする請求項１記載の表示パネル
   用プローバ。
3. 【請求項３】 前記荷重吸収装置は、プローブ針が受け
   る荷重の方向に間隔を置いて互いに平行に配置された２
   枚の弾性板からなり、プローブ針支持体は前記弾性板を
   介してマニピュレータに結合されていることを特徴とす
   る請求項１記載の表示パネル用プローバ。
4. 【請求項４】 前記荷重吸収装置は、プローブ針が被測
   定電極に接触したことを検出するセンサと、表示パネル
   を前記取付板に向かって相対的に移動させる表示パネル
   相対移動装置と、プローブ針支持体をマニピュレータに
   対して荷重の方向に移動させる支持体移動装置とからな
   り、前記センサによる接触検出時点から、表示パネルの
   前記相対移動に同期して、プローブ針の荷重が軽減する
   方向にプローブ針支持体を移動させることを特徴とする
   請求項１記載の表示パネル用プローバ。
5. 【請求項５】 前記荷重吸収装置は、プローブ針が被測
   定電極に接触したことを検出するセンサと、プローブ針
   支持体をマニピュレータに対して荷重の方向に移動させ
   る支持体移動装置とからなり、それぞれのプローブアッ
   センブリにおいて、前記センサによる接触検出時点か
   ら、プローブ針支持体を表示パネルの方向に所定のオー
   バードライブ量だけ移動させることを特徴とする請求項
   １記載の表示パネル用プローバ。