KR101151804B1 - 전기적 접속장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 전기적 접속장치는, 구조가 간단함에도 불구하고, 어스용 또는 전원용 접촉자의 외관 상의 저항값을 작게 하기 위한 것이다. 본 발명의 전기적 접속장치는, 전기 절연판과, 상기 전기 절연판 위에 배치된 전기절연재료제의 탄성판과, 상기 탄성판 위에 배치된 시트 형상의 도전판과, 제1 및 제2 접촉자를 포함한다. 도전판은, 제1 접촉자의 침선부가 접하는 것을 허락하는 적어도 하나의 제1 구멍부분과, 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관없이, 제2 접촉자의 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 복수의 제2 구멍부분을 갖는 구멍영역을 갖춘다.

접촉자, 전기적 접속장치, 도전판, 탄성판, 절연판, 침선부, 구멍영역

Description

전기적 접속장치{Electrical Connecting Apparatus}

본 발명은, 배선기판과 같은 기판의 도전성부와, 집적회로와 같은 피검사체의 전극부를 전기적으로 접속하는 장치에 관한 것이다.

집적회로의 전기적 시험(즉, 검사)은, 일반적으로 배선기판의 한쪽 면에 형성된 배선 패턴과 같은 도전성부와, 집적회로의 리드 전극, 패드 전극, 범프 전극, 돌기 전극 등의 전극부를 전기적으로 접속하는 장치를 이용하여 행해진다.

이러한 종류의 전기적 접속장치의 하나로서, 좌우방향으로 연장하는 침후부(針後部), 상기 침후부의 선단쪽에 이어지며 위쪽으로 변형된 바깥면을 갖는 변형부, 및 변형부의 선단쪽에 이어지며 위쪽으로 연장하는 침선부를 각각 갖는, J자상 또는 L자상을 한 복수의 접촉자를 이용하는 것이 있다(특허문헌 1).

상기 전기적 접속장치는, 피검사체를 받아들이도록 상하로 개방하는 개구를 갖는 가이드와, 상기 개구 내에 배치된 시트 형상의 전기 절연판과, 상기 개구 내에 있고 상기 전기 절연판 위에 배치된 전기절연재료제(製)의 탄성판과, 상기 탄성 판 위에 배치된 시트 형상의 도전판을 포함한다.

각 접촉자는, 그 침후부가 전기 절연판에 설치된 슬릿에 위치하고, 침선부가 탄성판을 관통하여 위쪽으로 연장하도록, 전기 절연판 및 탄성판에 지지되어 있다. 전기적 접속장치는, 각 접촉자가 그 변형부에서 배선기판의 도전성부에 눌린 상태로, 배선기판에 부착된다.

집적회로는, 가이드의 개구부에 위쪽에서 들어가, 접촉자에 받아지고, 전극부를 접촉자의 침선부의 선단에 대하여 상대적으로 눌린다. 이에 의해, 접촉자는 탄성판을 탄성 변형시킴과 동시에, 배선기판의 도전성부에 눌린다. 그 결과, 배선기판의 도전성부와 집적회로의 전극부가 전기적으로 접속된다.

시험 시, 적어도 하나의 도전성부 및 그 도전성부에 눌린 접촉자는 전원의 마이너스(negative)쪽(또는 플러스(positive)쪽)의 소위 어스용으로서 이용되고, 다른 몇개의 도전성부 및 그 도전성부에 눌린 접촉자는 전원의 플러스쪽(또는 마이너스쪽)의 소위 전원용으로서 이용되며, 남는 도전성부 및 그 도전성부에 눌린 접촉자는 신호의 공급 또는 취득을 위한 소위 신호용으로서 이용된다.

상기 상태에서, 신호용의 일부 접촉자를 통하여 집적회로에 전기신호가 공급됨과 동시에, 집적회로로부터의 신호가 신호용의 다른 접촉자를 통하여 꺼내어져, 그에 의해 집적회로의 전기적 시험이 행해진다.

그러나 종래의 전기적 접속장치에서는, 집적회로의 각 전극부와 배선기판의 대응하는 도전성부 사이의 전기통로 중에 접촉자가 위치되어 있기 때문에, 전극부와 도전성부 사이의 전기적인 유효길이 치수가 크고, 전극부와 도전성부 사이의 저 항값이 크다. 그와 같이 저항값이 크면, 고주파 신호를 이용하는 시험을 정확하게 행할 수 없다.

어스용 또는 전원용 접촉자의 외관 상의 저항값을 작게 하여, 고주파 신호에 대한 임피던스를 정합하도록 한 기술이 제안되어 있다(특허문헌 2).

특허문헌 2의 기술은, 판상을 한 전기 절연성의 블록에 복수의 관통구멍과, 도전층을 형성하고, 포고핀 타입의 접촉자를 각 관통구멍에 배치하여, 적어도 하나의 접촉자를 도전층에 접촉시키고 있다. 이 기술에서는, 도전층에 접촉하는 접촉자를 어스용(또는 전원용)으로 하고, 다른 접촉자를 전원용(또는 어스용) 및 신호용으로서 이용한다.

그러나 상기 종래기술에서는, 각 접촉자가 포고핀 타입의 것이기 때문에, 접촉자 자체의 구조가 복잡해진다. 또, 도전층을, 접촉자가 도전층에 접촉하도록 하는 구조로 하는 기술이 복잡하여, 접촉자를 도전층에 확실하게 접촉시키기 어렵다.

[특허문헌 1] 일본 공개특허 특개2002-280317호 공보

[특허문헌 2] 일본 공개특허 특개2007-178165호 공보

본 발명의 목적은, 구조가 간단함에도 불구하고, 어스용 또는 전원용 접촉자의 외관 상의 저항값을 작게 하는데 있다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 전기 절연판과, 상기 전기 절연판 위에 배치된 전기절연재료제의 탄성판과, 상기 탄성판 위에 배치된 시트 형상의 도전판과, 각각 상기 전기 절연판 내를 좌우방향으로 연장하는 침후부, 상기 침후부의 선단쪽에 이어지며 위쪽으로 연장하는 바깥면을 갖는 변형부, 및 상기 변형부의 선단쪽에 이어지며 상기 탄성판 및 상기 도전판을 관통하여 위쪽으로 연장하는 침선부를 갖는 복수의 접촉자를 포함한다.

상기 복수의 접촉자는 제1 및 제2 접촉자를 갖춘다. 상기 도전판은, 상기 제1 접촉자의 상기 침선부가 상기 도전판에 접하는 것을 허락하는 적어도 하나의 제1 구멍부분과, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관없이, 상기 제2 접촉자의 상기 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 복수의 제2 구멍부분을 갖는 구멍영역을 갖춘다.

상기 도전판은, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했을 때, 상기 제1 접촉자의 상기 침선부가 접하도록 상기 제1 구멍부분을 향하여 돌출하는 돌출편(舌片, tongue piece)을 가질 수 있다.

상기 좌우방향에서의 상기 제1 구멍부분의 길이치수는, 상기 좌우방향에서의 상기 제2 구멍부분의 길이치수보다 작게 할 수 있다.

상기 제1 및 제2 구멍부분은, 서로 연결되어, 전후방향으로 긴 긴 구멍을 공동으로 형성하고 있어도 좋다. 그 대신에, 상기 제1 및 제2 구멍부분의 각각은, 좌우방향으로 연장하는 슬릿으로서, 독립한 슬릿을 포함할 수 있다.

상기 전기 절연판은 좌우방향으로 연장하는 복수의 슬릿을 갖고, 상기 침후부는, 상기 슬릿에 받아들여져, 그 뒤쪽 끝을, 상기 슬릿을 형성하는 면에 접촉시키고 있어도 좋다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 상기 도전판 위에 배치된 전기절연 시트와, 상기 전기절연 시트 위에 배치된 도전성 시트를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 복수의 접촉자의 침선부는, 상기 전기절연 시트와 상기 도전성 시트를 관통하여 위쪽으로 더 연장해 있어도 되고, 또 상기 접촉자는 적어도 하나의 상기 제1 접촉자와, 복수의 상기 제2 접촉자를 갖추고 있어도 좋다. 게다가, 상기 도전성 시트는, 상기 제2 접촉자 중 최소한 하나의 접촉자의 상기 침선부가 상기 도전성 시트에 접하는 것을 허락하는 제3 부위와, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관없이, 상기 제2 접촉자 중 남은 접촉자의 상기 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 제4 부위를 갖는 구멍을 갖출 수 있다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 두께방향 양쪽으로 개방하는 개구를 갖는 하우징으로서, 상기 전기 절연판 및 상기 탄성판이 상기 개구에 배치된 하우징을 더 포함할 수 있다. 또, 상기 하우징은, 기판에 설치된 도전성부를 걸친(stride over) 형태로 형성된 복수의 홈(cut-out)으로서, 좌우방향으로 연장하는 홈을 갖추고, 상기 도전판은, 상기 탄성판과 상기 하우징 위에 배치되어 있어도 좋다.

상기 하우징은, 상기 개구를 갖는 제1 하우징과, 상기 제1 하우징 주위에 동축적(同軸的, coaxially)으로 배치된 제2 하우징을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 하우징은 도전성을 갖고 있어도 좋고, 또 상기 도전판은 상 기 제1 하우징에 전기적으로 접속되어 있어도 되며, 게다가 상기 도전성 시트는 상기 제2 하우징에 전기적으로 접속되어 있어도 좋다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 상기 제1 또는 제2 하우징에 배치된 콘덴서를 더 포함할 수 있고, 또 상기 콘덴서의 한쪽 및 다른쪽 단자는, 각각 상기 제1 및 제2 하우징에 전기적으로 접속되어 있어도 좋다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 상기 도전판 또는 도전성 시트 위에 배치된 제2 전기절연 시트와, 상기 제2 전기절연 시트 위에 배치된 가이드로서, 피검사체를 받아들이는 개구를 갖는 가이드를 더 포함할 수 있고, 또 상기 침선부는, 상기 제2 전기절연 시트를 관통하여 선단을 위쪽으로 더 돌출시키고 있어도 좋다.

예를 들어, 도전판에 접속된 제1 접촉자를 어스용 및 전원용의 어느 한쪽으로 이용하고, 제2 접촉자를 어스용 및 전원용의 다른 한쪽과 신호용으로 이용할 수 있다. 제1 접촉자의 침선부가 도전판에 접속되어 있기 때문에, 제1 접촉자의 외관 상의 전기적인 유효길이 치수(피검사체의 전극부와 도전판 사이의 길이치수)가 작아진다.

상기 결과, 본 발명에 의하면, J자형상 또는 L자형상의 접촉자를 이용한 것과, 도전판에 복수의 구멍부분을 설치하고, 그들 구멍부분 중, 제1 구멍부분은, 접촉자에 오버드라이브가 작용했을 때, 적어도 하나의 접촉자의 침선부가 접하는 것을 허락하지만, 제2 구멍부분은, 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관 없이, 다른 접촉자의 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 것이 서로 작용하여, 접촉자 자체뿐만 아니라, 도전판 자체의 구조가 간단함에도 불구하고, 어스용 또는 전원용 전기통로의 외관 상의 저항값이 작아진다. 그 결과, 고주파 신호를 이용하는 시험을 정확하게 행할 수 있다.

[용어의 설명]

본 발명에 있어서는, 도1에서, 좌우방향을 좌우방향(X방향)이라 하고, 상하방향을 전후방향(Y방향)이라 하고, 지면에 수직인 방향을 상하방향(Z방향)이라 한다. 그러나 이들 방향은, 피검사체를 그 검사장치에 배치하는 자세에 따라 다르다.

따라서 상기 방향은, 검사장치에 의한 검사 시의 피검사체의 자세에 따라, 좌우방향(X방향) 및 전후방향(Y방향)을 포함하는 면(XY면)이, 수평면, 수평면에 대하여 경사진 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면의 어느 하나의 면(面) 내가 되도록 결정된다.

[제1 실시예]

도1～도5를 참조하면, 전기적 접속장치(10)는, 집적회로와 같은 평판상의 피검사체(12)의 전기적 검사 즉 전기적 시험에 이용하는 소켓으로서 기판(14)과 함께 이용된다.

피검사체(12)는, 판상을 한 본체(16)와, 본체(16)의 한쪽 면에 배치된 평탄 한 복수의 전극부(18)를 갖춘다. 전극부(18)는, 도시한 예에서는, 좌우방향으로 간격을 둔 2열로 배치되어 있고, 또 전극부열마다 전후방향으로 간격을 두고 있다.

기판(14)은, 배선 패턴을 전기 절연성의 재료로 형성된 판부재(20)에 인쇄배선기술에 의해 형성한 배선기판이고, 또 배선 패턴의 일부를 노출시켜 피검사체(12)의 전극부(18)에 각각 대응된 복수의 도전성부(22)로 하고 있다.

도전성부(22)는, 전극부(18)에 일대일의 형태로 대응되어 있다. 이 때문에, 도전성부(22)도, 좌우방향으로 간격을 둔 2열로 배치되어 있고, 또 도전성부열마다 전후방향으로 간격을 두고 있다. 복수의 도전성부(22) 중, 복수의 도전성부(22)는 어스용으로서 이용되고, 다른 복수의 도전성부(22)는 신호용 및 전원용으로서 이용된다.

도면에 있어서, 어스용 도전성부(22)를 그 부호 22에 알파벳 a를 붙여 나타내고, 신호용 및 전원용 도전성부(22)를 각각 그들의 부호 22에 알파벳 b 및 c를 붙여 나타낸다.

어스용 도전성부(22a)는 직류전원의 마이너스쪽(또는 플러스쪽)의 단자로서 이용되고, 신호용 도전성부(22b)는 신호의 공급 및 취득용 단자로서 이용되고, 전원용 도전성부(22c)는 직류전원의 플러스쪽(또는 마이너스쪽)의 단자로서 이용된다.

그러나 도전성부(22a)를 직류전원의 플러스쪽(또는, 마이너스쪽)의 단자로서 이용하고, 도전성부(22c)를 직류전원의 마이너스쪽(또는, 플러스쪽)의 단자(즉, 어스용 단자)로서 이용해도 좋다.

소켓, 즉 전기적 접속장치(10)는, 프레임 형상의 하우징(30)과, 하우징(30) 내에 배치된 시트 형상의 전기 절연판(32)과, 전기 절연판(32)에 겹쳐 배치된 전기절연재료제의 탄성판(34)과, 하우징(30) 및 탄성판(34)에 겹쳐 배치된 시트 형상의 도전판(36)과, 도전판(36)에 겹쳐 배치된 전기절연 시트(38)와, 전기절연 시트(38)에 겹쳐 배치된 가이드(40)와, 피검사체(12)의 전극부(18) 및 기판(14)의 도전성부(22)에 일대일의 형태로 대응된 복수의 접촉자(42)를 포함한다.

하우징(30)은, 도전성의 판상부재로 사각형 판의 형태로 제작되어 있고, 또 두께방향 양쪽(상하)으로 개방하는 사각형의 개구(44)를 중앙영역에 가짐으로써 사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있고, 게다가 아래쪽으로 개방하는 복수의 홈(46)을 하단부의 좌우방향에서의 한쪽 끝 및 다른쪽 끝의 각각에 갖고 있다.

각 홈(46)은, 개구(44)와 하우징(30)의 바깥쪽 공간을 연결하여 통하도록 좌우방향으로 연장하는 홈이고, 또 전원용 및 신호용 도전성부(22b 및 22c)를 걸치는 형태로 형성되어, 하우징(30)이 도전성부(22b 및 22c)에 접촉하는 것을 방지하고 있다. 이에 의해, 도전성부(22a, 22b 및 22c)를 서로 단락시키는 것을 방지하고 있다.

전기 절연판(32)은, 폴리이미드 수지와 같은 전기절연재료로 소정의 두께치수와 개구와 거의 같은 크기를 갖는 사각형의 시트 형상으로 제작되어 있고, 또 하우징(30)의 개구(44) 내에 있고 배선기판(14) 위에 배치되어 있다.

전기 절연판(32)은, 도9에 나타낸 바와 같이, 도전성부(22)에 일대일의 형태로 대응된 복수의 슬릿(48)을 중앙영역에 갖는다. 복수의 슬릿(48)은, 대응하는 도 전성부(22)의 위쪽을 좌우방향으로 연장하고 있음과 동시에, 좌우방향으로 간격을 둔 2열로 배치되어 있고, 게다가 슬릿열마다 전후방향으로 간격을 두고 있다.

탄성판(34)은, 실리콘 고무와 같이 삼차원적으로 탄성 변형 가능한 전기 절연성 및 스프링성을 갖는 고무재로 전기 절연판(32)과 거의 같은 크기를 갖는 사각형의 형상으로 제작되어 있고, 또 하우징(30)의 개구(44)에 있으며 전기 절연판(32) 위에 배치되어 있다.

탄성판(34)은, 도8에 나타낸 바와 같이, 슬릿(48)에 일대일의 형태로 대응된 복수의 구멍(50)을 중앙영역에 갖는다. 구멍(50)은, 대응하는 슬릿(48)의 한쪽 끝에 대응하는 곳에 있어, 탄성판(34)을 두께방향으로 관통하는 관통구멍이다. 그들 구멍(50)도, 좌우방향으로 간격을 둔 2열로 배치되어 있고, 또 구멍열마다 전후방향으로 간격을 두고 있다.

도전판(36)은, 베릴륨과 같이 도전성 및 스프링성을 갖는 시트 형상의 판부재로 하우징(30)과 거의 같은 크기를 갖는 사각형으로 제작되어 있고, 또 하우징(30) 및 탄성판(34) 위에 배치되어 있다.

도전판(36)은, 도7에 나타낸 바와 같이, 좌우방향으로 간격을 둔 한 쌍의 긴 구멍(52)을 갖는다. 각 긴 구멍(52)은, 한쪽(또는 다른쪽)의 구멍열의 모든 구멍(50)에 대응되어 있고, 대응하는 구멍(50)이 위쪽으로 노출하도록, 대응하는 구멍(50)의 위쪽을 전후방향으로 연장하고 있다.

양 긴 구멍(52)의 서로 가까운 쪽에 위치하는 변은, 다른 변으로부터의 거리(좌우방향에서의 길이치수)가 여러 군데에서 다르도록, 평면 요철형상으로 형 성되어 있다. 이에 의해, 좌우방향에서의 길이치수가 다르고 전후방향으로 연결된 복수의 제1 및 제2 구멍부분(52a 및 52b)이 형성되어 있다.

각 제1 구멍부분(52a)은, 도전성부(22a)에 대응되고, 대응하는 도전성부(22a) 및 구멍(50)의 위쪽 부분에 위치되어 있다. 제2 구멍부분(52b)은, 복수의 도전성부(22b 또는 22c)에 대응되고, 대응하는 도전성부(22b 또는 22c)와, 다른 복수의 구멍(50)의 위쪽 부분에 위치되어 있다.

좌우방향에서의 제1 구멍부분(52a)의 길이치수(긴 구멍(52)의 한쪽 가장자리에서 다른쪽 가장자리까지의 거리)는, 좌우방향에서의 제2 구멍부분(52b)의 길이치수보다 작다. 도시한 예에서는, 제1 구멍부분(52a)의 좌우방향에서의 길이치수는, 긴 구멍(52)을 향해 돌출하는 돌출편(51)에 의해, 제2 구멍부분(52b)의 길이치수보다 작게 되어 있다.

전기절연 시트(38)는, 폴리이미드 수지와 같은 전기절연재료로 도전판(36)과 거의 같은 크기를 갖는 사각형의 얇은 판의 형태로 제작되어 있고, 또 도전판(36) 위에 배치되어 있다.

전기절연 시트(38)는, 도6에 나타낸 바와 같이, 좌우방향으로 간격을 둔 직사각형의 한 쌍의 긴 구멍(54)을 갖는다. 각 긴 구멍(54)은, 긴 구멍(52)에 대응되어 있고, 대응하는 긴 구멍(52)에 겹치도록 대응하는 긴 구멍(52)의 위쪽을 전후방향으로 연장하고 있다.

각 긴 구멍(54)의 좌우방향에서의 한쪽 끝(기단쪽)의 위치는, 긴 구멍(52)의 좌우방향에서의 한쪽 끝의 위치와 일치해 있다. 그러나 각 긴 구멍(54)의 좌우방향 에서의 다른쪽 끝의 위치는, 좌우방향에서의 각 긴 구멍(54)의 길이치수가, 제1 구멍부분(52a)의 길이치수보다 커짐과 동시에, 제2 구멍부분(52b)의 길이치수보다 작아지도록, 긴 구멍(52)의 좌우방향에서의 다른쪽 끝의 위치보다 한쪽 끝에 위치되어 있다.

가이드(40)는, 합성수지와 같은 전기절연재료로 전기절연 시트(38)와 거의 같은 크기를 갖는 사각형의 판의 형태로 제작되어 있고, 또 전기절연 시트(38) 위에 배치되어 있다. 가이드(40)는, 피검사체(12)가 받아들여지는 개구(56)를 갖는다.

개구(56)는, 접속장치(10)에 대한 피검사체(12)의 위치를 규제하도록 사각통면에 의해 형성된 규제부와, 규제부의 위쪽에 있으며 피검사체(12)를 접촉자(44)에 안내하도록 피라미드면에 의해 형성된 경사부를 갖고 있다.

복수의 접촉자(42)는, 슬릿(48)에 일대일의 형태로 대응되어 있고, 또 도전성부(22) 열(列) 및 슬릿(48) 열에 대응된 좌우 한 쌍의 접촉자열의 어느 하나에 속한다.

각 접촉자(42)는, 도5에 나타낸 바와 같이, 약간 비스듬하게 위쪽으로 만곡 변형된 바깥면을 갖추며 전기 절연판(32) 내를 좌우방향으로 연장하는 침후부(58a)와, 침후부(58a)의 선단쪽에 이어지며 비스듬히 위쪽으로 만곡 변형된 바깥면을 갖는 변형부(58b)와, 변형부(58b)의 선단쪽에 이어지고, 탄성판(34), 도전판(36) 및 전기절연 시트(38)를 관통하여 위쪽으로 연장하여 개구(56) 내로 돌출하는 침선부(58c)를 갖는다.

접촉자(42)는, 좌우방향으로 간격을 둔 2개의 접촉자열로 나뉘어져 있고, 또 도전성부(22a, 22b 또는 22c)에 일대일의 형태로 대응되어 있다. 이 때문에, 접촉자(42)는, 어스용 접촉자(42a)의 접촉자군과, 신호용 접촉자(42b)의 접촉자군과, 전원용 접촉자(42c)의 접촉자군으로 나누어져 있고, 또 접촉자군마다 전후방향으로 간격을 두고 있다.

접촉자(42a)는, 그 침선부(58c)가 제1 구멍부분(52a)(돌출편(51))과 대향하도록 위치되어 있고, 접촉자(42b 및 42c)는, 그 침선부(58c)가 제2 구멍부분(52b)을 형성하는 부분과 대향하도록 위치되어 있다.

각 접촉자(42)의 침후부(58a)는, 상대쪽 접촉자군 쪽으로 연장하는 상태로, 대응하는 슬릿(48)에 받아들여지고, 뒤쪽 끝을, 대응하는 슬릿(48)을 형성하는 면 중, 뒤쪽 끝에 위치하는 내향면에 접하게 하고 있다.

각 접촉자(42)는, 침선부(58c)가 구멍(50, 52 및 54)을 거쳐 개구(56)로 돌출하는 상태로, 그리고 침후부(58a)의 비스듬하게 위쪽으로 만곡 변형된 바깥면이 도전성부(22)에 접하는 상태로, 전기 절연판(32), 탄성판(34) 등에 의해 하우징(30)에 배치되어 있다. 각 접촉자(42)의 침선부(58c)의 상단은, 피검사체(12)의 전극부(18)에 접촉되는 침선으로서 작용한다.

각 접촉자(42)는, 침후부(58a)가 대응하는 슬릿(48)에 꽉 낀 상태(즉, 슬릿(48)을 형성하는 부분으로 침후부(58a)를 끼워 지지한 상태)로 받아들여져 있음과 동시에, 침선부(58c)가 구멍(50)을 밀어 넓히면서, 구멍(50 및 54)을 관통함으로써, 하우징(30)에 안정하게 유지되어 있다. 그러나 그와 같은 상태에서도, 각 접촉자(42)의 침선부(58c)는 도전판(36)에 접촉하고 있지 않다.

하우징(30), 전기 절연판(32), 탄성판(34), 도전판(36), 전기절연 시트(38) 및 가이드(40)는, 이들이 상기와 같이 겹쳐지고 접촉자(42)가 상기와 같이 유지된 상태로, 이들을 관통하여 기판(14)에 도달하는 복수의 위치결정 핀(60)(도1 참조)에 의해 상호 기판(14)에 대하여 위치 결정되고, 그들을 관통하여 기판(14)에 결합된 복수의 나사부재(62)(도1 참조)에 의해 기판(14)에 부착된다.

도전판(36)은, 하우징(30) 및 어스용 도전성부(22a)에 전기적으로 접속되어, 어스 전위로 유지된다. 가이드(40)도, 어스 전위로 유지된다. 맨 윗층에 위치하는 전기절연 시트(38)는, 가이드(40)가 도전판(36)에 접촉하여 도전판(36)에 전기적으로 접속되는 것을 방지하고 있을 뿐만 아니라, 개구(56)에 받아들여진 피검사체(12)가 도전판(36)에 접촉하여 도전판(36)에 전기적으로 접속되는 것을 방지하고 있다.

시험 시, 피검사체(12)가 그 전극부(18)를 아래쪽으로 한 상태로, 가이드(40)의 개구(56)에 위쪽부터 배치된다. 이에 의해, 피검사체(12)의 전극부(18)가 접촉자(42)의 침선에 받아진다. 이 때, 피검사체(12)는, 가이드(40)의 개구(50)의 경사부에 의해 안내되어, 개구(50)의 규제부에 도달하기 때문에, 피검사체(12)의 전극부(18)와 접촉자(42)의 침선을 용이하고 확실하게 접촉시킬 수 있다.

상기 상태로, 전기적 접속장치(10)와 피검사체(12)가 상대적으로 접근되고, 접촉자(42)의 침선과 피검사체(12)의 전극부(18)가 상대적으로 눌린다. 이에 의해, 각 접촉자(42)는 피검사체(12)의 전극부(18)와 기판(14)의 도전성부(22)에 눌리면서, 회전 이동, 즉 회전 변위된다.

접촉자(42)의 상기와 같은 회전 변위 시, 각 접촉자(42)는 침후부(58a)의 뒤쪽 끝이 전기 절연판(32)의 슬릿(48)을 형성하고 있는 내향면에 접촉되어, 후퇴가 저지된 상태로, 이것에 작용하는 오버드라이브에 의해 도5에 점선으로 나타낸 상태에서 실선으로 나타낸 상태로 각도적으로 회전 변위한다. 이 때문에, 각 접촉자(42)는 기판(14)의 도전성부(22)와 피검사체(12)의 전극부(18)에 확실하게 접촉한다.

또, 접촉자(42)의 침선과 피검사체(12)의 전극부(18)가 상대적으로 눌리면, 접촉자(42)가 탄성판(34)을 탄성 변형시키면서 변위하기 때문에, 기판(14)의 도전성부(22) 및 피검사체(12)의 전극부(18)와 접촉자(42)와의 접촉 압력이 커져, 기판(14)의 도전성부(22) 및 피검사체(12)의 전극부(18)에 접촉자(42)가 보다 확실하게 접촉한다.

접촉자(42)의 침선과 피검사체(12)의 전극부(18)가 상대적으로 눌렸을 때에 접촉자(42)에 작용하는 힘은, 양 접촉자열의 접촉자(42)의 연재(延在)방향이 반대이기 때문에, 양 접촉자열의 접촉자(42)에 작용하는 힘이 서로 역방향이 됨으로써, 상쇄된다.

상기와 같이 전기적 접속장치(10)에 조립된 상태에서, 각 접촉자(42)의 침선부(58c)는, 구멍(50, 52 및 54)을 관통하고 있지만, 도전판(36)에 접촉하고 있지 않다.

그러나 접촉자(42)에 오버드라이브가 작용하면, 접촉자(42a)는, 접촉자(42a)의 침선부(58c)에서 회전 변위방향(좌우방향)의 제1 구멍부분(52a)의 일단부(一端部)까지의 거리 치수가 돌출편(51)에 의해 접촉자(42b)의 침선부(58c)에서 동방향의 제2 구멍부분(52b)의 일단부까지의 거리치수보다 작게 되어 있다.

이 때문에, 접촉자(42a)는, 도5에 실선으로 나타낸 바와 같이, 제1 구멍부분(52a)을 형성하고 있는 돌출편(51)에 접하여 돌출편(51)을 아래쪽으로 탄성 변형시킨다. 이에 의해, 접촉자(42a)는 도전판(36)에 전기적으로 접속된다.

이에 대하여, 접촉자(42b 및 42c)에 있어서는, 접촉자(42b 및 42c)의 침선부(58c)에서 동방향의 제2 구멍부분(52b)의 일단부까지의 거리치수가 접촉자(42a)의 침선부(58c)에서 동방향의 제1 구멍부분(52a)의 일단부까지의 거리치수보다 크다. 즉, 돌출편(51)에 대응하는 돌출편이 도전판(36)에 설치되어 있지 않다.

이 때문에, 접촉자(42b 및 42c)는, 오버드라이브가 작용해도, 도5에 실선으로 나타낸 바와 같이, 제2 구멍부분(52b)을 형성하고 있는 가장자리에 접하지 않는다. 그 결과, 접촉자(42b 및 42c)는 도전판(36)에 전기적으로 접속되지 않는다.

상기와 같이, 접촉자(42)에 오버드라이브가 작용한 상태로, 전원전압 및 검사용 전기신호가 소정의 접촉자(42)를 통하여 피검사체에 공급되고, 피검사체(12)로부터의 전기신호가 다른 소정의 접촉자(42)를 통하여 테스터에 꺼내어진다. 테스터는, 취득된 신호를 이용하여, 피검사체(12)의 양부(良否) 검사를 한다.

전기적 접속장치(10)에 있어서, 피검사체(12)에의 어스 전위의 인가는, 기판(14)의 도전성부(22a) 및 도전성의 하우징(30)을 통하여 도전판(36)에서 접촉자(42a)의 침선부(58c)를 통해 행해진다.

이에 대하여, 검사용 신호, 다른 전원전위들, 다른 전기신호의 피검사체(12)에의 수도(受渡)는, 기판(14)의 도전성부(22b 및 22c), 및 접촉자(42b 및 42c)의 변형부(58b) 및 침선부(58c)를 통하여 행해진다. 이 때문에, 어스용 전기통로의 유효 길이는, 접촉자(42b 및 42c)를 지나는 다른 전기신호용 전기통로의 유효 길이에 비해 짧아진다.

상기와 같이, 전기적 접속장치(10)에 의하면, 접촉자(42)에 오버드라이브가 작용했을 때, 어스용 접촉자(42a)의 침선부(58c)는 도전판(36)에 접하지만, 다른 접촉자(42b 및 42c)의 침선부(58c)는 도전판(36)에 접하지 않는다. 이 때문에, J자형상 또는 L자형상의 접촉자를 이용한 것과 함께 작용하여, 도전판(36) 자체의 구조가 간단함에도 불구하고, 어스용 전기통로의 외관상 저항값이 작아진다. 그 결과, 고주파 신호를 이용하는 시험을 정확하게 행할 수 있다.

[제2 실시예]

도10 내지 도12를 참조하면, 전기적 접속장치(70)는, 하우징(30)을, 개구(44)를 갖는 제1 하우징(30a)과, 제1 하우징(30a)의 주위에 간격을 두고 동축적으로 배치된 사각형의 제2 하우징(30b)으로 구성하고, 게다가 전기절연 시트(38) 위에 겹쳐서 배치된 도전성 시트(72)와, 도전성 시트(72) 위에 겹쳐서 배치된 전기절연 시트(74)를 포함한다.

제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)은, 상기 간격에 의해 전기적으로 절연되어 있다. 그러나 상기 간격에 전기절연재료를 배치하고, 그 전기절연재료에 의해 제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)을 전기적으로 절연해도 좋다.

제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)은 각각, 도전판(36) 및 도전성 시트(72)와 거의 같은 크기를 갖는 사각형의 형태로 도전성 재료로 제작되어 있다. 제1 하우징(30a)의 높이치수는, 제2 하우징(30b)의 높이치수보다 도전판(36) 및 전기절연 시트(38)의 두께분(分) 만큼 작다.

제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)은, 각각 도전판(36) 및 도전성 시트(72)에 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에, 제1 하우징(30a)은 도전판(36)을 어스용 도전성부(22a)에 접속하고, 제2 하우징(30b)은 도전성 시트(72)를 전원용 도전성부(22c)에 접속하고 있다. 그러나 제2 하우징(30b)은 도전판(36)에 접촉하고 있지 않다.

도전성 시트(72) 및 전기절연 시트(74)는, 각각 도전판(36)의 구멍(52) 및 전기절연 시트(38)의 긴 구멍(54)에 대향된 한 쌍의 구멍(76) 및 한 쌍의 긴 구멍(78)을 갖고 있고, 또 전기절연 시트(38) 및 도전성 시트(72) 위에 겹쳐서 배치되어 있다.

도전성 시트(72)의 긴 구멍(76)은, 도전판(36)의 긴 구멍(52)과 동일하게, 좌우방향으로 간격을 두고 전기절연 시트(38)의 긴 구멍(54) 위에 위치하도록, 긴 구멍(54) 위를 전후방향으로 연장하고 있다. 이에 대하여, 전기절연 시트(74)의 긴 구멍(78)은, 전기절연 시트(38)의 긴 구멍(54)과 마찬가지로, 좌우방향으로 간격을 두고 도전성 시트(72)의 긴 구멍(76) 위에 위치하도록, 긴 구멍(76) 위를 전후방향으로 연장하고 있다.

도전성 시트(72)의 양 긴 구멍(76)의 서로 가까운 쪽에 위치하는 변은, 다른 변으로부터의 거리(좌우방향에서의 길이치수)가 여러 군데에서 다르도록 긴 구멍(76) 내로 돌출하는 돌출편(80)에 의해, 평면 요철 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 좌우방향에서의 길이치수가 다르고 전후방향으로 연결된 복수의 제3 및 제4 구멍부분(76a 및 76b)(도10 참조)이 형성되어 있다.

제3 구멍부분(76a)은 전원용 접촉자(42c)에 대응하는 부분에 형성되어 있다. 이 때문에, 전원용 접촉자(42c)는, 그 침선부(58c)를 돌출편(80)에 대향시키고 있다. 제3 구멍부분(76a)의 좌우방향에서의 길이치수는, 돌출편(80)에 의해 좌우방향에서의 제4 구멍부분(76b)을 길이치수보다 작게 되어 있다.

제4 구멍부분(76b)은, 어스용 및 신호용 접촉자(42a 및 42b)에 대응하는 부분에 형성되어 있다.

전기절연 시트(74)의 긴 구멍(78)은, 전후방향으로 긴 장방형의 형상을 갖는다. 각 긴 구멍(78)의 좌우방향에서의 한쪽 끝(기단쪽)의 위치는, 긴 구멍(52, 54, 76)의 좌우방향에서의 한쪽 끝의 위치와 일치해 있다.

그러나 각 긴 구멍(78)의 좌우방향에서의 다른쪽 끝의 위치는, 좌우방향에서의 각 긴 구멍(76)의 길이치수가, 좌우방향에서의 제3 구멍부분(76a)의 길이치수보다 커짐과 동시에, 좌우방향에서의 제4 구멍부분(76b)의 길이치수보다 작아지도록, 긴 구멍(76)의 좌우방향에서의 다른쪽 끝의 위치보다 한쪽 끝에 위치되어 있다.

도시한 예에서는, 전기절연 시트(38)는, 도전성 시트(72)의 돌출편(80)과 같은 돌출편(82)을 갖는다. 돌출편(82)은 평면에서 보아, 돌출편(80)과 같은 곳에 형성되어 있다.

제1 및 제2 하우징(30a 및 30b), 전기절연 시트(74), 도전성 시트(72), 및 전기절연 시트(38), 도전판(36)은, 전기절연 시트(74), 도전성 시트(72), 전기절연 시트(38) 및 도전판(36)을 관통하여 제1 하우징(30a)에 도달하는 복수의 위치결정 핀(84)(도10 참조)과, 전기절연 시트(74) 및 도전성 시트(72)를 관통하여 제2 하우징(30b)에 도달하는 복수의 위치결정 핀(86)(도10 참조)에 의해, 상호 위치 결정되어 있다.

맨 윗층에 위치하는 전기절연 시트(74)는, 가이드(40)가 도전성 시트(72)에 접촉하여 도전성 시트(72)에 전기적으로 접속되는 것을 방지하고 있을 뿐만 아니라, 개구(56)에 받아들여진 피검사체(12)가 도전성 시트(72)에 접촉하여 도전성 시트(72)에 전기적으로 접속되는 것을 방지하고 있다.

전기적 접속장치(70)에 있어서, 접촉자(42)에 오버드라이브가 작용했을 때, 접촉자(42a 및 42b)는, 전기적 접속장치(10)의 경우와 동일하게 작용한다. 이에 대하여, 접촉자(42c)의 침선부(58c)에서 회전 변위방향에서의 제3 구멍부분(76a)의 일단부까지의 거리치수가 돌출편(80)에 의해 접촉자(42b)의 침선부(58c)에서 동방향에서의 제4 구멍부분(76b)의 일단부까지의 거리치수보다 작게 되어 있다.

이 때문에, 접촉자(42c)는, 도12에 실선으로 나타낸 바와 같이, 제3 구멍부 분(76a)을 형성하고 있는 돌출편(80)에 접하여 돌출편(80)을 탄성 변형시킨다. 이에 의해, 접촉자(42c)는 도전성 시트(72)에 전기적으로 접속된다. 이 때, 전기절연 시트(38)의 돌출편(82)은, 돌출편(80)과 함께 아래쪽으로 탄성 변형되어, 접촉자(42c)의 침선부(58c)가 도전판(36)에 접촉하는 것을 방지한다.

이에 대하여, 어스용 및 신호용 접촉자(42a 및 42b)의 침선부(58c)는, 그들이 제4 구멍부분(76b)에 위치되어 있기 때문에, 도전성 시트(72)에 접촉하지 않는다.

전기적 접속장치(70)에 있어서, 어스 전위는, 도전성부(22a), 제1 하우징(30a) 및 도전판(36)을 통하여, 어스용 접촉자(42a)에 인가된다. 또, 피검사체(12)에 대한 신호의 공급 및 취득은, 접촉자(42b) 및 도전성부(22b)를 통하여 행해진다.

이에 대하여, 피검사체(12)에의 플러스(또는 마이너스)의 전원전위의 인가는, 전원용 도전성부(22c), 제2 하우징(30b) 및 도전성 시트(72)로부터 접촉자(42c)의 침선부(58c)를 통하여 행해진다.

상기 결과, 전기적 접속장치(70)에 의하면, 전기적 접속장치(10)보다도, 전원전위를 위한 전기통로의 유효 길이가, 접촉자(42b)를 지나는 전기신호의 전기통로의 유효 길이에 비해 짧아진다. 그 결과, 고주파 신호를 이용하는 시험을 보다 정확하게 행할 수 있다.

상기와 같이, 전기적 접속장치(70)에 의하면, 접촉자(42)에 오버드라이브가 작용했을 때, 어스용 및 전원용 접촉자(42a 및 42c)의 침선부(58c)는, 각각 도전판(36) 및 도전성 시트(72)에 접촉한다. 이 때문에, 어스용 및 전원용 전기통로의 외관상 저항값이 작아진다. 신호용 접촉자(42b)의 침선부(58c)는, 도전판(36) 및 도전성 시트(72)에 접촉하지 않는다.

[제3 실시예]

도13 및 도14를 참조하면, 전기적 접속장치(90)는 제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)에 설치된 요소(94)에 배치된 콘덴서(92)를 포함한다. 콘덴서(92)는, 그 한쪽 및 다른쪽 단자를, 각각 제1 및 제2 하우징(30a 및 30b)에 전기적으로 접속하여, 전원전위 인가용으로서 작용한다.

전기적 접속장치(90)에 의하면, 플러스(또는 마이너스)의 전원전위가, 피검사체(12)에 보다 가까워지고, 그 유효 전기적 길이가 보다 짧아지기 때문에, 고주파 신호를 이용하는 시험을 보다 정확하게 행할 수 있다.

본 발명은, 본체(16)의 한쪽 면에 복수의 전극부(18)를 갖는 피검사체뿐 아니라, 본체로부터 병렬로 돌출하는 리드 전극과 같은 복수의 전극부를 갖는 피검사체의 통전시험에 이용하는 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 상기 실시예 이외의 형상을 갖는 접촉자를 이용하는 전기적 접속장치에도 적용할 수 있고, 또 액정표시패널과 같은 다른 평판상 피검사체의 통전시험용 전기적 접속장치에도 적용할 수 있고, 게다가 상하측을 상기한 실시예와 반대 로 한 상태에서 이용하는 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.

각 긴 구멍(52 또는 76)은, 각각 좌우방향으로 연장하는 독립한 불연속의 슬릿 영역으로 된 제1 및 제2 구멍부분(52a 및 52b) 또는 제3 및 제4 구멍부분(76a 및 76b)으로 형성되어 있어도 좋다.

본 발명은 상기 실시에에 한정되지 않고, 특허청구의 범위에 기재된 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

도1은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 제1 실시예를 나타낸 평면도이다.

도2는 도1에 나타낸 전기적 접속장치의 정면도이다.

도3은 도1에서의 3-3선 단면도이다.

도4는 도1에서의 4-4선 단면도이다.

도5는 도1에 나타낸 전기적 접속장치에서의 주요부분의 확대 단면도이다.

도6은 전기절연 시트의 긴 구멍 근방의 한 실시예를 나타낸 평면도이다.

도7은 도전판의 긴 구멍 근방의 한 실시예를 나타낸 평면도이다.

도8은 탄성판의 구멍 근방의 한 실시예를 나타낸 평면도이다.

도9는 전기 절연판의 슬릿 근방의 한 실시예를 나타낸 평면도이다.

도10은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 제2 실시예를 나타낸 평면도이다.

도11은 도10에서의 11-11선 단면도이다.

도12는 도10에 나타낸 전기적 접속장치에서의 주요부분의 확대 단면도이다.

도13은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 제3 실시예를 나타낸 평면도이다.

도14는 도13에서의 14-14선 확대 단면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10, 70, 90: 전기적 접속장치 12: 피검사체

14: 기판 18: 피검사체의 전극부

22, 22a, 22b, 22c: 기판의 도전성부 30: 하우징

30a, 30b: 제1 및 제2 하우징 32: 전기 절연판

34: 탄성판 36: 도전판

38: 전기절연 시트 40: 가이드

42, 42a, 42b, 42c: 접촉자 44: 하우징의 개구

46: 하우징의 홈(cut-out) 48: 전기 절연판의 슬릿

50: 탄성판의 구멍

51, 80, 82: 돌출편(舌片, tougue pieces)

52: 도전판의 긴 구멍 52a, 52b: 제1 및 제2 구멍부분

54: 전기절연 시트의 긴 구멍 56: 가이드의 개구

58a: 접촉자의 침후부(針後部) 58b: 접촉자의 변형부

58c: 접촉자의 침선부 72: 도전성 시트

74: 전기절연 시트 76: 도전성 시트의 긴 구멍

78: 전기절연 시트의 긴 구멍 92: 콘덴서

Claims (12)

1. 기판의 한쪽 면에 형성된 도전성부와 피검사체의 전극부를 전기적으로 접속하는 전기적 접속장치로서,

   전기 절연판;

   상기 전기 절연판 위에 배치된 전기절연재료제의 탄성판;

   상기 탄성판 위에 배치된 시트 형상의 도전판; 및

   각각 상기 전기 절연판 내를 좌우방향으로 연장하는 침후부, 상기 침후부의 선단쪽에 이어지며 위쪽으로 연장하는 바깥면을 갖는 변형부, 및 상기 변형부의 선단쪽에 이어지며 상기 탄성판 및 상기 도전판을 관통하여 위쪽으로 연장하는 침선부를 갖는 복수의 접촉자를 포함하고,

   상기 복수의 접촉자는 제1 및 제2 접촉자를 갖추고,

   상기 도전판은, 상기 제1 접촉자의 상기 침선부가 상기 도전판에 접하는 것을 허락하는 적어도 하나의 제1 구멍부분과, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관없이, 상기 제2 접촉자의 상기 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 복수의 제2 구멍부분을 갖는 구멍영역을 갖추고, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했을 때, 상기 제1 접촉자의 상기 침선부가 접하도록 상기 제1 구멍부분을 향해 돌출하는 돌출편을 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 좌우방향에서의 상기 제1 구멍부분의 길이치수는, 상기 좌우방향에서의 상기 제2 구멍부분의 길이치수보다 작은 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구멍부분은, 서로 연결되어, 전후방향으로 긴 구멍을 함께 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구멍부분 각각은, 좌우방향으로 연장하는 슬릿으로서, 독립한 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 전기 절연판은 좌우방향으로 연장하는 복수의 슬릿을 갖고,

   상기 침후부는, 상기 슬릿에 받아들여져, 그 뒤 끝을, 상기 슬릿을 형성하는 면에 접촉시키고 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 도전판 위에 배치된 전기절연 시트와, 상기 전기절연 시트 위에 배치된 도전성 시트를 더 포함하고,

   상기 복수의 접촉자의 침선부는, 상기 전기절연 시트와 상기 도전성 시트를 관통하여 위쪽으로 더 연장해 있고,

   상기 접촉자는, 적어도 하나의 상기 제1 접촉자와, 복수의 상기 제2 접촉자를 갖추고,

   상기 도전성 시트는, 상기 제2 접촉자 중 적어도 하나의 접촉자의 상기 침선부가 상기 도전성 시트에 접하는 것을 허락하는 제3 구멍부분과, 상기 접촉자에 오버드라이브가 작용했는지 여부에 상관없이, 상기 제2 접촉자 중 남은 접촉자의 상기 침선부가 접하는 것을 허락하지 않는 제4 구멍부분을 갖는 제2 구멍영역을 갖춘 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
8. 제7항에 있어서, 두께방향 양쪽으로 개방하는 개구를 갖는 하우징으로서, 상기 전기 절연판 및 상기 탄성판이 상기 개구에 배치된 하우징을 더 포함하고,

   상기 하우징은, 상기 도전성부를 걸치는 형태로 형성된 복수의 홈으로서, 좌우방향으로 연장하는 홈을 갖추고, 상기 도전판은, 상기 탄성판과 상기 하우징 위 에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 하우징은, 상기 개구를 갖는 제1 하우징과, 상기 제1 하우징 주위에 동축적으로 배치된 제2 하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2 하우징은 도전성을 갖고 있고, 상기 도전판은 상기 제1 하우징에 전기적으로 접속되어 있고, 상기 도전성 시트는 상기 제2 하우징에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 또는 제2 하우징에 배치된 콘덴서를 더 포함하고, 상기 콘덴서의 한쪽 및 다른쪽 단자는, 각각 상기 제1 및 제2 하우징에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
12. 제7항에 있어서, 상기 도전판 또는 도전성 시트 위에 배치된 제2 전기절연 시트와, 상기 제2 전기절연 시트 위에 배치된 가이드로서, 피검사체를 받아들이는 개구를 갖는 가이드를 더 포함하고,

    상기 침선부는, 상기 제2 전기절연 시트를 관통하여 선단을 위쪽으로 더 돌출시키고 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.

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