KR20020036694A

KR20020036694A - 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛

Info

Publication number: KR20020036694A
Application number: KR1020010066279A
Authority: KR
Inventors: 오쿠노도시오; 나가시마마사토모; 오구마아쓰시; 후루미다다시
Original assignee: 오쿠노 도시오; 가부시키가이샤 소쇼텟쿠; 미즈타니 군지; 가부시키가이샤 아도텟쿠 엔지니아린구
Priority date: 2000-11-08
Filing date: 2001-10-26
Publication date: 2002-05-16
Also published as: TW531643B; EP1209473A3; US20020053918A1; US6577145B2; EP1209473A2; CN1355436A; JP2002148280A

Abstract

복수의 검사용 프로브 블록을 슬라이더를 통하여 가이드 레일에 넣거나 빼내어 탑재 또는 교환을 하고, 가이드 레일의 연장선 상에 있어서 각 프로브 블록을 이동(슬라이드)시켜 위치를 조정하고, 한 종류의 지지 베이스에 다양한 프로브 블록을 넣거나 빼내어 지지 베이스를 공용하고 또한 그에 대한 조정을 할 수 있는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛을 제공하고자 하는 것이다.

지지 베이스1에 다수의 프로브2를 구비하는 복수의 검사용 프로브 블록3을 병렬로 탑재하여, 각 프로브 블록3의 프로브2를 디스플레이 패널 또는 배선회로기판4의 전극5에 접촉시켜 검사을 하도록 하는 프로브 블록3의 병렬탑재 유닛에 있어서, 상기 지지 베이스1에 가이드 레일7을 설치하고, 그 가이드 레일7에 상기 각 프로브 블록3을 슬라이더8를 통하여 슬라이딩 할 수 있도록 슬라이딩 결합시킴과 아울러 소정의 슬라이드 위치에 있어서 각 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시키는 구성으로 한다.

Description

검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛{UNIT WITH INSPECTION PROBE BLOCKS MOUNTED THEREON IN PARALLEL}

본 발명은 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널 또는 IC을 탑재한 배선회로기판을 검사하기 위한 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛에 관한 것이다.

종래로부터 지지 베이스에 다수의 프로브를 구비하는 복수의 검사용 프로브 블록을 병렬로 탑재하여, 각 검사용 프로브 블록의 프로브를 상기 디스플레이 패널 또는 배선회로기판의 전극에 접촉시켜 검사를 하고, 검사대상인 디스플레이 패널 또는 배선회로기판의 크기나 전극수(電極數)나 전극피치(電極 pitch) 등에 따라서 상기 검사용 프로브 블록을 각각에 적합한 것으로 교환하고 있다.

따라서 종래에는 지지 베이스에 각 검사용 프로브 블록을 볼트로 체결하여 병렬탑재 유닛을 형성하고 있고, 볼트가 삽입되는 검사용 프로브 블록의 볼트 체결구멍에 약간의 유격(遊隔)을 형성하여 이 유격의 범위에서 각 검사용 프로브 블록의 위치의 미세 조정(전극에 대한 프로브의 위치의 미세 조정)을 하고 있고, 또한 상기 디스플레이 패널 또는 배선회로기판의 크기가 다른 경우에는 각각에 적합한 검사용 프로브 블록을, 이것에 적합한 볼트로 체결구멍을 구비하는 지지 베이스에 병렬로 탑재하여 병렬탑재 유닛을 형성하여 유닛 통째로 교환하는 방법을 채용하고 있다.

그런데 상기한 종래의 예에 있어서는, 특정한 지지 베이스 상에 탑재된 각 프로브 블록을, 볼트 체결구멍의 미소한 유격의 범위 내에서 조정이 가능할 뿐 조정 치수에 따라서는 조정이 불가능하다는 문제를 앉고 있다.

또한 지지 베이스에 복수의 검사용 프로브 블록을 병렬로 탑재하는 작업과 교환작업이 번잡하고, 또한 전용의 지지 베이스 상에 검사용 프로브 블록을 병렬로 탑재한 유닛을 준비하지 않으면 아니 되어 지지 베이스를 검사장치 내에 조립하고서 검사용 프로브 블록 만을 교환하는 것이 불가능 하였다.

도1은 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛의 평면도,

도2는 상기 유닛에 있어서의 A-A선 단면도,

도3은 슬라이더의 사시도,

도4은 상기 슬라이더의 다른 예를 나타내는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛의 단면도,

도5는 프로브 병렬 절연필름과 플래트 배선 케이블의 접속상태를 나타내는 저면도,

도6은 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛을 틀 모양의 메인 베이스 플레이트에 탑재한 예를 나타내는 평면도이다.

*도면의 주요 부호에 대한 설명*

1 : 지지 베이스 2 : 프로브

2a : 접촉단자 3 : 검사용 프로브 블록

4 : 디스플레이 패널 또는 배선회로기판

5 : 전극

6 : 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛

7 : 가이드 레일 7' : 가이드홈

7a : 개구 7b : 개방단

7c : 개구 제한벽 8 : 슬라이더

9 : 체결 볼트 9a : 볼트 헤드

10 : 좌판(坐板) 11 : 부착 볼트

12 : 구면(球面)

13 : 개구부 제한벽의 내부 모서리

14 : 너트 구멍 15 : 부착 구멍

16 : 절연필름 17 : 백업 부재

18 : 플래트 배선 케이블 19 : 케이블 가이드홈

20 : 틀 모양의 메인 베이스 플레이트

본 발명은, 상기 지지 베이스에 가이드 레일을 설치하고, 그 가이드 레일에 상기 각 검사용 프로브 블록을 슬라이더를 통하여 슬라이딩 할 수 있도록 슬라이딩 결합시킴과 아울러, 소정의 슬라이드 위치에 있어서 각 검사용 프로브 블록을 지지 베이스에 고정하는 구성으로 한다.

각 검사용 프로브 블록은 슬라이더를 통하여 가이드 레일에 넣거나 빼내어 탑재 또는 교환이 가능하고, 가이드 레일의 연장선 상에 있어서 각 검사용 프로브 블록을 이동(슬라이드)시켜 위치를 조정할 수 있고, 한 종류의 지지 베이스로 다양한 검사용 프로브 블록을 넣거나 빼낼 수 있어 지지 베이스를 공용하며 또한 그에 대한 조정이 가능하다.

상기 슬라이더를 볼트로 가이드 레일에 체결하여 상기 검사용 프로브 블록을 지지 베이스에 고정시켜 임의의 이동위치에서 볼트 체결하여 검사대상의 교환이 가능하다.

또한 적합한 예로서, 상기 가이드 레일은 가이드홈으로 이루어지고,상기 슬라이더를 그 가이드홈 내에 슬라이딩 결합시킴과 아울러, 상기 검사용 프로브 블록을 그 가이드홈이 개구하는 지지 베이스 표면에 포개고, 상기 가이드홈의 개구를 통과시켜 상기 검사용 프로브 블록과 상기 슬라이더를 체결 볼트에 의하여 체결하여 상기 슬라이더와 상기 검사용 프로브 블록으로 상기 가이드홈의 개구 제한벽을 협지하여 상기 고정을 구현한다. 이에 따라 볼트로 체결하는 것 만으로 고정위치를 설정하면서 부착이 용이하게 이루어지고, 또한 체결 볼트를 풀어 각 검사용 프로브 블록을 가이드 레일에 넣거나 빼는 것이 가능하다.

상기 검사용 프로브 블록은 지지 베이스에 포개거나 또는 좌판을 사이에 두고 상기 가이드홈이 개구하는 지지 베이스 표면에 포개고, 상기 검사용 프로브 블록을 그 좌판에 부착 볼트에 의하여 일체로 부착함과 아울러, 상기 체결 볼트는 그 좌판과 상기 슬라이더를 체결하여 상기 검사용 프로브 블록과 슬라이더의 체결을 도모하여 상기 협지상태를 형성한다.

적합한 예로서, 구면(球面)을 구비하는 슬라이더를 사용하여, 상기 체결 볼트를 그 구면의 정상부에 나사 결합시키고, 상기 체결 볼트의 체결에 의하여 그 구면이 상기 체결 볼트의 볼트축을 중심으로 하는 대칭위치에 있어서 상기 개구 제한벽과 접촉하여 상기 협지상태를 형성한다.

상기 구면은 상기 볼트 체결에 의하여 상기 대칭위치를 형성하면서 슬라이딩 하고, 프로브의 선단 접촉단자를 동일 선상에서 나란히 하고, 또한 수평면 상에서의 회전을 적절히 방지한다. 따라서 전극과의 접촉이확실하게 이루어진다.

(실시예)

이하 본 발명의 실시예를 도1내지 도6에 의거하여 설명한다.

도1에 나타나 있는 바와 같이, 지지 베이스1에 다수의 프로브2를 구비하는 복수의 검사용 프로브 블록3을 병렬로 탑재하여, 각 검사용 프로브 블록3의 프로브2를 액정 디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 등의 디스플레이 패널 또는 IC을 탑재한 배선회로기판4의 전극5에 접촉시켜 검사을 하도록 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛6를 형성한다.

상기 검사용 프로브 블록3은 이미 알려져 있는 공지의 것으로서, 예를 들면 도5에 나타나 있는 바와 같이 절연필름16의 표면에 상기 프로브2를 병렬로 연장하고, 그 절연필름16에 있어서 프로브2와는 반대측의 표면을 백업부재17에 접합하고 그 백업부재17를 검사용 프로브 블록3의 전단에 일체로 조립하여 프로브2의 일단을 그 백업부재17의 전단으로부터 돌출케 하여 접촉단자2a를 형성하고, 프로브2의 타단을 IC를 통하거나 또는 통하지 않고 플래트 배선 케이블18에 접속하고, 그 플래트 배선 케이블18을 지지 베이스1의 하부 표면을 따라 연장시키면서 지지 베이스1의 후단 가장자리를 따라 형성된 케이블 가이드홈19 내를 관통시켜 검사장치에 접속시키고 있다.

상기 접촉단자2a는 지지 베이스1의 전단 가장자리를 따라, 즉 그 전단 가장자리로부터 돌출하는 검사용 프로브 블록3의 전단 가장자리를 따라 병렬로 배치되어 상기 디스플레이 패널 또는 배선회로기판4의 전극5에 접촉된다.

도1, 도2, 도4에 나타나 있는 바와 같이 상기 지지 베이스1에 가이드 레일7을 설치하여, 그 가이드 레일7에 상기 각 검사용 프로브 블록3을 슬라이더8를 통하여 슬라이드 할 수 있도록 슬라이딩 결합시키는 동시에, 소정의 슬라이드 위치에 있어서 각 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시킨다.

각 검사용 프로브 블록3은 슬라이더8를 통하여 가이드 레일7에 넣거나 빼는 것이 가능하여 탑재 또는 교환을 하고, 가이드 레일7의 연장선 상에서 각 검사용 프로브 블록3을 이동(슬라이드)시켜 위치를 조정한다.

따라서 한 종류의 지지 베이스1에 다양한 검사용 프로브 블록3을 넣거나 빼도록 하여 지지 베이스1를 공용하고, 그에 대한 조정을 하도록 하다.

예를 들면, 상기 슬라이더8는 볼트9에 의하여 가이드 레일7에 체결되어 상기 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시키며, 볼트로 체결되어 있어 임의의 이동위치에 있어서도 검사대상의 교환이 가능하게 한다.

적합한 예로서 상기 가이드 레일7을 가이드홈7'으로 형성한다. 그 가이드홈7'은 지지 베이스1의 일단으로부터 타단에 걸쳐 연장되고, 그 전체 길이에 있어서 지지 베이스1의 표면에서 개구7a하고 또한 양단(兩端)이 개방하고 있다. 그 가이드홈7'은 광폭(廣幅)의 홈이고, 그 개구7a는 폭이 좁다.

이렇게 하여 상기 슬라이더8를 개방단7b에서부터 상기 가이드홈7' 내에서 슬라이딩 결합시키는 동시에, 상기 검사용 프로브 블록3을 상기 가이드홈7'이 개구하는 지지 베이스1 표면에 포개고 상기 체결 볼트9를 상기 가이드홈7'의 개구7a를 통과시켜 상기 검사용 프로브 블록3과 상기 슬라이더8를 체결하여 상기 슬라이더8와 상기 검사용 프로브 블록3 사이에서 상기 가이드홈7'의 개구 제한벽7c을 협지하여 상기 고정을 도모한다.

이렇게 하여 상기 체결 볼트9에 의하여 상기 슬라이더8를 상기 가이드 레일7에 체결시키며 또한 그 고정위치를 임의로 설정하고, 또한 체결 볼트9를 풀어 가이드 레일7에 대한 슬라이더8의 체결 해제상태를 형성하며, 각 검사용 프로브 블록3을 가이드 레일7, 도면에 나타내는 예에 있어서는 가이드홈7에 넣거나 뺀다.

상기 검사용 프로브 블록3은 지지 베이스1에 직접 포개거나 도1, 도2, 도4에 나타나 있는 바와 같이 좌판10을 통하여 상기 가이드홈7'이 개구하는 지지 베이스1 표면에 포개어 상기 검사용 프로브 블록3을 그 좌판10에 부착 볼트11에 의하여 일체로 부착하는 동시에, 상기 체결 볼트9는 그 좌판10과 상기 슬라이더8를 체결하여 상기 검사용 프로브 블록3과 슬라이더8의 체결을 도모하여 상기 협지상태를 형성한다.

적합한 예로서 도2, 도3에 나타내는, 구면12을 구비하는 윷가락 모양의 슬라이더8를 사용하여, 그 구면12을 개구7a와 대향하여 배치하고, 상기 체결 볼트9를 개구7a를 통하여 그 구면12의 정상부에 나사 결합시키며, 상기 체결 볼트9의 체결에 의하여 그 구면12이 상기 체결 볼트9의 볼트축을 중심으로 한 대칭위치에 있어서 상기 개구 제한벽7c의 내부 모서리13에 접촉하여 상기 협지상태를 형성한다.

상기 체결 볼트9를 한 방향으로 회전시키면, 이것과 나사 결합하고 있는 상기 슬라이더8가 미소량 상승하여, 그 볼트 체결에 의하여 상기 구면12이 상기 내부 모서리13에 접촉하여 상기 대칭위치를 형성하면서 슬라이딩 하고, 프로브2의 선단 접촉단자2a를 동일선상에서 기지런히 하고 또한 수평면 상에 있어서의 회전을 적절하게 방지한다. 따라서 전극5과의 접촉이 확실하게 이루어진다.

반대로 상기 체결 볼트9를 다른 방향으로 회전시키면, 이것과 나사 결합하고 있는 상기 슬라이더8가 미소량 하강하여 상기 구면12이 상기 내부 모서리13으로부터 떨어져, 즉 체결을 해제하여 검사용 프로브 블록3을 슬라이더8와 같이 가이드 레일7을 따라 자유롭게 이동시키게 하여 제거 내지 위치의 조정을 하는 것이 가능하다.

상기 체결 볼트9는 좌판10에 형성되어 있는 부착구멍15을 관통하거나, 또는 도1, 도2, 도4에서 파선(점선)으로 나타나 있는 바와 같이 검사용 프로브 블록3에 형성되는 부착구멍15을 관통하고, 그 축단을 개구7a를 통과시켜 상기 구면12의 정상부에 형성되어 있는 너트 구멍14과 나사 결합하여, 볼트 헤드9a가 좌판10을 누르게 하거나 또는 도1, 도2, 도4에서 파선(점선)으로 나타나 있는 바와 같이 검사용 프로브 블록3의 표면을 누르게 하여 양자3, 8 사이를 체결하여, 양자3, 8로 하여금 개구 제한벽7c을 협지하여 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시킨다.

상기 너트 구멍14은 구면12의 정상에 복수 개 나란히 형성하여 복수의 체결 볼트9로 상기 체결을 도모하는 경우를 포함한다. 또한 각 너트 구멍14은 슬라이더8의 정상부에서 바닥면을 향하여 관통시켜 형성한다.

다음에 도4는 상기 슬라이더8에 관한 다른 예를 나타낸다. 이 슬라이더8는 사각형 블록으로 형성하고, 그 사각형 블록의 대향하는 한 쌍의 측면을 가이드홈7'의 대향하는 한 쌍의 내측면에 접촉 또는 근접되는 상태로 하여 회전을 제한하여 가이드홈7'을 따르는 직선이동을 보장하는 동시에 회전을 방지하는 한편, 상기와 마찬가지로 체결 볼트9는 좌판10에 형성되어 있는 부착구멍15을 관통하거나, 또는 도4에서 파선(점선)으로 나타나 있는 바와 같이 검사용 프로브 블록3에 형성되어 있는 부착구멍15을 관통하고, 그 축단을 개구7a를 통과시켜 블록 윗면의 중심선상에 형성되어 있는 너트 구멍14과 나사 결합하고, 볼트 헤드9a가 좌판10을 누르게 하거나 또는 도4에 파선(점선)으로 나타나 있는 바와 같이 검사용 프로브 블록3의 표면을 누르게 하여 양자3, 8을 체결하고, 양자3, 8로 하여금 개구 제한벽7c을 협지하여 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시킨다.

상기 도2, 도4의 어떤 예에 있어서도, 상기 지지 베이스1에 가이드레일7을 설치하여, 그 가이드 레일7에 상기 각 검사용 프로브 블록3을 슬라이더8를 통하여 슬라이딩 할 수 있도록 슬라이딩 결합하는 동시에, 소정의 슬라이드 위치에 있어서 각 검사용 프로브 블록3을 지지 베이스1에 고정시키는 구성으로 한 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛을 개시하고 있다.

상기 가이드 레일7은 도2, 도4에 나타내는 가이드홈7' 대신에 지지 베이스1의 표면을 따라 일단으로부터 타단에 걸쳐 연장되는 돌기, 예를 들면 개미 모양의 돌기를 형성하여, 이 돌기에 슬라이더를 슬라이딩 결합시키고 체결 볼트9에 의하여 체결되는 구성을 채용할 수도 있다.

도6에 나타나 있는 바와 같이, 상기 검사용 프로브 블록3의 병렬탑재 유닛6는 틀 모양의 메인 베이스 플레이트20의 1변 내지 4변에 나사 등에 의하여 부착되고, 즉 유닛6의 지지 베이스1를 서브 플레이트로 하여 메인 베이스 플레이트20의 1변 내지 4변에 착탈 가능하게 부착하고, 각 유닛6에 있어서의 접촉단자2a를 틀의 변의 안쪽을 따라 평행하게 배치하여, 그 접촉단자2a를 창(윈도우)의 안쪽에 배치되는 디스플레이 패널 또는 배선회로기반4의 전극5을 가압하여 접촉하게 한다.

각 검사용 프로브 블록3의 병렬탑재 유닛6를 탑재한 메인 베이스 플레이트20는 상기 디스플레이 패널 등에 접근하거나 멀어지는 방향으로 이동할 수 있게 지지되어, 접근에 의하여 상기 가압접촉을 얻을 수 있다.

또한 검사용 프로브 블록을 가이드 레일 상을 이동시키고, 볼트로 체결하는 것 만으로 고정위치를 설정하면서 부착이 용이하게 이루어지고, 또한 체결 볼트를 풀어 각 검사용 프로브 블록을 가이드 레일에 넣거나 빼는 것이 가능하다.

또한 슬라이더의 구면은 상기 볼트 체결에 의하여 상기 대칭위치를 형성하면서 슬라이딩 하고, 프로브의 선단 접촉단자를 동일 선상에서 나란히 하고, 또한 수평면 상에서의 회전을 적절히 방지한다. 따라서 전극과의 접촉이 확실하게 이루어진다.

Claims

지지 베이스에 다수의 프로브를 구비하는 복수의 검사용 프로브 블록을 병렬로 탑재하고, 각 검사용 프로브 블록의 프로브를 디스플레이 패널 또는 배선회로기판의 전극에 접촉시켜 검사을 하도록 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛에 있어서, 상기 지지 베이스에 가이드 레일을 설치하고, 그가이드 레일에 상기 각 검사용 프로브 블록을 슬라이더를 통하여 슬라이딩 할 수 있도록 슬라이딩 결합시킴과 아울러, 소정의 슬라이드 위치에 있어서 각 검사용 프로브 블록을 지지 베이스에 고정하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛.
제1항에 있어서,

상기 슬라이더를 가이드 레일에 체결하여 상기 검사용 프로브 블록을 지지 베이스에 고정시키는 체결 볼트를 갖추는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛.
제1항에 있어서,

상기 가이드 레일은 가이드홈으로 이루어지고, 상기 슬라이더를 그 가이드홈 내에 슬라이딩 결합시킴과 아울러, 상기 검사용 프로브 블록을 그 가이드홈이 개구하는 지지 베이스 표면에 포개고, 상기 가이드홈의 개구를 통과시켜 상기 검사용 프로브 블록과 상기 슬라이더를 체결 볼트에 의하여 체결하여 상기 슬라이더와 상기 검사용 프로브 블록으로 상기 가이드홈의 개구 제한벽을 협지하여 상기 고정을 구현하는 구성으로 하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛.
제3항에 있어서

상기 검사용 프로브 블록은 좌판을 사이에 두고 상기 가이드홈이 개구하는 지지 베이스 표면에 포개고, 상기 검사용 프로브 블록을 그 좌판에 부착 볼트에 의하여 일체로 부착함과 아울러, 상기 체결 볼트는 그 좌판과 상기 슬라이더를 체결하여 상기 검사용 프로브 블록과 슬라이더의 체결을 도모하여 상기 협지상태를 형성하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛.
제3항 또는 제4항에 있어서,

상기 슬라이더가 구면(球面)을 구비하고, 상기 체결 볼트를 그 구면의 정상부에 나사 결합하고, 상기 체결 볼트의 체결에 의하여 그 구면이 상기 체결 볼트의 볼트축을 중심으로 한 대칭위치에 있어서 상기 개구 제한벽과 접촉하여 상기 협지상태를 형성하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브 블록의 병렬탑재 유닛.