JP2010096702A - 電気的接続装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくすることにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、第1及び第2の接触子とを含む。導電板は、接触子にオーバードライブが作用したとき、第1の接触子の針先部が当接することを許す少なくとも1つの第1の部位と、接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、第2の接触子の針先部が当接することを許さない複数の第2の部位とを有する穴を備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、配線基板のような基板の導電性部と、集積回路のような被検査体の電極部とを電気的に接続する装置に関する。
集積回路の電気的試験(すなわち、検査)は、一般に、配線基板の一方の面に形成された配線パターンのような導電性部と、集積回路のリード電極、パッド電極、バンプ電極、突起電極等の電極部とを電気的に接続する装置を用いて行われる。
この種の電気的接続装置の1つとして、左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、及び変形部の先端側に続きかつ上方へ伸びる針先部をそれぞれ有する、J字状又はL字状をした複数の接触子を用いるものがある(特許文献1)。
この電気的接続装置は、被検査体を受け入れるべく上下に開放する開口を有するガイドと、該開口内に配置されたシート状の電気絶縁板と、前記開口内にあって前記電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板とを含む。
各接触子は、その針後部が電気絶縁板に設けられたスリットに位置し、針先部が弾性板を貫通して上方へ伸びるように、電気絶縁板及び弾性板に支持されている。電気的接続装置は、各接触子がその変形部において配線基板の導電性部に押圧された状態に、配線基板に組み付けられる。
集積回路は、ガイドの開口部に上方から入れられて、接触子に受けられ、電極部を接触子の針先部の先端に対して相対的に押圧される。これにより、接触子は、弾性体を弾性変形させると共に、配線基板の導電性部に押圧される。その結果、配線基板の導電性部と集積回路の電極部とが電気的に接続される。
試験時、少なくとも1つの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は電源の負側(又は、正側)のいわゆるアース用として用いられ、他の幾つかの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は電源の正側(又は、負側)のいわゆる電源用として用いられ、残りの導電性部及び該導電性部に押圧された接触子は信号の供給又は取り出しのためのいわゆる信号用として用いられる。
上記の状態において、信号用の一部の接触子を介して集積回路に電気信号が供給されると共に、集積回路からの信号が信号用の他の接触子を介して取り出され、それにより集積回路の電気的試験が行われる。
しかし、従来の電気的接続装置では、集積回路の各電極部と配線基板の対応する導電性部との間の電気通路の中に接触子が位置されているから、電極部と導電性部との間の電気的な有効長さ寸法が大きく、電極部と導電性部との間の抵抗値が大きい。そのように抵抗値が大きいと、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができない。
アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくして、高周波信号に対するインピーダンスを整合するようにした技術が提案されている(特許文献2)。
特許文献2の技術は、板状をした電気絶縁性のブロックに複数の貫通穴と、導電層とを形成し、ポゴピンタイプの接触子を各貫通穴に配置し、少なくとも1つの接触子を導電層に接触させている。この技術においては、導電層に接触する接触子をアース用(又は、電源用)とし、他の接触子を電源用(又は、アース用)及び信号用として用いる。
しかし、上記従来技術では、各接触子がポゴピンタイプのものであるから、接触子自体の構造が複雑になる。また、導電層を、これに接触子を導電層に接触させる構造にする技術が複雑であり、接触子を導電層に確実に接触させることが難しい。
特開2002−280317号公報 特開2007−178165号公報
本発明の目的は、構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の接触子の見かけ上の抵抗値を小さくすることにある。
本発明に係る電気的接続装置は、電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、それぞれが、前記電気絶縁板内を左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、並びに前記変形部の先端側に続きかつ前記弾性板及び前記導電性シートを貫通して上方へ伸びる針先部を有する複数の接触子とを含む。
前記複数の接触子は第1及び第2の接触子を備える。前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第1の接触子の前記針先部が当接することを許す少なくとも1つの第1の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第2の接触子の前記針先部が当接することを許さない複数の第2の部位とを有する穴を備える。
前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第1の接触子の前記針先部が当接するように前記第1の部位に向けて突出する舌片を有することができる。
前記左右方向における前記第1の部位の長さ寸法は、前記左右方向における前記第2の部位の長さ寸法より小さくすることができる。
前記第1及び第2の部位は、互いに連通されて、前後方向に長い長穴を共同して形成していてもよい。これの代わりに、前記第1及び第2の部位のそれぞれは、左右方向へ伸びるスリット領域であって、独立した不連続のスリット領域を含むことができる。
前記電気絶縁板は左右方向へ伸びる複数のスリットを有し、前記針後部は、前記スリットに受け入れられて、その後端を、前記スリットを形成する面に当接させていてもよい。
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記導電板の上に配置された電気絶縁シートと、該電気絶縁シートの上に配置された導電性シートとを含むことができる。この場合、前記複数の接触子の針先部は、さらに、前記電気絶縁シートと前記導電性シートとを貫通して上方へ伸びていてもよく、また前記接触子は、少なくとも1つの前記第1の接触子と、複数の前記第2の接触子とを備えていてもよい。さらに、前記導電性シートは、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第2の接触子のうちの少なくとも1つの接触子の前記針先部が当接することを許す第3の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第2の接触子のうちの残りの接触子の前記針先部が当接することを許さない第4の部位とを有する穴を備えることができる。
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、厚さ方向両側に開放する開口を有するハウジングであって、前記電気絶縁体及び前記弾性板が前記開口に配置されたハウジングを含むことができる。また、該ハウジングは、基板に設けられた導電性部を跨ぐ形に形成された複数の切り欠きであって、左右方向へ伸びる切り欠きを備え、前記導電板は、前記弾性板と前記ハウジングの上に配置されていてもよい。
前記ハウジングは、前記開口を有する第1のハウジングと、該第1のハウジングの周りに同軸的に配置された第2のハウジングとを含むことができる。
前記第1及び第2のハウジングは導電性を有していてもよく、また前記導電板は前記第1のハウジングに電気的に接続されていてもよく、さらに前記導電性シートは前記第2のハウジングに電気的に接続されていてもよい。
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記第1又は第2のハウジングに配置されたコンデンサを含むことができ、また該コンデンサの一方及び他方の端子は、それぞれ、前記第1及び第2のハウジングに電気的に接続されていてもよい。
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、前記導電板又は導電性シートの上に配置された第2の電気絶縁シートと、該第2の電気絶縁シートの上に配置されたガイドであって、被検査体を受け入れる開口を有するガイドとを含むことができ、また前記針先部は、さらに、前記第2の電気絶縁シートを貫通して先端を上方に突出させていてもよい。
例えば、導電板に接続された第1の接触子をアース用及び電源用のいずれか一方に用い、第2の接触子をアース用及び電源用の他方と信号用とに用いることができる。第1の接触子の針先部が導電板に接続されているから、第1の接触子の見かけ状の電気的な有効長さ寸法(被検査体の電極部と導電板との間の長さ寸法)が小さくなる。
上記の結果、本発明によれば、J字状又はL字状の接触子を用いたことと、導電板に複数の穴部を設け、それらの穴部のうち、第1の部位は、接触子にオーバードライブが作用したとき、少なくとも1つの接触子の針先部が当接することを許すが、第2の部位は、接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、他の接触子の針先部が当接することを許さないこととが相まって、接触子自体のみならず、導電板自体の構造が簡単であるにもかかわらず、アース用又は電源用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。その結果、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができる。
[用語の説明]
本発明においては、図1において、左右方向を左右方向(X方向)といい、前後方向(Y方向)を前後方向といい、紙面に垂直な方向(Z方向)を上下方向という。しかし、これらの方向は、被検査体をその検査装置に配置する姿勢に応じて異なる。
したがって、上記の方向は、検査装置による試験時の被検査体の姿勢に応じて、左右方向(X方向)及び前後方向(Y方向)を含む面(XY面)が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定される。
[第1の実施例]
図1〜図5を参照するに、電気的接続装置10は、集積回路のような平板状の被検査体12の電気的検査すなわち電気的試験に用いるソケットとして基板14と共に用いられる。
被検査体12は、板状をした本体16と、本体16の一方の面に配置された平坦な複数の電極部18とを備える。電極部18は、図示の例では、左右方向に間隔をおいた2列に配置されており、また電極部列毎に前後方向に間隔をおいている。
基板14は、配線パターンを電気絶縁性の材料から形成された板部材20に印刷配線技術により形成した配線基板であり、また配線パターンの一部を露出させて被検査体12の電極部18に個々に対応された複数の導電性部22としている。
導電性部22は、電極部18に一対一の形に対応されている。このため、導電性部22も、左右方向に間隔をおいた2列に配置されており、また導電性部列毎に前後方向に間隔をおいている。複数の導電性部22のうち、複数の導電性部22はアース用として用いられ、他の複数の導電性部22は信号用及び電源用として用いられる。
図においては、アース用の導電性部22をその符号22にアルファベットのaを付して示し、信号用及び電源用の導電性部22をそれぞれそれらの符号22にアルファベットのb及びcを付して示す。
アース用の導電性部22aは直流電源の負側(又は、正側)の端子として用いられ、信号用の導電性部22bは信号の供給及び取り出し用の端子として用いられ、電源用の導電性部22cは直流電源の正側(又は、負側)の端子として用いられる。
しかし、導電性部22aを直流電源の正側(又は、負側)の端子として用い、導電性部22cを直流電源の負側(又は、正側)の端子(すなわち、アース用端子)として用いてもよい。
ソケット、すなわち電気的接続装置10は、枠状のハウジング30と、ハウジング30内に配置されたシート状の電気絶縁板32と、電気絶縁板32に重ねて配置された電気絶縁材料製の弾性板34と、ハウジング30及び弾性板34に重ねて配置されたシート状の導電板36と、導電板36に重ねて配置された電気絶縁シート38と、電気絶縁シート38に重ねて配置されたガイド40と、被検査体12の電極部18及び基板14の導電性部22に一対一の形に対応された複数の接触子42とを含む。
ハウジング30は、導電性の板状部材で矩形の板の形に製作されており、また厚さ方向両側(上下)に開放する矩形の開口44を中央領域に有することにより矩形の枠の形に形成されており、さらに下方に開放する複数の切り欠き46を下端部の左右方向における一端及び他端のそれぞれに有している。
各切り欠き46は、開口44とハウジング30の外側の空間とを連通するように左右方向へ伸びる溝であり、また電源用及び信号用の導電性部22b及び22cを跨ぐ形に形成されて、ハウジング30が導電性部22b及び22cに接触することを防止している。これにより、導電性部22a,22b及び22cを互いに短絡させることを防止している。
電気絶縁板32は、ポリイミド樹脂のような電気絶縁材料で所定の厚さ寸法と開口44とほぼ同じ大きさとを有する矩形のシートの形に製作されており、またハウジング30の開口44内にあって配線基板14の上に配置されている。
電気絶縁板32は、図9に示すように、導電性部22に一対一の形に対応された複数のスリット48を中央領域に有する。複数のスリット48は、対応する導電性部22の上方を左右方向へ伸びていると共に、左右方向に間隔をおいた2列に配置されており、さらにスリット列毎に前後方向に間隔をおいている。
弾性板34は、シリコーンゴムのように三次元的に弾性変形可能の電気絶縁性及びばね性を有するゴム材で電気絶縁板32とほぼ同じ大きさを有する矩形の形に製作されており、またハウジング30の開口44にあって電気絶縁板32の上に配置されている。
弾性板34は、図8に示すように、スリット48に一対一の形に対応された複数の穴50を中央領域に有する。穴50は、対応するスリット48の一端部に対応する箇所にあって、弾性板34を厚さ方向に貫通する貫通穴である。それらの穴50も、左右方向に間隔をおいた2列に配置されており、また穴列毎に前後方向に間隔をおいている。
導電板36は、ベリリウムのように導電性及びばね性を有するシート状の板部材でハウジング30とほぼ同じ大きさを有する矩形に製作されており、またハウジング30及び弾性板34の上に配置されている。
導電板36は、図7に示すように、左右方向に間隔をおいた一対の長穴52を有する。各長穴52は、一方(又は、他方)の穴列の全ての穴50に対応されており、対応する穴50が上方に露出するように、対応する穴50の上方を前後方向へ伸びている。
両長穴52の互いに近い側に位置する辺は、他の辺からの距離(左右方向における長さ寸法)が複数箇所において異なるように、平面凹凸状に形成されている。これにより、左右方向における長さ寸法が異なりかつ前後方向に連通された複数の第1及び第2の部位52a及び52bが形成されている。
各第1の部位52aは、導電性部22aに対応されて、対応する導電性部22a及び穴50の上方の箇所に位置されている。第2の部位52bは、複数の導電性部22b又は22cに対応されて、対応する導電性部22b又は22cと、複数の穴50の上方の箇所に位置されている。
左右方向における第1の部位52aの長さ寸法(長穴52の一方の縁部から他方の縁部までの距離)は、左右方向における第2の部位52bの長さ寸法より小さい。図示の例では、第1の部位52aの左右方向における長さ寸法は、長穴52に向けて突出する舌片51により、第2の部位52bのそれより小さくされている。
電気絶縁シート38は、ポリイミド樹脂のような電気絶縁材料で導電板36とほぼ同じ大きさを有する矩形の薄い板の形に製作されており、また導電板36の上に配置されている。
電気絶縁シート38は、図6に示すように、左右方向に間隔をおいた長方形の一対の長穴54を有する。各長穴54は、長穴52に対応されており、対応する長穴52に重なるように対応する長穴52の上方を前後方向へ伸びている。
各長穴54の左右方向における一端側(基端側)の位置は、長穴52のそれと一致している。しかし、各長穴54の左右方向における他端側の位置は、左右方向における各長穴54の長さ寸法が、第1の部位52aのそれより大きくなると共に、第2の部位52bのそれより小さくなるように、長穴52のそれより一端側に位置されている。
ガイド40は、合成樹脂のような電気絶縁材料で電気絶縁シート38とほぼ同じ大きさを有する矩形の板の形に製作されており、また電気絶縁シート38の上に配置されている。ガイド40は、被検査体12が受け入れられる開口56を有する。
開口56は、接続装置10に対する被検査体12の位置を規制するように四角筒面により形成された規制部と、規制部の上方にあって被検査体12を接触子44に案内するように截頭四角錐面により形成された傾斜部とを有している。
複数の接触子42は、スリット一対一の形に対応されており、また導電性部22の列及びスリット48の列に対応された左右一対の接触子列のいずれかに属する。
各接触子42は、図5に示すように、僅かに斜め上方に湾曲変形された外面を備えかつ電気絶縁板32内を左右方向へ伸びる針後部58aと、針後部58aの先端側に続きかつ斜め上方に湾曲変形された外面を有する変形部58bと、変形部58bの先端側に続き、かつ弾性板30、導電板36及び導電性シート38を貫通して上方へ伸びて開口56内に突出する針先部58cとを有する。
各接触子42は、左右方向に間隔をおいた3つの接触子群に分けられて、導電性部22に一対一の形に対応されている。このため、接触子42は、アース用の接触子42aの接触子群と、信号用の接触子42bの接触子群と、電源用の接触子42cの接触子群とに分けられており、また接触子群毎に前後方向に間隔をおいている。
接触子42aは、その針先部58cが第1の部位52a(舌辺51)と対向するように位置されており、接触子42b及び42cは、その針先部58cが第2の部位52bを形成する箇所と対向するように位置されている。
各接触子42の針後部58aは、相手側の接触子群の側に伸びる状態に、対応するスリット48に受け入れられて、後端を、対応するスリット48を形成する面のうち、後端側に位置する内向きの面に当接させている。
各接触子42は、針先部58cが穴50,52及び54を経て開口56に突出する状態に、及び針後部58aの斜め上方に湾曲変形された外面が導電性部22に当接する状態に、電気絶縁板32、弾性板34等によりハウジング30に配置されている。各接触子42の針先部58cの上端は、被検査体12の電極部18に接触される針先として作用する。
各接触子42は、針後部58aが対応するスリット48に締り嵌めの状態(すなわち、スリット48を形成する部分で針後部58aを挟持された状態)に受け入れられていると共に、針先部58cが穴50を押し広げつつ、穴50及び54を貫通していることにより、ハウジング30に安定に維持されている。しかし、そのような状態においても、各接触子42の針先部58cは導電板36に接触していない。
ハウジング30、電気絶縁板32、弾性板34、導電板36、電気絶縁シート38及びガイド40は、これらが上記のように重ねられかつ接触子42が上記のように維持された状態で、これらを貫通して基板14に達する複数の位置決めピン60(図1参照)により相互に及び基板14に対して位置決められて、それらを貫通して基板14に螺合された複数のねじ部材62(図1参照)により基板14に組み付けられる。
導電板36は、ハウジング30及びアース用の導電性部22aに電気的に接続されて、アース電位に維持される。ガイド40も、アース電位に維持される。最上層に位置する電気絶縁シート38は、ガイド40が導電板36に接触して導電板36に電気的に接続されることを防止しているのみならず、開口56に受け入れられた被検査体12が導電板36に接触して導電板36に電気的に接続されることを防止している。
試験時、被検査体12がその電極部18を下方とした状態で、ガイド40の開口56に上方から配置される。これにより、被検査体12の電極部18が接触子42の針先に受けられる。この際、被検査体12は、ガイド40の傾斜部により案内されて、規制部に達するから、被検査体12の電極部18と接触子42の針先とを容易にかつ確実に接触させることができる。
上記状態で、電気的接続装置10と被検査体12とが相対的に接近されて、接触子42の針先と被検査体12の電極部18とが相対的に押圧される。これにより、各接触子42は、被検査体12の電極部18と基板14の導電性部22とに押圧されつつ、回転移動、すなわち回転変位される。
接触子42の上記のような回転変位の際、各接触子42は、針後部58aの後端が電気絶縁板32のスリット48を形成している内向きの面に当接されて、後退を阻止された状態で、これに作用するオーバードライブにより図5に点線で示す状態から実線で示す状態に角度的に回転変位する。このため、各接触子42は基板14の導電性部22と被検査体12の電極部18とに確実に接触する。
また、接触子42の針先と被検査体12の電極部18とが相対的に押圧されると、接触子42が弾性板34を弾性変形させつつ変位するから、基板14の導電性部22及び被検査体12の電極部18と接触子42との接触圧が大きくなり、基板14の導電性部22及び被検査体12の電極部18に接触子42がより確実に接触する。
接触子42の針先と被検査体12の電極部18とが相対的に押圧されたときに接触子42に作用する力は、両接触子列の接触子42の延在方向が逆であるから、両接触子列の接触子42に作用する力が互いに逆方向となることにより、相殺される。
前記のように電気的接続装置10に組み立てられた状態において、各接触子42の針先部58cは、穴50,52及び54を貫通してはいるものの、導電体36に接触していない。
しかし、接触子42にオーバードライブが作用すると、接触子42aは、接触子42aの針先部58cから回転変位方向(左右方向)における第1の部位52aの一端部までの距離寸法が舌片51により接触子42bの針先部58cから同方向における第2の部位52bのそれより小さくされている。
このため、接触子42aは、図5に実線で示すように、第1の部位52aを形成している舌片51に当接して舌片51を下方に弾性変形させる。これにより、接触子42aは導電体36に電気的に接続される。
これに対し、接触子42b及び42cにおいては、接触子42b及び42cの針先部58cから同方向における第2の部位52bの一端部までの距離寸法が接触子42aの針先部58cから同方向における第1の部位52aのそれより大きい。すなわち、舌片51に対応する舌片が弾性板36に設けられていない。
このため、接触子42b及び42cは、オーバードライブが作用しても、図5に実線で示すように、第2の部位52bを形成している縁部に当接しない。その結果、接触子42b及び42cは導電体36に電気的に接続されない。
上記のように、接触子42にオーバードライブが作用した状態で、電源電圧及び検査用電気信号が所定の接触子42を介して被検査体に供給され、被検査体12からの電気信号が他の所定の接触子42を介してテスターに取り出される。テスターは、取り出された信号を用いて、被検査体12の良否の検査をする。
電気的接続装置10において、被検査体12へのアース電位の印加は、基板14の導電性部22a及び導電性のハウジング30を介して導電板36から接触子42aの針先部58cを介して行われる。
これに対し、検査用の信号、他の電源電位等、他の電気信号の被検査体12への受け渡しは、基板14の導電性部22b及び22c、並びに接触子42b及び42cの変形部58b及び針先部58cを介して行われる。このため、アース用の電気通路の有効長さは、接触子42b及び42cを経る他の電気信号用のそれに比べ、短くなる。
上記のように、電気的接続装置10によれば、接触子42にオーバードライブが作用したとき、アース用の接触子42aの針先部58cは導電板36に当接するが、他の接触子42b及び42cの針先部58cは導電板36に当接しない。このため、J字状又はL字状の接触子を用いたことと相まって、導電板36自体の構造が簡単であるにもかかわらず、アース用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。その結果、高周波信号を用いる試験を正確に行うことができる。
[第2の実施例]
図10から図12を参照するに、電気的接続装置70は、ハウジング30を、開口44を有する第1のハウジング30aと、第1のハウジング30aの周りに間隔をおいて同軸的に配置された矩形の第2のハウジング30bとで構成し、さらに、電気絶縁シート38の上に重ねて配置された導電性シート72と、導電性シート72の上に重ねて配置された電気絶縁シート74とを含む。
第1及び第2のハウジング30a及び30bは、上記間隔により電気的に絶縁されている。しかし、上記間隔に電気絶縁材料を配置して、該電気絶縁材料により第1及び第2のハウジング30a及び30bを電気的に絶縁してもよい。
第1及び第2のハウジング30a及び30bは、それぞれ、導電板36及び導電性シート72とほぼ同じ大きさを有する矩形の形に導電性材料で製作されている。第1のハウジング30aの高さ寸法は、第2のハウジング30bの高さ寸法より導電板36及び電気絶縁シート38の厚さ分だけ小さい。
第1及び第2のハウジング30a及び30bは、それぞれ、導電板36及び導電性シート72に電気的に接続されている。このため、第1ハウジング30aは導電板36をアース用の導電性部22aに接続し、第2のハウジング30bは導電性シート72を電源用の導電性部22cに接続している。しかし、第2のハウジング30bは導電板36に接触していない。
第1のハウジング30aの高さ寸法は、第2のハウジング30bの高さ寸法より導電板36及び電気絶縁シート38の厚さ分だけ小さい。
導電性シート72及び電気絶縁シート74は、それぞれ、導電板36の穴52及び電気絶縁シート38の長穴54に対向された一対の穴76及び一対の長穴78を有しており、また電気絶縁シート38及び導電性シート72の上に重ねて配置されている。
導電性シート72の長穴76は、導電板36の長穴52と同様に、左右方向に間隔をおいて電気絶縁シート38の長穴54に重なるように、長穴54の上を前後方向へ伸びている。これに対し、電気絶縁シート74の長穴78は、電気絶縁シート38の長穴54と同様に、左右方向に間隔をおいて導電性シート72の長穴76に重なるように、長穴76の上を前後方向へ伸びている。
導電性シート72の両長穴76の互いに近い側に位置する辺は、他の辺からの距離(左右方向における長さ寸法)が複数箇所において異なるように長穴76内に突出する舌辺80により、平面凹凸状に形成されている。これにより、左右方向における長さ寸法が異なりかつ前後方向に連通された複数の第3及び第4の部位76a及び76b(図10参照)が形成されている。
第3の部位76aは電源用の接触子42cに対応する箇所に形成されている。このため、電源用の接触子42cは、その針先部58cを舌片80に対向させている。第3の部位76aの左右方向における長さ寸法は、舌片80により左右方向における第4の部位76bの長さ寸法より小さくされている。
第4の部位76bは、アース用及び信号用の接触子42a及び42bに対応する箇所に形成されている。
電気絶縁シート74の長穴78は、前後方向に長い長方形の形状を有する。各長穴78の左右方向における一端側(基端側)の位置は、長穴52,54,76のそれらと一致している。
しかし、各長穴78の左右方向における他端側の位置は、左右方向における各長穴76の長さ寸法が、左右方向における第3の部位76aの長さ寸法より大きくなると共に、左右方向における第4の部位76bの長さ寸法より小さくなるように、長穴76の左右方向における他端側の位置より一端側に位置されている。
図示の例では、電気絶縁シート38は、導電性シート72の舌片80と同様の舌片82を有する。舌片82は平面的に見て、舌片80と同じ箇所に形成されている。
第1及び第2のハウジング30a,30b、導電性シート72及び電気絶縁シート74は、それら並びに電気絶縁シート38及び導電板36を貫通して第1及び第2のハウジング30a及び30bに達する複数の位置決めピン84及び86(図10参照)により、電気絶縁シート38及び導電板36を貫通して第1及び第2のハウジング30a及び30bに対し位置決められている。
最上層に位置する電気絶縁シート74は、ガイド40が導電性シート72に接触して導電性シート72に電気的に接続されることを防止しているのみならず、開口56に受け入れられた被検査体12が導電性シート72に接触して導電性シート72に電気的に接続されることを防止している。
電気的接続装置70において、接触子42にオーバードライブが作用したとき、接触子42a及び42bは、電気的接続装置10の場合と同様に作用する。これに対し、接触子42cの針先部58cから回転変位方向における第3の部位76aの一端部までの距離寸法が舌片80により接触子42bの針先部58cから同方向における第4の部位76bのそれより小さくされている。
このため、接触子42cは、図12に実線で示すように、第3の部位76aを形成している舌片80に当接して舌片80を弾性変形させる。これにより、接触子42cは導電性シート72に電気的に接続される。このとき、電気絶縁シート38の舌片82は、舌片80と共に下方に弾性変形されて、接触子42cの針先部58cが導電板36に接触することを防止する。
これに対し、アース用及び信号用の接触子42a及び42bの針先部58cは、それらが第4の部位76bに位置されているから、導電性シート72に接触しない。
電気的接続装置70において、アース電位は、導電性部22a、第1のハウジング30a及び導電板36等を介して、アース用の接触子42aに印加される。また、被検査体12に対する信号の供給及び取り出しは、接触子42b及び導電性部22bを介して行われる。
これに対し、被検査体12への正(又は、負)の電源電位の印加は、電源用の導電性部22c、第2のハウジング30b及び導電性シート72から接触子42cの針先部58cを介して行われる。
上記の結果、電気的接続装置70によれば、電気的接続装置10よりも、電源電位のための電気通路の有効長さが、接触子42bを経る電気信号のそれに比べ、短くなる。その結果、高周波信号を用いる試験をより正確に行うことができる。
上記のように、電気的接続装置70によれば、接触子42にオーバードライブが作用したとき、アース用及び電源用の接触子42a及び42cの針先部58cは、それぞれ、導電板36及び導電性シート72に当接する。このため、アース用及び電源用の電気通路の見かけ上の抵抗値が小さくなる。信号用の接触子42bの針先部58cは、導電板36及び導電性シート72に当接しない。
[第3の実施例]
図12から図14を参照するに、電気的接続装置90は第1及び第2のハウジング30a及び30bに設けられた凹所94に配置されたコンデンサ92を含む。コンデンサ92は、これの一方及び他方の端子を、それぞれ、第1及び第2のハウジング30a及び30bに電気的に接続されて、電源電位印加用として作用する。
電気的接続装置90によれば、正(又は、負)の電源電位が、被検査体12により近づいて、その有効電気的長さがより短くなるから、高周波信号を用いる試験をより正確に行うことができる。
本発明は、本体部16の一方の面に複数の電極部18を有する被検査体のみならず、本体から並列的に突出するリード電極のような複数の電極部を有する被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置にも適用することができる。
本発明は、上記実施例以外の形状を有する接触子を用いる電気的接続装置にも適用することができるし、また液晶表示パネルのような他の平板状被検査体の通電試験用の電気的接続装置にも適用することができ、さらに上下の側を上記した実施例と逆にした状態で用いる電気的接続装置にも適用することができる。
各長穴52又は76は、それぞれが左右方向へ伸びる独立した不連続のスリット領域とされた第1及び第2の部位52a及び52b又は第3及び第4の部位76a及び76bで形成されていてもよい。
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
本発明に係る電気的接続装置の第1実施例を示す平面図である。 図1に示す電気的接続装置の正面図である。 図1における3−3線に沿って得た断面図である。 図1における4−4線に沿って得た断面図である。 図1に示す電気的接続装置における主要部分の拡大断面図である。 電気絶縁シートの長穴の近傍の一実施例を示す平面図である。 導電板の長穴の近傍の一実施例を示す平面図である。 弾性板の穴の近傍の一実施例を示す平面図である。 電気絶縁板のスリットの近傍の一実施例を示す平面図である。 本発明に係る電気的接続装置の第2の実施例を示す平面図である。 図10における11−11線に沿って得た断面図である。 図10に示す電気的接続装置における主要部分の拡大断面図である。 本発明に係る電気的接続装置の第3の実施例を示す平面図である。 図13における14−14線に沿って得た拡大断面図である。
符号の説明
10,70,90 電気的接続装置
12 被検査体
14 基板
18 被検査体の電極部
22,22a,22b,22c 基板の導電性部
30 ハウジング
30a,30b 第1及び第2のハウジング
32 電気絶縁板
34 弾性板
36 導電板
38 電気絶縁シート
40 ガイド
42,42a,42b,42c 接触子
44 ハウジングの開口
46 ハウジングの切り欠き
48 電気絶縁板のスリット
50 弾性板の穴
51,80,82 舌片
52 導電板の長穴
52a,52b 第1及び第2の部位
54 電気絶縁シートの長穴
56 ガイドの開口
58a 接触子の針後部
58b 接触子の変形部
58c 接触子の針先部
72 導電性シート
74 電気絶縁シート
76 導電性シートの長穴
78 電気絶縁シートの長穴
92 コンデンサ

Claims (12)

  1. 基板の一方の面に形成された導電性部と被検査体の電極部とを電気的に接続する装置であって、
    電気絶縁板と、該電気絶縁板の上に配置された電気絶縁材料製の弾性板と、該弾性板の上に配置されたシート状の導電板と、それぞれが、前記電気絶縁板内を左右方向へ伸びる針後部、該針後部の先端側に続きかつ上方に変形された外面を有する変形部、並びに前記変形部の先端側に続きかつ前記弾性板及び前記導電性シートを貫通して上方へ伸びる針先部を有する複数の接触子とを含み、
    前記複数の接触子は第1及び第2の接触子を備え、
    前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第1の接触子の前記針先部が当接することを許す少なくとも1つの第1の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第2の接触子の前記針先部が当接することを許さない複数の第2の部位とを有する穴を備える、電気的接続装置。
  2. 前記導電板は、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第1の接触子の前記針先部が当接するように前記第1の部位に向けて突出する舌片を有する、請求項1に記載の電気的接続装置。
  3. 前記左右方向における前記第1の部位の長さ寸法は、前記左右方向における前記第2の部位の長さ寸法より小さい、請求項1及び2のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  4. 前記第1及び第2の部位は、互いに連通されて、前後方向に長い長穴を共同して形成している、請求項1から3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  5. 前記第1及び第2の部位のそれぞれは、左右方向へ伸びるスリット領域であって、独立した不連続のスリット領域を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  6. 前記電気絶縁板は左右方向へ伸びる複数のスリットを有し、
    前記針後部は、前記スリットに受け入れられて、その後端を、前記スリットを形成する面に当接させている、請求項1から5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  7. さらに、前記導電板の上に配置された電気絶縁シートと、該電気絶縁シートの上に配置された導電性シートとを含み、
    前記複数の接触子の針先部は、さらに、前記電気絶縁シートと前記導電性シートとを貫通して上方へ伸びており、
    前記接触子は、少なくとも1つの前記第1の接触子と、複数の前記第2の接触子とを備え、
    前記導電性シートは、前記接触子にオーバードライブが作用したとき、前記第2の接触子のうちの少なくとも1つの接触子の前記針先部が当接することを許す第3の部位と、前記接触子にオーバードライブが作用したか否かにかかわらず、前記第2の接触子のうちの残りの接触子の前記針先部が当接することを許さない第4の部位とを有する第2の穴を備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  8. さらに、厚さ方向両側に開放する開口を有するハウジングであって、前記電気絶縁体及び前記弾性板が前記開口に配置されたハウジングを含み、
    該ハウジングは、前記導電性部を跨ぐ形に形成された複数の切り欠きであって、左右方向へ伸びる切り欠きを備え、前記導電板は、前記弾性板と前記ハウジングの上に配置されている、請求項7に記載の電気的接続装置。
  9. 前記ハウジングは、前記開口を有する第1のハウジングと、該第1のハウジングの周りに同軸的に配置された第2のハウジングとを含む、請求項8に記載の電気的接続装置。
  10. 前記第1及び第2のハウジングは導電性を有しており、前記導電板は前記第1のハウジングに電気的に接続されており、前記導電性シートは前記第2のハウジングに電気的に接続されている、請求項9に記載の電気的接続装置。
  11. さらに、前記第1又は第2のハウジングに配置されたコンデンサを含み、該コンデンサの一方及び他方の端子は、それぞれ、前記第1及び第2のハウジングに電気的に接続されている、請求項10に記載の電気的接続装置。
  12. さらに、前記導電板又は導電性シートの上に配置された第2の電気絶縁シートと、該第2の電気絶縁シートの上に配置されたガイドであって、被検査体を受け入れる開口を有するガイドとを含み、
    前記針先部は、さらに、前記第2の電気絶縁シートを貫通して先端を上方に突出させている、請求項1から11のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9988155B2 (en) 2013-02-07 2018-06-05 United Technologies Corporation System and method for aft mount of gas turbine engine
WO2024014231A1 (ja) * 2022-07-14 2024-01-18 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置
WO2024024327A1 (ja) * 2022-07-25 2024-02-01 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9182425B2 (en) * 2012-05-21 2015-11-10 Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. Probe supporting and aligning apparatus
US9341671B2 (en) 2013-03-14 2016-05-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Testing holders for chip unit and die package
US11350525B2 (en) 2020-05-18 2022-05-31 Nuvoton Technology Corporation Method and apparatus for mounting a DUT on a test board without use of socket or solder
JP7477393B2 (ja) * 2020-08-03 2024-05-01 株式会社日本マイクロニクス 検査用接続装置
KR102654545B1 (ko) * 2023-12-12 2024-04-04 주식회사 프로이천 플로팅블록

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07159486A (ja) * 1993-12-09 1995-06-23 Kawasaki Steel Corp 集積回路試験装置
JPH11162605A (ja) * 1997-11-25 1999-06-18 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置
JP2003217777A (ja) * 2002-01-25 2003-07-31 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE789688A (fr) * 1971-10-06 1973-04-04 Amp Inc Connecteur
US4515424A (en) * 1982-09-29 1985-05-07 Yamaichi Electric Mfg. Co., Ltd. Support structure for IC package and having removable closure
US4630875A (en) * 1984-07-02 1986-12-23 Amp Incorporated Chip carrier socket which requires low insertion force for the chip carrier
JPS63291375A (ja) * 1987-05-22 1988-11-29 Yamaichi Electric Mfg Co Ltd Icソケット
JP2976075B2 (ja) * 1990-05-14 1999-11-10 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 ソケット
US5733136A (en) * 1993-10-27 1998-03-31 Enplas Corporation Socket assembly
KR100509967B1 (ko) * 1997-05-06 2005-08-25 그라이픽스, 인크. 멀티모드 유연접속기 및 그것을 사용하는 교체가능한 칩모듈
JP2002280317A (ja) 2001-03-19 2002-09-27 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置
JP2003017206A (ja) * 2001-06-27 2003-01-17 Yamaichi Electronics Co Ltd 半導体装置用ソケット
JP3822539B2 (ja) * 2001-08-09 2006-09-20 山一電機株式会社 Icソケット
US6793505B2 (en) * 2002-03-26 2004-09-21 Intel Corporation Ganged land grid array socket contacts for improved power delivery
US6811410B2 (en) * 2002-05-28 2004-11-02 Intel Corporation Integrated circuit socket with capacitors and shunts
US6854981B2 (en) * 2002-06-03 2005-02-15 Johnstech International Corporation Small pin connecters
JP2007178165A (ja) 2005-12-27 2007-07-12 Yokowo Co Ltd 検査ユニット

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07159486A (ja) * 1993-12-09 1995-06-23 Kawasaki Steel Corp 集積回路試験装置
JPH11162605A (ja) * 1997-11-25 1999-06-18 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置
JP2003217777A (ja) * 2002-01-25 2003-07-31 Micronics Japan Co Ltd 電気的接続装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9988155B2 (en) 2013-02-07 2018-06-05 United Technologies Corporation System and method for aft mount of gas turbine engine
WO2024014231A1 (ja) * 2022-07-14 2024-01-18 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置
WO2024024327A1 (ja) * 2022-07-25 2024-02-01 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置

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