JPH10153631A - 位置合わせ装置及びパネル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良
く接続することができる位置合わせ装置を提供する。 【解決手段】パネル試験装置１０の各コンタクトユニッ
ト３１ａ〜３１ｅには、電極群２５ａ〜２５ｅを構成す
る複数の電極２４に接続される検査用プローブ３３ａ〜
３３ｅが、複数の電極群２５ａ〜２５ｅに対応する位置
にそれぞれ設けられる。端面カム４４ａ〜４４ｅは、基
準端子２４ａ，２４ｂ間の距離Ｌと、予め設定された基
準となる電極２４ａから各電極群２５ａ〜２５ｅを代表
する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設
定される。制御装置１２は、カメラ５１，５２の画像に
基づいて被試験パネル２３のずれ量を測定し、そのずれ
量に応じた角度だけ端面カム４４ａ〜４４ｅを回転駆動
し、各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅを移動させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はＰＤＰ等の平面表示
ディスプレイに用いられる表示パネルの電極に対して信
号を供給する検査用の端子を接続する位置合わせ装置及
びパネル検査装置に関する。

【０００２】近年、表示装置の発展は目覚ましく、特に
平面ディスプレイは薄型・軽量などの特徴から急速に普
及してきた。プラズマ・パネル・ディスプレイ(PDP:Pla
sumaDisplay Panel) は大型画面の表示装置として従来
の背面投射型ディスプレイ（ＣＲＴ）に代わる次世代の
平面表示ディスプレイである。

【０００３】そのＰＤＰは、表示装置として組み立てる
前に、表示パネル単体での表示電極端子列の良否検査
や、表示素子の全点灯検査が行われる。その検査のため
に、パネルの電極に対して、検査用駆動回路から電気信
号を供給するためのプローブユニットを精度良く接続
（プロービング）する必要がある。

【０００４】

【従来の技術】従来、ＬＣＤ等のパネル検査装置におい
て、表示電極に駆動信号を供給する場合、全電極に対応
した検査用端子を備えたプローブユニットをＴＶカメラ
等を用いて位置あわせするものがある。その位置合わせ
後に、表示電極に対して検査用端子を介して検査用駆動
回路から電気信号を供給し、パネルの画素欠陥等の検査
が行われる。

【０００５】ところで、近年では、プラズマ・パネル・
ディスプレイ(PDP:Plasuma DisplayPanel) 等の表示パ
ネルカラー表示を可能にするとともに、大型画面化され
ているため、パネル全体の大きさがが大きくなるととも
に、表示画素数も多くなってきている。

【０００６】図５に示すように、表示パネル、例えば、
ＰＤＰのガラス製のパネル１には、複数の電極２がパネ
ル１の辺に沿って形成されている。電極２の数、電極幅
Ｗ、及び、電極ピッチＰは、パネル１の大きさと、その
パネル１により表示可能な画素数によって決定される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
パネル検査装置では、１つのプローブユニットに全ての
検査用端子が備えられているため、小型の表示パネルを
検査する場合には適しているが、図５に示されるパネル
１のように、大型の表示パネルの場合には以下の問題が
ある。

【０００８】（１）ガラス製の表示パネル１は、電極加
工工程での熱処理の影響で、表示パネル自体の伸縮が発
生し、表示電極の電極ピッチが設計時の寸法から大きく
ずれる場合がある。例えば、両端の電極間が９２０mmの
パネルの場合、電極ピッチ精度は最大で基準寸法の１／
１０００程度ばらつくため、設計値から０．９２mm程度
電極位置ずれが生じる。

【０００９】（２）ガラス製の表示パネル１は熱膨張係
数が９×１０＾−６／℃であるため、例えばパネル１の
温度が１０℃変化すると、設計値から０．０８mmの電極
位置ずれが生じる。

【００１０】従って、上記の電極ずれが最大に発生した
とすると、図５に示される両端の電極２ａ，２ｂ間の距
離Ｌは、設計値から１．００mmもずれることになる。そ
して、大型で画素数の多い表示パネルの場合、距離Ｌに
比べて電極２の幅及びピッチは非常に小さい。例えば、
図５に示すパネル１の場合、電極ピッチＰ＝０．３mm、
電極幅Ｗ＝０．１５mmに形成されている。そのため、プ
ローブユニットの端子を目的とする電極２に精度良く接
続することができなくなるという問題があった。

【００１１】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は大型表示パネルの電極と
検査用端子とを精度良く接続することができる位置合わ
せ装置を提供することにある。

【００１２】また、大型表示パネルの電極と検査用端子
とを精度良く接続して表示パネルの検査を行うことがで
きるパネル検査装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１発明は、被試験パネルの周辺に沿っ
て配列された電極に接続する検査用プローブの位置を決
定する位置合わせ装置であって、被試験パネルの辺に
は、複数の電極よりなる電極群が互いに離間して複数形
成され、前記電極群を構成する複数の電極に接続される
検査用プローブをそれぞれ備え、前記複数の電極群に対
応する位置にそれぞれ設けられた複数のコンタクトユニ
ットと、被試験パネルのずれ量を測定するずれ量測定手
段と、前記測定結果のずれ量に応じて、前記複数のコン
タクトユニットを比例的に移動させる比例移動手段とを
備えたことを要旨とする。

【００１４】請求項２発明は、請求項１に記載の位置合
わせ装置において、前記ずれ量測定手段は、前記被試験
パネルの辺に沿って配列された両端の電極の画像を取り
込むカメラと、前記画像に基づいて、前記両端の電極間
距離を測定する距離測定手段と、前記測定結果の電極間
距離と、予め記憶された基準となる基準端子間距離との
差を演算する差演算手段とから構成され、前記比例移動
手段は、前記演算結果のずれ量を基に、各プローブユニ
ットを比例的に移動させるようにしたことを要旨とす
る。

【００１５】請求項３発明は、請求項２に記載の位置合
わせ装置において、前記比例移動手段は、前記被試験パ
ネルの辺に配列された一端の電極を予め設定された基準
電極位置に移動させた後、前記演算結果のずれ量を基
に、各プローブユニットを比例的に移動させるようにし
たことを要旨とする。

【００１６】請求項４発明は、請求項１乃至３に記載の
位置合わせ装置において、前記比例移動手段は、前記各
コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って
移動可能に支持するガイドレールと、前記各コンタクト
ユニットに備えられたカムフォロアと、前記各コンタク
トユニットに対応して設けられ、前記基準端子間距離
と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表
する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設
定されたカムと、前記カムを前記ずれ量に応じて回転駆
動する駆動手段とから構成されたことを要旨とする。

【００１７】請求項５発明は、請求項１乃至３に記載の
位置合わせ装置において、前記比例移動手段は、前記各
コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って
移動可能に支持するガイドレールと、前記ずれ量を基
に、シャフトを回転駆動する駆動手段と、前記シャフト
に備えられた主動側プーリと、前記主動側プーリにより
タイミングベルトを介して回転駆動される従動側プーリ
と、前記従動側プーリにより回転駆動され、その回転に
より前記コンタクトユニットを移動させるボールネジと
から構成され、前記主動側プーリと従動側プーリとボー
ルネジのうちの１つ、又は、２つ以上の組み合わせによ
り前記各コンタクトユニットの移動量を、前記基準端子
間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群
を代表する位置までの距離との比に設定したことを要旨
とする。

【００１８】請求項６発明は、請求項１乃至５に記載の
位置合わせ装置と、前記検査用プローブを前記被検査パ
ネルに接続するクランプユニットと、前記検査用プロー
ブを介して被検査パネルに対して検査用の電気信号を供
給する検査用駆動回路とを備えたことを要旨とする。

【００１９】（作用）従って、請求項１に記載の発明に
よれば、被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電
極群が互いに離間して複数形成される。コンタクトユニ
ットは、電極群を構成する複数の電極に接続される検査
用プローブがそれぞれ備えられ、複数の電極群に対応す
る位置にそれぞれ設けられる。そして、ずれ量測定手段
は、被試験パネルのずれ量を測定し、比例移動手段は、
測定結果のずれ量に応じて、複数のコンタクトユニット
を比例的に移動させる。

【００２０】請求項２に記載の発明によれば、ずれ量測
定手段は、カメラと距離測定手段土佐演算手段とから構
成される。カメラは、被試験パネルの辺に沿って配列さ
れた両端の電極の画像を取り込む。距離測定手段は、取
り込まれた画像に基づいて、両端の電極間距離を測定す
る。差演算手段は、測定結果の電極間距離と、予め記憶
された基準となる基準端子間距離との差を演算する。そ
して、比例移動手段は、演算結果のずれ量を基に、各プ
ローブユニットを比例的に移動させる。

【００２１】請求項３に記載の発明によれば、比例移動
手段は、被試験パネルの辺に配列された一端の電極を予
め設定された基準電極位置に移動させた後、演算結果の
ずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させ
る。

【００２２】請求項４に記載の発明によれば、比例移動
手段には、ガイドレールとカムフォロアとカムと駆動手
段とから構成される。ガイドレールは、各コンタクトユ
ニットを電極が配列された辺に沿って移動可能に支持す
る。カムは、各コンタクトユニットに対応して設けら
れ、コンタクトユニットに備えられたカムフォロアが当
接され、基準端子間距離と、予め設定された基準となる
電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に応
じて変位量がそれぞれ設定される。そして、駆動手段
は、カムをずれ量に応じて回転駆動する。

【００２３】請求項５に記載の発明によれば、比例移動
手段には、ガイドレール、駆動手段、主動側プーリ、従
動側プーリ、及び、ボールネジが備えられる。各コンタ
クトユニットは、ガイドレールによって電極が配列され
た辺に沿って移動可能に支持される。駆動手段は、ずれ
量を基に、シャフトを回転駆動し、そのシャフトには、
主動側プーリが備えられる。その主動側プーリによりタ
イミングベルトを介して従動側プーリが回転駆動され、
その従動側プーリの回転によりコンタクトユニットがボ
ールネジにより移動される。そして、主動側プーリと従
動側プーリとボールネジのうちの１つ、又は、２つ以上
の組み合わせにより各コンタクトユニットの移動量を、
基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から
各電極群を代表する位置までの距離との比に設定され
る。

【００２４】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
乃至５に記載の位置合わせ装置と、検査用プローブを被
検査パネルに接続するクランプユニットと、検査用プロ
ーブを介して被検査パネルに対して検査用の電気信号を
供給する検査用駆動回路とが備えられる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図３に従って説明する。図１は、パネル
試験装置１０の概略構成図である。パネル試験装置１０
は、接続装置１１と制御装置１２とから構成されてい
る。先ず、接続装置１１の構成を説明する。

【００２６】接続装置１１には、ステージ２１が設けら
れている。ステージ２１には、ステッピングモータ２２
が設けられ、そのステッピングモータ２２が駆動される
と、ステージ２１は、図示しないガイドレールに沿って
矢印Ａ方向に移動する。ステージ２１には、ＰＤＰ等の
被試験パネル２３が図示しない固定治具によって所定の
位置に載置固定される。

【００２７】被試験パネル２３の所定の複数辺には、そ
れぞれ複数の電極２４が各辺に沿って形成されている。
尚、説明の都合上、図１には、１つの辺に沿って形成さ
れた電極２４のみを示している。

【００２８】電極２４は、所定の電極幅Ｗ及び電極ピッ
チＰ（図５参照）にて形成されている。また、電極２４
は、所定数毎に一定の間隔を開けて形成され、複数（本
実施形態では５つ）の電極群２５ａ〜２５ｅを構成して
いる。

【００２９】従って、各電極群２５ａ〜２５ｅは、１つ
の辺に沿って形成されるとともに、互いに所定間隔を開
けて離間して形成されている。また、各電極群２５ａ〜
２５ｅは、それぞれ代表する位置（例えば、各電極群２
５ａ〜２５ｅの中心位置）が両端の電極２４（以下、他
の電極２４と区別するために電極２４ａ，２４ｂとす
る）のうちの何れか１方からの距離が予め設定されてい
る。

【００３０】尚、本実施形態では、各電極群２５ａ〜２
５ｅの距離は、図１においてステッピングモータ２２が
備えられた側の電極２４ａから設定され、各電極群２５
ａ〜２５ｅの距離X1,X2,X3,X4,X5が予め設定されてい
る。

【００３１】また、接続装置１１には、複数（本実施形
態では５つ）のコンタクトユニット３１ａ〜３１ｅが設
けられている。各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
は、それぞれ被試験パネル２３の電極群２５ａ〜２５ｅ
に対応して設けられている。

【００３２】各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅに
は、それぞれプローブユニット３２ａ〜３２ｅが設けら
れている。各プローブユニット３２ａ〜３２ｅには、そ
れぞれ検査用プローブ３３ａ〜３３ｅが備えられてい
る。

【００３３】図２に示すように、検査用プローブ３３ａ
〜３３ｅは、可撓可能な材質、例えば、フレキシブル基
板よりなり、プローブユニット３２ａ〜３２ｅにそれぞ
れ固定されている。各検査用プローブ３３ａ〜３３ｅの
先端（右端）には、図示しないバンプが形成されてい
る。バンプは、各電極群２５ａ〜２５ｅを構成する電極
２４の数に対応した数及び間隔で設けられている。これ
らのバンプを電極２３に押しつけることにより、後述す
る電源回路１２ａから出力される検査用信号が各電極２
４から被試験パネル２３に供給される。

【００３４】各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅに
は、比例移動手段としてのガイドレール３４ａ〜３４ｅ
がそれぞれ設けられている。各コンタクトユニット３１
ａ〜３１ｅは、各ガイドレール３４ａ〜３４ｅによっ
て、電極２４が形成された被試験パネル２３の辺に沿っ
て移動可能に支持されている。

【００３５】各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅに
は、比例移動手段としてのカムフォロア３５ａ〜３５ｅ
がそれぞれ設けられている。各コンタクトユニット３１
ａ〜３１ｅには、それぞれスプリング３６ａ〜３６ｅが
設けられている。

【００３６】図２に示すように、コンタクトユニット３
１ａには、押圧手段としてのクランぷユニット３７が設
けられている。クランプユニット３７は、エアシリンダ
３８と、そのエアシリンダ３８により駆動され回動する
クランパ３９とから構成され、そのクランパ３９により
検査用プローブ３３ａの先端に設けられた図示しないバ
ンプが被試験パネル２３の電極（図２では省略）に押し
つけられる。

【００３７】また、コンタクトユニット３１ａには、ガ
イドレール４０が設けられている。コンタクトユニット
３１ａ及びクランプユニット３７は、ガイドレール４０
によって支持されるとともに、そのガイドレール４０に
沿って被試験パネル２３に対して接離方向（図２におい
て左右方向）に移動可能になっている。この構成によっ
て、コンタクトユニット３１ａ及びクランプユニット３
７を被試験パネル２３から離間させ、その被試験パネル
２３の着脱を容易にしている。

【００３８】尚、コンタクトユニット３１ａは、図１に
おいては、図面が煩雑になるのをさけるために省略して
ある。また、他のコンタクトユニット３１ｂ〜３１ｅに
も同様のクランプユニット３７が設けられており、その
構成及び動作は同じであるので、図面及び説明を省略す
る。

【００３９】また、図１に示すように、接続装置１１に
は、駆動手段としてのステッピングモータ４１が設けら
れている。ステッピングモータ４１には、軸受け４２
ａ，４２ｂによって支持されたシャフト４３が軸着され
ている。シャフト４３には、コンタクトユニット３１ａ
〜３１ｅに対応した比例移動手段としての端面カム４４
ａ〜４４ｅが固定されている。

【００４０】端面カム４４ａ〜４４ｅは、各コンタクト
ユニット３１ａから３１ｅに対応した位置、即ち、被試
験パネル２３に形成された電極群２５ａ〜２５ｅに対応
した位置に固定されている。図３（ａ）に示すように、
端面カム４４ａには、コンタクトユニット３１ａに設け
られたカムフォロア３５ａが当接されている。更に、図
１に示すように、コンタクトユニット３１ａは、スプリ
ング３６ａによって図１の左方向に付勢されている。

【００４１】従って、図１に示されるステッピングモー
タ４１によってシャフト４３が回転されると、その回転
によって端面カム４４ａによってカムフォロア３５ａが
図中の右矢印方向に移動する。その結果、図１に示され
るコンタクトユニット３１ａは、ガイドレール３４ａに
よって被試験パネル２３の辺に沿って図面右方向に移動
する。また、図１に示されるように、コンタクトユニッ
ト３１ａは、スプリング３６ａによって図１の左方向に
付勢されている。従って、図３に示されるカムフォロア
３５ａは、端面カム４４ａから離間することがないの
で、コンタクトユニット３１ａは、図１の左方向に移動
する。尚、他のコンタクトユニット３１ｂ〜３１ｅは、
コンタクトユニット３１ａと同じであるので、説明を省
略する。

【００４２】また、各端面カム４４ａ〜４４ｅは、カム
フォロア３５ａ〜３５ｅを移動させる変位量が、図３
（ｂ）に示されるカム線図の様に、図１における右端の
端面カム４４ｅほど変位量が大きくなるように設定され
ている。また、各端面カム４４ａ〜４４ｅの変位量は、
各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅの位置、即ち、被
試験パネル２３の各電極群２５ａ〜２５ｅの位置の比に
対応して設定されている。

【００４３】具体的には、基準となる端の電極２４ａか
ら各電極群２５ａ〜２５ｅを代表する位置（本実施形態
では、各電極群２５ａ〜２６ｅの中心）までの距離が距
離X1，X2，X3，X4，X5に設定されている。そして、両端
の電極２４ａ，２４ｂ間の距離を距離Ｌとする。被試験
パネル２３が伸縮した場合、各電極群２５ａ〜２５ｅの
ずれは、各距離X1〜X5をそれぞれ基準となる距離寸法Ｌ
で割った値に比例する。即ち、各電極群２５ａ〜２５ｅ
のずれ量をそれぞれずれ量ΔX1〜ΔX5とすると、各ずれ
量ΔX1〜ΔX5は、それぞれ（X1／Ｌ），（X2／Ｌ），
（X3／Ｌ），（X4／Ｌ），（X5／Ｌ）に比例する。従っ
て、各端面カム４４ａ〜４４ｅの変位量の比（カム比）
は、（X1／Ｌ）：（X2／Ｌ）：（X3／Ｌ）：（X4／
Ｌ）：（X5／Ｌ）となるように設定されている。

【００４４】従って、ステッピングモータ４１によって
シャフト４３が回転されると、そのシャフト４３に固定
された端面カム４４ａ〜４４ｅの回転角に応じて、基準
となる電極２４ａから各電極群２５ａ〜２５ｅまでの距
離Ｘ１の位置の比に応じて各コンタクトユニット３１ａ
〜３１ｅが移動する。

【００４５】更にまた、図１に示すように、接続装置１
１には、ずれ量測定手段としての１対のカメラ５１，５
２が設けられている。カメラ５１，５２は、被試験パネ
ル２３に発生する基準パネルに対するずれを測定するた
めに設けられている。両カメラ５１，５２は、予め基準
となる位置に設置されている。基準となる位置は、被試
験パネル２３の設計上の両端の端子２４ａ，２４ｂに対
応した位置である。尚、図１では、両カメラ５１，５２
は、被試験パネル２３とコンタクトユニット３１ａ，３
３ｅとの間に示されているが、実際には、図２に示すよ
うに、被試験パネル２３の端部上方に図示しない固定具
により配設されている。

【００４６】両カメラ５１，５２は、被試験パネル２３
の両端の電極２４ａ、２４ｂ付近を画像として取り込
む。そして、両カメラ５１，５２は、それぞれ取り込ん
だ画像を制御装置１２に出力する。

【００４７】次に、制御装置１２について説明する。ず
れ量測定手段、比例移動手段、距離測定手段、差演算手
段、及び、駆動手段としての制御装置１２は、コンピュ
ータよりなり、被試験パネル２３を検査するための検査
プログラムが予め格納されている。制御装置１２には、
ステッピングモータ２２，４１が接続されている。

【００４８】また、制御装置１２には、電源回路１２ａ
が設けられている。電源回路１２ａは、被試験パネル２
３を検査するための電気信号を出力する検査用駆動回路
であり、図では省略してあるが各コンタクトユニット３
１ａ〜３１ｅの検査用プローブ３３ａ〜３３ｅに接続さ
れている。

【００４９】制御装置１２は、検査プログラムに基づい
て、被試験パネル２３のずれ量を測定する。その測定結
果に基づいて、制御装置１２は、ステッピングモータ２
２，４５を駆動制御して、被試験パネル２３の各電極群
２５ａ〜２５ｅと、各コンタクトユニット３１ａ〜３１
ｅの位置合わせを行う。そして、制御装置１２は、図２
に示されるエアシリンダ３８を制御してクランパ３９を
用いて検査用プローブ３３ａ〜３３ｅを被試験パネル２
３の各電極２４に接続する。更に、制御装置１２は、電
源回路１２ａから検査用の電気信号を検査用プローブ３
３ａ〜３３ｅを介して被試験パネル２３に供給し、その
被試験パネル２３の試験を行う。

【００５０】制御装置１２は、予め記憶された検査プロ
グラムに基づいて動作し、被試験パネル２３の各電極群
２５ａ〜２５ｅに検査用プローブ３３ａ〜３３ｅを接続
し、電源回路１２ａから検査用の電気信号を検査用プロ
ーブ３３ａ〜３３ｅを介して被試験パネル２３に供給
し、その被試験パネル２３の試験を行う。

【００５１】その検査プログラムにおいて、制御装置１
２は、先ず、被試験パネル２３のずれ量を測定する。そ
のずれ量の測定には、カメラ５１，５２から入力される
画像データに基づいて行われる。

【００５２】制御装置１２は、両カメラ５１，５２によ
り得られた画像に基づいて、被試験パネル２３の両端の
端子２４ａ，２４ｂが、それぞれ画面のどの位置に写る
かによって端子間距離Ｌ１を測定する。

【００５３】尚、図１において、電極２４の位置は、設
計上の位置として図示されており、実際の被試験パネル
２３においては、電極加工工程での熱処理の影響や、熱
膨張などによりずれた端子２４のうち、両端の端子２４
のみを示している。このずれたときの両端の端子２４
と、設計上の両端の端子２４ａ、２４ｂとを区別するた
め、位置がずれたときの両端の端子２４を、以下、端子
２４ｃ，２４ｄとする。また、設計寸法通りの架空の表
示パネルを、以下、基準パネルという。即ち、図１に示
される端子２４は基準パネルの端子位置であり、端子２
４ｃ、２４ｄは、被試験パネル２３の端子位置を示して
いる。

【００５４】従って、制御装置１２は、両カメラ５１，
５２により得られた画像に基づいて、被試験パネル２３
両端の端子２４ｃ，２４ｄ間の距離Ｌ１を測定する。ま
た、制御装置１２には、予め基準パネル両端の端子２４
ａ，２４ｂ間の距離Ｌが記憶されている。制御装置１２
は、測定した距離Ｌ１と、予め記憶されている距離Ｌと
に基づいて、被試験パネル２３に生じたずれ量ΔＬを演
算する。そのずれ量ΔＬは、ΔＬ＝Ｌ１−Ｌとなる。

【００５５】制御装置１２は、この演算したずれ量ΔＬ
に基づいて、被試験パネル２３が合格品か否かを判断す
る。制御装置１２は、ずれ量ΔＬが所定値以下の場合、
制御装置１２は、その時の被試験パネル２３を合格品と
判断し、所定値以上の場合、制御装置１２はその時の被
試験パネル２３を不合格品と判断する。この判断基準と
なる値は、コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅの最大移
動可能量に基づいて設定されている。

【００５６】即ち、コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
が最大に移動しても、被試験パネル２３のずれが解消で
きない、即ち、被試験パネル２３の各電極２４に検査用
プローブ３３ａ〜３３ｅを接続できないほどずれた被試
験パネル２３を不合格品とするわけである。例えば、最
大移動可能量を２mmとした場合、本実施形態において、
制御装置１２は、ずれ量ΔＬが０〜１mmの範囲内の被試
験パネル２３を合格品として判断するように設定されて
いる。

【００５７】被試験パネル２３が合格品の場合、制御装
置１２は、次に、ステッピングモータ２２を駆動制御し
てステージ２１を移動させ、被試験パネル２３の端子２
４ｃを基準パネルの端子２４ａの位置に移動させる。次
に、制御装置１２は、ステッピングモータ４１を駆動制
御して、演算したずれ量ΔＬに基づいて、そのずれ量Δ
Ｌに対応した角度だけ端面カム４４ａ〜４４ｅを回動さ
せる。

【００５８】すると、各コンタクトユニット３１ａ〜３
１ｅは、それぞれ被試験パネル２３のずれ量と、各電極
群２５ａ〜２５ｅの位置の比に応じて移動する。その結
果、各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅは、各電極群
２５ａ〜２５ｅに相対する位置に移動する。そして、制
御装置１２は、各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅの
クランプユニット３７を制御し、検査用プローブ３３ａ
〜３３ｅを電極２４に接続する。

【００５９】この時、各端面カム４４ａ〜４４ｅは、カ
ム比が（X1／Ｌ）：（X2／Ｌ）：（X3／Ｌ）：（X4／
Ｌ）：（X5／Ｌ）に設定されている。そのため、各コン
タクトユニット３１ａ〜３１ｅの移動量は、ずれ量ΔＬ
と各端面カム４４ａ〜４４ｅのカム比とに基づいた量だ
け移動する。

【００６０】そして、各コンタクトユニット３１ａ〜３
１ｅの移動量は、各電極群２５ａ〜２５ｅのずれ量とほ
ぼ等しくなる。例えば、ステッピングモータ４１の誤差
０．０５゜以内である。これは、ステッピングモータ４
１の１回転当たりの駆動ステップ数に基づく。そして、
最も移動量が大きく設定された端面カム４４ｅの場合、
その移動量は、その端面カム４４ｅが１８０゜回転した
場合に最大となり、この移動量を例えば２mmに設定され
ているものとする。すると、この場合の移動量の誤差
は、約０．５×１０＾−３mm（＝０．５ミクロン）とな
る。この移動量の誤差は、電極幅Ｗ（＝０．１５mm）及
び電極ピッチＰ（＝０．３mm）に比べて非常に小さいた
め、電極２４と検査用プローブ３３ａ〜３３ｅの接続に
影響はない。

【００６１】そして、検査用プローブ３３ａ〜３３ｅと
電極２４との接続が終了すると、制御装置１２は、電源
回路１２ａから検査用の電気信号を各検査用プローブ３
３ａ〜３３ｅを介して被試験パネル２３に供給して被試
験パネル２３を点灯させ、被試験パネル２３の検査を行
う。

【００６２】尚、図１においては、被試験パネル２３の
１辺に形成された電極に対する検査用プローブ３３ａ〜
３３ｅを位置合わせする機構についてのみを示してい
る。そして、実際には、被試験パネル２３の複数の辺に
電極が形成されており、各辺に形成された電極に接続さ
れる検査用プローブが用意されている。しかしながら、
各辺に形成された電極に対する検査用プローブの位置合
わせの構成及び動作はそれぞれ同じであるため、他の辺
に対する構成の図面及び動作の説明を省略する。

【００６３】以上記述したように、本実施の形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 （１）被試験パネル２３の辺には、複数の電極２４より
なる電極群２５ａ〜２５ｅが互いに離間して複数形成さ
れる。パネル試験装置１０には、各電極群２５ａ〜２５
ｅに対応したコンタクトユニット３１ａ〜３１ｅが備え
られる。各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅには、電
極群２５ａ〜２５ｅを構成する複数の電極２４に接続さ
れる検査用プローブ３３ａ〜３３ｅがそれぞれ備えら
れ、複数の電極群２５ａ〜２５ｅに対応する位置にそれ
ぞれ設けられる。また、各コンタクトユニット３１ａ〜
３１ｅに備えられたカムフォロア３５ａ〜３５ｅは、基
準端子２４ａ，２４ｂ間の距離Ｌと、予め設定された基
準となる電極２４ａから各電極群２５ａ〜２５ｅを代表
する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設
定された端面カム４４ａ〜４４ｅにそれぞれ当接され
る。そして、制御装置１２は、カメラ５１，５２により
得られた画像に基づいて、被試験パネル２３のずれ量を
測定し、そのずれ量に応じた角度だけ端面カム４４ａ〜
４４ｅを回転駆動し、各コンタクトユニット３１ａ〜３
１ｅを移動させるようにした。

【００６４】その結果、各コンタクトユニット３１ａ〜
３１ｅは、各電極群２５ａ〜２５ｅのずれ量に応じただ
け移動するので、各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
は、各電極群２５ａ〜２５ｅに相対する位置に移動す
る。従って、大型の被試験パネル２３が熱処理の影響や
熱膨張などにより電極２４の位置がずれても、各電極群
２５ａ〜２５ｅと各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
とを精度良く位置合わせすることができる。そして、検
査用プローブ３３ａ〜３３ｅを目的とする電極２４に精
度良く接続することができる。

【００６５】尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の
態様で実施してもよい。 （１）上記実施形態において、端面カム４４ａ〜４４ｅ
に代えて、正面カム，みぞカム等の平面カム、円筒カ
ム，円錐カム等の立体カム、等の様々なカムを用いて実
施する。

【００６６】（２）上記実施形態では、端面カム４４ａ
〜４４ｅを用いて各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
をそれぞれ電極群２５ａ〜２５ｅのずれ量に応じて移動
させる比例移動手段を構成したが、その移動手段の構成
をプーリを用いた構成や、リンク機構等に適宜変更して
実施しても良い。

【００６７】例えば、図４に示すように、シャフト４３
に一体回転可能に取着された主動側プーリ５１と、コン
タクトユニット３１ａ側に設けられた従動側プーリ５２
とをタイミングベルト５３により連結する。従動側プー
リ５２には、ボールネジ５４が一体回転可能に取着さ
れ、そのボールネジ５４の回転に応じてジョイント部５
５を介してコンタクトユニット３１ａがガイドレール３
４ａに沿って移動する。そして、主動側プーリ５１の半
径を、各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅの位置に応
じて比例的に変更する。この構成により、上記実施形態
と同じ効果を奏する。

【００６８】また、図４に示す構成において、主動側プ
ーリ５１の半径を各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅ
において同一とし、従動側プーリ５２の半径を比例的に
変更する。また、主動側プーリ５１と従動側プーリ５２
の半径を同一とし、ボールネジ５４のピッチを変更す
る。更に、従動側プーリ５３の半径を同一とし、主動側
プーリ５１とボールネジ５４のピッチとによりコンタク
トユニット３１ａ〜３１ｅの移動量を比例関係とする。
更にまた、従動側プーリ５２とボールネジ５４、主動側
プーリ５１と従動側プーリ５２とボールネジ５４のピッ
チとによりコンタクトユニットの移動量を設定する。こ
れらのうちのいずれの場合にも、上記実施形態と同じ効
果を奏する。

【００６９】（３）上記実施形態において、ステッピン
グモータ４１を各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅに
備える。この場合、上記実施形態の端面カム４４ａ〜４
４ｅを各コンタクトユニット３１ａ〜３１ｅに備えられ
たステッピングモータを同一角度だけ回転駆動し、各端
面カム４４ａ〜４４ｅを回動させる。

【００７０】また、各コンタクトユニット３１ａ〜３１
ｅの端面カム４４ａ〜４４ｅを同一形状（変位量が同
じ）とし、制御装置１２は、各コンタクトユニット３１
ａ〜３１ｅにそれぞれ備えられたステッピングモータを
駆動するパルス数を各ユニット３１ａ〜３１ｅに対応し
て比例した値に設定し、各ステッピングモータに供給す
る。この構成によっても、各コンタクトユニット３１ａ
〜３１ｅは、それぞれ移動量が比例関係となり、検査用
プローブ３３ａ〜３３ｅを精度良く電極２４に位置合わ
せすることができる。

【００７１】（４）上記実施形態では、５個のコンタク
トユニット３１ａ〜３１ｅの場合について説明したが、
例えば、コンタクトユニットの数を４個以下、又は、６
個以上に適宜変更して実施する。

【００７２】（５）上記実施形態において、被試験パネ
ル２３として、ＰＤＰ以外の平面表示パネル、例えば、
液晶表示パネル（ＬＣＤ）、ＥＬ（エレクトロルミネセ
ントディスプレイ）パネル、ＦＥＤ等の検査装置に応用
する。

【００７３】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１乃至５に
記載の発明によれば、大型表示パネルの電極と検査用端
子とを精度良く接続することが可能な位置合わせ装置を
提供することができる。

【００７４】また、請求項６に記載の発明によれば、大
型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続して
検査を行うことが可能なパネル検査装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の表示パネル検査装置の概略構成図。

【図２】 コンタクトユニットの概略側面図。

【図３】 (a) は端面カムの斜視図、(b) は(a) のカム
線図。

【図４】 別のコンタクトユニットの概略平面図。

【図５】 平面表示パネルの電極を示す一部拡大図。

【符号の説明】

１２ ずれ量測定手段、比例移動手段、距離測定手段、
差演算手段、及び、駆動手段としての制御装置 ２３ 被試験パネル ２４ 電極 ２５ａ〜２５ｅ 電極群 ３１ａ〜３１ｅ コンタクトユニット ３３ａ〜３３ｅ 検査用プローブ ３４ａ〜３４ｅ 比例移動手段としてのガイドレール ３５ａ〜３５ｅ 比例移動手段としてのカムフォロア ３７ クランプユニット ４１ 駆動手段としてのステッピングモータ ４３ 比例移動手段としてのシャフト ４４ａ〜４４ｅ 比例移動手段としてのカム（端面カ
ム） ５１，５２ ずれ量測定手段としてのカメラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０４Ｎ 17/04 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｋ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被試験パネルの周辺に沿って配列された
   電極に接続する検査用プローブの位置を決定する位置合
   わせ装置であって、 被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電極群が互
   いに離間して複数形成され、 前記電極群を構成する複数の電極に接続される検査用プ
   ローブをそれぞれ備え、前記複数の電極群に対応する位
   置にそれぞれ設けられた複数のコンタクトユニットと、 被試験パネルのずれ量を測定するずれ量測定手段と、 前記測定結果のずれ量に応じて、前記複数のコンタクト
   ユニットを比例的に移動させる比例移動手段とを備えた
   位置合わせ装置。
2. 【請求項２】 前記ずれ量測定手段は、 前記被試験パネルの辺に沿って配列された両端の電極の
   画像を取り込むカメラと、 前記画像に基づいて、前記両端の電極間距離を測定する
   距離測定手段と、 前記測定結果の電極間距離と、予め記憶された基準とな
   る基準端子間距離との差を演算する差演算手段とから構
   成され、 前記比例移動手段は、前記演算結果のずれ量を基に、各
   プローブユニットを比例的に移動させるようにした請求
   項１に記載の位置合わせ装置。
3. 【請求項３】 前記比例移動手段は、 前記被試験パネルの辺に配列された一端の電極を予め設
   定された基準電極位置に移動させた後、前記演算結果の
   ずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させ
   るようにした請求項２に記載の位置合わせ装置。
4. 【請求項４】 前記比例移動手段は、 前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に
   沿って移動可能に支持するガイドレールと、 前記各コンタクトユニットに備えられたカムフォロア
   と、 前記各コンタクトユニットに対応して設けられ、前記基
   準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各
   電極群を代表する位置までの距離との比に応じて変位量
   がそれぞれ設定されたカムと、 前記カムを前記ずれ量に応じて回転駆動する駆動手段と
   から構成された請求項１乃至３に記載の位置合わせ装
   置。
5. 【請求項５】 前記比例移動手段は、 前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に
   沿って移動可能に支持するガイドレールと、 前記ずれ量を基に、シャフトを回転駆動する駆動手段
   と、 前記シャフトに備えられた主動側プーリと、 前記主動側プーリによりタイミングベルトを介して回転
   駆動される従動側プーリと、 前記従動側プーリにより回転駆動され、その回転により
   前記コンタクトユニットを移動させるボールネジとから
   構成され、 前記主動側プーリと従動側プーリとボールネジのうちの
   １つ、又は、２つ以上の組み合わせにより前記各コンタ
   クトユニットの移動量を、前記基準端子間距離と、予め
   設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置
   までの距離との比に設定した請求項１乃至３に記載の位
   置合わせ装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５に記載の位置合わせ装置
   と、 前記検査用プローブを前記被検査パネルに接続するクラ
   ンプユニットと、 前記検査用プローブを介して被検査パネルに対して検査
   用の電気信号を供給する検査用駆動回路とを備えたパネ
   ル検査装置。