KR100766175B1

KR100766175B1 - 패널 검사 장치

Info

Publication number: KR100766175B1
Application number: KR1020020003157A
Authority: KR
Inventors: 사와모리아끼라
Original assignee: 후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date: 2001-07-31
Filing date: 2002-01-19
Publication date: 2007-10-10
Also published as: TW512474B; US20030027479A1; KR20030012793A; JP4732630B2; US6972586B2; JP2003043089A

Abstract

본 발명은, 표시 패널의 전극에 대해 검사용 전극을 고정밀도로 접촉시킬 수 있는 패널 검사 장치의 제공을 과제로 한다.

검사 유닛(24a)에는 상부 및 하부 가압 레버(57a, 57b)가 고정 블럭(54)에 고정된 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 접촉 가능한 위치에 보유 지지한 상태에서 PDP 패널(22)로부터 이격하는 방향으로 이동 가능하게 설치된다.

패널 검사 장치, 표시 패널, 검사용 전극, 검사 유닛, PDP 전극군, PDP 패널

Description

패널 검사 장치 {PANEL INSPECTION APPARATUS}

도1은 본 실시 형태의 패널 검사 장치를 도시한 평면도.

도2는 패널 검사 장치를 도시한 확대 평면도.

도3, 도4 및 도5는 패널 사이즈 변경시의 위치 맞춤을 설명하는 평면도.

도6 및 도7은 검사 유닛을 도시한 측면도.

도8은 검사 유닛을 도시한 정면도.

도9는 검사 유닛의 작용을 설명하는 측면도.

도10은 검사 유닛의 작용을 설명하는 단면도.

도11은 종래의 패널 검사 장치를 도시한 단면도.

도12는 종래의 검사 유닛을 도시한 측면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11 : 패널 검사 장치

22 : 표시 패널로서의 PDP 패널

23a 내지 23f : 전극군으로서의 PDP 전극군

24a 내지 24f : 검사 유닛

25a 내지 25f : 검사용 전극

57a, 57b : 가압 기구로서의 상부 및 하부 가압 레버

본 발명은 패널 검사 장치에 관한 것으로, 상세하게는 PDP 등의 평면 표시 디스플레이에 이용되는 표시 패널의 전극에 대해 검사용 전극을 접촉시켜 표시 패널의 검사를 행하는 패널 검사 장치에 관한 것이다.

최근, 표시 장치의 발전은 눈부시게, 특히 평면 디스플레이는 박형 및 경량 등의 특징으로부터 급속하게 보급되어 왔다. 플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel)은 대형 화면의 표시 장치로서 종래의 화면 투사형 디스플레이(CRT)를 대신하는 차세대의 평면 표시 디스플레이이다.

PDP 등의 표시 패널은 표시 장치로서 조립하기 전에 패널 단일 부재에서의 표시 전극 단자열의 불량 검사나 표시 소자의 전체 점등 검사 등이 행해진다. 그들 검사를 위해, 표시 패널의 전극에 대해 구동 회로로부터 검사용 신호를 공급하기 위한 검사용 전극을 정밀도 좋게 접촉시킬 필요가 있다.

도11은 종래의 패널 검사 장치를 도시한 개략도이다.

도11에 도시한 바와 같이, 표시 패널, 예를 들어 플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel) 등의 유리제의 패널(71)에는 복수의 전극(이하, PDP 전극)(72)이 형성되어 있다. PDP 전극(72)은 PDP 패널(71)의 변 상에 따라 소정의 전극 폭 및 전극 피치로 형성되는 동시에 소정 수마다 일정한 간격으로 이격되어 형성되고, 복수(도면에서는 예를 들어 3개)의 PDP 전극군(72a 내지 72c)을 구 성하고 있다.

패널 검사 장치(81)에는 가압 기구를 갖는 복수의 검사 유닛(82a 내지 82c)이 상기 복수의 PDP 전극군(72a 내지 72c)에 대응하여 설치되어 있다[도면에서는 예를 들어 3개의 PDP 전극군(72a 내지 72c)에 대응하여 3개의 검사 유닛(82a 내지 82c)이 설치되어 있음]. 각 검사 유닛(82a 내지 82c)에는 각각 검사용 전극(83a 내지 83c)이 구비되어 있다. 즉, 패널 검사 장치(81)에는 검사용 전극(83a 내지 83c)을 각각 구비한 검사 유닛(82a 내지 82c)이 PDP 전극군(72a 내지 72c)마다 독립하여 설치되어 있다.

각 검사 유닛(82a 내지 82c)은 각각 상부 가압 레버(84)와 하부 가압 레버(85)를 가진 가압 기구로서, 그들의 가압면에는 각각 탄성 부재(86)가 부착되어 있다. 그리고, 검사 유닛(82a 내지 82c)은 그 가압 기구에 의해 PDP 패널(71)과 검사용 전극(83a 내지 83c)을 끼워 넣고, 상기 검사용 전극(83a 내지 83c)을 대응하는 PDP 전극군(72a 내지 72c)에 접촉시킨다.

도12는 검사 유닛(82a)의 검사용 전극(83a)과 PDP 전극군(72a)을 전기적으로 접속한 상태를 도시한 개략 측면도이다.

패널 검사 장치(81)에는 PDP 패널(71)에 대해 검사용의 전기 신호를 공급하기 위한 구동 회로(87)가 상기 패널(71)의 이면측[도면에서는 패널(71)의 하측]에 고정되어 있다. 이 구동 회로(87)는 검사용 전극(83a)과 PDP 전극군(72a)을 전기적으로 접속하기 위한 필름 기판 등으로 이루어지는 배선 기판(88)을 갖고 있다.

그리고, 도12에 도시한 바와 같이 배선 기판(88)을 PDP 패널(71) 및 검사용 전극(83a)과 함께 끼워 넣음으로써, PDP 전극군(72a)에 대해 구동 회로(87)로부터 전기 신호가 공급되고, 패널 점등 검사 등의 소정의 검사가 행해진다.

그런데, PDP 등의 패널 검사 장치(81)에 있어서, PDP 전극군(72a 내지 72c)과 검사용 전극(83a 내지 83c)과의 위치 맞춤은 PDP 패널(71) 상에 설치된 통상 한군데 또는 2군데의 얼라이먼트 마크를 기준으로 하여 행해진다. 즉, PDP 패널 상의 얼라이먼트 마크에 의거하여 위치 결정된 각 검사 유닛(82a 내지 82c)은 각각의 검사용 전극(83a 내지 83c)과 PDP 전극군(72a 내지 72c)을 접촉시킨다.

그러나, 최근 PDP 등의 표시 패널은 대형화되어 왔다. 그로 인해, 패널 제조 공정에 있어서의 전극 가공 공정에서의 열처리의 영향으로 패널 자체에 휨이 발생해, PDP 전극(72)의 전극 피치가 설계시의 수치로부터 크게 어긋나는 경우가 있다. 전극 피치의 어긋남은 얼라이먼트 마크로부터 벗어난 위치에 형성되는 PDP 전극(72)만큼 현저하게 나타나, 이에 의해 각 PDP 전극군(72a 내지 72c)과 검사용 전극(83a 내지 83c)과의 위치 맞춤은 보다 어려운 것이 되었다.

그래서, 종래의 패널 검사 장치(81)에서는 상기와 같은 패널의 휨에 대응하므로, 도11에 도시한 바와 같이 각 검사 유닛(82a 내지 82c)의 상하 가압 레버(84, 85)가 패널(71)의 두께 방향(도11에 도시한 화살표 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

그런데, 각 PDP 전극군(72a 내지 72c)은 패널(71)의 휨에 수반하여 원호형으로 변위하므로, 그들 전체의 전극군(72a 내지 72c)에 검사용 전극(83a 내지 83c)을 균일하게 접촉시키기 위해서는 매우 큰 가압력에 의해 패널(71)의 휨을 교정시킬 필요가 있다. 이와 같이, 패널(71)에 대해 큰 압력을 가하는 것은 검사용 전극(83a 내지 83c)의 단수명화나 패널 검사의 비정확성의 요인이 되고 있었다.

또한, 종래의 패널 검사 장치(81)에서는 각 PDP 전극군(72a 내지 72c) 사이의 피치가 다른 패널에 대응하기 위해서는 각 검사 유닛(82a 내지 82c)의 연결 부분을 조정할 필요가 있어, 그 조정 작업이 번잡한 것이 되었다. 그 결과, 패널 사이즈의 변경시에 있어서 그 조정 작업에 많은 시간을 필요로 했다.

또한, 종래에서는 상기한 바와 같이 검사용 전극(83a)과 PDP 전극군(72a)을 전기적으로 접속하는 배선 기판(88)이 끼워 넣어지므로(도12 참조), 그 가압시에 배선 기판(88) 자신의 단선 등을 일으키고 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 표시 패널의 전극에 대해 검사용 전극을 고정밀도로 접촉시킬 수 있는 패널 검사 장치를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명에서는 검사용 전극을 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 전극군에 접촉시키는 검사 유닛은, 상기 전극군에 상기 검사용 전극을 압접시키는 가압 기구를 상기 검사용 전극과 전극군이 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 상기 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향으로 양 방향으로 이동 가능하게 설치했다. 따라서, 검사용 전극과 전극군과의 접촉 상태를 눈으로 확인할 수 있어, 이에 의해 고정밀도로 양 전극을 접촉시킬 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명에서는 상기 검사용 전극은 소정의 경사 각도로 상기 표시 패널측으로 기울어지게 하여 상기 검사 유닛에 고정된다. 이에 의해, 양 전극의 접촉시에 있어서의 와이핑 효과(산화막 제거 효과)가 높아져, 상기 양 전극의 안정된 접촉성을 얻을 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명에서는 상기 검사 유닛은 상기 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 복수의 전극군에 대응하여 복수 설치되고, 그들 복수의 검사 유닛은 상기 복수의 전극군에 대응하여 복수의 위치 결정 수단을 갖는 지그에 접속된다. 이에 의해, 복수의 검사 유닛은 상기 복수의 위치 결정 수단을 거쳐서 지그와 접속됨으로써, 상기 복수의 전극군에 대응한 위치에 위치 결정된다.

청구항 4에 기재된 발명에서는 상기 위치 결정 수단에 마련된 조정 수단에 의해, 상기 복수의 검사 유닛이 상기 복수의 전극군의 전극군 피치에 대응하여 배치되도록 각 검사 유닛의 위치를 상기 표시 패널의 변 방향에 따라 양 방향으로 미조정 가능하게 했다. 이에 의해, 표시 패널의 변 방향에 따른 복수의 검사 유닛의 위치 맞춤을 더욱 고정밀도로 행할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명에서는, 상기 가압 기구는 소정의 접촉 압력으로 상기 검사용 전극을 상기 전극군에 대해 접촉시키는 한 쌍의 가압 레버를 구비하고 있다. 그리고, 한 쌍의 가압 레버는 검사용 전극을 대응하는 상기 전극군과 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향 또한, 상기 표시 패널로부터 이격하는 방향으로, 상기 검사용 전극의 선단부가 눈으로 확인 가능해지는 위치까지 이동 가능하게 설치된다. 따라서, 검사용 전극 과 전극군과의 접촉 상태를 눈으로 확인할 수 있고, 이에 의해 고정밀도로 양 전극을 접촉시킬 수 있다.

청구항 6, 또는 7에 기재된 발명에 따르면, 상기 검사용 전극의 선단부가 눈으로 확인 가능해지는 위치까지 상부 가압 레버 및 하부 가압 레버가 이동했을 때의 상기 상부 가압 레버의 가압 방향의 회전량은 회전량 조절 수단에 의해 조절된다. 따라서, 검사용 전극과 전극군과의 접촉 상태의 확인시에는 상기 검사용 전극이 전극군에 대해 접촉 보유 지지되는 가압력으로 압박하게 되므로, 검사용 전극이 파손되는 일은 없다.

청구항 8에 기재된 발명에서는 상기 한 쌍의 가압 레버는 지지점 블럭에 회전 가능하게 지지되고, 상기 지지점 블럭은 상기 표시 패널의 변 방향에 직교하는 방향에 따라 설치되는 회전축을 지지축으로 하여 회전 가능하게 설치되어 있다. 이에 의해, 상기 표시 패널에 왜곡이 발생했을 경우에도 한 쌍의 가압 레버는 상기 표시 패널에 대해 추종 가능해지며, 양 전극을 고정밀도로 접촉시킬 수 있다.

청구항 9에 기재된 발명에 따르면, 상기 한 쌍의 가압 레버는 상기 검사용 전극을 비가압하는 방향으로 회전했을 때에 회전 규제 수단에 접촉하고, 이에 의해 상기 지지점 블럭의 회전이 규제된다. 따라서, 상기 한 쌍의 가압 레버가 상기 검사용 전극으로부터 이격하는 방향으로 회전했을 때에, 상기 한 쌍의 가압 레버가 상기 표시 패널을 손상시키는 것이 방지된다.

이하, 본 발명을 예를 들어 플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP : Plasma Display Panel)의 패널 검사 장치에 구체화한 일실시예를 도1 내지 도10에 따라 설명한다.

도1은 본 실시 형태의 패널 검사 장치를 도시한 평면도이다.

패널 검사 장치(11)에는 스테이지(21)가 설치되고, 그 스테이지(21)에는 피시험 패널로서의 PDP 등의 표시 패널(이하, PDP 패널)(22)이 흡착 기구 등의 고정 수단(도시 생략)에 의해 소정의 위치에 고정되어 있다.

PDP 패널(22)의 소정의 복수 변에는 각각 복수의 전극(이하, PDP 전극)(23)이 각 변에 따라 형성되어 있다. 또한, 설명의 편의상, 이하에서는 1개의 변에 따라 형성된 전극(23)에 대해 설명한다.

PDP 전극(23)은 소정의 전극 폭 및 전극 피치로 형성되는 동시에, 소정수마다 일정한 간격을 두고 형성되고, 복수(본 실시 형태에서는 6개)의 전극군(이하, PDP 전극군)(23a 내지 23f)을 구성하고 있다. 즉, 각 PDP 전극군(23a 내지 23f)은 1개의 변에 따라 서로 소정의 간격(전극군 피치)으로 이격되어 형성되어 있다.

이와 같이 구성되는 PDP 패널(22)에 대해 패널 검사 장치(11)에는 가압 기구를 가진 복수(본 실시 형태에서는 6개)의 검사 유닛(24a 내지 24f)이 상기 패널(22)에 형성된 복수의 PDP 전극군(23a 내지 23f)에 대응하여 설치되어 있다.

각 검사 유닛(24a 내지 24f)에는 각각 검사용 전극(25a 내지 25f)이 구비되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서 검사용 전극(25a 내지 25f)에는 가요성을 갖는, 예를 들어 가요성 프린트 기판(FPC : Flexible print Circuit)이 사용된다. 검사 유닛(24a 내지 24f)은 PDP 패널(22) 상에 형성되는 복수의 얼라이먼트 마크( 도시 생략)를 기준으로 하여 각 검사용 전극(25a 내지 25f)과, 그들에 대응하는 PDP 전극군(23a 내지 23f)과의 위치 맞춤을 행한다. 그리고, 검사 유닛(24a 내지 24f)은 그 가압 기구에 의해 검사용 전극(25a 내지 25f)과 PDP 전극군(23a 내지 23f)을 접촉시킴으로써, 후술하는 구동 회로로부터 출력되는 검사용 신호가 상기 검사용 전극(25a 내지 25f)을 거쳐서 각 PDP 전극군(23a 내지 23f)으로부터 PDP 패널(22)에 공급된다.

패널 검사 장치(11)에는 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 제1 레일(26)이 설치되고, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 상기 제1 레일(26)에 따라 양 방향(도1에 도시한 화살표 A 방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

또한, 패널 검사 장치(11)에는 소정의 길이를 갖는 봉형상의 지그(27)가 제1 레일 레일(26)에 대해 평행하게 캐치 블럭(28, 29)에 의해 지지되어 있다. 이 지그(27)는 캐치 블럭(28, 29)에 대해 탈착 가능하다.

지그(27)에는 위치 결정 수단으로서의 복수의 접속 블럭(30a 내지 30f)이 소정의 간격마다 부착되어 있다. 상세하게는 접속 블럭(30a 내지 30f)은 각 PDP 전극군(23a 내지 23f)의 전극군 피치에 대응한 위치에서 지그(27)에 미리 부착되는 것으로, 본 실시 형태에서는 6개의 PDP 전극군(23a 내지 23f)에 대응하여 6개의 접속 블럭(30a 내지 30f)이 설치되어 있다. 즉, 지그(27)는 PDP 패널(22)의 1개의 변에 형성되는 PDP 전극군(23a 내지 23f)의 전극군 수, 또한 전극군 피치에 대응한 소정 피치마다 접속 블럭(30a 내지 30f)을 갖고 있다.

각 접속 블럭(30a 내지 30f)에는 상기 접속 블럭(30a 내지 30f)과 검사 유닛(24a 내지 24f)을 각각 연결하는 캐치 클립(31a 내지 31f)이 부착되어 있다. 그리고, 검사 유닛(24a 내지 24f)은 그들 캐치 클립(31a 내지 31f)을 거쳐서 상기 지그(27)에 미리 부착되는 접속 블럭(30a 내지 30f)과 연결 고정되어 있다.

또한, 각 캐치 클립(31a 내지 31f)은 각 접속 블럭(30a 내지 30f)이 갖는 조정 수단으로서의 미조정용 나사(32a 내지 32f)에 의해, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)을 캐치하는 위치를 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 약간 조정 가능하게 형성되어 있다. 이에 의해, 접속 블럭(30a 내지 30f)과 연결된 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 각 PDP 전극군(23a 내지 23f)의 전극군 피치에 맞춰 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 미조정 가능하다.

도2는 패널 검사 장치(11)의 확대 평면도로써, 상기 캐치 블럭(28)의 주변을 확대하여 도시한 것이다.

패널 검사 장치(11)에는 상기 PDP 패널(22)의 변 방향과 직교하는 방향에 따라 복수의 제2 레일(33)이 설치되고, 그 제2 레일(33)에 따라 양 방향(도2에 도시한 화살표 B 방향)으로 이동 가능하게 베이스 부재(34)가 지지되어 있다. 이 베이스 부재(34)는 제1 레일(26)에 따른 방향, 즉 PDP 패널(22)의 변 방향(도2에 도시한 화살표 A 방향)에 따라 이동 불가능하다. 그리고, 베이스 부재(34)의 양 방향의 이동은 각각 업소버(35) 또는 스톱퍼(36)에 의해 제어된다. 또한, 베이스 부재(34)가 PDP 패널(22)에 근접할 때의 이동 속도가 업소버(35)에 의해 제어된다.

베이스 부재(34)에는 슬라이드 블럭(37)이 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 양 방향(도2에 도시한 화살표 A 방향)으로 이동 가능하게 지지되고, 그 슬라이드 블럭(37)은 상기 지그(27)의 일단부를 지지하는 캐치 블럭(28)에 부착되어 있다. 즉, 지그(27)와 슬라이드 블럭(37)은 캐치 블럭(28)에 의해 연결 고정되어 있다.

슬라이드 블럭(37)은 얼라이먼트용 모터(38)를 갖고, 상기 모터(38)의 회전축(38a)에는 편심 캠(39)이 피봇되어 있다. 이 편심 캠(39)에는 슬라이드 블럭(37)에 설치된 캠 종동기(40)가 접촉되어 있다. 또한, 슬라이드 블럭(37)은 베이스 부재(37)에 설치된 스프링(41)에 의해 도2에 도시한 화살표 A의 우측 방향으로 압박되어 있다.

따라서, 얼라이먼트용 모터(38)의 회전축(38a)이 회전되면, 편심 캠(39)에 의해 캠 종동기(40)가 도2에 도시한 화살표 A의 좌측 방향으로 이동한다. 그러면, 슬라이드 블럭(37) 및 그 슬라이드 블럭(37)에 연결된 지그(27)가 마찬가지로 화살표 A의 좌측 방향으로 이동한다. 그 결과, 도1에 도시한 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 제1 레일(26)에 따라 도1에 도시한 화살표 A의 좌측 방향으로 동일한 변위량으로 이동한다.

또한, 상기한 바와 같이 슬라이드 블럭(37)은 스프링(41)에 의해 도2에 도시한 화살표 A의 우측 방향으로 압박되어 있다. 따라서, 얼라이먼트용 모터(38)의 회전축(38a)이 더 회전하면, 캠 종동기(40)는 편심 캠(39)으로부터 이격되지 않고 상기 편심 캠(39)의 회전에 의거하여 화살표 A의 우측 방향으로 이동한다. 그 결과, 도1에 도시한 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 제1 레일(26)에 따라 도1에 도시한 화살표 A의 우측 방향에 동일한 변위량으로 이동한다.

이와 같이 하여, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 얼라이먼트용 모터(38)에 의 한 편심 캠(39)의 회전에 의거하여 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 제1 레일(26) 상을 각 검사 유닛(24a 내지 24f) 사이의 피치를 유지한 상태에서 이동한다. 즉, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 동일한 변위량으로 이동하므로, PDP 패널(22)의 변 방향의 위치 어긋남에 대응한 위치 맞춤이 용이하게 가능해진다.

다음에, 패널 사이즈를 변경할 때의 PDP 전극군(23a 내지 23f)과 검사 유닛(24a 내지 24f)과의 위치 맞춤을 행하는 경우에 대해 도3 내지 도5에 따라 설명한다.

도3에 도시한 PDP 패널(22)은 그 한 변의 길이(축 또는 높이)가 L1로써, 소정의 전극 폭 및 전극 피치 P1(도시 생략)로 구성되는 6개의 PDP 전극군(23a 내지 23f)이 전극군 피치(P1)를 갖고 형성되어 있다.

이러한 패널 사이즈를 갖는 PDP 패널(22)에 대응하여 각 PDP 전극군(23a 내지 23f) 및 전극군 피치(P1)에 대응한 위치에 접속 블럭(30a 내지 30f)을 가진 지그(27)가 준비된다. 따라서, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 지그(27)의 각 접속 블럭(30a 내지 30f)에 의해 미리 PDP 전극군(23a 내지 23f) 및 전극군 피치(P1)에 대응한 위치에 위치 결정되어 연결된다.

도4에 도시한 PDP 패널(22a)은 그 한 변의 길이(폭 또는 높이)가 L2(L2 ＜ L1)로써, 소정의 전극 폭 및 전극 피치(도시 생략)로 구성되는 6개의 PDP 전극군(23a 내지 23f)이 전극군 피치 P2(P2 ＜ P1)를 갖고 형성되어 있다. 또한, PDP 전극군(23a 내지 23f)을 구성하는 전극 폭 및 전극 피치는 상기 도3의 PDP 전극군(23a 내지 23f)의 그들과 동일하다.

이러한 패널 사이즈를 갖는 PDP 패널(22a)에 대응하여 각 PDP 전극군(23a 내지 23f) 및 전극군 피치(P2)에 대응한 위치에 접속 블럭(30a 내지 30f)을 가진 지그(27a)가 준비되고, 상기 도3에 도시한 지그(27)와 교환된다. 이 때, 패널(22a)은 전극군 피치 P2(＜ P1)로 구성되어 있으므로, 지그(27)에 있어서의 각 접속 블럭(30a 내지 30f) 사이의 피치는 상기 지그(27)에 있어서의 그들의 피치에 비해 짧게 설정된다[즉, 전극군 피치(P2)에 대응한 피치로 설정됨].

이에 의해, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)은 지그(27a)의 각 접속 블럭(30a 내지 30f)에 연결되고, 미리 PDP 전극군(23a 내지 23f) 및 전극군 피치(P2)에 대응한 위치에 위치 결정된다.

도5에 도시한 PDP 패널(22b)은 그 한 변의 길이(폭 또는 높이)가 L3(L3 ＜ L2 ＜L1)로써, 소정의 전극 폭 및 전극 피치(도시 생략)로 구성되는 5개의 PDP 전극군(23a 내지 23e)이 전극군 피치 P2(P2 ＜ P1)를 갖고 형성되어 있다. 또한, PDP 전극군(23a 내지 23e)을 구성하는 전극 폭 및 전극 피치, 전극군 피치(P2)는 상기 도4에 도시한 PDP 전극군(23a 내지 23e)의 그들과 동일하다.

이러한 패널 사이즈를 갖는 PDP 패널(22a)에 대응하여, 각 PDP 전극군(23a 내지 23e) 및 전극군 피치(P2)에 대응한 위치에 접속 블럭(30a 내지 30e)을 가진 지그(27b)가 준비되고, 상기 도4에 도시한 지그(27a)와 교환된다. 이 지그(27b)는 PDP 전극군(23a 내지 23e)에 대응하는 접속 위치에 고정된 접속 블럭(30a 내지 30e)과, 그들과 이격된 비접속 위치에 고정된 접속 블럭(30f)을 갖는다. 여기서, 지그(27b)의 각 접속 블럭(30a 내지 30e) 사이의 피치는 패널(22b)의 PDP 전극군(23a 내지 23e) 및 전극군 피치(P2)가 상기 도4에 도시한 패널(22a)의 그들과 마찬가지이므로, 지그(27a)의 각 접속 블럭(30a 내지 30e) 사이의 피치와 동일한 수치로 설정된다.

즉, 도5에 도시한 바와 같이 검사 유닛(24a 내지 24e)은 각 접속 블럭(30a 내지 30e)에 연결 고정되고, 패널(22b)에 형성된 5개의 PDP 전극군(23a 내지 23e)과 대응하는 배치로 설치된다. 그리고, 검사 유닛(24f)은 접속 블럭(30f)에 연결 고정되고, 패널(22b)과의 비접촉 위치로 퇴피하게 된다. 또한, 접속 블럭(30f)은 지그(27b)로부터 제거시켜도 좋다.

이에 의해, 각 검사 유닛(24a 내지 24e)은 지그(27b)의 각 접속 블럭(30a 내지 30e)과 연결되고, 미리 PDP 전극군(23a 내지 23e) 및 전극군 피치(P2)에 대응한 위치에 위치 결정된다. 그리고, 검사 유닛(24f)은 접속 블럭(30f)과 연결되어, PDP 패널(22b)과의 비접촉 위치에 위치 결정된다.

다음에, 검사 유닛(24a)의 구성을 도6 내지 도8에 따라서 설명한다. 또한, 설명의 편의상, 이하에서는 검사 유닛(24a)의 구성에 대해 설명하지만, 다른 검사 유닛(24b 내지 24f)도 마찬가지로 구성되어 있다.

도6에 도시한 바와 같이, 패널 검사 장치(11)(도1 참조)에는 위치 측정 수단으로서의 카메라(42)가 설치되어 있다. 이 카메라(42)는 검사 유닛(24a)이 구비되는 검사용 전극(25a)과, PDP 패널(22)에 형성된 PDP 전극군(23a)이 접촉한 상태에서의 양 전극(23a, 25a)끼리가 겹치는 상태를 측정하기 위해 설치되어 있다.

또한, 도7에 도시한 바와 같이 PDP 패널(22)을 흡착 기구 등에 의해 적재 고 정하는 스테이지(21)의 이면[도면에서는 스테이지(21)의 하측]에는 상기한 바와 같이, PDP 패널(22)을 검사하기 위한 검사용 신호를 공급하는 구동 회로(43)가 설치되어 있다. 구동 회로(43)는 PDP 패널(22)에 형성된 PDP 전극군(23a)과 검사 유닛(24a)이 구비되는 검사용 전극(25a)을 전기적으로 접속하기 위한 필름형 배선 기판(이하, 필름 기판)(44)을 구비하고 있다. 이 필름 기판(44)은 PDP 패널(22)과 구동 회로(43)를 접속할 수 있는 길이를 갖고 있다.

이로 인해, 검사 유닛(24a)에는 검사용 전극(25a)과 구동 회로(43)의 필름 기판(44)을 중계하는 중계 기판으로서 중계용 필름 기판(이하, 중계 플랙)(45)이 구비되고, 상기 중계 플랙(45)은 검사용 전극(25a)과 일체로 접속되어 있다. 그리고, 중계 플랙(45)과 필름 기판(44)은 그들과의 접촉면에서 탄성 절연체를 갖는 스프링성의 중계 클립(46)에 의해 접속된다. 이에 의해, 구동 회로(43)로부터 출력되는 검사용 신호는 필름 기판(44), 중계 플랙(45), 검사용 전극(25a) 및 PDP 전극군(23a)을 거쳐서 PDP 패널(22)에 공급된다.

검사 유닛(24a)은 제1 레일(26) 상을 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 양 방향으로 이동 가능한 베이스(51)를 구비하고, 이 베이스(51)는 상기 캐치 클립(31a)을 거쳐서 접속 블럭(30a)에 접속된다.

베이스(51)에는, PDP 패널(22)의 변 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능한 슬라이더(52)와 상기 슬라이더(52)를 구동하는 구동 실린더(53)와, 검사용 전극(25a) 및 중계 플랙(45)을 고정하는 고정 블럭(54)이 설치되어 있다. 도6 및 도7에 도시한 바와 같이, 이 고정 블럭(54)은 그 상단부가 PDP 패널(22)측을 향해 전방으로 기울어지는 경사형으로 형성되고, 검사용 전극(25a)을 수평면에 대해 소정의 경사 각도를 갖는 상태로 고정한다.

슬라이더(52)에는 회전축(55)이 상기 슬라이더(52)에 대해 회전 불가능하게 지지되고, 그 회전축(55)에는 지지점 블럭(56)이 도8에 도시한 화살표 C 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 지지점 블럭(56)에는 검사용 전극(25a)의 상면을 가압하는 상부 가압 레버(57a)와 검사용 전극(25a)의 하면을 가압하는 하부 가압 레버(57b)가 설치되고, 각 가압 레버(57a, 57b)의 선단부에는 각각 탄성체(58a, 58b)가 부착되어 있다. 또한, 도8에 도시한 바와 같이 하부 가압 레버(57b)의 선단부 하방은 일부 절결되어 있고, 상기 중계 플랙(45)의 통과 경로(59)가 설치되어 있다.

도6에 도시한 바와 같이, 상부 가압 레버(57a)는 회전축(60a)에 회전 가능하게 지지되고, 하부 가압 레버(57b)는 회전축(60b)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 각 가압 레버(57a, 57b)의 기단부에는 가압 실린더(61)가 접속되어 있다. 그리고, 상부 가압 레버(57a), 하부 가압 레버(57b) 및 가압 실린더(61)에 의해 평행 링크 기구가 구성되고, 상기 가압 실린더(61)에 의해 각 가압 레버(57a, 57b)가 구동되어 회전한다.

상세하게 서술하면, 가압 실린더(61)에 의해 각 가압 레버(57a, 57b)의 기판부가 서로 멀어지는 방향으로 이동할 때, 각 가압 레버(57a, 57b)는 검사용 전극(25a)의 상하면을 가압하는 방향으로 회전한다. 반대로, 가압 실린더(61)에 의해 각 가압 레버(57a, 57b)의 기단부가 서로 가까워지는 방향으로 이동할 때, 각 가압 레버(57a, 57b)는 검사용 전극(25a)을 비가압하는 방향[검사용 전극(25a)으로부터 이격하는 방향)으로 회전한다. 그리고, 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)을 가압할 때의 가압면의 상하 방향의 위치는 가압 실린더(61)의 상하 방향의 이동에 의거하여 조정된다.

상기 지지점 블럭(56)의 후방[가압 실린더(61)측]에는 상기 지지점 블럭(56)의 회전을 규제하는 회전 규제 수단으로서의 회전 규제판(62)이 설치되어 있다. 이 회전 규제판(62)은 가압 실린더(61)에 의해 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)을 비가압하는 방향[검사용 전극(25a)으로부터 이격하는 방향]으로 회전했을 때에, 지지점 블럭(56)의 회전(도8에 도시한 화살표 C 방향의 회전)을 규제한다.

상세하게 서술하면, 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)으로부터 이격하는 방향으로 회전하면, 각 가압 레버(57a, 57b)가 회전 규제판(62)에 접촉하고, 지지점 블럭(61)의 회전이 규제된다. 반대로, 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)을 가압하는 방향으로 회전하면, 각 가압 레버(57a, 57b)가 회전 규제판(62)으로부터 이격하여 지지점 블럭(61)은 회전 가능해진다. 따라서, 이 상태에서는 각 가압 레버(57a, 57b)는 도8에 도시한 화살표 C 방향으로 회전 가능해진다.

이러한 회전 규제판(62)을 설치함으로써, 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)으로부터 이격하는 방향으로 회전했을 때에는 지지점 블럭(56)이 회전 불가능해지므로, 각 가압 레버(57a, 57b)의 선단부에 의해 패널(22)을 손상시키는 것이 방지된다. 한편, 각 가압 레버(57a, 57b)가 검사용 전극(25a)을 가압하는 방향 으로 회전했을 때에는 지지점 블럭(56)이 회전 가능해지므로, 패널(22)의 왜곡에 대해 각 레버(57a, 57b)를 추종 가능하게 하는 구성으로 할 수 있다.

상부 가압 레버(57a)에는 회전량 조절 수단으로서의 스톱퍼 볼트(63)가 설치되어 있다. 이 스톱퍼 볼트(63)는 검사용 전극(25a) 상면을 가압하는 방향으로의 상부 가압 레버(57a)의 회전량을 조절한다. 상세하게는 도6에 도시한 바와 같이, 스톱퍼 볼트(63)가 고정 블럭(54)의 상부에 접속하여, 상부 가압 레버(57a)의 회전량이 규제된다. 그리고, 후술하는 바와 같이 이 스톱퍼 볼트(63)에 의해 상부 가압 레버(57a)의 가압 방향의 회전량을 조절함으로써, 검사용 전극(25a)의 압박량이 결정된다.

다음에, 이와 같이 구성되는 검사 유닛(24a)의 작용을 설명한다.

상기한 바와 같이 검사 유닛(24a)은 PDP 전극군(23a)에 대응하여 미리 위치 결정되어 고정되는 접속 블럭(30a)을 갖는 지그(27)와 캐치 클립(31a)을 거쳐서 접속된다. 이에 의해, PDP 패널(22)의 변 방향에 있어서의 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)과의 접속 위치가 대략 결정된다.

계속해서, 검사 유닛(24a)은 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)이 접촉 가능해지는 위치에 도달하기까지 제2 레일(33)에 따라 도6에 도시한 오른쪽 화살표 방향으로 이동한다. 이 상태로부터, 구동 실린더(53)에 의해 슬라이더(52)가 도6에도시한 왼쪽 화살표 방향으로 이동하면, 각 가압 레버(57a, 57b)가 고정 블럭(54)에 대해 후퇴한다. 즉, 도6에 도시한 바와 같이 검사용 전극(25a)이 PDP 전극군(23a)과의 접촉 위치에 보유 지지된 상태에서 각 가압 레버(57a, 57b)가 PDP 패널(22)로부터 이격하는 방향으로 후퇴한다.

이 상태에서, 가압 실린더(61)에 의해 상부 가압 레버(57a)가 가압 방향으로 회전하면, 상기 가압 레버(57a)는 검사용 전극(25a)의 선단부와 고정 단부와의 대략 중간 부분을 압박한다.

이에 의해, 도6에 도시한 바와 같이 검사용 전극(25a)의 선단부를 눈으로 확인할 수 있는 상태에서, 상기 검사용 전극(25a)을 PDP 전극군(23a)에 접촉시킬 수 있다. 또한, 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 접촉시킬 때의 상부 가압 레버(57a)에 의한 검사용 전극(25a)의 압박량은 고정 블럭(54) 상단부에 접촉시키는 스톱퍼 볼트(63)에 의해 조정 가능하다. 즉, 스톱퍼 볼트(63)에 의해 검사용 전극(25a)의 압박량을 조정함으로써, 검사용 전극(25a) 선단부를 PDP 전극군(23a)에 접촉 보유 지지시키는 가압력으로 설정할 수 있다. 이에 의해, 상부 가압 레버(57a)에 의한 검사용 전극(25a)의 손상을 방지할 수 있다.

이와 같이 하여, 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 접촉시킨 상태에서, 검사용 전극(25a)의 선단부를 카메라(42)에 의해 촬상함으로써, 상기 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)과의 겹치는 상태를 인식한다. 그 결과, 양 전극(23a, 25a)의 접촉 위치에 어긋남이 발생하고 있는 경우에는 검사용 전극(25a)의 전극 위치를 보정한다.

그리고, PDP 전극군(23a)에 대한 검사용 전극(25a)의 접촉 위치가 결정된 후, 구동 실린더(53)에 의해 슬라이더(52)가 도6에 도시한 오른쪽 화살표 방향으로 이동하면, 각 가압 레버(57a, 57b)가 고정 블럭(54)에 대해 전진한다. 즉, 도7에 도시한 바와 같이 각 가압 레버(57a, 57b)의 선단부가 검사용 전극(25a)의 선단부까지 이동한다.

이 상태에서, 가압 실린더(61)에 의해 각 가압 레버(57a, 57b)가 가압 방향으로 회전하면, PDP 패널(22) 및 검사용 전극(25a)이 각 가압 레버(57a, 57b) 선단부의 탄성체(58a, 58b)에 의해 끼워진다. 이에 의해, 검사 유닛(24a)은 검사용 전극(25)을 PDP 전극군(23a)에 대해 미리 위치 결정된 위치에서 정밀도 좋게 접촉시킬 수 있다.

도9는 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)과의 접촉 상태를 도시한 측면도이다. 또한, 도9의 (a)에는 본 실시 형태의 검사 유닛(24a)에 설치되는 고정 블럭(54)을 도시하고, 도9의 (b)에는 종래 구성의 고정 블럭(54a)의 일예를 비교하기 위해 도시한다.

본 실시 형태의 고정 블럭(54)은, 상기한 바와 같이 그 상단부가 PDP 패널(22)측을 향해 전방으로 기울어지는 경사형으로 형성되어 있다. 즉, 검사용 전극(25a)은 수평면에 대해 소정의 경사 각도를 갖고 고정 블럭(54a)에 고정된다. 한편, 도9의 (b)에 도시한 바와 같이 종래의 고정 블럭(54a)은 그 상단부가 평탄형으로 형성되어 있고, 검사용 전극(25a)을 수평면과 평행하도록 고정한다.

여기서, 각 고정 블럭(54, 54a)에 각각 지지되는 검사용 전극(25a)을 동일 변위량으로 수직 방향으로 변위시켜 양 전극(23a, 25a)을 접속시킨 경우, 검사용 전극(25a)을 경사지게 고정한 경우에 있어서의 수평 방향 변위(f1)는 검사용 전극(25a)을 수평하게 고정한 경우에 있어서의 수평 방향 변위(f2)보다도 커진다.

PDP 전극군(23a)은 유리로 된 PDP 패널(22) 표면에 크롬(Cr) 등의 금속을 증착함으로써 형성되지만, 대기 중에 노출됨으로써 상기 패널(22) 표면에는 산화막이 형성된다. 이러한 산화막이 형성되면, 상기 산화막이 절연층이 되어 양 전극(23a, 25a)의 접촉성을 저해하는 경우가 있다. 이로 인해, 안정된 접촉성을 얻기 위해서는 상기 산화막을 제거한 상태에서 양 전극(23a, 25a)을 접촉시키는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같이, 본 실시 형태에서는 고정 블럭(54)에 검사용 전극(25a)을 경사지게 고정함으로써, 상기 검사용 전극(25a)을 수직 방향으로 가압했을 때의 수평 방향 변위를 크게 할 수 있다. 따라서, PDP 전극군(23a) 상에 형성되는 산화막을 제거하는 와이핑 효과를 높여, 상기 산화막을 제거한 상태에서 안정된 접촉성을 얻는 것도 가능하게 하고 있다.

도10은 PDP 패널(22)의 신축(휨)이 발생한 경우의 검사 유닛(24a)의 작용을 설명하는 단면도이다.

PDP 패널(22) 자체의 휨이 발생한 경우, 검사 유닛(24a)의 각 가압 레버(57a, 57b)는 도10에 도시한 e를 회전 중심으로 하여 일점 쇄선으로 도시한 위치로 회전한다. 즉, 상기한 바와 같이 각 가압 레버(57a, 57b)와 가압 실린더(61)는 평행 링크 기구를 구성하고 있으므로, 각 가압 레버(57a, 57b)는 패널(22)의 두께 방향으로의 위치에 대해 추종 가능하다. 또한, 각 가압 레버(57a, 57b)는 지지점 블럭(56)이 회전축(55)을 지지축으로 하여 회전 가능하므로, 패널(22)의 원호형의 위치에 대해서도 추종 가능하다(도6 및 도7 참조). 이에 의해, 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 균일하게 접촉시킬 수 있다.

이 때, PDP 전극군(23a)의 피치 방향으로 미소한 어긋남(d)이 생기지만, 검사용 전극(25a)과 상부 가압 레버(57a)의 탄성체(58a)는 고정 부착되어 있지 않으므로, 검사용 전극(25a)은 어긋남(d)의 영향을 받지 않고 미리 위치 결정된 위치에서 PDP 전극군(23a)과 고정밀도로 접촉한다.

또한, 상기의 패널 검사 장치는 도시하지 않은 제어 장치를 구비하고, 상기제어 장치에 의해 도1에 도시한 검사 유닛(24a 내지 24f) 등이 제어된다. 제어 장치는 조작반을 구비하고, 작업자에 의해 조작반의 조작에 응답하여 검사 유닛(24a 내지 24f)의 이동, 검사용 전극(25a 내지 25f)의 가압을 행한다.

상세하게는, 제어 장치에는 복수의 밸브가 접속되고, 상기 밸브를 개폐 제어하여, 도6에 도시한 검사 유닛(24a)의 구동 실린더(53), 가압 실린더(61)에 공급하는 공기의 공급 방향을 절환한다. 이에 의해, 제어 장치는 검사 유닛(24a)을 이동시키고, 검사용 전극(25a)과 PDP 패널(22)을 협지하는 상부 및 하부 가압 레버(57a, 57b)를 회전시킨다.

또한, 제어 장치에는 복수의 밸브가 접속되고, 상기 밸브를 개폐 제어하여, 도2에 도시한 베이스 부재(34)를 이동시키는 실린더에 공급하는 공기의 공급 방향을 절환한다. 이에 의해, 제어 장치는 베이스 부재(34)를 각 검사 유닛(24a 내지 24f)이 PDP 패널(22)에 근접하는 검사 위치와, PDP 패널(22)로부터 이격한 비검사 위치에 선택적으로 배치한다.

또한, 제어 장치에는 얼라이먼트용 모터(38)가 접속되고, 조작반의 조작에 따라 상기 모터(38)를 회전 구동한다. 이에 의해, 제어 장치는 슬라이드 블럭(37)을 PDP 패널(22)의 변 방향에 따라 이동시킨다.

이상 기술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면 이하의 효과를 발휘한다.

(1) 검사 유닛(24a)에는 상부 및 하부 가압 레버(57a, 57b)가 고정 블럭(54)에 고정된 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 접촉 가능한 위치에 보유 지지한 상태에서, PDP 패널(22)로부터 이격하는 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 이에 의해, 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)과의 겹치는 상태를 확인할 수 있는 상태에서, 양 전극(23a, 25a)의 위치 맞춤을 미리 행할 수 있다. 따라서, 검사 유닛(24a)은 검사용 전극(25a)을 PDP 전극군(23a)에 대해 고정밀도로 접촉시킬 수 있고, 나아가서는 패널 검사 효율을 향상시킬 수 있다.

(2) 각 가압 레버(57a, 57b)와 가압 실린더(61)에 의해 구성되는 평행 링크 기구에 의해, 각 가압 레버(57a, 57b)는 PDP 패널(22)의 두께 방향의 변위에 대해 추종 가능하다. 또한, 각 가압 레버(57a, 57b)는 지지점 블럭(56)이 회전축(55)을 지지축으로 하여 회전 가능하므로, 패널(22)의 원호형의 변위에 대해 추종 가능하다. 따라서, 검사 유닛(24a)은 PDP 패널(22) 자체의 신축(휨)이 발생한 경우에도 검사용 전극(25a)을 PDP 전극군(23a)에 대하여 고정밀도로 접촉시킬 수 있다.

(3) 고정 블럭(54)은 검사용 전극(25a)을 PDP 패널(22)측으로 소정의 경사 각도로 전방으로 경사진 상태로 고정한다. 이에 의해, 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)과의 접촉시에 있어서의 와이핑(산화막 제거) 효과를 향상시킬 수 있다. 따라서, 양 전극(23a, 25a)의 접촉성을 높일 수 있다.

(4) PDP 패널(22)의 1개의 변에 대응하여 설치되는 복수의 검사 유닛(24a 내지 24f)은 상기 패널(22)에 있어서의 복수의 PDP 전극군(23a 내지 23f)의 전극 폭 및 전극 피치, 또는 전극군 피치(P1)에 대응한 위치에 접속 블럭(30a 내지 30f)을 가진 지그(27)와 접속된다. 그리고, 미리 위치 결정된 위치에 그들 접속 블럭(30a 내지 30f)이 고정된 지그(27)는 패널 사이즈에 따라서 준비된다. 이에 의해, 패널 사이즈 변경시에 있어서의 위치 맞춤의 조정 작업을 용이하게 행할 수 있다.

(5) 검사용 전극(25a)과 PDP 전극군(23a)을 전기적으로 접속하기 위한 중계용 필름 배선 기판(중계 플랙)(45)이 설치되고, 상기 중계 플랙(45)은 하부 가압 레버(57a)의 선단부 하방에서 절결하여 형성된 통과 경로(59)를 통과하여 구동 회로(43)의 필름 기판(44)과 접속된다. 이에 의해, 중계 플랙(45) 및 필름 기판(44)은 검사용 전극(25a)과 함께 가압되지 않으므로, 가압에 의한 파손이 방지된다. 따라서, 검사용 전극(25a)의 긴 수명화의 실현이 가능해지므로, 패널 검사 장치(11)의 운전 비용(유지비)을 저감할 수 있다.

또한, 본 실시 형태는 이하의 상태로 실시해도 좋다.

·본 실시 형태에서는 중계 플랙(45)과 검사용 전극(25a)이 일체로 접속되어 설치되고 있으나, 반드시 일체로 설치할 필요는 없다.

·본 실시 형태에서는 PDP 패널(22)의 1개의 변에 6개의 PDP 전극군(23a 내지 23f)이 구성되는 경우에 구체화했으나, 이에 한정되지 않으며 5 이하 또는 7 이상 구성되는 경우에 구체화해도 좋다.

·본 실시 형태의 지그(27) 내에는 제어 장치(본 실시 형태에서는 도시하지 않음)로부터 각 검사 유닛(24a 내지 24f)으로의 에어 배관 및 배선을 내장할 수도 있다. 이와 같이 하면, 검사 유닛(24a 내지 24f)의 탈착시에 그들 배관 및 배선의 접속 작업을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

·본 실시 형태에서는 PDP 패널(22)의 변 방향에 따른 각 검사 유닛(24a 내지 24f)(도1 참조)의 위치를 미조정용 나사(32a 내지 32f)에 의해 미조정 가능하게 했으나, 각 검사 유닛(24a 내지 24f)이 상기 패널(22)의 변 방향에 따라 슬라이드 가능하게 하는 구동 기구를 각각 구비하도록 해도 좋다.

본 실시 형태에서의 특징을 정리하면 이하와 같이 된다.

(부기 1) 검사용 전극을 구비한 검사 유닛이 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 전극군에 대응하여 설치되고, 상기 전극군에 상기 검사용 전극을 접속시키는 패널 검사 장치에 있어서,

상기 검사 유닛은 상기 전극군에 상기 검사용 전극을 압접시키는 가압 기구를 구비하여 이루어지며, 상기 가압 기구는 상기 검사용 전극과 상기 전극군을 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 상기 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향으로 양 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.

(부기 2) 상기 검사용 전극은 소정의 경사 각도로 상기 표시 패널측으로 기울어지게 하여 상기 검사 유닛에 고정되는 것을 특징으로 하는 부기 1 기재의 패널 검사 장치.

(부기 3) 상기 검사용 유닛은 상기 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 복수 의 전극군에 대응하여 복수 설치되고,

상기 복수의 검사 유닛은 상기 복수의 전극군에 대응하여 복수의 위치 결정수단을 갖는 지그에 접속되는 것을 특징으로 하는 부기 1 기재의 패널 검사 장치.

(부기 4) 상기 위치 결정 수단은 상기 표시 패널의 패널 사이즈에 따라서 형성되는 상기 복수의 전극군에 대응한 위치에서 상기 지그에 미리 설치되는 것을 특징으로 하는 부기 3 기재의 패널 검사 장치.

(부기 5) 상기 지그는 상기 복수의 전극군의 전극군수 및 전극군 피치에 대응한 수 및 피치에 의해 상기 위치 결정 수단을 복수 갖고, 상기 지그는 상기 표시 패널의 패널 사이즈에 따라서 각각 준비되는 것인 것을 특징으로 하는 부기 3 기재의 패널 검사 장치.

(부기 6) 상기 지그는 상기 복수의 전극군과의 대응 위치에 고정된 위치 결정 수단과, 상기 복수의 전극군과의 비대응 위치에 고정된 위치 결정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 부기 3 기재의 패널 검사 장치.

(부기 7) 상기 위치 결정 수단에는 상기 복수의 검사 유닛이 상기 복수의 전극군의 전극군 피치에 대응하여 배치되도록, 상기 각 검사 유닛의 위치를 상기 표시 패널의 변 방향에 따라 양 방향으로 미조정시키는 조정 수단이 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 부기 3 기재의 패널 검사 장치.

(부기 8) 상기 표시 패널에 검사용 신호를 공급하는 구동 회로를 구비하고,

상기 검사 유닛은 상기 검사용 전극과 상기 전극군을 전기적으로 접속시키는 중계 기판을 상기 검사용 전극과 전극군과의 비접촉 위치에서 상기 구동 회로와 중 계시키고, 또한 상기 구동회로에 대해 착탈 가능하게 한 것을 특징으로 하는 부기 1 내지 7 중 어느 한 부기에 기재된 패널 검사 장치.

(부기 9) 상기 가압 기구는 소정의 접촉 압력으로 상기 검사용 전극을 상기 전극군에 대해 접촉시키는 한 쌍의 가압 레버를 구비하고,

상기 한 쌍의 가압 레버 중 어느 한 쪽에는 상기 중계 기판의 통과 경로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 부기 8 기재의 패널 검사 장치.

(부기 10) 상기 가압 기구는 소정의 접촉 압력으로 상기 검사용 전극을 상기 전극군에 대해 접촉시키는 한 쌍의 가압 레버를 구비하고,

상기 한 쌍의 가압 레버는 상기 검사용 전극을 대응하는 상기 전극군과 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 상기 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향 또는 상기 표시 패널로부터 이격하는 방향으로 상기 검사용 전극의 선단부가 확인 가능해지는 위치까지 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 부기 1 기재의 패널 검사 장치.

(부기 11) 상기 한 쌍의 가압 레버는 상기 검사용 전극의 상면 및 하면을 가압하는 상부 가압 레버와 하부 가압 레버로 구성되고,

상기 검사 유닛에는 상기 검사용 전극의 선단부가 확인 가능해지는 위치까지 상기 상부 및 하부 가압 레버가 이동하였을 때에, 상기 상부 가압 레버의 가압 방향의 회전량을 조절하는 회전량 조절 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 부기 10 기재의 패널 검사 장치.

(부기 12) 상기 회전량 조절 수단은 상기 검사용 전극의 선단부를 상기 전극 군에 접촉 보유 지지하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 부기 11 기재의 패널 검사 장치.

(부기 13) 상기 한 쌍의 가압 레버는 지지점 블럭에 회전 가능하게 지지되고, 상기 지지점 블럭은 상기 표시 패널의 변 방향에 직교하는 방향에 따라 설치되는 회전축을 지지축으로 하여 회전 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 부기 10 또는 부기 11 기재의 패널 검사 장치.

(부기 14) 상기 한 쌍의 가압 레버가 상기 검사용 전극을 비가압하는 방향으로 회전했을 때에 상기 한 쌍의 가압 레버와 접촉하고, 상기 지지점 블럭의 회전을 규제하는 회전 규제 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 부기 13 기재의 패널 검사 장치.

이상 상세하게 서술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 표시 패널의 전극에 대해 검사용 전극을 고정밀도로 접촉시킬 수 있는 패널 검사 장치를 제공할 수 있다.

Claims

검사용 전극을 구비한 검사 유닛이 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 전극군에 대응하여 설치되고, 상기 전극군에 상기 검사용 전극을 접촉시키는 패널 검사 장치에 있어서,

상기 검사 유닛은 상기 전극군에 상기 검사용 전극을 압접시키는 가압 기구를 구비하며,

상기 가압 기구는 상기 검사용 전극과 상기 전극군을 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 상기 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향으로 양 방향으로 이동 가능하게 설치되고,

상기 가압 기구는 소정의 접촉 압력으로 상기 검사용 전극을 상기 전극군에 대해 접촉시키는 한 쌍의 가압 레버를 구비하고,

상기 한 쌍의 가압 레버는 상기 검사용 전극을 대응하는 상기 전극군과 접촉 가능하게 하는 위치에 보유 지지한 상태에서, 상기 표시 패널의 변 방향과 직교하는 방향, 게다가 상기 표시 패널로부터 이격하는 방향으로 상기 검사용 전극의 선단부가 확인 가능해지는 위치까지 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 검사용 전극은 소정의 경사 각도로 상기 표시 패널측으로 기울어지게 하여 상기 검사 유닛에 고정되는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 표시 패널의 주변에 따라 배열되는 복수의 전극군에 대응하여 복수 설치되고,

상기 복수의 검사 유닛은 상기 복수의 전극군에 대응하여 복수의 위치 결정 수단을 갖는 지그에 접속되는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제3항에 있어서, 상기 위치 결정 수단에는 상기 복수의 검사 유닛이 상기 복수의 전극군의 전극군 피치에 대응하여 배치되도록, 상기 각 검사 유닛의 위치를 상기 표시 패널의 변 방향에 따라 양 방향으로 미조정시키는 조정 수단이 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 한 쌍의 가압 레버는 상기 검사용 전극의 상면 및 하면을 가압하는 상부 가압 레버와 하부 가압 레버로 구성되고,

상기 검사 유닛에는 상기 검사용 전극의 선단부가 확인 가능해지는 위치까지 상기 상부 및 하부 가압 레버가 이동했을 때에, 상기 상부 가압 레버의 가압 방향의 회전량을 조절하는 회전량 조절 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제6항에 있어서, 상기 회전량 조절 수단은 상기 검사용 전극의 선단부를 상기 전극군에 접촉 보유 지지하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 한 쌍의 가압 레버는 지지점 블럭에 회전 가능하게 지지되고, 상기 지지점 블럭은 상기 표시 패널의 변 방향에 직교하는 방향에 따라 설치되는 회전축을 지지축으로 하여 회전 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제8항에 있어서, 상기 한 쌍의 가압 레버가 상기 검사용 전극을 비가압하는 방향으로 회전했을 때에 상기 한 쌍의 가압 레버와 접촉하고, 상기 지지점 블럭의 회전을 규제하는 회전 규제 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.