KR20100082712A

KR20100082712A - 프로브 조립체

Info

Publication number: KR20100082712A
Application number: KR1020090133894A
Authority: KR
Inventors: 요시에이 하세가와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2009-01-09
Filing date: 2009-12-30
Publication date: 2010-07-19
Also published as: JP2010160083A

Abstract

본 발명은 슬릿의 피치를 작게 하지 않으면서 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있도록 한 것이다. 본 발명에 따르면, 프로브 조립체는 띠 모양의 설치영역 및 그 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 선단측 침선영역을 구비하는 복수의 프로브를 설치영역의 폭 방향이 상하방향이 되는 상태로 지지체의 하측에 병렬적으로 배치한다. 복수의 프로브는 침선영역의 일부가 지지체의 선단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 슬릿 바에 그 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 둔 슬릿에 수용되는 복수의 제1의 프로브와, 서로 이웃하는 제1의 프로브 사이의 각각에 배치된 제2의 프로브를 포함한다.

프로브, 슬릿 바, 슬릿, 지지체

Description

프로브 조립체 {Probe Assembly}

본 발명은 액정 표시 패널과 같은 평판형상의 피검사체의 전기적 시험에 이용되는 프로브 조립체에 관한 것이다.

액정 표시 패널과 같은 평판형상의 피검사체의 전기적 시험에 이용하는 프로브 조립체의 하나로서 일본공개특허공보 제2007-303969호(특허문헌1)가 있다.

상기 특허문헌1에 기재된 프로브 조립체는, 지지체와, 각각이 띠 모양의 설치영역의 전후방향(Y방향)의 각 단부에서 한층 더 선단측 또는 후단측으로 연장되는 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 설치영역의 폭방향(Z방향)이 상하방향이 되는 상태로 지지체의 하측에 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 이들 프로브의 설치영역을 그 두께방향(X방향)으로 관통하여 연장하여서 양단부에서 지지체에 지지된 가늘고 긴 지지바와, 지지체에 배치되어서 프로브의 배열방향(X방향)으로 연장되는 한 쌍의 슬릿 바를 포함한다.

각 슬릿 바는 그 길이방향(X방향)으로 간격을 두고 앞뒤방향으로 연장되며 하방으로 개방되는 복수의 슬릿을 구비한다. 지지바는 프로브의 배열방향에 있어서의 블록의 각 단부에 나사 고정된 판상의 사이드커버에 길이방향의 단부가 수용된다. 이에 따라 프로브는 지지 바 및 사이드 커버에 의해 지지체에 결합된다.

각 프로브는 그 한쪽 면에 그 면의 일부를 덮는 절연막을 가지고 있으며, 또한 각 침선영역의 선단측의 침선영역의 선단부를 하방으로 구부려서 그 선단을 피검사체의 전극에 눌려지는 침선(針先)으로 이루어진다. 프로브는 선단측 및 후단측의 침선영역의 일부가 각각 한쪽 및 다른 쪽의 슬릿 바의 슬릿에 수용된다. 이에 의해 각 프로브의 침선영역은 슬릿 바의 길이방향으로 변위하는 것이 방지된다.

그러나 기계적 강도의 관계상, 슬릿의 피치를 작게 하는 것에 한도가 있다. 그런데도 상기 종래의 프로브 조립체에서는 모든 프로브의 침선영역을 슬릿 바의 슬릿에 수용하고 있기 때문에 프로브의 수와 같은 수의 슬릿을 슬릿 바에 설치하지 않으면 안 된다. 이 때문에, 상기 종래의 프로브 조립체에서는 좁은 피치의 슬릿을 슬릿 바에 형성할 수 없어 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 없다.

본 발명은 목적은 슬릿의 피치를 작게 하지 않으면서 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있도록 하는 것에 있다.

본 발명에 관련된 프로브 조립체는, 지지체와, 띠 모양의 설치영역 및 그 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 침선(針先)영역을 구비하는 복수의 프로브로서 상기 설치영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 지지체의 선단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 슬릿 바로서 그 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 두고 하방으로 개방하는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿 바를 포함한다.

본 발명에 관련된 프로브 조립체에 있어서, 각 프로브는 그 한쪽 면에 절연막이 형성되어 있다. 상기 복수의 프로브는 상기 침선영역의 일부가 상기 슬릿에 수용된 복수의 제1의 프로브와, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이의 각각에 배치된 제2의 프로브를 포함한다.

본 발명에 관련된 다른 프로브 조립체에 있어서, 상기 복수의 슬릿은 전후방 향에서의 상기 슬릿 바의 일측 방향에 위치하는 제1의 슬릿과, 타측 방향에 위치하는 제2의 슬릿을 포함하며, 또한 각 프로브는 그 한쪽 면에 절연막이 형성되어 있으며, 그리고 상기 복수의 프로브는 상기 침선영역의 일부가 상기 제1의 슬릿에 수용된 복수의 제1의 프로브와, 상기 슬릿바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이에 배치되어서 상기 침선영역의 일부가 상기 제2의 슬릿에 수용된 복수의 제2의 프로브를 포함한다.

각 슬릿은 상기 프로브의 길이방향으로 연장되어 있어도 좋고, 또한 상기 프로브의 길이방향에 있어서의 일측 또는 타측 방향으로 개방되어 있어도 좋다.

각 제1의 프로브의 상기 침선영역은 상기 설치영역의 선단에서 한 층 더 전방으로 연장되는 아암부로서, 그 일부를 상기 슬릿에서 받아들인 아암부를 구비할 수 있다.

상기한 바를 대신하여, 각 제1의 프로브의 상기 침선영역은 상기 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 아암부와, 그 아암부로부터 상방으로 돌출되어서 상기 슬릿에 수용된 돌출부를 구비할 수 있다.

상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 제1의 프로브의 상기 돌출부는 그 제1의 프로브의 길이방향에서의 다른 위치에 구비되어 있어도 좋다.

상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 슬릿은 상기 제1의 프로브의 길이방향에서의 다른 위치에 구비되어 있어도 좋다.

복수의 제2의 프로브가 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이의 각각에 배치되어 있어도 좋다.

각 제1의 프로브의 상기 침선영역 중, 상기 슬릿에 수용된 부분의 높이 위치는 상기 제2의 프로브의 상기 침선영역의 대응하는 부분의 높이 위치보다 높아도 된다.

프로브 조립체는 상기 제1 및 제2의 프로브의 설치영역의 길이방향으로 간격을 둔 개소를 그 개소의 두께방향으로 관통해서 연장되는 한 쌍의 지지 바와, 그 지지 바의 길이방향의 단부를 받아들이는 판 형상의 한 쌍의 사이드커버로서 상기 지지체의 측부에 해체 가능하게 결합된 한 쌍의 사이드커버를 더 포함할 수 있다.

프로브 조립체는 상기 지지체의 후단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 제2의 슬릿 바로서, 그 제2의 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 두고 상기 프로브의 길이방향으로 연장하여 하방으로 개방하는 복수의 제2의 슬릿을 구비하는 제2의 슬릿 바를 더 포함할 수 있다. 또한 각 프로브는 상기 설치영역의 후단에서 한층 더 후방으로 연장되는 침선영역을 구비할 수 있다. 그리고 또한 각 제1의 프로브 및 각 제2의 프로브 중 어느 한쪽은 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 일부를 상기 제2의 슬릿에 하방에서 받아들일 수 있다.

각 제2의 슬릿은 상기 제1의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 일부를 하방에서 수용하여도 된다.

각 제1의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역 중, 상기 제2의 슬릿에 수용된 부분의 높이 위치는 상기 제2의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 대응하는 부분의 높이 위치보다 높아도 좋다.

각 프로브의 양 침선영역의 각각은 그 선단부 또는 후단부에서 하방 또는 상방으로 돌출하는 침선(針先)을 더 구비할 수 있다.

본 발명에 관련된 프로브 조립체에 따르면, 복수의 프로브의 각각이 절연막을 한쪽 면에 갖고, 또한 그들 복수의 프로브 중, 복수의 제1의 프로브의 침선영역의 일부를 상기 슬릿에 수용하고, 복수의 제2의 프로브를 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 제1의 프로브의 사이에 배치하여서 제1의 프로브의 수와 같은 수의 슬릿을 슬릿 바에 설치할 수 있으면 된다. 그 결과, 서로 이웃하는 프로브의 상호간 전기적 간섭을 초래하는 일이 없고, 슬릿의 피치를 작게 하지 않으면서 프로브 를 좁은 피치로 배치할 수 있다.

본 발명에 관련된 다른 프로브 조립체에 따르면, 상기 복수의 슬릿이 전후방향에 있어서의 상기 슬릿 바의 일측방향에 위치하는 제1의 슬릿과, 타측방향에 위치하는 제2의 슬릿을 포함하고, 각 프로브가 그 한쪽의 면에 절연막이 형성되어 있으며, 상기 복수의 프로브는, 상기 침선영역의 일부가 상기 제1의 슬릿에 수용된 복수의 제1의 프로브와, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이에 배치되어서 상기 침선영역의 일부가 상기 제2의 슬릿에 수용된 복수의 제2의 프로브를 포함하기 때문에 서로 이웃하는 프로브의 상호간 전기적 간섭을 초래하는 일이 없으며 그리고 슬릿에 피치를 작게 하지 않으면서 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있다.

도1을 참조함에 있어, 검사장치(12)는 본 발명에 관련된 복수의 프로브 조립체(10)를 조합하고 있으며, 또한 직사각형의 액정표시패널(14)의 통전(通電)시험에 이용된다. 액정표시패널(14)은 그 직사각형의 한쪽의 긴 변 및 한쪽의 짧은 변에 대응하는 가장자리부의 각각의 상면에 정렬하여서 배치된 다수의 통전 패드(미도시)를 갖는다.

검사장치(12)는 프로브 조립체(10)에 더하여 검사스테이지(16)를 구비한다. 검사스테이지(16)는 액정표시패널(14)의 외형과 닮은 그것보다도 조금 작은 직사각형의 개구(16a)를 갖는다. 액정표시패널(14)은 개구(16a)를 통하여 배면에서 백라이트 빛의 조사를 받으면서 개구(16a)를 덮는 상태로 검사스테이지(16) 상에 배치된다.

검사스테이지(16)의 상방에는 복수의 프로브 베이스(18)(18a,18b)가 배치된다. 도시의 예에서는 프로브 베이스(18)는 직사각형의 액정표시패널(14)의 서로 이웃하는 변에 대응한 2개소에 설치되어 있고, 각 프로브 조립체(10)는 액정표시패널(14)의 상기 전극 패드에 전기적으로 접속 가능하게 대응하는 지지기구(20)에 의해, 대응하는 프로브 베이스(18)에 결합된다.

각 지지기구(20)는, 도1에서 나타내는 바와 같이, 대응하는 프로브 베이스(18)에 결합되어 있으며, 또한 대응하는 프로브 조립체(10)를 그 프로브 조립체(10)에 설치된 다수의 프로브(22)(22a,22b)의 선단측의 침선(42a)(도3참조)이 액정표시패널(14)을 향하여 돌출하도록 해체 가능하게 지지한다.

각 프로브 조립체(10)는 프로브(22)의 침선(42a)이 각각에 대응된 상기 전극패드에 접촉하도록 액정표시패널(14)에 대하여 승강 가능하게 대응하는 지지기구(20)에 유지되어 있다. 지지기구(20)와 같은 구성의 지지기구는 예를 들면 일본특허공개공보 제2004-191064호에 기재되어 있다.

각 프로브 조립체(10)는, 도2 및 도3에서 나타내는 바와 같이 상기한 다수의 프로브(22) 이외에 지지기구(20)에 착탈 가능하게 설치된 프로브 블록 즉 지지체(24)와, 프로브(22)를 지지체(24)에 지지시키기 위한 한 쌍의 지지바(26a,26b)와, 지지체(24)의 하면(24a)에 설치된 각기둥 모양의 한 쌍의 슬릿 바(28a,28b)와, 지지체(24)의 양측에 나사부재에 의해 고정되어서 양 지지바(26a,26b)를 그 양단부에 있어서 지지체(24)의 양측에 고정하는 한 쌍의 사이드커버(40a,40b)(도2참조)를 더 구비한다. 다수의 프로브(22)는 지지체(24)의 하방에 배치된다.

지지체(24)는 절연막으로 피복된 금속재료 또는 전기 절연재료로 구성되어 있다. 양쪽 슬릿 바(28a,28b)는 세라믹과 같은 전기절연 재료로 구성되어 있다. 양 지지바(26a,26b)도 전기절연막으로 피복된 막대기 모양의 금속재료, 또는 막대기 모양의 전기 절연재료로 구성되어 있다.

지지체(24)의 하면(24a)은 전체적으로 직사각형의 형상을 가지고 있으며, 또한 그 앞 가장자리인 한 변(30a)이 검사스테이지(16)에 놓인 액정표시패널(14)의 상방에 위치되어서, 그 액정표시패널(14)의 둘레부를 따라 존재하도록, 지지기구(20)에 의해, 대응하는 프로브 베이스(18)에 배치된다.

한쪽의 슬릿 바(28a)는 지지체(24)의 하면(24a)의 일변 즉 앞 가장자리(30a) 를 따라서 연장되고, 또한 슬릿 바(28a)의 상면을 지지체(24)의 하면(24a)에 맞닿게 한 상태로 지지체(24)에 고정되어 있다.

다른 쪽의 슬릿 바(28b)는 한쪽의 슬릿 바(28a)에서 후방측으로 간격을 두고 한쪽의 슬릿 바(28a)와 평행하게 연장되도록 지지체(24)의 하면(24a)의 다른 변 즉 뒤 가장자리(30b)를 따라서 연장되어 있으며, 또한 상면을 지지체(24)의 하면(24a)에 맞닿게 한 상태에서 지지체(24)에 고정되어 있다.

슬릿 바 (28a) 및 (28b)는 각각 대응하는 슬릿 바 (28a) 및 (28b)의 길이방향으로 상호 간격을 둔 복수의 슬릿(32a) 및 복수의 슬릿(32b)을 하면에 갖는다.

슬릿(32a) 및 (32b)의 각각은 대응하는 슬릿 바(28a) 또는 (28b)를 전후방향(즉, 프로브(22)의 길이방향)으로 연장되어 있으며, 또한 선단측, 후단측 및 하방측의 각각으로 개방하는 홈으로 되어 있다. 슬릿(32a) 및 (32b)는 서로 대응되어 있다. 슬릿 바(28a) 및 (28b)는 대응하는 슬릿(32a) 및 (32b)가 슬릿 바(28a) 및 (28b)의 길이방향에서의 같은 위치가 되도록 배치되어 있다.

각 프로브(22)는 도3에서와 같이 그 길이방향에 있어서 같은 폭 치수W를 갖는 띠 모양의 설치영역(34)과, 설치영역(34)의 선단 및 후단에서 각각 한층 더 앞쪽 및 뒷쪽으로 연장되는 띠 모양의 한 쌍의 침선(針先)영역(36a,36b)을 구비하는 판상의 도전부재로 이루어진다.

각 프로브(22)의 설치영역(34)은 한 쌍의 지지바(26a) 및 (26b)가 각각 관통하는 한 쌍의 가이드홀(38)을 설치영역(34)의 일단부 및 타단부에 갖는다. 양 가이드홀(38)은 설치영역(34)의 길이방향으로 상호 간격을 두고 있으며 또한 설치영역(34)을 두께 방향으로 관통한다.

각 프로브(22)의 한쪽(선단측)의 침선영역(36a)은 설치영역(34)의 길이방향의 일단(선단)의 하연부에서 전방으로 연장된다. 각 프로브(22)의 다른 쪽(후단측)의 침선영역(36b)은 설치영역(34)의 타단(후단)의 상연부에서 후방으로 연장된다.

침선영역(36a) 및 (36b)의 각각은 설치영역(34)의 폭 치수W보다도 작은 폭 치수를 갖는 아암부(54)(도6의 (A)(B) 및 도7 참조)를 구비한다. 도시의 예에서는 침선영역(36a) 및 (36b)(아암부(54))의 폭 치수는 선단측 만큼 작다. 그러나 각 아암부(54)의 폭 치수는 거의 동일해도 되고 선단측 만큼 커도 된다.

다수의 프로브(22)는 설치영역(34)의 폭방향이 상하방향이 되며 설치영역(34)이 대향된 상태로 프로브(22)의 두께방향으로 간격을 두고 병렬적으로 정렬되어 있다. 이에 따라 서로 이웃하는 프로브(22)의 설치영역(34)의 가이드홀(38)은 서로 정렬된다.

도4에서 도7에 나타내는 바와 같이 다수의 프로브(22)는 그 배치 피치를 작게 하기 위하여 복수의 프로브(22a)를 포함하는 제1의 프로브군과, 복수의 프로브(22b)를 포함하는 제2의 프로브군으로 나뉘어진다.

제1의 프로브군에 속하는 각 프로브(제1의 프로브)(22a)는 한쪽 및 다른 쪽의 침선영역(36a) 및 (36b)의 아암부(54)가 각각 슬릿(32a) 및 (32b)에 수용된 상태로 지지체(24)의 하면(24a)에서 간격을 두고 하면(24a)의 하방에 위치되어 있다. 이에 따라 한쪽의 프로브(22a)의 침선영역(36a) 및 (36b)의 각 아암부(54)는 도6(A)에서 나타내는 바와 같이 일부가 슬릿(32a) 또는 (32b)에 수용되어 있다.

이에 대하여 제2의 프로브군에 속하는 각 프로브(제2의 프로브)(22b)의 침선영역(36a) 및 (36b)는 도6(B)에 나타내는 바와 같이 아암부(54)를 슬릿(32a) 및 (32b)으로 받아들이는 일이 없이 각각 슬릿 바(28a) 및 (28b)의 하측에 위치되어 있다. 이에 따라 다른 쪽의 각 프로브(22b)의 침선영역(36a) 및 (36b)는 슬릿 바(28a)(28b)의 길이방향으로 서로 이웃하는 프로브(22a) 사이를 그들의 프로브(22a)와 평행하게 연장되어 있다.

상기의 결과, 다른 쪽의 프로브(22b)의 침선영역(36a) 및 (36b)를 수용하는 슬릿을 슬릿 바(28a) 및 (28b)에 설치하지 않아도 되기 때문에 슬릿(32a) 및 (32b)를 좁은 피치로 형성할 필요가 없다.

도시의 예에서는 하나 걸러씩 프로브(22a)가 슬릿(32)에 수용되어 있기 때문에, 예를 들면 슬릿(32)의 피치가 종래의 프로브 조립체에서의 슬릿의 피치와 같다 하더라도 프로브(22)의 배치 피치는 종래의 프로브 조립체에서의 프로브의 배치 피치의 2배가 된다. 그에 의해 슬릿(32)을 용이하게 형성할 수 있으며 또한 프로브(22)를 좁은 피치로 배치할 수 있다.

지지 바(26a) 및 (26b)는 각각 프로브(22)의 정렬된 가이드홀(38) 및 (38)을 관통하고 있으며, 또한 양단이 상기한 사이드커버(40a) 및 (40b)(도2참조)에 통과 되어서 지지체(24)의 양측에 고정되어 있다. 이에 따라 각 프로브(22)는 슬릿 바(28a),(28b)와 평행하게 배치된 지지바(26a) 및 (26b) 그리고 사이드커버(40a) 및 (40b)를 통하여 지지체(24)의 하측에서 소정의 자세로 유지된다.

각 프로브(22)의 후방측의 침선영역(36b)은 침선영역(36b)의 후단에 형성된 후방측의 침선(42b)을 슬릿 바(28b)로부터 지지체(24)의 비스듬히 후방으로 돌출시킨다. 이 침선(42b)은 지지기구(20)에 지지된 지지블록(44)의 하면에 고정된 회로판(46)(도3참조)의 대응하는 접속 패드에 접속된다.

상기의 결과, 각 프로브(22)는 회로판(46)을 거쳐 도시되지 않은 테스터 본체에 접속된다. 침선(42b)은 도3에서 나타내는 예에서는 회로판(46)으로의 잘못된 접촉을 방지하기 위한 가이드필름(48)의 홀(48a)을 관통하여 연장하여서 회로판(46)의 상기 접속 패드에 접속된다.

프로브(22a)의 침선영역(36a) 및 (36b)는 그 한쪽(36a)을 도7에 예시된 바와 같이 프로브(22b)의 침선영역(36a) 및 (36b)보다 높은 위치로 연장한다.

각 프로브(22)의 선단측의 침선영역(36a)은 아암부(54)의 선단측의 침선(42a)을 슬릿 바(28a)의 전방에서 그 비스듬히 하방으로 돌출시킨다. 이에 대하여 각 프로브(22)의 후단측의 침선영역(36b)은 아암부(54)의 후단측의 침선(42b)을 슬릿 바(28b)의 후방에서 그 비스듬히 상방으로 돌출시킨다.

도시의 예에서는 슬릿 바(28a)는 단부(段部)(50)를 슬릿(32a)의 후연부에서 갖는다. 단부(50)는 슬릿(32a)의 안쪽 저면보다도 상방에 위치하는 평탄한 단차면(50a)을 규정한다.

각 프로브(22)는 단부(50)에 대응된 단부(52)를 설치영역(34)의 선단측의 개소에 갖는다. 단부(52)는 단부(50)의 단차면(50a)에 대향하는 평탄한 단차면(52a)을 규정하며 또한 설치영역(34)의 일부로서 작용한다. 이 때문에 도시의 예에서는 한쪽의 침선영역(36a)은 단부(52)에서 전방으로 연장되지만, 단부(52)를 설치하지 않아도 된다.

도6(A) 및 (B) 그리고 도7에서와 같이 각 프로브(22a)는 양면(50a) 및 (52a)가 맞닿아진 상태에서 선단측의 침선영역(36a)이 슬릿(32a)의 상기 안쪽 저면에 맞닿는 일은 없으며, 또한 침선영역(36a)과 단차면(50a)을 제외한 단부(50)의 영역 사이에 간격이 형성되어서 침선(42a)이 슬릿 바(28a)의 앞 가장자리에서 비스듬히 하방으로 돌출한 상태로 지지체(24)에 유지되어 있다.

이에 대하여 각 프로브(22b)는 양면(50a) 및 (52a)가 맞닿은 상태에서 침선영역(36a)이 슬릿 바(28a)의 하면에 맞닿는 일은 없으며, 또한 침선영역(36a)과 단차면(50a)을 제외하는 단부(50)의 영역 사이에 간격이 형성되어서 침선(42a)이 슬릿바(28a)의 앞 가장자리에서 비스듬히 하방으로 돌출한 상태로 지지체(24)에 유지되어 있다.

따라서 각 프로브(22)의 선단측의 침선(42a)이 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌려지면 각 침선(42a)에 작용하는 누름력의 적어도 일부는 설치영역(34)의 단차면(52a)에 대향하는 슬릿 바(28a)의 단부(50)의 단차면(50a)에서 반력이 책임지어진다. 이에 의해 단차면(50a) 및 (52a)가 각각 강성 지지점 및 강성 피지지점으로서 작용한다.

프로브(22a) 및 (22b)의 각 침선영역(36a)은 슬릿(32a)의 상기 안쪽 저면 또는 슬릿 바(28a)의 하면에 맞닿을 때까지 침선영역(36a)에 있어서의 탄성 변형하는 것을 허락받는다. 이에 의해 각 프로브(22)는 이 탄성 변형량에 따른 오버드라이브 힘(overdrive force)으로 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌려진다.

강성 지지점(50a), 강성 피지지점(52a), 단부(50) 및 단부(52)를 필요로 하지 않을 수 있다. 그러나 한 쌍의 지지바(26a) 및 (26b)에 작용하는 오버드라이브 힘의 경감을 도모하고, 지지바(26a) 및 (26b)의 휘어짐 변형에 수반되는 침선(42a)의 벗어남을 방지함에 있어서는 강성 지지점(50a), 강성 피지지점(52a), 단부(50) 및 단부(52)를 설치하는 것이 바람직하다.

검사장치(12)에 있어서 각 프로브 조립체(10)에 설치된 각 프로브(22)의 선단측의 침선(42a)은 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌리어진다. 이에 의해 각 프로브(22)는 탄성을 수반하는 휘어짐 변형을 발생시키고, 이 휘어짐 변형에 따른 오버드라이브 힘으로 대응하는 상기 전극 패드에 접속된다. 이 때문에 각 전극 패드는 프로브 조립체(10)를 거쳐 상기 데스터 본체에 확실하게 접속된다.

서로 이웃하는 프로브(22) 사이에서의 전기적 단락을 방지하기 위해 도4,도5,도8 및 도9에서 나타내는 바와 같이 판 형상의 각 프로브(22)는 프로브(22)의 길이방향으로 간격을 둔 복수 개소 각각을 덮는 복수의 전기 절연막(56)을 한쪽 면에 갖는다.

도시의 예에서는 각 프로브(22)의 한쪽 면은 침선(42a)에서 침선(42b)까지 영역의 복수 개소를 띠 모양의 절연막(56)으로 덮고 있지만, 다른 쪽 면은 침선(42a)에서 침선(42a)까지의 전영역에 걸쳐 절연막으로 덮여지는 일이 없이 노출되어 있다.

그러나 절연막(56)은 각 프로브(22)의 양면의 침선(42a)에서 침선(42b)에 걸친 전영역의 복수 개소에 형성되어 있어도 좋고, 각 프로브(22)의 일면 또는 양면의 침선(42a)에서 침선(42b)에 걸친 모든 영역을 통하여 연속하여 형성되어 있어도 좋다. 또한, 띠 모양의 절연막(56)으로 하는 대신에 다수의 점모양 또는 작은 면영역의 절연막이라도 좋다.

복수의 프로브(22)는 도4, 도5 및 도8(B)에서 나타내는 바와 같이 각각의 일 면(절연막을 갖는 면)을 이웃하는 프로브(22)의 타면(절연막을 갖지 않는 면)에 대향시키고 있으며, 또한 도3에서와 같이 가이드홀(38) 및 (38)을 각각 관통하는 지지바(26a) 및 (26b)(도3참조)를 통하여 지지체(24)에 지지된다.

이에 따라 다수의 프로브(22)를 고밀도로 배치함으로써 서로 이웃하는 프로브(22)가 접촉하여도 서로 이웃하는 프로브(22) 상호간의 전기적 단락이 방지된다.

도8(A)에는 도면의 간소화를 위해서 도3에서는 생략되어 있는 용량 저감용 홀(58a) 및 (58b)가 나타내어져 있다. 용량 저감용 홀(58a) 및 (58b)은 서로 이웃하는 프로브(22) 사이에서의 정전용량의 저감을 도모함에 따라 펄스형상 신호의 누출에 따른 서로 이웃하는 프로브(22)사이에서의 크로스토오크를 저감한다.

프로브 조립체(10)와 같이 각 프로브(22)가 절연막을 한쪽 면에 갖고, 또한 프로브(22a)의 침선영역(36a)의 일부를 슬릿(32a)에 수용하고, 프로브(22b)를 슬릿 바(28a)의 길이방향으로 서로 이웃하는 프로브(22a) 사이에 배치하면 서로 이웃하는 프로브(22)의 상호 전기적 간섭을 초래하지 않고, 그리고 슬릿(32a)의 피치를 작게하는 일이 없이 프로브(22)를 좁은 피치로 배치할 수 있다.

상기 실시예에서는 프로브(22a) 및 (22b)를 슬릿 바(28a)의 길이방향으로 서로 번갈아 배치하고 있는데, 도9에서와 같이 복수의 프로브(22b)를 슬릿 바(28a)의 길이방향으로 서로 이웃하는 프로브(22a)의 사이에 배치하여도 좋다. 그와 같이 하면 슬릿(32a)의 피치를 작게 하는 일이 없이 프로브(22)를 보다 좁은 피치로 배치할 수 있으며 슬릿(32a)을 보다 용이하게 형성할 수 있다.

서로 이웃하는 프로브(22a)의 사이에 배치되는 복수의 프로브(22b)는 절연막(56)에 의해 상호간 전기적 단락을 방지하는 상태로 서로 겹쳐져 있어도 된다. 또한 슬릿 바(28a)의 길이방향으로 서로 이웃하는 프로브(22a),(22b)의 사이에 간격을 설치하지 않아도 된다.

도10(A) 및 (B)를 참조함에 있어, 한쪽의 프로브(60a)의 침선영역(36a) 및 (36b)의 각각은 아암부(54) 및 침선(42a) 또는 (42b)에 더하여 아암부(54)의 상연에서 상방으로 돌출한 돌출부(62)를 더 구비한다. 그러나 다른 쪽 프로브(60b)의 침선영역(36a,36b)은 그와 같은 돌출부를 구비하고 있지 않다.

그들 돌출부(62)는 선단측의 침선영역(36a)의 돌출부(62)와 같이 아암부(54)의 선단부에 설치하여도 좋고, 후단측의 침선영역(36b)의 돌출부(62)와 같이 아암부(54)의 중앙부(또는 설치영역(34)측의 개소)에 설치하여도 좋다.

도11을 참조함에 있어, 슬릿 바(28a, 28b)의 길이방향으로 서로 이웃하는 슬릿(64)은 프로브(60a,60b)의 길이방향에서의 다른 위치에 설치될 수 있다. 즉 슬릿(64)은 대응하는 슬릿 바(28a) 또는 (28b)의 전후방향(프로브의 길이방향)에서의 일측 및 타측방향으로 서로 번갈아 위치되어서 전후방향에서의 대응하는 슬릿 바의 일측방향에 위치하는 제1의 슬릿군에 속하는 제1의 슬릿과, 타측방향에 위치하는 제2의 슬릿군에 속하는 제2의 슬릿을 포함한다.

마찬가지로 슬릿 바(28a,28b)의 길이방향으로 서로 이웃하는 프로브(60a)의 돌출부(62)는 프로브(60a)의 길이방향에서의 다른 위치에 설치될 수 있다. 즉 프로브(60a)는 돌출부(62)가 아암부(54)의 설치영역(34)쪽의 개소에 설치되어서 제1의 슬릿에 수용된 제1의 프로브군에 속하는 제1의 슬릿과, 아암부(54)의 설치영역(34) 쪽의 반대측의 개소에 설치되어서 제2의 슬릿에 수용된 제2의 프로브군에 속하는 제2의 슬릿을 포함한다.

각 슬릿(64)은 하방과 선단측 또는 후단측에 개방되어 있으며 그리고 비스듬히 연장되는 안쪽 저면을 갖는다. 도11에서와 같은 슬릿(64) 대신에 이미 서술된 바 있는 슬릿(32a,32b)과 마찬가지로 하방측, 전방측 및 후방측으로 개방되는 슬릿이라도 좋고, 도12에서와 같이 하방측과, 전방측 또는 후방측으로 개방되는 슬릿이라도 좋다.

제1 및 제2의 슬릿(64,64)을 이용한 도11 및 도12에서 나타내는 실시예에 있어서는 슬릿(64)이 전후방향(프로브의 길이방향)에 있어서의 일측 및 타측방향으로 서로 번갈아서 위치하고, 프로브(60a)의 돌출부(62)가 제1 및 제2의 슬릿의 어느 것에 수용되어 있으며, 그리고 또한 프로브(60b)가 슬릿 바의 길이방향에서 서로 이웃하는 프로브(60a) 사이에 배치된다. 이 때문에 슬릿이 보다 용이하게 형성될 수 있음에도 불구하고 프로브(60a,60b)의 배치 피치를 작게 할 수 있다.

프로브(60a) 및(60b)를 도11 및 도12에서 나타내는 실시예와 같이 배치하는 대신에 설치영역(34)쪽의 개소 및 반대측의 개소의 어느 한쪽에 설치된 돌출부를 프로브(60a)에 설치하고, 설치영역(34)쪽의 개소 및 반대측의 개소의 다른 쪽에 설치된 돌출부를 프로브(60b)에 설치하고, 프로브(60a)의 돌출부를 대응하는 제1 및 제2의 슬릿의 어느 한쪽에 배치하고 프로브(60b)의 돌출부를 대응하는 제1 및 제2의 슬릿의 다른 쪽에 배치하여도 된다.

상기의 경우, 슬릿(64)은 그들이 설치된 위치에 따라서 제1 및 제2의 슬릿으로서 작용하여, 프로브(60a)는 제1의 슬릿에 수용된 제1의 프로브군에 속하는 제1의 슬릿으로서 작용하고, 프로브(60b)는 제2의 슬릿에 수용된 제2의 프로브군에 속하는 제2의 프로브로서 작용한다.

상기와 같은 프로브 조립체에 따르면 서로 이웃하는 제1 및 제2의 슬릿이 프로브의 길이방향에 있어서 다른 위치에 설치되어 있기 때문에 제1 및 제2의 프로브의 돌출부를 각각 제1 및 제2의 슬릿에 배치하여도 서로 이웃하는 프로브의 상호간 전기적 간섭을 초래하는 일이 없고, 그리고 제1의 슬릿의 피치 및 제2의 슬릿의 피치를 작게 하는 일이 없이 프로브를 좁은 피치로 배치할 수 있다.

프로브(22b)의 후단측의 침선영역을 수용하는 슬릿(32b)을 갖는 슬릿 바(28b), 각 프로브(22)의 후단측의 침선(42b)을 수용하는 가이드필름(48)을 생략하여도 좋다. 또한 후단측의 침선영역(36b)은 상기와 같은 형상을 갖지 않아도 좋다.

본 발명은 액정표시패널뿐만 아니라 다수의 발광소자를 이용한 표시 패널과 같은 다른 평판형상 피검사체의 전기적 시험에 이용되는 프로브 조립체에도 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 특허청구의 범위에 기재된 취지를 일탈하지 않는 한, 여러 가지로 변경가능하다.

도1은 본 발명에 관련된 프로브 조립체를 결합한 전기적 접속장치의 일예를 나타내는 액정표시패널의 검사장치의 일부를 나타내는 평면도이고,

도2는 도1에 나타낸 검사장치에 결합된 프로브 조립체중 하나를 개략적으로 나타낸 정면도이고,

도3은 도2에서의 3-3선을 따라 얻은 프로브 조립체를 개략적으로 나타내는 부분적인 단면도이고,

도4는 도3에서 나타내는 프로브 조립체의 정면도로서, 용이하게 이해할 수 있도록 프로브에 펀칭을 하여서 나타낸 도면이고,

도5는 도4에서 나타내는 프로브 조립체의 프로브 및 슬릿 바 근방의 일부를 확대하여서 나타내는 단면도이고,

도6은 프로브 및 슬릿 바의 상대적인 위치관계를 나타내는 도면으로서, (A)는 한쪽의 프로브 및 슬릿 바의 상대적인 위치관계를 나타내고, (B)는 다른 쪽의 프로브 및 슬릿 바의 상대적인 위치관계를 나타내며,

도7은 일방 및 타방의 프로브의 선단측의 침선영역과 슬릿의 관계를 상세하게 나타내는 확대도이고,

도8은 도3에 개략적으로 나타낸 프로브를 상세하게 나타낸 도면으로서, (A)는 측면도이고, (B)는 (A)에 나타낸 프로브를 병렬적으로 배치한 경우의 상대적인 위치관계를 나타내는 평면도이고,

도9는 본 발명에 관련된 프로브 조립체의 제2의 실시예를 나타내는 도4와 같 은 정면도이고,

도10은 본 발명에 관련된 프로브 조립체의 제3의 실시예에서의 프로브 및 슬릿 바의 위치관계를 나타내는 도면으로서, (A)는 한쪽의 프로브 및 슬릿 바의 위치관계를 나타내고, (B)는 다른 쪽의 프로브 및 슬릿 바의 위치관계를 나타내고,

도11은 본 발명에 관련된 프로브 조립체의 제4실시예에서의 프로브 및 슬릿 바의 위치관계를 나타내는 도면이고,

도12는 본 발명에 관련된 프로브 조립체의 제5실시예에서의 프로브 및 슬릿 바의 위치관계를 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10; 프로브 조립체

12; 전기적 접속장치

14; 액정표시패널(피검사체)

22, 22a, 22b, 60a, 60b; 프로브

24; 지지체

26(26a,26b); 지지 바

28(28a,28b); 슬릿 바

32a, 32b, 64, 66; 슬릿

34; 설치부

36(36a,36b); 침선영역

40a, 40b; 사이드커버

42a, 42b; 침선

54; 침선영역의 아암부

56; 절연막

62; 돌출부

Claims

지지체와,

띠 모양의 설치영역 및 그 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 설치영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와,

상기 지지체의 선단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 슬릿 바로서 그 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 두고 하방으로 개방하는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿 바를 포함하고,

각 프로브는 그 한쪽 면에 절연막이 형성되어 있으며,

상기 복수의 프로브는 상기 침선영역의 일부가 상기 슬릿에 수용된 복수의 제1의 프로브와, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이의 각각에 배치된 제2의 프로브를 포함하는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 각 슬릿은 상기 프로브의 길이방향으로 연장되어 있으며, 또한 상기 프로브의 길이방향에서의 일측 또는 타측 방향으로 개방되는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 각 제1의 프로브의 상기 침선영역은 상기 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 아암부로서 그 일부를 상기 슬릿에서 받아들인 아암부를 구비하는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 각 제1의 프로브의 상기 침선영역은 상기 설치영역의 선단에서 한층 더 전방으로 연장되는 아암부와, 그 아암부로부터 상방으로 돌출되어서 상기 슬릿에 수용된 돌출부를 구비하는 프로브 조립체.
상기 제4항에 있어서, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 제1의 프로브의 상기 돌출부는 그 제1의 프로브의 길이방향에서의 다른 위치에 구비되는 프로브 조립체.
상기 제5항에 있어서, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 슬릿은 상기 제1의 프로브의 길이방향에서의 다른 위치에 구비되는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 복수의 제2의 프로브가 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이의 각각에 배치되는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 각 제1의 프로브의 상기 침선영역 중, 상기 슬릿에 수용된 부분의 높이 위치는 상기 제2의 프로브의 상기 침선영역의 대응하는 부분의 높이 위치보다 높은 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 프로브의 설치영역의 길이방향으로 간격을 둔 개소를 그 개소의 두께방향으로 관통해서 연장되는 한 쌍의 지지 바와, 그 지지 바의 길이방향의 단부를 수용하는 판형상의 한 쌍의 사이드커버로서, 상기 지지체의 측부에 해체가능하게 결합된 한 쌍의 사이드 커버를 더 포함하는 프로브 조립체.
상기 제1항에 있어서, 상기 지지체의 후단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열방향으로 연장되는 제2의 슬릿 바로서, 그 제2의 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 두고 상기 프로브의 길이방향으로 연장되어서 하방으로 개방하는 복수의 제2의 슬릿을 구비하는 제2의 슬릿 바를 더 포함하고,

각 프로브는 상기 설치영역의 후단에서 한층 더 후방으로 연장되는 침선영역을 더 구비하며,

각 제1의 프로브 및 각 제2의 프로브 중 어느 한쪽은 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 일부를 상기 제2의 슬릿에 하방에서 받아들이는 프로브 조립체.
상기 제10항에 있어서, 각 제2의 슬릿은 상기 제1의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 일부를 하방에서 수용하는 프로브 조립체.
상기 제11항에 있어서, 각 제1의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역 중, 상기 제2의 슬릿에 수용된 부분의 높이 위치는 상기 제2의 프로브의 상기 후방으로 연장되는 침선영역의 대응하는 부분의 높이 위치보다 높은 프로브 조립체.
상기 제10항에 있어서, 각 프로브의 양 침선영역의 각각은, 그 선단부 또는 후단부에서 하방 또는 상방으로 돌출하는 침선을 더 구비하는 프로브 조립체.
지지체와,

띠 모양의 설치영역 및 그 설치영역의 선단에서 한 층 더 전방으로 연장된 침선영역을 구비하는 복수의 프로브로서, 상기 설치영역의 폭방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 하측에 상기 설치영역을 대향시켜서 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와,

상기 지지체의 선단측에 배치되어서 상기 프로브의 배열 방향으로 연장되는 슬릿 바로서, 그 슬릿 바의 길이방향으로 간격을 두고 하방으로 개방하는 복수의 슬릿을 구비하는 슬릿 바를 포함하고,

상기 복수의 슬릿은 전후방향에서의 상기 슬릿 바의 일측방향에 위치하는 제1의 슬릿과, 타측방향에 위치하는 제2의 슬릿을 포함하며,

각 프로브는 그 한쪽 면에 절연막이 형성되어 있으며,

상기 복수의 프로브는 상기 침선영역의 일부가 상기 제1의 슬릿에 수용된 복수의 제1의 프로브와, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 이웃하는 상기 제1의 프로브 사이에 배치되어서 상기 침선영역의 일부가 상기 제2의 슬릿에 수용된 복수의 제2의 프로브를 포함하는 프로브 조립체.