TW531643B - Unit with inspection probe blocks mounted thereon in parallel - Google Patents

Unit with inspection probe blocks mounted thereon in parallel Download PDF

Info

Publication number
TW531643B
TW531643B TW090127337A TW90127337A TW531643B TW 531643 B TW531643 B TW 531643B TW 090127337 A TW090127337 A TW 090127337A TW 90127337 A TW90127337 A TW 90127337A TW 531643 B TW531643 B TW 531643B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
inspection probe
probe block
inspection
slider
mentioned
Prior art date
Application number
TW090127337A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Okuno
Masatomo Nagashima
Atsushi Oguma
Tadashi Furumi
Original Assignee
Soshotech Co Ltd
Adtec Engineeng Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Soshotech Co Ltd, Adtec Engineeng Co Ltd filed Critical Soshotech Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of TW531643B publication Critical patent/TW531643B/zh

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07364Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch

Description

531643 A7 B7 五、發明説明(1) 【發明所屬之技術領域】 , (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關檢查用探針塊之並列搭載單元爲了用以 檢查搭載液晶顯示板或等離子體顯示板,或I C之配線電 路基板。 【先前之技術】 由習知技術在支持基板用以並列搭載具有多數探針之 複數的檢查用探針塊,使各檢查用探針塊之探針接觸於上 述顯示板或配線電路基板之電極並進行檢查,對應於檢查 對象之顯示板或配線電路基板之大小或電極數或電極間距 等並將上述檢查用探針塊加以交換成適合於此者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而且習知技術係在支持基板將各檢查用之探針塊以螺 栓加以固定並用以形成並列搭載單元,在被插通螺栓之檢 查用探針塊之螺栓固定孔設有若干之間隙,在此間隙之範 圍進行各檢查用探針塊位置之微調整(對電極之探針的位 置之微調整),又在上述顯示板或配線電路基板之大小不 一樣時,係將適合於此之檢查用探針塊,進行並列搭載於 具有適合於此之螺栓固定孔的支持基板並用以形成並列搭 載單元,採用每個單元進行交換之方法。 【發明所欲解決之問題】 然而在上述習知技術例中,係將被搭載於特定之支持 基板上之各探針塊,只可在螺栓固定孔之微少間隙的範圍 內調整,而根據調整尺寸係有形成不能調整之問題。 本矣氏張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇X297公釐) -4 - 531643 A7 B7 五、發明説明(2) 又,在支持基板需要進行並列搭載複數之檢查用探針 塊之作業及在交換作業之煩雜手續,又在專用之支持基板 上必須準備用以並列搭載檢查用探針塊之單元,將支持基 板組裝放置在檢查裝置內並不可僅用以交換檢查用探針塊 【解決問題之手段】 本發明之構成係在上述支持基板設有導軌,而在該導 軌將上述各檢查用探針塊通過滑塊並以可滑動進行滑合, 同時在預定之滑動位置中將各檢查用探針塊加以固定於支 持基板。 各檢查用探針塊係通過滑塊並進行插拔於導軌可進行 搭載乃至交換,在導軌之延在長度中用以移動(滑動)各 檢查用探針塊並可進行位置之調整,在一種之支持基板用 以插拔不同之檢查用探針塊並共用支持基板,可進行同調 整。 譬如,上述滑塊軌進行締結並將上述 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 檢查用探針塊對支持基板力pi胃定,在任意之移動位置中 進行螺栓固定並對應於檢查對象之交換。 又做爲適例將上述導軌進行形成於導溝,將上述滑塊 在該導溝內進行滑合,同時將上述檢查用探針塊重疊於該 導溝進行開口之支持基板表面,上述締結栓螺係通過上述 導溝之開口用以締結上述檢查用探針塊及上述滑塊間並在 上述滑塊及上述檢查用探針塊間用以挾持上述導溝之開口 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -5- 531643 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(3) 歉 限制壁達成上述固定將締結螺栓進行締結則可設 定任意之固定位置,且僅纟締結螺栓則將各檢查用探針 塊由導軌可插拔。 上述檢查用探針塊係在支持基板直接重疊,或通過座 板並重疊於使上述導溝進行開口之支持基板的表面,將上 述檢查用探針塊藉由安裝螺栓於該座板安裝成一體,同時 上述締結螺栓係用以締結該座板及上述滑塊間並達成上述 檢查用探針塊及滑塊間之締結用以形成上述締結狀態。 做爲適例使用具有球面之滑塊,將上述締結螺栓進行 螺合於該球面之頂部^締結螺栓之締結使該球面 在將上述締結螺栓之螺ϊΐήέ、爲中心之對稱位置中進行擋 接於上述開口限制壁用以形成上述挾持狀態。 上述球爾螺栓固定進行滑動用以形成上述對稱 位置並使探針之前子部一致在同一線上,之外在水平 面上適切用以防止轉動。因此確實進行與電極之對應。 【發明之實施形態】 以下將本發明之實施形態根據圖1乃至圖6加以說明 〇 如圖1所示,在支持基板1用以並列搭載具有多數之 探針2的複數檢查用探針塊3,並使各檢查用探針塊3之 探針2接觸於用以搭載液晶顯示板,等離子體顯示等之顯 示板或I C之配線電路基板4的電極5並用以形成能進行 檢查之檢查用探針塊之並列搭載單元6。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) "mp·裝· ,項再填寫太
、1T «線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) -6- 531643 A7 B7 五、發明説明(4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述檢查用探針塊3係既知的,譬如如第5圖所示在 絕緣膜1 6之表面用以並列上述探針2並進行延在,與該 絕緣膜1 6之探針2係將相反側之表面貼合於支持材1 7 ,將該支持材1 7在檢查用探針塊3之前端組合成一體, 將探針2之一端由該支持材1 7之前端緣進行突出用以形 成接觸端子2 a,在同他端通過I C,或不通過並加以連 接於扁平配線電纜1 8,將扁平配線電纜1 8 —邊沿著支 持基板1之下部表面延伸,一邊沿著支持基板1之後端緣 通過貫設之電纜導溝1 9內,進行連接於檢查裝置。 上述接觸端子2 a係沿著支持基板1之前端緣,即由 該前端緣沿著突出之檢查用探針塊3之前端緣被並列配置 並被接觸於上述顯示板或配線電路基板4之電極5。 如圖1、圖2、圖4所示在上述支持基板1設有導軌 7,在該導軌7將上述各檢查用探針塊3通過滑塊8並以 可滑動進行滑合,同時在預定之滑動位置中將各檢查用探 針塊3進行固定於支持基板1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 各檢查用探針塊3係通過滑塊8進行插拔於導軌7並 進行搭載乃至交換,在導軌7之延在長度中用以移動(滑 動)各檢查用探針塊3並進行位置之調整。 因此在一種之支持基板1加以插拔不同之檢查探針塊 並共用支持基板1,能進行同調整。 譬如,上述滑塊栓9對導軌7進行締結並 將上述檢查用探針塊3對1加以固定,在任意之 移動位置中進行螺栓固定並對應於檢查對象之交換。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 531643 A7 B7 五、發明説明(5) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 做爲適例將上述導軌7在導溝7 ^加以形成。該導溝 7 /係由支持基板1之一端跨越至他端並進行延在,在其 全長中在支持基板1之表面做爲開口 7 a,且使兩端加以 開放。該導溝7 /係寬幅溝,其開口 7 a係窄幅溝。 而且將上述滑塊8由開放端7 b在上述導溝7 /內進 行滑合,同時將上述檢查用探針塊3使該導溝7 >進行開 口重疊於支持基板表面,上述締結栓螺9係通過上述導溝 7 /之開口 7 a用以締結上述檢查用探針塊3及上述滑塊 8間並在上述滑塊8及上述檢查用探針塊3間用以挾持上 述導溝7 : f開口限制壁7 c達成上述固定。 根據述締結螺栓9對上述滑塊8之上述導軌 7用以形成締,並將固定位置任意進行設定,且鬆 開締結螺栓9對導軌7用以形成滑塊8之締結解除狀態, 並將各檢查用探針塊3由導軌7,在圖示例中係導溝7 — 進行插拔。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述檢查用探針塊3係在支持基板1直接重疊,或如 圖1 '圖2、圖4所示,通過座板1 〇並使上述導溝7 一 進行開口重疊於支持基板1之表面,將上述檢查用探針塊 螺栓1 1於該座板1 0安裝成一體,同時上述 締係用以締結該座板1 0及上述滑塊8間並達成 上述檢查用探針塊3及滑塊8間之締結用以形成上述締結 狀態。 做爲適例如圖2、圖3所示使用具有球面1 2之魚板 形狀之滑塊8,將該球面1 2與開口 7 a進行對向配置, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -8 - 531643 A7 B7 五、發明説明(6) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將上述締結螺栓9通過開口 7 a並加以螺合於該球面1 2 之頂述締結螺栓9之締結使該球面1 2將上述 螺栓9之螺做爲中心之對稱位置的母線上進行擋接於 上述開口限制壁7 c之內部角緣1 3用以形成上述挾持狀 育§ 〇 將上述締結螺栓9以一方向進行轉動,則使進行螺合 於此之上述滑塊8進行微量上昇胃^定該螺栓使上述 球面1 2進行擋接於上述內部角緣行滑動用以形 成上述對稱位置,使探針2之前端接觸端子2 a —致在同 一線上,之外在水平面上適切用以防止轉動。因此確實進 行與電極5之對應。 相反將上述締結螺栓9以他方向進行轉動,則使進行 螺合於此之上述滑塊8進行微量下降並使上述球1 2由上 述內部角緣1 3進行離間,即用以解除締結並將檢查用探 針塊3與滑塊8同時沿著導軌7以自由進行移動,可進行 拔去乃至位置之調整。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述締結螺栓9係進行緩插於設置在座板1 0之安裝 孔1 5,或如圖1、圖2、圖4中以虛線所示進行緩插於 設置在檢查用探針塊3之安裝孔1 5,將其軸端通過開口 7 a進行螺合於設置在之上述球面1 2之頂部的母螺紋孔 1 4,將螺栓頭9 a進行座著於座板1 0,或如圖1、圖 2、圖4中以虛線所示進行座著於檢查用探針塊3之表面 並用以締結3、8兩者間,在3、8兩者用以挾持開口限 制壁7 c並將檢查用探針塊3進行固定於支持基板1.。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -9- 531643 A7 B7 五、發明説明(7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述母螺紋孔1 4係包含在球面1 2之頂部母線上進 行複數並設並以上述締結螺栓9達到上述締結之情形。又 各母螺紋孔1 4係由滑塊8之頂部朝向對底面進行貫設。 其次圖4係顯示有關上述滑塊8之其他例。該滑塊8 係以方形塊進行形成,將該方形塊之進行對向之一對的側 面擋接於導溝7 —之進行對向的一對之內側面或進行近接 狀態用以限制旋轉,沿著導溝7 /用以保証直線移動同時 用以防止轉動,他方與前述相同.,締結螺栓9係進行緩插 於設置在座板1 0之安裝孔1 5,或如圖4中以虛線所示 進行緩插於設置在檢查用探針塊3之安裝孔1 5,將其軸 端通過開口 7 a,進行螺合於設置在探針上面之中心線上 的母螺紋孔1 4,將螺栓頭9 a進行座著於座板1 0,或 如圖4中以虛線所示進行座著於檢查用探針塊3之表面並 用以締結3、8兩者間,在3、8兩者用以挾持開口限制 壁7 c並將檢查用探針塊3進行固定於支持基板1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述圖2、圖4之任何例中,皆揭示有檢查用探針 塊之並列搭載單元其構成係在上述支持基板1設有導軌7 ,而在該導軌7將上述各檢查用探針塊3通過滑塊8並以 可滑動進行滑合,同時在預定之滑動位置中將各檢查用之 探針塊3進行固定於支持基板1。
上述導軌7係取代圖2、圖4所示之導溝7 >,沿著 支持基板1之表面由一端跨越於他端並進行延在之突條, 譬如進行形成於蟻狀之突條,在該突條用以滑合滑 由締結螺栓9可採用進行締結之構成。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -10- 531643 A7 B7 五、發明説明(8) 如圖6所不,上述檢查用探針塊3之並列搭載單元6 係在四方形之主基板2 0之一邊乃至 ,即將單元6之支持基板1做爲子板在主之一邊 乃至四邊安裝成可裝卸,在各單元6中將接觸端子2 a沿 著四方邊之內側以平行進行配置,使該接觸端子2 a加壓 接觸固定於配置於視窗內側之顯示板或配線電路基板4之 電極5。 用以搭載各檢查用探針塊3之並列搭載單元6的主基 板2 0係在顯示板等對進行接近離間方向被支持成可移動 ,L 近取得上述加壓接觸。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【發明之效果】 各檢查用探針塊係通過滑塊進行插拔於導軌並可進行 搭載乃至交換,在導軌之延在長度中用以移動(滑動)各 檢查用探針塊並可進行位置之調整,在一種之支持基板進 行插拔不同之檢查用探針塊並共用支持基板,可進行同調 整。 Ά 又將檢查用探針塊用以移動導軌上僅進行 締結則用以設定固定位置並容易進行安裝,i"發放鬆締結 螺栓則可將各檢查用^罙針塊由導軌插拔。 又滑塊之球面名述螺栓固定並進行滑動用以形 成上述對稱位置,使探針€前端端子一致於同一線上,之 外在水平面上適切進行防止轉動。因此確實進行與電極之 對應。 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -11 - 531643 Α7 __ Β7 五、發明説明(9) 【圖式之簡單說明】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1係檢查用探針塊之並列搭載單元之平面圖。 圖2 係上述單元中A - Α線之剖面圖。 圖3 係滑塊之斜視圖。 圖4 係顯示上述滑塊之他例的檢查用探針塊之並列 搭載單元的剖面圖。 圖5係顯示探針並列絕緣膜及扁平配線電纜之連接狀 態仰視圖。 圖6係顯示將檢查用探針塊之並列搭載單元進行搭載 於四方形主基板之平面圖。 【元件編號之說明】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1…支持基板,2…探針,2 a…接觸端子,3 ···檢 查用探針塊,4…顯不板或配線電路基板,5 ···電;彳®,6 …檢查用探針塊之並列搭載單元,7…導軌,7 / ···導溝 ,7 a…開口,7 b…開放端,7 c…開q限制辟,g… 滑塊,9…締結螺栓,9 a…螺栓頭,1 0 ···座板,11 …女I ΐ糸检,1 2…球面,1 3…開口部限制辟之內部角 緣,14…母螺紋孔,15…安裝孔,16···絕緣膜, 1 7…支持材,1 8…扁平配線電纜,1 9 ···電,纜導溝, 2 0…四方形之主基板。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -12、

Claims (1)

  1. 531643 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種檢查用探針塊之並列搭載單元,在支持基板 用以並列搭載具有多數之探針的複數檢查用探針塊,使各 檢查用探針塊之探針接觸於顯示板或配線電路基板之電極 並能進行檢查之檢查用探針塊之並列搭載單元中,其特徵 爲: 其構成係在上述支持基板設有導軌,而在該導軌將上 述各檢查用探針塊通過滑塊並以可滑動進行滑合,同時在 預定之滑動位置中將各檢查用之探針塊進行固定於支持基 板。 — 2 .如申請專利範圍第1項所記載之檢查用探針塊之 並列搭載單元,係具備締結螺栓將上述滑塊對導軌進行締 結並將上述檢查用探針塊對支持基板進行固定。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 .如申請專利範圍第1項所記載之檢查用探針塊之 並列搭載單元,其中上述導軌係由導溝所構成,其構成係 將上述滑塊進行滑合於該導溝內,同時將上述檢查用探針 塊使該導溝進行開口重疊於支持基板表面通過上述導溝 之開口將上述檢查用探針塊及上述滑塊吉螺栓進 行締結並在上述滑塊及上述檢查用探針塊間1'持上述 導溝之開口限制壁達成上述固定。 4 .如申請專利範圍第3項所記載之檢查用探針塊之 並列搭載單元,其中上述檢查用探針塊係通過座板並重疊 於使上述導溝進行開口之支持基板表面,將上述檢查用探 針塊藉由安裝螺栓於該座板安裝成一體,同時上述締結螺 栓係用以締結該座板及上述滑塊間並達成上述檢查用探針 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -13- 531643 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 塊及滑塊間之締結用以形成上述挾持狀態。 5 .如申請專利範圍第3或第4項所記載之檢查用探 針塊之並列搭載單元,其中上述滑塊有球面,將上述 締結螺栓進行螺合於該球面之頂部,述締結螺栓 之締結使該球面在將上述締結螺栓之螺栓?ΪΤί爲中心之對 稱位置中進行擋接於上述開口限制壁用以形成上述挾持狀 育g 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -14-
TW090127337A 2000-11-08 2001-11-02 Unit with inspection probe blocks mounted thereon in parallel TW531643B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000340128A JP2002148280A (ja) 2000-11-08 2000-11-08 検査用プローブブロックの並列搭載ユニット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW531643B true TW531643B (en) 2003-05-11

Family

ID=18815091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW090127337A TW531643B (en) 2000-11-08 2001-11-02 Unit with inspection probe blocks mounted thereon in parallel

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6577145B2 (zh)
EP (1) EP1209473A3 (zh)
JP (1) JP2002148280A (zh)
KR (1) KR20020036694A (zh)
CN (1) CN1355436A (zh)
TW (1) TW531643B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI396848B (zh) * 2008-11-10 2013-05-21 Nihon Micronics Kk Electrical inspection probe unit, electrical inspection device and lighting inspection device

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6732346B2 (en) * 2001-05-25 2004-05-04 Intrinsity, Inc. Generation of route rules
JP4732630B2 (ja) * 2001-07-31 2011-07-27 富士通株式会社 パネル検査装置
JP4790997B2 (ja) * 2004-03-26 2011-10-12 株式会社日本マイクロニクス プローブ装置
JP4989911B2 (ja) * 2006-03-31 2012-08-01 株式会社日本マイクロニクス 可動式プローブユニット及び検査装置
JP2010127706A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット及び検査装置
JP5406790B2 (ja) * 2009-08-04 2014-02-05 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット及びこれを用いる試験装置
KR101162912B1 (ko) * 2009-10-27 2012-07-06 주식회사 탑 엔지니어링 어레이기판 검사장치 및 어레이기판 검사방법
CN102087258B (zh) * 2009-12-08 2013-09-18 中国石油大学(北京) 油管检测装置
KR101152181B1 (ko) * 2010-05-06 2012-06-15 주식회사디아이 디스플레이 패널 검사용 프로브 블록 및 프로브 유닛
CN103268027B (zh) * 2012-07-20 2016-11-23 成都天马微电子有限公司 一种tft基板的测试装置及测试方法
CN104102031A (zh) * 2014-06-17 2014-10-15 京东方科技集团股份有限公司 一种探针器件和检测装置
JP6422376B2 (ja) * 2015-03-06 2018-11-14 三菱電機株式会社 半導体装置検査用治具
CN108098431A (zh) * 2017-12-17 2018-06-01 北京工业大学 一种高精度高刚度预应力支座
CN113899524B (zh) * 2021-09-30 2024-03-12 中国航空工业集团公司哈尔滨空气动力研究所 一种阵风流场校测装置
CN115737127B (zh) * 2022-11-30 2023-07-07 北京铸正机器人有限公司 一种手术机器人末端的定位精度的检测装置及检测方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2627393B2 (ja) * 1993-04-13 1997-07-02 株式会社日本マイクロニクス 表示パネル用プローバ
JPH07260825A (ja) * 1994-03-18 1995-10-13 Nec Corp 信号測定用プローブ
DE19536089A1 (de) * 1995-09-28 1997-04-03 Schaeffler Waelzlager Kg Linearlager
JP3592831B2 (ja) * 1996-02-26 2004-11-24 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット及びその調節方法
JP4280312B2 (ja) * 1996-12-25 2009-06-17 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット
JP3634138B2 (ja) * 1998-02-23 2005-03-30 株式会社 日立ディスプレイズ 液晶表示装置
KR100397594B1 (ko) * 1999-03-08 2003-09-13 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 액정 표시 장치 및 그 검사 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI396848B (zh) * 2008-11-10 2013-05-21 Nihon Micronics Kk Electrical inspection probe unit, electrical inspection device and lighting inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
US20020053918A1 (en) 2002-05-09
CN1355436A (zh) 2002-06-26
EP1209473A2 (en) 2002-05-29
KR20020036694A (ko) 2002-05-16
US6577145B2 (en) 2003-06-10
JP2002148280A (ja) 2002-05-22
EP1209473A3 (en) 2003-08-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW531643B (en) Unit with inspection probe blocks mounted thereon in parallel
US4979075A (en) Method and apparatus for controlling circuit expansion for consumer electronic systems
KR940001100B1 (ko) 개인용 컴퓨터 시스템 유닛
US20100244871A1 (en) Space transformer connector printed circuit board assembly
TW521151B (en) Pin block structure for mounting contact pins
JPH022547B2 (zh)
US20160077145A1 (en) Computer component connector
TW434407B (en) Probe card
TW480645B (en) Method and apparatus for inspecting semiconductor integrated circuits, and contactor incorporated in the apparatus
US20030077932A1 (en) Floating blind mate interface for automatic test system
TW574507B (en) Arrangement to test the chips by means of a printed circuit plate
US20080116917A1 (en) Probe support and process for the examination of test substrates under use of probe supports
US7934951B2 (en) Two mount and three mount socket design with attachment and alignment
KR101147573B1 (ko) 반도체 시험 장치
WO1993009444A1 (en) Adaptable multiport test fixture system
KR940003239B1 (ko) 인쇄된 회로판을 프레임에 지지시키는 장치
US8456857B2 (en) Backplane for an electronic mounting rack
US8402848B2 (en) Probe holder
US5206795A (en) Compliant connection for substrates
KR101168953B1 (ko) 프로브 유닛 및 이것을 이용한 시험장치
KR101479956B1 (ko) 자동 테스트 장비 인터페이스용 직각 연결 시스템
SI9620133A (sl) Priprava za električno preskušanje tiskanih vezij z nastavljivim položajem sondnih igel
GB2367369A (en) A test fixture for testing a printed circuit board
KR101249020B1 (ko) 하이 스피드 번인 테스트 장치
JP2011053203A (ja) プローブユニット及びこれを用いる試験装置

Legal Events

Date Code Title Description
GD4A Issue of patent certificate for granted invention patent
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees