JP4732630B2 - パネル検査装置 - Google Patents
パネル検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4732630B2 JP4732630B2 JP2001231195A JP2001231195A JP4732630B2 JP 4732630 B2 JP4732630 B2 JP 4732630B2 JP 2001231195 A JP2001231195 A JP 2001231195A JP 2001231195 A JP2001231195 A JP 2001231195A JP 4732630 B2 JP4732630 B2 JP 4732630B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- electrode
- panel
- pdp
- electrode group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2217/00—Gas-filled discharge tubes
- H01J2217/38—Cold-cathode tubes
- H01J2217/49—Display panels, e.g. not making use of alternating current
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はパネル検査装置に係り、詳しくはPDP等の平面表示ディスプレイに用いられる表示パネルの電極に対して検査用電極を接触させて表示パネルの検査を行うパネル検査装置に関するものである。
【0002】
近年、表示装置の発展は目覚ましく、特に平面ディスプレイは薄型・軽量などの特徴から急速に普及してきた。プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP: Plasma Display Panel)は大型画面の表示装置として従来の背面投射型ディスプレイ(CRT)に代わる次世代の平面表示ディスプレイである。
【0003】
PDP等の表示パネルは、表示装置として組み立てる前に、パネル単体での表示電極端子列の良否検査や、表示素子の全点灯検査等が行われる。それら検査のために、表示パネルの電極に対して駆動回路から検査用信号を供給するための検査用電極を精度良く接触させる必要がある。
【0004】
【従来の技術】
図11は、従来のパネル検査装置を示す概略図である。
同図に示すように、表示パネル、例えば、プラズマ・ディスプレイ・パネル( PDP:Plasma Display Panel)等のガラス製のパネル71には、複数の電極(以下、PDP電極)72が形成されている。PDP電極72は、PDPパネル71の辺上に沿って所定の電極幅及び電極ピッチにて形成されるとともに所定数毎に一定の間隔で離間して形成され、複数(図では例えば3つ)のPDP電極群72a〜72cを構成している。
【0005】
パネル検査装置81には、加圧機構を有する複数の検査ユニット82a〜82cが上記複数のPDP電極群72a〜72cに対応して設けられている(図では、例えば3つのPDP電極群72a〜72cに対応して3つの検査ユニット82a〜82cが設けられている)。各検査ユニット82a〜82cには、それぞれ検査用電極83a〜83cが備えられている。つまり、パネル検査装置81には、検査用電極83a〜83cをそれぞれ備えた検査ユニット82a〜82cがPDP電極群72a〜72c毎に独立して設けられている。
【0006】
各検査ユニット82a〜82cは、それぞれ上部加圧レバー84と下部加圧レバー85とを有した加圧機構であって、それらの加圧面にはそれぞれ弾性体86が取着されている。そして、検査ユニット82a〜82cは、その加圧機構によりPDPパネル71と検査用電極83a〜83cとを挟み込み、該検査用電極83a〜83cを対応するPDP電極群72a〜72cに接触させる。
【0007】
図12は、検査ユニット82aの検査用電極83aとPDP電極群72aとを電気的に接続した状態を示す概略側面図である。
パネル検査装置81には、PDPパネル71に対して検査用の電気信号を供給するための駆動回路87が該パネル71の裏面側(図ではパネル71の下側)にて固定されている。この駆動回路87は、検査用電極83aとPDP電極群72aとを電気的に接続するためのフィルム基板等よりなる配線基板88を有している。
【0008】
そして、図12に示すように、配線基板88をPDPパネル71及び検査用電極83aとともに挟み込むことにより、PDP電極群72aに対して駆動回路87から電気信号が供給され、パネル点灯検査等の所定の検査が行われる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、PDP等のパネル検査装置81において、PDP電極群72a〜72cと検査用電極83a〜83cとの位置合わせは、PDPパネル71上に設けられた通常1又は2ヶ所のアライメントマークを基準として行われる。つまり、PDPパネル71上のアライメントマークに基づいて位置決めされた各検査ユニット82a〜82cは、それぞれの検査用電極83a〜83cとPDP電極群72a〜72cとを接触させる。
【0010】
しかしながら、近年、PDP等の表示パネルは大型化されてきている。そのため、パネル製造工程における電極加工工程での熱処理の影響で、パネル自体に反りが発生し、PDP電極72の電極ピッチが設計時の寸法から大きくずれる場合がある。電極ピッチのずれは、アライメントマークから離れた位置に形成されるPDP電極72ほど顕著に現れ、これにより各PDP電極群72a〜72cと検査用電極83a〜83cとの位置合わせはより困難なものとなっていた。
【0011】
そこで、従来のパネル検査装置81では、上記のようなパネルの反りに対応するため、図11に示すように、各検査ユニット82a〜82cの上下加圧レバー84,85がパネル71の厚み方向(同図に示す矢印方向)に移動可能に構成されている。
【0012】
ところが、各PDP電極群72a〜72cはパネル71の反りにともなって円弧状に変位するため、それら全ての電極群72a〜72cに検査用電極83a〜83cを均一に接触させるには、非常に大きな加圧力によってパネル71の反りを矯正させる必要がある。このように、パネル71に対して大きな圧力を加えることは、検査用電極83a〜83cの短寿命化や、パネル検査の非正確性の要因となっていた。
【0013】
また、従来のパネル検査装置81では、各PDP電極群72a〜72c間のピッチが異なるパネルに対応するためには、各検査ユニット82a〜82cの連結部分を調整する必要があり、その調整作業が煩雑なものとなっていた。その結果、パネルサイズの変更時において、その調整作業に多大な時間を要していた。
【0014】
さらに、従来では、上記したように検査用電極83aとPDP電極群72aとを電気的に接続する配線基板88が挟み込まれるため(図12参照)、その加圧時に配線基板88自身の断線等を引き起こしていた。
【0015】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度に接触させ得るパネル検査装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、前記検査ユニットのベースには、当該ベース上を前記表示パネルの辺方向と直交する方向に移動可能なスライダと、前記検査用電極が固定される固定ブロックとが設けられ、前記スライダには、加圧シリンダに接続されて当該加圧シリンダの動作に基づき回動して所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる加圧レバーが設けられ、前記スライダが前記加圧レバーと共に前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に移動して前記加圧レバーが前記固定ブロックに対して後退することで、該加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動する。従って、検査用電極と電極群との接触具合を視認可能とすることができ、これにより高精度に両電極を接触させることができる。
【0017】
請求項2に記載の発明では、前記固定ブロックの上端部は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾する傾斜状に形成され、当該固定ブロックの上端部には、前記検査用電極が前記所定の傾斜角度で固定される。これにより、両電極の接触時におけるワイピング効果(酸化膜除去効果)が高められ、当該両電極の安定した接触性を得ることができる。
【0018】
請求項3に記載の発明では、前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、それら複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続される。これにより、複数の検査ユニットは、前記複数の位置決め手段を介して治具と接続されることで、前記複数の電極群に対応した位置に位置決めされる。
【0019】
請求項4に記載の発明では、前記位置決め手段に設けられた調整手段により、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整可能とした。これにより、表示パネルの辺方向に沿った複数の検査ユニットの位置合わせをさらに高精度に行うことができる。
【0021】
請求項5に記載の発明では、前記加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えた。
請求項6に記載の発明では、前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されている。
請求項5及び請求項6に記載の発明によれば、検査用電極と電極群との接触具合の確認時には、該検査用電極が電極群に対して接触保持される加圧力で押し下げられるため、検査用電極が損傷することはない。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、例えばプラズマ・ディスプレイ・パネル(以下、PDP: Plasma Display Panel)のパネル検査装置に具体化した一実施形態を図1〜図10に従って説明する。
【0025】
図1は、本実施形態のパネル検査装置を示す平面図である。
パネル検査装置11にはステージ21が設けられ、そのステージ21には被試験パネルとしてのPDP等の表示パネル(以下、PDPパネル)22が吸着機構等の固定手段(図示略)によって所定の位置に固定されている。
【0026】
PDPパネル22の所定の複数辺には、それぞれ複数の電極(以下、PDP電極)23が各辺に沿って形成されている。尚、説明の都合上、以下では、1つの辺に沿って形成された電極23について説明する。
【0027】
PDP電極23は、所定の電極幅及び電極ピッチにて形成されるとともに、所定数毎に一定の間隔を空けて形成され、複数(本実施形態では6つ)の電極群(以下、PDP電極群)23a〜23fを構成している。つまり、各PDP電極群23a〜23fは、1つの辺に沿って互いに所定の間隔(電極群ピッチ)で離間されて形成されている。
【0028】
このように構成されるPDPパネル22に対して、パネル検査装置11には、加圧機構を有した複数(本実施形態では6つ)の検査ユニット24a〜24fが該パネル22に形成された複数のPDP電極群23a〜23fに対応して設けられている。
【0029】
各検査ユニット24a〜24fには、それぞれ検査用電極25a〜25fが備えられている。尚、本実施形態において、検査用電極25a〜25fには、可撓性を有する、例えばフレキシブルプリント基板(FPC: Flexible Print Circuit)が使用される。検査ユニット24a〜24fは、PDPパネル22上に形成される複数のアライメントマーク(図示略)を基準として各検査用電極25a〜25fと、それらに対応するPDP電極群23a〜23fとの位置合わせを行う。そして、検査ユニット24a〜24fは、その加圧機構により検査用電極25a〜25fとPDP電極群23a〜23fとを接触させることで、後述する駆動回路から出力される検査用信号が該検査用電極25a〜25fを介して各PDP電極群23a〜23fからPDPパネル22に供給される。
【0030】
パネル検査装置11には、PDPパネル22の辺方向に沿って第1レール26が敷設され、各検査ユニット24a〜24fは、該第1レール26に沿って双方向(図1に示す矢印A方向)に移動可能に設けられている。
【0031】
また、パネル検査装置11には、所定の長さを有する棒状の治具27が第1レール26に対して平行にキャッチブロック28,29にて支持されている。この治具27は、キャッチブロック28,29に対して着脱可能である。
【0032】
治具27には、位置決め手段としての複数の接続ブロック30a〜30fが所定の間隔毎に取着されている。詳しくは、接続ブロック30a〜30fは、各PDP電極群23a〜23fの電極群ピッチに対応した位置にて治具27に予め取着されるものであり、本実施形態では、6つのPDP電極群23a〜23fに対応して6つの接続ブロック30a〜30fが設けられている。即ち、治具27は、PDPパネル22の一つの辺に形成されるPDP電極群23a〜23fの電極群数、さらには電極群ピッチに対応した所定ピッチ毎に接続ブロック30a〜30fを有している。
【0033】
各接続ブロック30a〜30fには、該接続ブロック30a〜30fと検査ユニット24a〜24fとをそれぞれ連結するキャッチクリップ31a〜31fが取着されている。そして、検査ユニット24a〜24fは、それらキャッチクリップ31a〜31fを介して、上記治具27に予め取着される接続ブロック30a〜30fと連結固定されている。
【0034】
また、各キャッチクリップ31a〜31fは、各接続ブロック30a〜30fが有する調整手段としての微調整用ネジ32a〜32fにて、各検査ユニット24a〜24fをキャッチする位置をPDPパネル22の辺方向に沿って若干調整可能に形成されている。これにより、接続ブロック30a〜30fと連結された各検査ユニット24a〜24fは、各PDP電極群23a〜23fの電極群ピッチに合わせてPDPパネル22の辺方向に沿って微調整可能である。
【0035】
図2は、パネル検査装置11の拡大平面図であって、上記キャッチブロック28の周辺を拡大して示したものである。
パネル検査装置11には、上記PDPパネル22の辺方向と直交する方向に沿って複数の第2レール33が敷設され、その第2レール33に沿って双方向(図2に示す矢印B方向)に移動可能にベース部材34が支持されている。このベース部材34は、第1レール26に沿った方向、即ちPDPパネル22の辺方向(図2に示す矢印A方向)に沿って移動不能である。そして、ベース部材34の双方向の移動は、それぞれアブソーバ35又はストッパ36により規制される。また、ベース部材34がPDPパネル22に近接する時の移動速度がアブソーバ35により制御される。
【0036】
ベース部材34には、スライドブロック37がPDPパネル22の辺方向に沿って双方向(図2に示す矢印A方向)に移動可能に支持され、そのスライドブロック37は、上記治具27の一端部を支持するキャッチブロック28に取着されている。つまり、治具27とスライドブロック37とは、キャッチブロック28により連結固定されている。
【0037】
スライドブロック37はアライメント用モータ38を有し、該モータ38の回転軸38aには偏心カム39が軸着されている。この偏心カム39には、スライドブロック37に設けられたカムフォロア40が当接されている。さらに、スライドブロック37は、ベース部材34に設けられたスプリング41によって、図2に示す矢印Aの右方向に付勢されている。
【0038】
従って、アライメント用モータ38の回転軸38aが回転されると、偏心カム39によってカムフォロア40が図2に示す矢印Aの左方向に移動する。すると、スライドブロック37及びそのスライドブロック37に連結された治具27が同じく矢印Aの左方向に移動する。その結果、図1に示す各検査ユニット24a〜24fは、第1レール26に沿って同図に示す矢印Aの左方向に同一の変位量で移動する。
【0039】
また、上記したように、スライドブロック37は、スプリング41によって図2に示す矢印Aの右方向に付勢されている。従って、アライメント用モータ38の回転軸38aがさらに回転すると、カムフォロア40は偏心カム39から離間せずに該偏心カム39の回転に基づいて矢印Aの右方向に移動する。その結果、図1に示す各検査ユニット24a〜24fは、第1レール26に沿って同図に示す矢印Aの右方向に同一の変位量で移動する。
【0040】
このようにして、各検査ユニット24a〜24fは、アライメント用モータ38による偏心カム39の回転に基づきPDPパネル22の辺方向に沿って第1レール26上を各検査ユニット24a〜24f間のピッチを維持したまま移動する。つまり、各検査ユニット24a〜24fは同一の変位量で移動するので、PDPパネル22の辺方向の位置ずれに対応した位置合わせが容易に可能となる。
【0041】
次に、パネルサイズを変更する際のPDP電極群23a〜23fと検査ユニット24a〜24fとの位置合わせを行う場合について図3〜図5に従って説明する。
【0042】
図3に示すPDPパネル22は、その一辺の長さ(幅又は高さ)がL1であって、所定の電極幅及び電極ピッチ(図示略)で構成される6つのPDP電極群23a〜23fが電極群ピッチP1を有して形成されている。
【0043】
このようなパネルサイズを持つPDPパネル22に対応して、各PDP電極群23a〜23f及び電極群ピッチP1に対応した位置に接続ブロック30a〜30fを有した治具27が準備される。従って、各検査ユニット24a〜24fは、治具27の各接続ブロック30a〜30fにより、予めPDP電極群23a〜23f及び電極群ピッチP1に対応した位置に位置決めされて連結される。
【0044】
図4に示すPDPパネル22aは、その一辺の長さ(幅又は高さ)がL2(L2<L1)であって、所定の電極幅及び電極ピッチ(図示略)で構成される6つのPDP電極群23a〜23fが電極群ピッチP2(P2<P1)を有して形成されている。尚、PDP電極群23a〜23fを構成する電極幅及び電極ピッチは、上記図3のPDP電極群23a〜23fのそれらと同一である。
【0045】
このようなパネルサイズを持つPDPパネル22aに対応して、各PDP電極群23a〜23f及び電極群ピッチP2に対応した位置に接続ブロック30a〜30fを有した治具27aが準備され、上記図3に示す治具27と交換される。この際、パネル22aは、電極群ピッチP2(<P1)で構成されているため、治具27aにおける各接続ブロック30a〜30f間のピッチは、上記治具27におけるそれらのピッチに比べて短く設定される(即ち、電極群ピッチP2に対応したピッチに設定される)。
【0046】
これにより、各検査ユニット24a〜24fは、治具27aの各接続ブロック30a〜30fに連結され、予めPDP電極群23a〜23f及び電極群ピッチP2に対応した位置に位置決めされる。
【0047】
図5に示すPDPパネル22bは、その一辺の長さ(幅又は高さ)がL3(L3<L2<L1)であって、所定の電極幅及び電極ピッチ(図示略)で構成される5つのPDP電極群23a〜23eが電極群ピッチP2(P2<P1)を有して形成されている。尚、PDP電極群23a〜23eを構成する電極幅及び電極ピッチ、電極群ピッチP2は、上記図4に示すPDP電極群23a〜23eのそれらと同一である。
【0048】
このようなパネルサイズを持つPDPパネル22bに対応して、各PDP電極群23a〜23e及び電極群ピッチP2に対応した位置に接続ブロック30a〜30eを有した治具27bが準備され、上記図4に示す治具27aと交換される。この治具27bは、PDP電極群23a〜23eに対応する接続位置に固定された接続ブロック30a〜30eと、それらと離間した非接続位置に固定された接続ブロック30fを有する。ここで、治具27bの各接続ブロック30a〜30e間のピッチは、パネル22bのPDP電極群23a〜23e及び電極群ピッチP2が上記図4に示すパネル22aのそれらと同様であるため、治具27aの各接続ブロック30a〜30e間のピッチと同じ値に設定される。
【0049】
つまり、図5に示すように、検査ユニット24a〜24eは各接続ブロック30a〜30eに連結固定され、パネル22bに形成された5つのPDP電極群23a〜23eと対応する配置に設置される。そして、検査ユニット24fは、接続ブロック30fに連結固定され、パネル22bとの非接触位置に退避させられる。尚、接続ブロック30fは、治具27bから抜脱させてもよい。
【0050】
これにより、各検査ユニット24a〜24eは、治具27bの各接続ブロック30a〜30eと連結され、予めPDP電極群23a〜23e及び電極群ピッチP2に対応した位置に位置決めされる。そして、検査ユニット24fは接続ブロック30fと連結され、PDPパネル22bとの非接触位置に位置決めされる。
【0051】
次に、検査ユニット24aの構成を図6〜図8に従って説明する。尚、説明の都合上、以下では、検査ユニット24aの構成について説明するが、他の検査ユニット24b〜24fも同様に構成されている。
【0052】
図6に示すように、パネル検査装置11(図1参照)には、位置測定手段としてのカメラ42が設けられている。このカメラ42は、検査ユニット24aが備える検査用電極25aと、PDPパネル22に形成されたPDP電極群23aとが接触した状態での両電極23a,25a同士の重なり具合を測定するために設けられている。
【0053】
また、図7に示すように、PDPパネル22を吸着機構等によって載置固定するステージ21の裏面(図では、ステージ21の下側)には、上記したように、PDPパネル22を検査するための検査用信号を供給する駆動回路43が設けられている。駆動回路43は、PDPパネル22に形成されたPDP電極群23aと検査ユニット24aが備える検査用電極25aとを電気的に接続するためのフィルム状配線基板(以下、フィルム基板)44を備えている。このフィルム基板44は、PDPパネル22と駆動回路43とを接続し得る長さを有している。
【0054】
このため、検査ユニット24aには、検査用電極25aと駆動回路43のフィルム基板44とを中継する中継基板として中継用フィルム基板(以下、中継フレキ)45が備えられ、該中継フレキ45は検査用電極25aと一体に接続されている。そして、中継フレキ45とフィルム基板44とは、それらとの接触面にて弾性絶縁体を有するバネ性の中継クリップ46により接続される。これにより、駆動回路43から出力される検査用信号は、フィルム基板44、中継フレキ45、検査用電極25a、及びPDP電極群23aを介してPDPパネル22に供給される。
【0055】
検査ユニット24aは、第1レール26上をPDPパネル22の辺方向に沿って双方向に移動可能なベース51を備え、このベース51は上記キャッチクリップ31aを介して接続ブロック30aに接続される。
【0056】
ベース51には、PDPパネル22の辺方向と直交する方向に移動可能なスライダ52と、該スライダ52を駆動する駆動シリンダ53と、検査用電極25a及び中継フレキ45を固定する固定ブロック54とが設けられている。図6及び図7に示すように、この固定ブロック54は、その上端部がPDPパネル22側に向かって前傾する傾斜状に形成され、検査用電極25aを水平面に対して所定の傾斜角度を有する状態で固定する。
【0057】
スライダ52には、回動軸55が該スライダ52に対し回転不能に支持され、その回動軸55には、支点ブロック56が図8に示す矢印C方向に回動可能に支持されている。この支点ブロック56には、検査用電極25aの上面を加圧する上部加圧レバー57aと、検査用電極25aの下面を加圧する下部加圧レバー57bとが設けられ、各加圧レバー57a,57bの先端部にはそれぞれ弾性体58a,58bが取着されている。また、図8に示すように、下部加圧レバー57bの先端部下方は一部切り欠かれており、上記中継フレキ45の通過経路59が設けられている。
【0058】
図6に示すように、上部加圧レバー57aは回動軸60aに回動可能に支持され、下部加圧レバー57bは回動軸60bに回動可能に支持されている。また、各加圧レバー57a,57bの基端部には、加圧シリンダ61が接続されている。そして、上部加圧レバー57a、下部加圧レバー57b、及び加圧シリンダ61とにより平行リンク機構が構成され、該加圧シリンダ61により各加圧レバー57a,57bが駆動され回動する。
【0059】
詳述すると、加圧シリンダ61により各加圧レバー57a,57bの基端部が互いに遠ざかる方向に移動するとき、各加圧レバー57a,57bは、検査用電極25aの上下面を加圧する方向に回動する。逆に、加圧シリンダ61により各加圧レバー57a,57bの基端部が互いに近づく方向に移動するとき、各加圧レバー57a,57bは、検査用電極25aを非加圧する方向(検査用電極25aから離間する方向)に回動する。そして、各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aを加圧する際の加圧面の上下方向の位置は、加圧シリンダ61の上下方向の移動に基づいて調整される。
【0060】
上記支点ブロック56の後方(加圧シリンダ61側)には、該支点ブロック56の回動を規制する回動規制手段としての回動規制板62が設けられている。この回動規制板62は、加圧シリンダ61により各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aを非加圧する方向(検査用電極25aから離間する方向)に回動したときに、支点ブロック56の回動(図8に示す矢印C方向の回動)を規制する。
【0061】
詳述すると、各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aから離間する方向に回動すると、各加圧レバー57a,57bが回動規制板62に当接し、支点ブロック56の回動が規制される。逆に、各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aを加圧する方向に回動すると、各加圧レバー57a,57bが回動規制板62から離間し、支点ブロック56は回動可能となる。従って、この状態では、各加圧レバー57a,57bは、図8に示す矢印C方向に回動可能となる。
【0062】
このような回動規制板62を設けることで、各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aから離間する方向に回動したときには、支点ブロック56が回動不能となるため、各加圧レバー57a,57bの先端部によりパネル22を損傷することが防止される。一方、各加圧レバー57a,57bが検査用電極25aを加圧する方向に回動したときには、支点ブロック56が回動可能となるため、パネル22の歪みに対して各レバー57a,57bを追従可能とする構成にすることができる。
【0063】
上部加圧レバー57aには、回動量調節手段としてのストッパボルト63が設けられている。このストッパボルト63は、検査用電極25a上面を加圧する方向への上部加圧レバー57aの回動量を調節する。詳しくは、図6に示すように、ストッパボルト63が固定ブロック54の上部に当接して、上部加圧レバー57aの回動量が規制される。そして、後述するように、このストッパボルト63により上部加圧レバー57aの加圧方向の回動量を調節することにより、検査用電極25aの押し下げ量が決定される。
【0064】
次に、このように構成される検査ユニット24aの作用を説明する。
上記したように、検査ユニット24aは、PDP電極群23aに対応して予め位置決めされて固定される接続ブロック30aを有する治具27とキャッチクリップ31aを介して接続される。これにより、PDPパネル22の辺方向における検査用電極25aとPDP電極群23aとの接触位置がほぼ決定される。
【0065】
次いで、検査ユニット24aは、検査用電極25aとPDP電極群23aとが接触可能となる位置に達するまで、第2レール33に沿って図6に示す右矢印方向に移動する。この状態から、駆動シリンダ53によってスライダ52が図6に示す左矢印方向に移動すると、各加圧レバー57a,57bが固定ブロック54に対して後退する。つまり、図6に示すように、検査用電極25aがPDP電極群23aとの接触位置に保持されたまま、各加圧レバー57a,57bがPDPパネル22から離間する方向に後退する。
【0066】
この状態で、加圧シリンダ61によって上部加圧レバー57aが加圧方向に回動すると、該加圧レバー57aは、検査用電極25aの先端と固定端との略中間部分を押し下げる。
【0067】
これにより、図6に示すように、検査用電極25aの先端部が視認可能な状態で、該検査用電極25aをPDP電極群23aに接触させることができる。尚、検査用電極25aとPDP電極群23aとを接触させる際の上部加圧レバー57aによる検査用電極25aの押し下げ量は、固定ブロック54上端に当接させるストッパボルト63によって調整可能である。即ち、ストッパボルト63によって検査用電極25aの押し下げ量を調整することで、検査用電極25a先端部をPDP電極群23aに接触保持させるような加圧力に設定することができる。これにより、上部加圧レバー57aによる検査用電極25aの損傷を防止することができる。
【0068】
このようにして、検査用電極25aとPDP電極群23aとを接触させた状態で、検査用電極25aの先端部をカメラ42により撮像することで、該検査用電極25aとPDP電極群23aとの重なり具合を認識する。その結果、両電極23a,25aの接触位置にズレが生じている場合には、検査用電極25aの電極位置を補正する。
【0069】
そして、PDP電極群23aに対する検査用電極25aの接触位置が決定された後、駆動シリンダ53によってスライダ52が図6に示す右矢印方向に移動すると、各加圧レバー57a,57bが固定ブロック54に対して前進する。つまり、図7に示すように、各加圧レバー57a,57bの先端部が検査用電極25aの先端部まで移動する。
【0070】
この状態で、加圧シリンダ61によって各加圧レバー57a,57bが加圧方向に回動すると、PDPパネル22及び検査用電極25aが各加圧レバー57a,57b先端部の弾性体58a,58bによって挟み込まれる。これにより、検査ユニット24aは、検査用電極25aをPDP電極群23aに対して予め位置決めされた位置で精度良く接触させることができる。
【0071】
図9は、検査用電極25aとPDP電極群23aとの接触状態を示す側面図である。尚、図9(a)には、本実施形態の検査ユニット24aに設けられる固定ブロック54を示し、図9(b)には、従来構成の固定ブロック54aの一例を比較のため示す。
【0072】
本実施形態の固定ブロック54は、上記したようにその上端部がPDPパネル22側に向かって前傾する傾斜状に形成されている。つまり、検査用電極25aは、水平面に対して所定の傾斜角度を有して固定ブロック54に固定される。一方、図9(b)に示すように、従来の固定ブロック54aは、その上端部が平坦状に形成されており、検査用電極25aを水平面と平行するように固定する。
【0073】
ここで、各固定ブロック54,54aにそれぞれ支持される検査用電極25aを、同一変位量で垂直方向に変位させて両電極23a,25aを接触させた場合、検査用電極25aを斜めに固定した場合における水平方向変位f1は、検査用電極25aを水平に固定した場合における水平方向変位f2よりも大きくなる。
【0074】
PDP電極群23aは、ガラス製のPDPパネル22表面にクロム(Cr)等の金属を蒸着することによって形成されるが、大気中に晒されることで該パネル22表面には酸化膜が形成される。このような酸化膜が形成されると、該酸化膜が絶縁層となり両電極23a,25aの接触性を阻害する場合がある。このため、安定した接触性を得るには、上記酸化膜を除去した状態で両電極23a,25aを接触させることが好ましい。
【0075】
上記したように、本実施形態では、固定ブロック54に検査用電極25aを斜めに固定することで、該検査用電極25aを垂直方向に加圧した際の水平方向変位を大きくすることができる。従って、PDP電極群23a上に形成される酸化膜を除去するワイピング効果を高め、該酸化膜を除去した状態で安定した接触性を得ることをも可能としている。
【0076】
図10は、PDPパネル22の伸縮(反り)が発生した場合の検査ユニット24aの作用を説明する断面図である。
PDPパネル22自体の反りが発生した場合、検査ユニット24aの各加圧レバー57a,57bは、同図に示すeを回動中心として一点鎖線で示す位置に回動する。つまり、上記したように、各加圧レバー57a,57bと加圧シリンダ61とは平行リンク機構を構成しているため、各加圧レバー57a,57bは、パネル22の厚み方向への変位に対して追従可能である。さらに、各加圧レバー57a,57bは、支点ブロック56が回動軸55を支軸として回動可能であるため、パネル22の円弧状の変位に対しても追従可能である(図6及び図7参照)。これにより、検査用電極25aとPDP電極群23aとを均一に接触させることができる。
【0077】
この際、PDP電極群23aのピッチ方向に微小なズレdが生じるが、検査用電極25aと上部加圧レバー57aの弾性体58aとは固着されていないため、検査用電極25aは、ズレdの影響を受けずに予め位置決めされた位置にてPDP電極群23aと高精度に接触する。
【0078】
尚、上記のパネル検査装置は図示しない制御装置を備え、該制御装置により図1に示す検査ユニット24a〜24f等が制御される。制御装置は操作盤を備え、作業者により操作盤の操作に応答して検査ユニット24a〜24fの移動、検査用電極25a〜25fの加圧を行う。
【0079】
詳しくは、制御装置には複数のバルブが接続され、該バルブを開閉制御し、図6に示す検査ユニット24aの駆動シリンダ53、加圧シリンダ61に供給する空気の供給方向を切り替える。これにより、制御装置は、検査ユニット24aを移動させ、検査用電極25aとPDPパネル22を挟持する上部及び下部加圧レバー57a,57bを回動させる。
【0080】
また、制御装置には複数のバルブが接続され、該バルブを開閉制御し、図2に示すベース部材34を移動させるシリンダに供給する空気の供給方向を切り替える。これにより、制御装置は、ベース部材34を、各検査ユニット24a〜24fがPDPパネル22に近接する検査位置と、PDPパネル22から離間した非検査位置とに選択的に配置する。
【0081】
更に、制御装置にはアライメント用モータ38が接続され、操作盤の操作に応じて該モータ38を回転駆動する。これにより、制御装置は、スライドブロック37をPDPパネル22の辺方向に沿って移動させる。
【0082】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)検査ユニット24aには、上部及び下部加圧レバー57a,57bが、固定ブロック54に固定された検査用電極25aとPDP電極群23aとを接触可能な位置に保持した状態で、PDPパネル22から離間する方向に移動可能に設けられる。これにより、検査用電極25aとPDP電極群23aとの重なり具合が視認可能な状態にて、両電極23a,25aの位置合わせを予め行うことができる。従って、検査ユニット24aは、検査用電極25aをPDP電極群23aに対して高精度に接触させることができ、ひいてはパネル検査効率を向上させることができる。
【0083】
(2)各加圧レバー57a,57bと加圧シリンダ61とにより構成される平行リンク機構により、各加圧レバー57a,57bは、PDPパネル22の厚み方向の変位に対して追従可能である。さらに、各加圧レバー57a,57bは、支点ブロック56が回動軸55を支軸として回動可能であるため、パネル22の円弧状の変位に対して追従可能である。従って、検査ユニット24aは、PDPパネル22自体の伸縮(反り)が発生した場合にも、検査用電極25aをPDP電極群23aに対して高精度に接触させることができる。
【0084】
(3)固定ブロック54は、検査用電極25aをPDPパネル22側に所定の傾斜角度で前傾した状態で固定する。これにより、検査用電極25aとPDP電極群23aとの接触時におけるワイピング(酸化膜除去)効果を向上させることができる。従って、両電極23a,25aの接触性を高めることができる。
【0085】
(4)PDPパネル22の一つの辺に対応して設けられる複数の検査ユニット24a〜24fは、該パネル22における複数のPDP電極群23a〜23fの電極幅及び電極ピッチ、さらには電極群ピッチP1に対応した位置に接続ブロック30a〜30fを有した治具27と接続される。そして、予め位置決めされた位置にそれら接続ブロック30a〜30fが固定された治具27は、パネルサイズに応じて準備される。これにより、パネルサイズ変更時における位置合わせの調整作業を容易に行うことができる。
【0086】
(5)検査用電極25aとPDP電極群23aとを電気的に接続するための中継用フィルム配線基板(中継フレキ)45が設けられ、該中継フレキ45は、下部加圧レバー57aの先端部下方にて切り欠き形成された通過経路59を通過して駆動回路43のフィルム基板44と接続される。これにより、中継フレキ45及びフィルム基板44は、検査用電極25aとともに加圧されないため、加圧による破損が防止される。従って、検査用電極25aの長寿命化の実現が可能となるため、パネル検査装置11のランニングコスト(維持費)を低減することができる。
【0087】
尚、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、中継フレキ45と検査用電極25aとが一体に接続されて設けられているが、必ずしも一体に設ける必要はない。
【0088】
・本実施形態では、PDPパネル22の一つの辺に6つのPDP電極群23a〜23fが構成される場合に具体化したが、これに限らず5以下又は7以上構成される場合に具体化してもよい。
【0089】
・本実施形態の治具27内には、制御装置(本実施形態では図示せず)から各検査ユニット24a〜24fへのエア配管・配線を内蔵することもできる。このようにすれば、検査ユニット24a〜24fの脱着時にそれら配管・配線の接続作業を容易に行うことが可能となる。
【0090】
・本実施形態では、PDPパネル22の辺方向に沿った各検査ユニット24a〜24f(図1参照)の位置を微調整用ネジ32a〜32fによって微調整可能としたが、各検査ユニット24a〜24fが、該パネル22の辺方向に沿ってスライド可能とする駆動機構を個別に備えるようにしてもよい。
【0091】
本実施形態の特徴をまとめると以下のようになる。
(付記1) 検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、
前記検査ユニットは、前記電極群に前記検査用電極を圧接させる加圧機構を備えてなり、該加圧機構は、前記検査用電極と前記電極群とを接触可能とする位置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向に双方向に移動可能に設けられていることを特徴とするパネル検査装置。
(付記2) 前記検査用電極は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾させて前記検査ユニットに固定されることを特徴とする付記1記載のパネル検査装置。
(付記3) 前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、
前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続されることを特徴とする付記1記載のパネル検査装置。
(付記4) 前記位置決め手段は、前記表示パネルのパネルサイズに応じて形成される前記複数の電極群に対応した位置で前記治具に予め設けられることを特徴とする付記3記載のパネル検査装置。
(付記5) 前記治具は、前記複数の電極群の電極群数及び電極群ピッチに対応した数及びピッチにて前記位置決め手段を複数有し、該治具は、前記表示パネルのパネルサイズに応じてそれぞれ準備されるものであることを特徴とする付記3記載のパネル検査装置。
(付記6) 前記治具は、前記複数の電極群との対応位置に固定された位置決め手段と、当該複数の電極群との非対応位置に固定された位置決め手段とを有することを特徴とする付記3記載のパネル検査装置。
(付記7) 前記位置決め手段には、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手段がさらに設けられていることを特徴とする付記3記載のパネル検査装置。
(付記8) 前記表示パネルに検査用信号を供給する駆動回路を備え、
前記検査ユニットは、前記検査用電極と前記電極群とを電気的に接続させる中継基板を、該検査用電極と電極群との非接触位置にて前記駆動回路と中継させ且つ該駆動回路に対して着脱可能としたことを特徴とする付記1乃至7のいずれか一記載のパネル検査装置。
(付記9) 前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加圧レバーを備え、
前記一対の加圧レバーのいずれか一方には、前記中継基板の通過経路が形成されていることを特徴とする付記8記載のパネル検査装置。
(付記10) 前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加圧レバーを備え、
前記一対の加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動可能に設けられることを特徴とする付記1記載のパネル検査装置。
(付記11) 前記一対の加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、
前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えたことを特徴とする付記10記載のパネル検査装置。
(付記12) 前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されていることを特徴とする付記11記載のパネル検査装置。
(付記13) 前記一対の加圧レバーは支点ブロックに回動可能に支持され、該支点ブロックは、前記表示パネルの辺方向に直交する方向に沿って設けられる回動軸を支軸として回動可能に設けられることを特徴とする付記10又は11記載のパネル検査装置。
(付記14) 前記一対の加圧レバーが前記検査用電極を非加圧する方向へ回動したときに該一対の加圧レバーと当接し、前記支点ブロックの回動を規制する回動規制手段を備えたことを特徴とする付記13記載のパネル検査装置。
【0092】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度に接触させ得るパネル検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施形態のパネル検査装置を示す平面図である。
【図2】 パネル検査装置を示す拡大平面図である。
【図3】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図4】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図5】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図6】 検査ユニットを示す側面図である。
【図7】 検査ユニットを示す側面図である。
【図8】 検査ユニットを示す正面図である。
【図9】 検査ユニットの作用を説明する側面図である。
【図10】 検査ユニットの作用を説明する断面図である。
【図11】 従来のパネル検査装置を示す断面図である。
【図12】 従来の検査ユニットを示す側面図である。
【符号の説明】
11 パネル検査装置
22 表示パネルとしてのPDPパネル
23a〜23f 電極群としてのPDP電極群
24a〜24f 検査ユニット
25a〜25f 検査用電極
57a,57b 加圧機構としての上部及び下部加圧レバー
Claims (6)
- 検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、
前記検査ユニットのベースには、当該ベース上を前記表示パネルの辺方向と直交する方向に移動可能なスライダと、前記検査用電極が固定される固定ブロックとが設けられ、
前記スライダには、加圧シリンダに接続されて当該加圧シリンダの動作に基づき回動して所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる加圧レバーが設けられ、
前記スライダが前記加圧レバーと共に前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に移動して前記加圧レバーが前記固定ブロックに対して後退することで、該加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動する
ことを特徴とするパネル検査装置。 - 前記固定ブロックの上端部は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾する傾斜状に形成され、当該固定ブロックの上端部には、前記検査用電極が前記所定の傾斜角度で固定されることを特徴とする請求項1記載のパネル検査装置。
- 前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、
前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続されることを特徴とする請求項1記載のパネル検査装置。 - 前記位置決め手段には、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手段がさらに設けられていることを特徴とする請求項3記載のパネル検査装置。
- 前記加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、
前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のパネル検査装置。 - 前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されていることを特徴とする請求項5記載のパネル検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001231195A JP4732630B2 (ja) | 2001-07-31 | 2001-07-31 | パネル検査装置 |
US10/014,369 US6972586B2 (en) | 2001-07-31 | 2001-12-14 | Panel inspection apparatus |
TW090131555A TW512474B (en) | 2001-07-31 | 2001-12-19 | Panel inspection apparatus |
KR1020020003157A KR100766175B1 (ko) | 2001-07-31 | 2002-01-19 | 패널 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001231195A JP4732630B2 (ja) | 2001-07-31 | 2001-07-31 | パネル検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003043089A JP2003043089A (ja) | 2003-02-13 |
JP4732630B2 true JP4732630B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=19063281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001231195A Expired - Fee Related JP4732630B2 (ja) | 2001-07-31 | 2001-07-31 | パネル検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6972586B2 (ja) |
JP (1) | JP4732630B2 (ja) |
KR (1) | KR100766175B1 (ja) |
TW (1) | TW512474B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100443908C (zh) * | 2005-06-15 | 2008-12-17 | 群康科技(深圳)有限公司 | 检测装置和使用该检测装置的检测方法 |
US20070100939A1 (en) * | 2005-10-27 | 2007-05-03 | Bagley Elizabeth V | Method for improving attentiveness and participation levels in online collaborative operating environments |
JP2008008779A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | ディスプレイパネルの点灯検査装置 |
KR101658123B1 (ko) * | 2016-07-08 | 2016-10-04 | 주식회사 엠오티 | 검사 전처리 정렬 유닛을 구비한 패널 검사 장치 |
CN206523497U (zh) * | 2017-03-14 | 2017-09-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 治具 |
KR20190080271A (ko) * | 2017-12-28 | 2019-07-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 연성인쇄회로기판 및 이를 포함하는 표시모듈 |
KR20220025964A (ko) * | 2020-08-24 | 2022-03-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 패널 검사용 지그 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100414960B1 (ko) * | 1995-04-20 | 2004-03-18 | 가부시끼가이샤 엠푸라스 | 표시패널검사용소켓 |
JP3889839B2 (ja) * | 1996-11-26 | 2007-03-07 | 富士通株式会社 | 位置合わせ装置及びパネル検査装置 |
JP2002148280A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Soushiyou Tec:Kk | 検査用プローブブロックの並列搭載ユニット |
-
2001
- 2001-07-31 JP JP2001231195A patent/JP4732630B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-12-14 US US10/014,369 patent/US6972586B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-19 TW TW090131555A patent/TW512474B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-01-19 KR KR1020020003157A patent/KR100766175B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW512474B (en) | 2002-12-01 |
US20030027479A1 (en) | 2003-02-06 |
KR100766175B1 (ko) | 2007-10-10 |
KR20030012793A (ko) | 2003-02-12 |
US6972586B2 (en) | 2005-12-06 |
JP2003043089A (ja) | 2003-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4732630B2 (ja) | パネル検査装置 | |
TW200844460A (en) | Probe positioning method, movable probe unit mechanism, and inspection apparatus | |
KR101286250B1 (ko) | 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치 | |
JP5442366B2 (ja) | クランプ機構、基板固定装置および基板検査装置 | |
JP3545655B2 (ja) | 電気接続装置 | |
JP4281337B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
JP2000046866A (ja) | プローバ及びプローブ針接触方法 | |
TWI404935B (zh) | 檢查裝置 | |
JP4163435B2 (ja) | 被検査基板の検査装置 | |
JP2009528511A (ja) | 電子部品試験装置 | |
JPH05273288A (ja) | プリント基板検査方法および検査装置 | |
JP3889839B2 (ja) | 位置合わせ装置及びパネル検査装置 | |
JP4196065B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
KR101979749B1 (ko) | 연성회로기판 검사 장치 | |
JP2004219298A (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
JP4281336B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
JPH10246735A (ja) | プローバ基板、プロービング方法及びその装置 | |
JP4639694B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
KR101670484B1 (ko) | 표시판 검사 장치, 표시판 검사 필름 및 이를 이용한 표시판 검사 방법 | |
JP4089505B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
JP4196064B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
JPH09226224A (ja) | パターンの印刷方法、印刷装置、該印刷方法を用いた厚膜回路基板及び該厚膜回路基板を用いた画像形成装置 | |
JP4168830B2 (ja) | ディスプレイパネルの点灯検査装置 | |
US6382985B1 (en) | Socket for a display panel | |
JP2002350485A (ja) | 表示用基板の検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050804 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110421 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |