KR20120009711A - 평판 표시 소자 검사 조립체 - Google Patents

평판 표시 소자 검사 조립체 Download PDF

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KR20120009711A
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장동준
주호영
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Abstract

본 발명은 평판 표시 소자의 검사 조립체를 제공한다. 검사 조립체는 베이스 블럭의 하부에 위치되어, 베이스 블럭에 대한 상대 위치가 변경가능한 프로브 블럭을 포함한다. 프로브 블럭의 하부에는 프로브가 제공된다.

Description

평판 표시 소자 검사 조립체{FLAT PANNEL DISPLAY INSPECTING ASSEMBLY}
본 발명은 평판 표시 패널의 검사를 위한 평판 표시 소자 검사 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 표시 패널은 패널 가장자리 부근에 패널을 구동하기 위한 수많은 접속단자를 구비하고 있으며, 이들 접속단자를 통해 평판 표시 패널의 화소에 전기적 신호를 인가한다. 평판 표시 패널이 제조되면, 제품에 장착하기 전에 패널에 전기적 신호를 인가하여 화소의 불량 유무를 검사한다.
이를 위한 검사장비는 각종 측정기기들이 내장된 테스터와, 테스터와 평판 표시 패널을 전기적으로 연결시켜 주는 평판 표시 소자 검사 조립체를 갖추고 있다. 특히, 평판 표시 소자 검사 조립체는 프로브에 형성된 전기라인들을 평판 표시 패널의 패드 전극에 직접 접촉시켜 패드 전극에 전기적 신호를 인가함과 동시에 출력을 검출한다.
일반적인 평판 표시 소자 검사 조립체는 프로브가 검사 조립체에 고정위치되므로, 전기라인들과 패드 전극들을 일대일 접촉시키는 것이 용이하지 않다. 이러한, 전기라인들과 패드 전극들의 접촉불량은 평판 표시 패널의 검사오류를 발생시키는 요인이 된다.
본 발명은 전기 라인들과 패드 전극들의 검사오류를 감소시킬 수 있는 평판 표시 소자 검사 조립체를 제공한다.
본 발명은 평판 표시 소자의 검사 조립체를 제공한다. 검사 조립체는 베이스 블럭; 상기 베이스 블럭의 하부에 위치되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상대 위치가 변경가능한 프로브 블럭; 상기 프로브 블럭의 하부에 제공되는 프로브를 포함한다.
상기 프로브 블럭에는 상면이 개방된 공간 및 상기 공간과 연결되는 나사홀이 형성되고, 상기 베이스 블록은 상기 공간에 놓이며, 상기 검사 조립체는 상기 나사홀에 삽입되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상기 프로브 블럭의 상대 위치를 조절하는 위치 조절 나사를 더 포함한다.
상기 베이스 블럭에는 하면이 개방된 공간 및 상기 공간과 연결되는 나사홀이 형성되며, 상기 프로브 블럭은 상기 공간에 놓이며, 상기 검사 조립체는 상기 나사홀에 삽입되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상기 프로브 블럭의 상대 위치를 조절하는 위치 조절 나사를 더 포함한다.
상기 프로브 블럭은 상기 베이스 블럭의 하부에 위치되는 제1바디, 상기 제1바디의 상면으로부터 상부로 돌출되는 제2바디, 그리고 상기 제1바디의 상면으로부터 상부로 돌출되고 상기 제2바디와 이격하여 나란하게 배치되는 제3바디를 가지고, 상기 나사홀은 상기 제2바디에 형성된 제1나사홀 및 상기 제3바디에 형성된 제2나사홀을 가지며, 상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀 및 상기 제2나사홀에 각각 삽입되며, 그 끝단이 상기 베이스 블럭의 측면에 접촉된다.
상기 제2바디는 상기 제1바디의 일측 가장자리영역에 위치하고, 상기 제3바디는 상기 제1바디의 타측 가장자리영역에 위치된다.
상기 베이스 블럭은 상기 프로브 블럭의 상부에 위치되는 제1바디, 상기 제1바디의 저면으로부터 하부로 돌출되는 제2바디, 그리고 상기 제1바디의 저면으로부터 하부로 돌출되고 상기 제2바디와 이격하여 나란하게 배치되는 제3바디를 가지고, 상기 나사홀은 상기 제2바디에 형성된 제1나사홀 및 상기 제3바디에 형성된 제2나사홀을 가지며, 상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀 및 상기 제2나사홀에 각각 삽입되며, 그 끝단이 상기 프로브 블럭의 측면에 접촉된다.
상기 제1나사홀은 상기 제2바디의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고, 상기 제2나사홀은 상기 제3바디의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고, 상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀들 및 상기 제2나사홀들 각각에 제공된다.
상기 제1바디에는 하면과 상면을 관통하는 제3나사홀이 형성되고, 상기 베이스 블럭의 저면에는 상기 제3나사홀과 연결되는 나사홈이 형성되되, 상기 검사 조립체는 상기 제3나사홀에 삽입되며, 그 끝단이 상기 나사홈에 위치되는 고정 나사를 더 포함하되, 상기 제3나사홀 및 상기 나사홈의 직경은 상기 고정 나사의 직경보다 크다.
상기 베이스 블럭의 측면에는 홈 또는 홀이 형성되지 않는다.
본 발명에 의하면, 검사 조립체에 대한 프로브의 상대적 위치변경이 가능하므로, 패드 전극들 및 전기 라인들의 정렬 및 접촉이 용이하게 조절될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시 패널의 검사장치를 간략하게 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사 조립체를 간략하게 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 베이스 블럭과 프로브 어셈블리의 사시도이다.
도 4는 도 3의 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 5는 도 3의 정 단면도이다.
도 6은 도 3의 평단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 제1방향으로 이동되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 제2방향으로 이동되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 회전되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 프로브 블럭을 이동시켜 프로브 시트의 전기 라인들과 평판 표시 소자의 패드 전극들의 접촉을 정렬하는 일 예를 나태내는 도면이다.
도 11 내지 14는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 14를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시 패널의 검사장치를 간략하게 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 검사장치(1)는 검사 조립체(10), 인터페이스 모듈(20), 회로기판 연결유닛(30), 그리고 테스터(40)를 포함한다.
검사 조립체(10)는 평판 표시 패널(2)에 형성된 패드 전극(3)과 접촉되며, 패드 전극(3)에 전기신호를 인가한다. 인터페이스 모듈(20)은 테스터(40)로부터 평판표시패널(2)의 X축, Y축으로 신호를 분리하여 전달하는 소스/게이트 인쇄회로기판(PCB, 21)을 가진다. 회로기판 연결유닛(30)은 소스/게이트 인쇄회로기판(21)과 검사 조립체(10)의 연성회로기판(FPC, 11)에 형성된 전극라인들을 전기적으로 연결시킨다. 그리고, 테스터(40)는 평판 표시 패널(2)을 테스트하기 위한 소정의 신호를 발생시킨다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사 조립체를 간략하게 나타내는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 검사 조립체(10)는 아암(102), 헤드(104), 리니어 가이드(106), 베이스 블럭(108) 그리고 프로브 어셈블리(200)를 포함한다.
아암(102)은 스테이지(미도시)에 고정 배치된다. 아암(102)의 선단에는 헤드(104)가 결합된다. 헤드(104)는 볼트에 의해 아암(102)과 체결된다. 리니어 가이드(106)는 평판 표시 패널(2)의 검사 과정에서 상하로 유동이 발생할 수 있도록 헤드(104)와 아암(102)사이에 설치된다. 헤드(104)의 저면에는 베이스 블럭(108)이 결합된다. 베이스 블럭(108)의 저면에는 프로브 어셈블리(200)가 설치된다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 베이스 블럭과 프로브 어셈블리의 사시도이고, 도 4는 도 3의 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 분해 사시도이고, 도 5는 도 3의 정 단면도이고, 도 6은 도 3의 평단면도이다.
도 3 내지 6을 참조하면, 베이스 블럭(108)은 대체로 평평한 직육면체의 블럭으로 제공된다. 실시예에 의하면, 베이스 블럭(108)은 상부에서 바라볼 때, 선단부의 폭이 후단부의 폭보다 작도록 양 측면이 단차진다. 베이스 블럭(108)의 선단부 양 측면에는 홀 또는 홈이 형성되지 않는다. 베이스 블럭(108)은 헤드(104)에 대한 상대적 위치가 고정되도록 헤드(104)에 결합된다. 실시예에 의하면, 베이스 블럭(108)은 상면에 형성된 나사홈(107)을 통해 헤드(104)와 볼트체결될 수 있다.
프로브 어셈블리(200)는 베이스 블럭(108)의 선단부에 위치된다. 프로브 어셈블리(200)는 베이스 블럭(108)에 대한 상대위치가 변경되도록 이동가능하게 제공된다. 프로브 어셈블리(200)는 프로브 블럭(210), 탄성 블럭(231), 프로브(232), 위치 조절 나사(221, 225), 그리고 지지 블럭(241)을 포함한다.
본 발명의 실시예에서는 프로브(232)의 다양한 형태들 중 시트(sheet) 형태로 제공되는 프로브 시트를 예로 들어 설명한다. 프로브 시트(232)는 일정한 폭을 갖는 절연성 필름으로 제공되며, 그 내부에 복수개의 전극라인(도 11의 233)들이 길이방향을 따라 형성된다. 전극라인(233)들은 프로브 시트(232)의 폭방향을 따라 일정간격 서로 이격하여 형성된다. 프로브 시트(232)는 그 일단이 탄성 블럭(231)의 저면 선단에 결합하고, 타단이 연성회로기판(11)과 연결된다. 프로브 시트(232)의 내부에 제공되는 전극라인(233)들은 평판 표시 패널(도 11의 2)의 패드 전극(도 11의 3)들 및 연성회로기판(11)의 전극라인들과 전기적으로 연결되며, 연성회로기판(11)을 통해 전달된 신호를 평판 표시 패널(2)의 패드 전극(3)으로 전달한다. 프로브 시트(232)의 상면에는 탭 아이씨(이하, TAB IC라고 한다, 미도시)가 실장된다. TAB IC는 프로브 시트가 평판 표시 패널(2)로부터 검출한 신호를 입력받아 구동신호를 출력한다. 이하, 프로브 시트(231)의 폭 방향을 제1방향(4)이라하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(4)에 수직한 방향을 제2방향(5)이라 하고, 제1방향(4) 및 제2방향(5)에 수직한 방향을 제3방향(6)이라 한다.
프로브 블럭(210)은 베이스 블럭(108)에 대하여 상대 위치가 변경되도록 이동 가능한 구조로 제공된다. 실시예에 의하면, 프로브 블럭(210)은 제1바디(211), 제2바디(212), 그리고 제3바디(213)를 가진다. 제1 내지 제3바디(211 내지 213)는 서로 연결되어 하나의 블럭을 형성한다. 구체적으로, 제1바디(211)는 직육면체 형상의 플레이트로 제공되며, 베이스 블럭(108)의 선단부 하부에 위치한다. 제1바디(211)는 제1방향(4)의 폭이 베이스 블럭(108)의 선단부 폭보다 크게 제공된다. 제1바디(211)의 선단 하부에는 안착홈(218)이 형성된다. 안착홈(218)은 제1방향(4)을 따라 제1바디(211)의 저면에 형성된다. 실시예에 의하면, 안착홈(218)은 베이스 블럭(108)의 일측면으로부터 제1방향(4)으로 타측면으로 제공되며, 베이스 블럭(108)을 관통하여 형성된다. 안착홈(218)은 탄성 블럭(231)이 위치되는 공간으로 제공된다.
제2바디(212)는 제1바디(211)의 일측 가장자리영역에서 상부로 돌출된다. 제2바디(212)의 상면은 베이스 블럭(108)의 선단부 일측에 위치한다. 제2바디(212)는 직육면체 형상의 블럭으로 제공되며, 그 길이방향이 제2방향(5)과 나란하게 배치된다. 제2바디(212)는 베이스 블럭(108)의 선단부에 대응하는 길이를 갖는다. 실시예에 의하면, 제2바디(212)의 상면은 베이스 블럭(108)의 상면과 동일한 높이로 제공되거나, 베이스 블럭(108)의 상면보다 낮게 제공될 수 있다.
제2바디(212)에는 제1나사홀(214)이 형성된다. 제1나사홀(214)은 제2방향(5)과 나란하게 배치되는 제2바디(212)의 양 측면을 관통하여 제1방향(4)으로 형성된다. 제1나사홀(214)은 프로브 블럭(210)에 형성된 공간과 연결된다. 제1나사홀(214)은 위치 조절 나사(221)가 삽입되는 공간으로 제공된다. 실시예에 의하면, 제1나사홀(214)은 제2방향(5)을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며, 각각의 제1나사홀(214)에 위치 조절 나사(222, 223)가 삽입된다.
제3바디(213)는 제1바디(211)의 타측 가장자리영역에서 상부로 돌출된다. 제3바디(213)의 상면은 베이스 블럭(108)의 선단부 타측에 위치한다. 제3바디(213)는 베이스 블럭(108)을 사이에 두고 제2바디(212)와 대향하여 서로 나란하게 배치된다. 제3바디(213)는 직육면체 형상의 블럭으로 제공되며, 제2방향(5)으로 제2바디(212)와 동일한 길이를 가진다. 제3바디(213)의 상면은 제2바디(212)의 상면과 동일한 높이로 제공될 수 있다. 상술한 제1 내지 제3바디(211 내지 213)에 의해 형성되는 프로브 블럭(210)은 상면이 개방된 공간을 가진다. 프로브 블럭(210)의 공간은 베이스 블럭(108)가 위치되는 공간으로 제공된다.
제3바디(213)에는 제2나사홀(215)이 형성된다. 제2나사홀(215)은 제2방향(5)과 나란하게 배치되는 제3바디(213)의 양 측면을 관통하여 제1방향(4)으로 형성된다. 제2나사홀(215)은 프로브 블럭(210)에 형성된 공간과 연결된다. 제2나사홀(215)은 위치 조절 나사(225)가 삽입되는 공간으로 제공된다. 실시예에 의하면, 제2나사홀(215)은 제2방향(5)을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며, 각각의 제2나사홀(215)에 위치 조절 나사(226, 227)가 삽입된다. 실시예에 의하면, 제1나사홀(214)과 제2나사홀(215)은 서로 대응하여 제1방향(4)과 나란한 동일 직선상에 위치될 수 있다.
제2바디(212)와 제3바디(213)간의 간격(W2)은 베이스 블럭(108) 선단의 제1방향(4)의 폭(W1)보다 크게 제공된다. 이에 의하여, 제2바디(212)와 제3바디(213) 사이에는 베이스 블럭(108)에 대하여 프로브 블럭(210)이 제1방향(4)으로 소정 거리(g1) 이동될 수 있는 공간이 형성된다. 실시예에 의하면, 프로브 블럭(210)이 이동될 수 있는 거리(g1)는 수 내지 수백 마이크로 미터(μm) 범위이내 일 수 있다.
위치 조절 나사(221, 225)는 제1나사홀(214) 및 제2나사홀(215)에 각각 삽입된다. 위치 조절 나사(221, 225)는 머릿부(221a, 222b)가 프로브 블럭(212, 213)의 외측에 위치하고, 몸체(222a, 226a)가 제1,2나사홀(214, 215)에 삽입된다. 몸체(222a, 226a)는 나사홀(214, 215)의 깊이보다 길게 제공된다. 몸체(222a, 226a)의 끝단부는 베이스 블럭(108)과 인접하여 위치된다. 몸체(222a, 226a)의 끝단부는 베이스 블럭(108)의 측면과 접촉된다. 실시예에 의하면, 제2바디(212)과 제3바디(213)에는 각각 두 개의 위치 조절 나사(222, 223, 226, 227))가 삽입된다. 이하, 제2바디(212)에 삽입되는 위치 조절 나사(222, 223)를 제1조절 나사(221)라하고, 제3바디(213)에 삽입되는 위치 조절 나사(226, 227)를 제2조절 나사(225)라고 한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 제1방향으로 이동되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 제1조절 나사(222, 223)를 회전시키고, 제1조절 나사(222, 223)의 회전수만큼 제2조절 나사(226, 227)를 회전시킨다. 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 회전으로, 제1조절 나사(222, 223)의 끝단부와 제2조절 나사(226, 227)의 끝단부는 베이스 블럭(108)의 외측면과 접촉된 상태에서 제1방향(4)으로 이동된다. 그리고, 프로브 블럭(212, 213)은 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 회전으로 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 끝단부가 이동되는 방향과 반대방향으로 소정 거리(d)이동된다. 상술한, 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 조절에 의하여, 프로브 블럭(212, 213)은 베이스 블럭(108)에 대하여 상대위치가 제1방향(4)으로 변경되도록 이동될 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 제2방향으로 이동되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 8을 참조하면, 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)를 회전시켜, 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 끝단부를 베이스 블럭(108)의 측면으로부터 이격시킨다. 그리고, 프로브 블럭(210)을 제2방향(5)으로 소정 거리(d) 이동시킨 후, 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 끝단부가 베이스 블럭(108)의 측면에 접촉되도록 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)를 회전시킨다. 제1 및 제2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 끝단부가 베이스 블럭(108)의 양측에서 베이스 블럭(108)의 양 측면을 소정 힘으로 가압하도록 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)를 회전시킨다. 프로브 블럭(211 내지 213)은 제1 및 제2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 가압력에 의해 베이스 블럭(108)과 결합될 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따라 베이스 블럭이 회전되는 과정을 나타내는 단면도이다.
도 9를 참조하면, 한 쌍의 제1조절나사(222, 223)들에서 각각의 제1조절나사(222, 223)의 회전수가 상이하도록 제1조절 나사(222, 223)들을 회전시키고, 한 쌍의 제2조절나사(226, 227)들에서 각각의 제2조절 나사(226, 227)의 회전수가 상이하도록 제2조절 나사(226, 227)들을 회전시킨다. 실시예에 의하면, 전방에 위치하는 제1조절나사(222)의 회전수가 후방에 위치되는 제1조절나사(223)의 회전수보다 많도록 한 쌍의 제1조절나사(222, 223)들을 회전시키고, 전방에 위치하는 제2조절나사(226)의 회전수가 후방에 위치되는 제2조절나사(227)의 회전수보다 적도록 한 쌍의 제2조절나사(226, 227)들을 회전시킨다. 이에 의하여, 프로브 블럭(212, 213)은 베이스 블럭(108)에 대해 소정 각도(θ) 회전되어 상대 위치가 변경된다.
다시, 도 3 내지 5를 참조하면, 탄성 블럭(231)은 안착홈(218)에 삽입된다. 탄성 블럭(231)은 프로브 블럭(210)보다 아래방향으로 돌출되게 제공된다. 탄성 블럭(231)은 그 길이방향이 제1방향(4)과 나란하도록 배치된다. 탄성 블럭(231)의 저면은 선단에서 후단으로 갈수록 높이가 점점 높아지도록 상향 경사진다. 탄성 블럭(231)의 저면 선단에는 프로브 시트(232)의 일단이 결합된다. 실시예에 의하면, 탄성 블럭(231)은 탄성 재질로 제공될 수 있다. 평판 표시 패널(도 1의 2)의 검사시, 탄성 블럭(231)은 평판 표시 패널(2)의 패드 전극(3)과 프로브 시트(232)의 전극라인이 충분한 접촉력으로 접촉될 수 있도록 평판 표시 패널(2)을 소정 압력으로 가압한다. 탄성 블럭(231)은 평판 표시 패널(2)을 가압하는 영역이 가압력에 의해 눌러져 평판 표시 패널(2)과 접촉되는 면적이 넓어진다.
지지 블럭(241)은 프로브 시트(232)의 하부에 위치한다. 지지 블럭(241)의 선단부는 상면이 상향경사지게 제공된다. 지지블럭(241)의 선단부는 프로브 시트(232)가 상향 경사지게 배치되도록 프로브 시트(232)를 안내한다. 지지 블럭(241)의 후단부는 상면이 평평하게 제공된다. 지지 블럭(241)의 후단부는 프로브 시트(232)의 후단부와 연성회로기판(11)이 압착 고정되도록 프로브 시트(232)와 연성회로기판(11)의 접합부를 지지한다. 실시예에 의하면, 지지 블럭(241)의 후단부에는 프로브 시트(232) 내부의 전극라인들과 연성회로기판(11)의 전극라인들이 충분한 접촉력으로 접촉될 수 있도록 돌출부(미도시)가 제공될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 프로브 블럭을 이동시켜 프로브 시트의 전기 라인들과 평판 표시 소자의 패드 전극들의 접촉을 정렬하는 일 예를 나태내는 도면이다.
도 7 및 10을 참조하면, 본 실시예에서는 프로브 시트(232)의 전기라인들(233)과 평판 표시 소자(2)의 패드 전극(3)들이 제1방향(4)을 따라 소정 간격(d1) 이격되어 전기라인(233)들과 패드 전극(3)들이 접촉되지 않는 경우, 프로브 블럭(212, 213)을 제1방향(4)으로 이동시켜 전기 라인(233)들과 패드 전극(3)들을 접촉시키는 과정을 설명한다. 먼저, 제1조절 나사(222, 223)를 회전시키고, 제1조절 나사(222, 223)의 회전수만큼 제2조절 나사(226, 227)를 회전시킨다. 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 회전으로, 제1조절 나사(222, 223)의 끝단부와 제2조절 나사(226, 227)의 끝단부는 베이스 블럭(108)의 외측면과 접촉된 상태에서 제1방향(4)으로 전기 라인(233)과 패드 전극(3)이 이격된 간격(d1)만큼 이동된다. 그리고, 프로브 블럭(212, 213)은 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 회전으로 제1 및 제 2 조절 나사(222, 223, 226, 227)의 끝단부가 이동되는 방향과 반대방향으로 전기 라인(233)과 패드 전극(3)이 이격된 간격(d1)만큼 이동된다. 프로브 블럭(212, 213)의 이동으로 프로브 블럭(212, 213)과 연결된 프로브 시트(232)가 이동되어 전기 라인(233)과 패드 전극(3)이 동일 직선상으로 정렬 및 접촉된다.
상기 실시예에서는 프로브 블럭을 제1방향으로 이동시켜, 전기 라인과 패드 전극을 정렬시키는 예로 설명하였으나, 제2방향으로 전기 라인과 패드 전극이 접촉되지 않은 경우, 상술한 도 8에 도시된 프로브 블럭의 제2방향 이동으로 전기 라인과 패드 전극을 접촉시킬 수 있을 것이다. 또한, 전기 라인과 패드 전극이 동일 직선상에 위치되지 않는 경우 상술한 도 9에 도시된 프로브 블럭의 회전으로 전기 라인과 패드 전극을 동일 직선상에 정렬시킬 수 있을 것이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 어셈블리를 나타내는 단면도이다.
도 11을 참조하면, 프로브 블럭의 제1바디(211)에는 제3나사홀(215)이 형성된다. 제3나사홀(215)은 제1바디(211)의 상면 및 하면을 관통하여 형성된다. 실시예에 의하면, 제3나사홀(215)은 복수개 형성될 수 있다.
베이스 블럭(108)의 저면에는 제3나사홀(215)과 연결되는 나사홈(109)이 형성된다. 나사홈(109)은 제3나사홀(215)이 형성된 위치에 대응하여 형성되며, 제3나사홀(215)이 제공되는 수에 대응하여 복수개 제공될 수 있다.
상술한 제3나사홀(215)과 나사홈(109)에는 고정 나사(251)가 삽입된다. 고정 나사(251)는 제1 및 제2 조절나사(223, 227)를 보조하여 프로브 블럭(211, 212, 213)을 베이스 블럭(108)에 결합시킨다. 고정 나사(251)는 베이스 블럭(108)에 대한 상대 위치가 변경되도록 프로브 브럭(108)을 이동시키는 과정에서, 프로브 블럭(211, 212, 213)이 베이스 블럭(108)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. 실시예에 의하면, 제3나사홀(215)과 나사홈(109)은 고정나사(251)의 몸체의 직경보다 큰 직경을 가진다. 구체적으로, 제3나사홀(215)과 나사홈(109)은 프로브 블럭(211, 212, 213)이 이동되는 과정에서 고정 나사(251)의 몸체가 위치될 수 있도록 고정나사(251)의 몸체보다 큰 직경을 가진다. 실시예에 의하면, 제3나사홀(215)과 나사홈(109)은 고정 나사(251)의 몸체 직경보다 수 내지 수백 마이크로 미터 큰 직경을 가진다. 한편, 제3나사홀(215) 및 나사홈(109)에 형성된 나사산과 나사골의 간격 및 고정 나사(251)의 몸체(251b)에 형성된 나사산 및 나산골간의 간격은 제3나사홀(215) 또는 나사홈(109)의 직경과 고정나사(251)의 몸체(251b)의 직경의 차이보다 크게 제공되므로, 고정 나사(251)가 제3나사홀(215) 및 나사홈(109)으로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 단면도이다.
도 12를 참조하면, 도 5의 실시예와 달리 프로브 블럭의 제2바디(212)와 제3바디(213)는 제1바디(211)의 가장자리영역에 위치하지 않는다. 실시예에 의하면, 제2바디(212)와 제3바디(213)는 제1바디(211)의 가장자리영역과 중심영역 사이에 각각 위치한다. 제2바디(212)와 제3바디(213) 사이에는 베이스 블럭(108)이 위치한다, 본 실시예에서는 제1바디(211)의 제1방향(4) 폭이 베이스 블럭(108)의 폭보다 상대적으로 크게 제공된다. 이에 의해, 탄성 블럭(231) 및 프로브 시트(232)의 제1방향(4) 폭은 제1바디(211)의 폭에 대응하는 크기로 제공될 수 있으므로, 프로브 시트(232)가 평판 표시 패널과 접촉하는 면적이 넓어질 수 있다.
도 13는 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 단면도이다.
도 13을 참조하면, 도 5의 실시예와 달리, 프로브 블럭은 제1바디(211)와 제2바디(212)의 연결에 의해 형성된다. 제2바디(212)는 제1바디(211)의 일측 가장자리 상면으로부터 상부로 돌출된다. 베이스 블럭(108)은 제1바디(211)의 상부 및 제2바디(212)의 일측부에 위치된다. 제2바디(212)에는 나사홀이 형성되며, 위치 조절 나사(222)는 나사홀에 삽입되어, 베이스 블럭(108)에 대한 프로브 블럭(211, 212)의 상대위치가 변경되도록 조절한다. 프로브 블럭(211, 212)과 베이스 블럭(108)은 도 11에 도시된 고정 나사(251)에 의해 연결될 수 있다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 베이스 블럭 및 프로브 어셈블리의 단면도이다.
도 14를 참조하면, 베이스 블럭(108)은 제1바디(108a), 제2바디(108b), 그리고 제3바디(108c)를 가진다. 제1 내지 3바디(108a 내지 108c)는 서로 연결되어 하나의 블럭을 형성한다. 제1바디(108a)는 직육면체 형성의 플레이트로 제공되며, 프로브 블럭(210)의 상부에 위치한다. 제1바디(108a)는 제1방향(4)의 폭이 프로브 블럭(210)의 폭보다 크게 제공된다. 제2바디(108b)는 제1바디(108a)의 저면으로부터 하부로 돌출되며, 저면은 프로브 블럭(210)의 일측에 위치한다. 제2바디(108b)는 직육면체 형상의 블럭으로 제공되며, 그 길이방향이 프로브 블럭(210)의 측면과 나란하게 배치된다. 실시예에 의하면, 제2바디(108b)의 저면은 프로브 블럭(210)의 저면과 동일 높이에 제공되거나, 그보다 낮게 또는 높게 제공될 수 있다.
제2바디(108b)에는 제1나사홀(109a)이 형성된다. 제1나사홀(109a)은 제2바디(108b)의 양 측면을 관통하여 제1방향(4)으로 형성된다. 제1나사홀(109a)은 베이스 블럭(108)에 형성된 공간과 연결된다. 제1나사홀(109a)은 위치 조절 나사(222)가 삽입되는 공간으로 제공된다. 실시예에 의하면, 제1나사홀(109a)은 제2바디(108b)의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며, 각각의 제1나사홀(109a)에 위치 조절 나사(222)가 삽입된다.
제3바디(108c)는 제2바디(108b)와 이격하여 제1바디(108b)의 저면으로부터 하부로 돌출된다. 제3바디(108c)는 직육면체 형상의 블럭으로 제공되며, 제2바디(108b)와 나란하게 배치된다. 제2바디(108b)는 제1바디(108a)의 일측 가장자리영역에 위치하고, 제3바디(108c)는 제1바디(108a)의 타측 가장자리영역에 위치될 수 있다. 제3바디(108c)는 저면이 프로브 블럭(210)의 일측에 위치된다. 실시예에 의하면, 제3바디(108c)의 저면은 프로브 블럭(210)의 저면과 동일 높이에 제공되거나, 그보다 낮게 또는 높게 제공될 수 있다. 상술한 제1 내지 제3블럭(108a 내지 108c)에 의해 베이스 블럭(108)은 하면이 개방된 공간을 가진다. 베이스 블럭(108)의 공간은 프로브 블럭(210)이 위치되는 공간으로 제공된다.
제3바디(108c)에는 제2나사홀(109b)이 형성된다. 제2나사홀(109b)은 제3바디(108c)의 양 측면을 관통하여 제1방향(4)으로 형성된다. 제2나사홀(109b)은 베이스 블럭(108)에 형성된 공간과 연결된다. 제2나사홀(109b)은 위치 조절 나사(226)가 삽입되는 공간으로 제공된다. 실시예에 의하면, 제2나사홀(109b)은 제3바디(108c)의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되며, 각각의 제2나사홀(109b)에 위치 조절 나사(226)가 삽입된다. 실시예에 의하면, 제1나사홀(109a)과 제2나사홀(109b)은 서로 대응하여 제1방향(4)과 나란한 동일 직선상에 위치될 수 있다.
제2바디(108b)와 제3바디(108c)간의 간격은 프로브 블럭(210)의 제1방향(4)의 폭보다 크게 제공된다. 이에 의하여 제2바디(108b)와 제3바디(108c) 사이에는 프로브 블럭(210)이 제1방향(4)으로 소정 거리 이동될 수 있는 공간이 형성된다.
프로브 블럭(210)은 제1 내지 제3바디(108a 내지 108c)의 내측면에 의해 형성되는 공간에 위치되며, 베이스 블럭(108)에 대하여 상대 위치가 변경되도록 제공된다. 브로브 블럭(210)의 저면에는 안착홈(미도시)이 제1방향(4)을 따라 형성되며, 안착홈에는 탄성 블럭(231)이 삽입된다. 탄성 블럭(231)은 프로브 블럭(210)보다 아래방향으로 돌출되게 제공되며, 그 저면에 프로브 시트(232)가 결합한다.
위치 조절 나사(222, 226)는 제1나사홀(109a) 및 제2나사홀(109b)에 각각 삽입된다. 위치조절 나사(222, 226)의 머릿부(222a, 226b)는 베이스 블럭(108)의 외측에 위치하고 몸체(222b, 226a)가 제1, 2나사홀(109a, 109b)에 삽입된다. 몸체(222b, 226a)는 그 끝단부가 프로브 블럭(210)의 측면과 접촉된다. 실시예에 의하면, 제2바디(108b)와 제3바디(108c)에는 각각 2개의 위치 조절 나사(222, 226)가 제공된다. 위치 조절 나사(222, 226)의 조절로 프로브 블럭(210)은 제2바디(108b)와 제3바디(108c) 사이 공간에서 제1방향(4)으로 소정거리 이동될 수 있다. 또한, 위치 조절 나사(222, 226)의 조절로 프로브 블럭(210)은 제2바디(108b) 및 제3바디(108c)의 길이방향을 따라 소정 거리 이동될 수 있다. 또한, 위치 조절 나사(222, 226)의 조절로 프로브 블럭(210)은 제2바디(108b) 및 제3바디(108c)의 길이방향에 대해 소정 각도 회전되어 상대 위치가 변경될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나태 내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
108: 베이스 블럭 200: 프로브 어셈블리
210: 프로브 블럭 231: 탄성 블럭
232: 프로브 221, 225: 위치 조절 나사
241: 지지 블럭

Claims (9)

  1. 베이스 블럭;
    상기 베이스 블럭의 하부에 위치되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상대 위치가 변경가능한 프로브 블럭;
    상기 프로브 블럭의 하부에 제공되는 프로브를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 블럭에는 상면이 개방된 공간 및 상기 공간과 연결되는 나사홀이 형성되고,
    상기 베이스 블록은 상기 공간에 놓이며,
    상기 검사 조립체는
    상기 나사홀에 삽입되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상기 프로브 블럭의 상대 위치를 조절하는 위치 조절 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 블럭에는 하면이 개방된 공간 및 상기 공간과 연결되는 나사홀이 형성되며,
    상기 프로브 블럭은 상기 공간에 놓이며,
    상기 검사 조립체는
    상기 나사홀에 삽입되며, 상기 베이스 블럭에 대한 상기 프로브 블럭의 상대 위치를 조절하는 위치 조절 나사를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 프로브 블럭은 상기 베이스 블럭의 하부에 위치되는 제1바디, 상기 제1바디의 상면으로부터 상부로 돌출되는 제2바디, 그리고 상기 제1바디의 상면으로부터 상부로 돌출되고 상기 제2바디와 이격하여 나란하게 배치되는 제3바디를 가지고,
    상기 나사홀은 상기 제2바디에 형성된 제1나사홀 및 상기 제3바디에 형성된 제2나사홀을 가지며,
    상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀 및 상기 제2나사홀에 각각 삽입되며, 그 끝단이 상기 베이스 블럭의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2바디는 상기 제1바디의 일측 가장자리영역에 위치하고,
    상기 제3바디는 상기 제1바디의 타측 가장자리영역에 위치되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 베이스 블럭은 상기 프로브 블럭의 상부에 위치되는 제1바디, 상기 제1바디의 저면으로부터 하부로 돌출되는 제2바디, 그리고 상기 제1바디의 저면으로부터 하부로 돌출되고 상기 제2바디와 이격하여 나란하게 배치되는 제3바디를 가지고,
    상기 나사홀은 상기 제2바디에 형성된 제1나사홀 및 상기 제3바디에 형성된 제2나사홀을 가지며,
    상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀 및 상기 제2나사홀에 각각 삽입되며, 그 끝단이 상기 프로브 블럭의 측면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  7. 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1나사홀은 상기 제2바디의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고,
    상기 제2나사홀은 상기 제3바디의 길이방향을 따라 서로 이격하여 복수개 형성되고,
    상기 위치 조절 나사는 상기 제1나사홀들 및 상기 제2나사홀들 각각에 제공되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  8. 제 4 항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 제1바디에는 그 하면과 상면을 관통하는 제3나사홀이 형성되고,
    상기 베이스 블럭의 저면에는 상기 제3나사홀과 연결되는 나사홈이 형성되되,
    상기 검사 조립체는
    상기 제3나사홀에 삽입되며, 그 끝단이 상기 나사홈에 위치되는 고정 나사를 더 포함하되,
    상기 제3나사홀 및 상기 나사홈의 직경은 상기 고정 나사의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
  9. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 베이스 블럭의 측면에는 홈 또는 홀이 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 검사 조립체.
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