KR20240043198A - Oled 원장 점등 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 OLED 원장에서 OLED 기판들에 대한 점등검사를 신속하고 정밀하게 수행하는 OLED 원장 점등 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치는 OLED 원장(A)이 놓여지는 스테이지(100)와, 상기 스테이지의 외측에 좌우로 설치된 한 쌍의 y축이송유닛(300)과, 상기 y축이송유닛을 따라 이동하면서 OLED 원장(A)에 형성된 OLED 기판들의 전극패드들과 컨택되는 컨택유닛(400)과, 상기 컨택유닛이 OLED 원장과 평형상태를 이루도록 컨택유닛의 y축 각도를 보정하는 제1각도보정부(500)와, 상기 y축이송유닛을 따라 이동하면서 상기 컨택유닛에 컨택되어 점등된 OLED 기판들을 촬영하는 카메라유닛(700)과, 상기 카메라유닛로부터 입력되는 이미지 데이터를 통해 OLED 기판의 화소 이상 유무를 판단하는 제어부를 포함한다.

Description

OLED 원장 점등 검사 장치{OLED mother substrate light inspection apparatus}

본 발명은 OLED 원장에서 OLED 기판들에 대한 점등검사를 신속하고 정밀하게 수행하는 OLED 원장 점등 검사 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 다양한 정보화 사회의 요구에 따라 전자 디스플레이도 다양한 형태로 개발 상용화되고 있다.

이중, OLED는 유기화합물을 사용해 자체 발광시키는 차세대 디스플레이로서, 화질의 반응속도가 LCD에 비해 1000배 이상 빠르며, 15V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고 제품을 초박형으로 설계할 수 있고 시야각이 넓으면서 높은 휘도를 나타낸다는 여러가지 장점들 때문에 각광을 받고 있다.

이와 같은 OLED 기판은 제작과정에서 화소의 불량 유무를 확인하는 점등검사공정을 필수적으로 거치게 된다.

이러한 점등검사는 다음과 같은 순서로 이루어진다.

먼저, OLED 기판이 스테이지로 이송되면, 스테이지에 설치된 얼라인부재를 통해 컨택유닛과 OLED 기판 사이의 얼라인이 이루어진다.

그리고, 컨택유닛이 하강하여 컨택유닛에 구비된 프로브들이 OLED 기판에 협피치로 형성된 다수의 전극패드와 일대일로 컨택되면 OLED 기판에 전원이 인가되면서 OLED 기판이 점등되며, 스테이지 상부에 설치된 카메라유닛이 점등된 OLED 기판을 촬영하여 화소 이상 유무를 검사한다.

한편, 상기와 같은 OLED 기판의 점등 검사는 공정의 효율상, OLED 기판들이 원장에서 분할되기 이전에 OLED 원장에서 이루어지는 것이 매우 유리한 것으로 알려져 있는바, 각 제조사들은 OLED 원장에서 OLED 기판의 점등 검사를 수행할 수 있는 OLED 원장 점등 검사 장치의 개발에 주력하고 있다.

그러나, OLED 기판이 대형화되는 추세에 따라 OLED 원장의 직경이 3m에 이를 정도로 대형화되고 있기 때문에 OLED 원장의 미세한 변화에도 위치편차가 심하게 발생된다.

따라서, 스테이지에 설치된 종래의 얼라인부재만으로는 OLED 원장과 컨택유닛과의 정밀한 얼라인을 수행하기가 매우 어렵다는 문제가 있다.

국내등록특허공보 제10-0538796호

본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, OLED 원장과 컨택유닛과의 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있는 OLED 원장 점등 검사 장치를 제공함에 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 OLED 원장 점등 검사 장치는 OLED 원장이 놓여지는 스테이지와, 상기 스테이지의 외측에 좌우로 설치된 한 쌍의 y축이송유닛과, 상기 y축이송유닛을 따라 전후로 이동하면서 OLED 원장에 형성된 OLED 기판들의 전극패드들과 컨택되는 컨택유닛과, 상기 컨택유닛이 OLED 원장과 평형상태를 이루도록 컨택유닛의 y축 각도를 보정하는 제1각도보정부와, 상기 y축이송유닛을 따라 전후로 이동하면서 상기 컨택유닛에 컨택되어 점등된 OLED 기판들을 촬영하는 카메라유닛과, 상기 카메라유닛로부터 입력되는 이미지 데이터를 통해 OLED 기판의 화소 이상 유무를 판단하는 제어부를 포함한다.

또한, 상기 제1각도보정부는 상기 y축이송유닛을 따라 이동하는 x축 얼라인부재와, 상기 x축 얼라인부재의 상부에 설치되어 x축 얼라인부재를 따라 좌우로 이동하는 승강유닛과, 상기 승강유닛과 컨택유닛의 단부를 연결하는 y축 회전유닛과, 상기 컨택유닛에 설치되어 OLED 원장에 대한 OLED 원장의 기울어짐을 감지하는 적어도 하나 이상의 변위센서와, 상기 변위센서로부터 입력되는 변위데이터로부터 y축 각도보정값을 추출하여 y축 회전유닛의 구동을 제어하는 y축 회전유닛 제어부를 구비할 수 있다.

이 경우, 상기 y축 회전유닛 제어부는 컨택유닛이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 y축 각도보정이 이루어지도록 컨택유닛의 일측단에 설치된 y축 회전유닛의 구동을 제어할 수 있다.

한편, 상기 변위센서는 스테이지에 레이저를 조사하여 컨택유닛과 스테이지 사이의 거리를 측정하는 레이저 변위센서일 수 있다.

아울러, 상기 변위센서는 컨택유닛을 따라 x축 방향으로 좌우로 이동하면서 변위량을 측정하도록 구성될 수도 있다.

본 발명에 따르면, 상기 컨택유닛이 OLED 원판과 좌우방향으로 동일 x축선상에 위치하도록 컨택유닛의 z축 각도를 보정하는 제2각도보정부를 더 구비할 수 있다.

이 경우, 상기 제2각도보정부는 상기 컨택유닛에 설치되어 OLED 원장에 표시된 얼라인마크를 촬영하는 얼라인카메라와, 상기 컨택유닛의 양측단에 설치된 z축 회전유닛과, 상기 얼라인카메라로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 z축 각도보정값을 추출하여 상기 z축 회전유닛의 구동을 제어하는 z축 회전유닛 제어부를 구비할 수 있다.

아울러, 상기 z축 회전유닛 제어부는 컨택유닛이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 z축 각도보정이 이루어지도록 컨택유닛의 일측단에 설치된 z축 회전유닛의 구동을 제어할 수 있다.

또한, 상기 스테이지에는 xy축 얼라인유닛과, 상기 얼라인카메라로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 xy축 얼라인유닛의 구동을 제어하는 xy축 얼라인유닛 제어부가 구비될 수도 있다.

한편, 상기 컨택유닛은 중앙이 아래로 처지는 것을 막도록 단면계수를 최대화하는 단면 형태를 가지는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 컨택유닛의 단면은 x축 및 y축 방향의 밑변 길이 보다 z축 방향의 측변 길이가 긴 직사각형 형태로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 컨택유닛이 중앙이 아래로 처지는 것을 막도록, 상기 컨택유닛의 상면에는 형성된 적어도 하나 이상의 홈부가 형성되고, 상기 홈부에는 홈부로의 진입이 심화됨에 따라 컨택유닛의 상면에 x축 방향의 응력을 부여하는 쐐기가 삽입될 수도 있다.

이 경우, 상기 홈부의 바닥에 나사공이 형성되고 상기 쐐기에는 상기 나사공에 체결되는 조임볼트가 끼워지는 볼트결합공이 형성될 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치는 컨택유닛이 OLED 원장과 평형상태를 이루도록 컨택유닛의 각도를 보정하는 제1각도보정부를 구비하고 있기 때문에 OLED 원장과 컨택유닛과의 얼라인을 정밀하게 수행할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 컨택유닛이 OLED 원장과 동일선상에 위치하도록 컨택유닛의 각도를 보정하는 제2각도보정부를 구비하는 경우 OLED 원장과 컨택유닛과의 얼라인을 더욱 정밀하게 수행할 수 있는 효과가 있다.

아울러, 본 발명은 LED 원장과 컨택유닛과의 얼라인이 정밀하게 수행됨에 따라 상기 컨택유닛을 OLED 원장에 대응되게 대형으로 제작하여 다수의 OLED 기판에 대한 일괄검사가 가능해지며, 이로 인하여 OLED 원판의 점등검사를 신속하게 수행할 수 있는 효과도 기대할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치의 요부사시도.
도 3은 도 2의 정면도.
도 4는 도 2의 평면도.
도 5는 도 2의 후방 요부사시단면도.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

아울러, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.

예컨대, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 아울러, "포함한다" 또는 "구비한다" 또는 "가진다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.

아울러, 본 명세서에서 사용한 "제1", "제2" 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않으며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

이하, 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명함에 있어, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하며, 명료성을 위하여 가능한 중복되지 않게 상이한 부분만을 주로 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치의 요부사시도이며, 도 3은 도 2의 정면도이고, 도 4는 도 2의 평면도이며, 도 5는 도 2의 후방 요부사시단면도로서, 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치는 OLED 원장(A)이 놓여지는 스테이지(100)와 y축이송유닛(300)과 컨택유닛(400)과 제1각도보정부(500)와 카메라유닛(700)과 제어부를 포함한다.

상기 y축이송유닛(300)은 스테이지(100)의 외측에 좌측과 우측으로 각각 설치된다.

상기 y축이송유닛(300)은 스테이지(100)의 외측에 좌측과 우측으로 각각 설치된 이송레일과 상기 이송레일을 따라 일정구간을 왕복이동하는 이동자를 구비한 직선이동부재로서, 상기 이동자의 구동방식은 특별히 한정하지 않는다.

상기 컨택유닛(400)은 양단이 상기 y축이송유닛(300)에 지지되어 상기 y축이송유닛(300)을 따라 전후방향으로 일정거리를 왕복 이동하도록 설치되며, 이동과정에서 자체적으로 하강하면서 얼라인된 OLED 원장(A)에 형성된 OLED 기판들의 전극패드를 컨택한다.

상기 컨택유닛(400)은 단일로 설치될 수도 있고 OLED 기판에 대응되도록 일정간격을 두고 복수로 설치될 수 있다. 컨택유닛(400)이 복수로 설치되면 설치수량에 비례하여 검사횟수와 검사시간을 단축시킬 수 있게 된다.

상기 컨택유닛(400)은 통상의 OLED 기판을 검사하는 컨택유닛(400)과 그 구성 및 작용이 대동소이하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 상기 제1각도보정부(500)는 컨택유닛(400)이 OLED 원장(A)과 평형상태를 이루도록 컨택유닛(400)의 y축 각도를 보정한다.

이 경우, 상기 제1각도보정부(500)는 상기 y축이송유닛(300)을 따라 이동하는 x축 얼라인부재(510)와, 상기 x축 얼라인부재(510)의 상부에 설치되어 x축 얼라인부재(510)를 따라 좌우로 이동하는 승강유닛(520)과, 상기 승강유닛(520)과 컨택유닛(400)의 단부를 연결하는 y축 회전유닛(530)과, 상기 컨택유닛(400)에 설치되어 OLED 원장(A)에 대한 컨택유닛(400)의 기울어짐을 감지하는 적어도 하나 이상의 변위센서(540)와, 상기 변위센서(540)로부터 입력되는 변위데이터로부터 y축 각도보정값을 추출하여 y축 회전유닛(530)의 구동을 제어하는 y축 회전유닛 제어부(도시 안됨)를 구비할 수 있다.

상기 x축 얼라인부재(510) 및 승강유닛(20)은 통상의 직선이동부재로서 구동방식은 특별히 한정하지 않는다.

따라서, 상기 변위센서(540)가 컨택유닛(400)과 스테이지(100) 사이의 거리를 측정하면, y축 회전유닛 제어부가 스테이지(100)를 기준으로 컨택유닛(400)이 스테이지(100)를 기준으로 얼마나 기울어졌는지를 연산하여 y축 각도보정값을 추출한 후에 y축 각도보정값에 대응되게 y축 회전유닛(530)을 구동시킨다. 이렇게 하면, 컨택유닛(400)이 y축 회전유닛(530)을 중심으로 각도가 변경되면서 OLED 원장(A)과 평형을 이루게 된다.

이때, 상기 y축 회전유닛 제어부는 컨택유닛(400)의 y축 각도보정이 정밀하게 이루어지도록 컨택유닛(400)의 일측단에 설치된 y축 회전유닛(530)의 구동을 제어하는 것이 바람직하다. 즉, 컨택유닛(400)의 일측단은 고정단이 되고 타측단은 자유단이 되는 것이다. 이렇게 하면, 상기 컨택유닛(400)이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 y축 각도보정이 정밀하게 이루어지게 된다.

한편, 상기 컨택유닛(400)의 타측단에 설치된 승강유닛(520)과 y축 회전유닛(530)과 x축 얼라인부재(510)는 선회하는 컨택유닛(400)의 타측단을 따라 자유이동하게 되며, 이로 인해 컨택유닛(400)의 선회동작은 자연스럽게 이루어지게 된다.

이를 감안할 할때, 컨택유닛(400)의 일측단의 제1각도보정부(500)에는 x축 얼라인부재(510)가 배제될 수 있다.

아울러, 상기 변위센서(540)는 정밀도를 높일 수 있도록 스테이지(100)에 레이저를 조사하여 컨택유닛(400)과 스테이지(100) 사이의 거리를 측정하는 레이저 변위센서인 것이 바람직하다.

아울러, 상기 변위센서(540)는 컨택유닛(400)을 따라 x축 방향으로 이동하면서 센싱을 수행하도록 설치될 수도 있고, 컨택유닛(400)을 따라 x축 방향으로 일정간격을 두고 복수로 고정 설치될 수도 있다.

본 발명에 따르면, 상기 컨택유닛(400)이 OLED 원장(A)과 동일 x축선상에 위치하도록 컨택유닛(400)의 z축 각도를 보정하는 제2각도보정부(600)를 구비할 수 있다.

이 경우, 상기 제2각도보정부(600)는 컨택유닛(400)에 설치되어 OLED 원장(A)에 표시된 얼라인마크를 촬영하는 얼라인카메라(610)와, 상기 컨택유닛(400)의 양측단에 설치된 z축 회전유닛(620)과, 상기 얼라인카메라(610)로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 z축 각도보정값을 추출하여 상기 z축 회전유닛(620)의 구동을 제어하는 z축 회전유닛 제어부(도시 안됨)를 구비할 수 있다.

따라서, 상기 얼라인카메라(610)가 OLED 원장(A)에 표시된 얼라인마크를 촬영하면 z축 회전유닛 제어부가 OLED 원장(A)을 기준으로 컨택유닛(400)이 x축 방향으로 얼마나 기울어졌는지를 연산하여 z축 각도보정값을 추출한 후에 z축 각도보정값에 대응되게 z축 회전유닛(620)을 구동시킨다. 이렇게 하면, 컨택유닛(400)이 z축 회전유닛(620)을 중심으로 각도가 변경되면서 OLED 원장(A)과 동일 x축선상에 위치하게 된다.

이때, 상기 z축 회전유닛 제어부는 컨택유닛(400)의 일측단에 설치된 z축 회전유닛(620)의 구동을 제어하는 것이 바람직하다. 즉 컨택유닛(400)의 일측단은 고정단이 되고 타측단은 자유단이 되는 것이다. 이렇게 하면, 컨택유닛(400)이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 컨택유닛(400)의 z축 각도보정이 정밀하게 이루어지게 된다.

한편, 상기 컨택유닛(400)의 타측단에 설치된 x축 얼라인부재(510)와 y축 이송유닛(300)은 선회하는 컨택유닛(400)의 타측단을 따라 자유이동하게 되며, 이로 인해 컨택유닛(400)의 선회동작은 자연스럽게 이루어지게 된다.

본 발명에 따르면, 상기 스테이지(100)에는 xy축 얼라인유닛(200)과, 상기 얼라인카메라(610)로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 xy축 얼라인유닛(200)의 구동을 제어하는 xy축 얼라인유닛 제어부(도시 안됨)가 설치될 수도 있다.

이 경우, 상기 xy축 얼라인유닛(200)은 스테이지(100)의 하부에 설치되어 스테이지(100)를 x축과 y축으로 이동시켜 스테이지(100)에 놓여진 OLED 원장(A)의 얼라인을 수행한다.

상기 xy축 얼라인유닛(200)은 x축 직선이동부재와 y축 직선이동부재를 통해 x축이동과 y축 이동을 동시에 수행할 수 있는 장치로서, 각 직선이동부재의 구동방식은 특별히 한정하지 않는다.

상기 카메라유닛(700)은 상기 y축이송유닛을 따라 이동하면서 상기 컨택유닛(400)에 컨택되어 점등된 OLED 기판들을 촬영한다.

상기 카메라유닛(700)은 y축이송유닛(300)를 따라 y축 방향으로 이동하는 컨택유닛(400)을 따라 y축으로 이동할 수 있도록 설치된다.

상기 카메라유닛(700)은 단일로 설치될 수도 있고 컨택유닛(400)에 대응되도록 일정간격을 두고 복수로 설치될 수 있다. 카메라유닛(700)이 복수로 설치되면 설치수량에 비례하여 검사횟수와 검사시간을 단축시킬 수 있게 된다.

그리고, 상기 제어부(도시 안됨)는 카메라유닛(700)로부터 입력되는 이미지 데이터를 통해 OLED 기판의 화소 이상 유무를 판단한다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 OLED 원장 점등 검사 장치는 다음과 같이동작된다.

먼저, 스테이지(100)에 검사대상이 되는 OLED 원장(A)이 놓여지면 xy축 얼라인유닛(200)을 통해 OLED 원장(A)에 대한 얼라인이 이루어진다.

즉, 스테이지(100)에 검사대상이 되는 OLED 원장(A)이 놓여지면 얼라인카메라(610)가 OLED 원장(A)에 표시된 얼라인마크를 촬영하고, xy얼라인 유닛 제어부가 얼라인카메라(610)로부터 입력되는 이미지데이터를 통해 OLED 원장(A)의 x축 방향 보정거리와 y축 방향 보정거리를 연산하여 xy얼라인 유닛(200)을 구동시키게 되면, 상기 스테이지(100)가 xy방향으로 이동하면서 OLED 원장(A)에 대한 얼라인이 이루어지게 되는 것이다.

그리고, OLED 원장(A)의 얼라인이 완료되면 컨택유닛(400)에 대한 얼라인을 수행한다.

먼저, 컨택유닛(400)이 OLED 원장(A)과 평형을 이루도록 제1각도보정부(500)를 통해 y축 회전유닛(530)을 중심으로 각도가 변경되면서 1차얼라인이 이루어진다.

이때, 상기 컨택유닛(400)은 일측단의 y축회전유닛을 중심으로 타측단이 선회하는 방식으로 각도가 변경되므로 정밀한 얼라인이 보장된다.

1차얼라인을 통해 컨택유닛(400)과 스테이지(100)가 평형을 이루게 되면, 컨택유닛(400)이 OLED 기판과 동일 x선상에 위치하도록 제2각도보정부(600)를 통해 z축 회전유닛(620)을 중심으로 각도가 변경되면서 2차얼라인이 이루어진다.

이때, 상기 컨택유닛(400)은 일측단의 z축 회전유닛(620)을 중심으로 타측단이 선회하는 방식으로 각도가 변경되므로 정밀한 얼라인이 보장된다.

상기 컨택유닛(400)의 2차얼라인이 완료되면, 상기 컨택유닛(400)이 하강하여 OLED 원장(A)의 제1열에 위치한 OLED 기판들에 형성된 전극패드와 일대일로 컨택되면서 OLED 기판들이 점등하게 되며, 카메라유닛(700)이 점등된 OLED 패널들을 촬영한 후 촬영한 이미지데이터를 제어부로 전송하면, 상기 제어부가 상기 카메라유닛(700)로부터 입력되는 이미지 데이터를 통해 OLED 패널들의 화소 이상 유무를 판단한다.

상기와 같은 일련의 과정을 거쳐 점등 검사가 완료되면, 하강상태의 상기 컨택유닛(400)은 원위치로 상승 복귀하게 되며, 다음 검사대상이 되는 제2열에 위치한 OLED 기판으로 컨택유닛(400)과 카메라유닛(700)이 y축이송유닛(300)을 따라 함께 이동한 후, 상기와 같은 검사동작을 동일하게 반복하는 방식으로 OLED 원장(A) 내 모든 OLED기판에 대한 점등검사가 순차적으로 신속하고 정밀하게 이루어진다.

한편, OLED 원장(A)의 사이즈가 대형인 관계로 컨택유닛(400)의 x축 방향의 길이가 길어질 수밖에 없으며, 이로 인하여 컨택유닛(400)은 중앙이 미세하게 아래로 처지게 된다.

이러한 현상을 방지하도록 상기 컨택유닛(400))은 휨응력을 줄일 수 있도록 단면계수를 최대화하는 단면 형태를 갖는 것이 바람직하다.

예컨대, 상기 컨택유닛(400)은 x축 및 y축 방향의 밑변 길이 보다 z축 방향의 측변 길이가 긴 직사각형 형태로 이루어질 수 있다.

이와 같이, 컨택유닛(400)의 단면 높이가 커지게 되면 단면계수가 증가하면서 휨응력이 줄어들게 되므로 컨택유닛(400)의 처짐을 막을 수 있게 된다.

아울러, 상기 컨택유닛(400)의 중앙이 아래로 처지는 것을 막도록, 상기 컨택유닛(400)의 상면에는 형성된 적어도 하나 이상의 홈부(410)가 형성되고, 상기 홈부(410)에는 홈부(410)로의 진입이 심화됨에 따라 컨택유닛(400)의 상면에 x축 방향의 응력을 부여하는 쐐기(800)가 삽입될 수도 있다.

즉, 상기 쐐기(400)가 홈부(410)로 진입하게 되면 컨택유닛(400)의 상면에 쐐기(800)를 중심으로 x축 양방향에 대하여 응력이 발생된다. 그리고 이 응력에 의하여 컨택유닛(400)의 양단에 y축방향의 하향 반력이 작용하면서 아래로 처진 컨택유닛(400)의 중앙 부위가 상승하게 되는 것이다.

한편, 상기 홈부(410)의 바닥에는 나사공(420)이 형성되고 상기 쐐기(800)에는 상기 나사공(420)에 체결되는 조임볼트(810)가 끼워지는 볼트결합공(820)이 형성되는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 쐐기(800)의 볼트결합공(820)에 조임볼트(810)를 끼운 후 나사공(420)에 체결하게 되면 조임볼트(810)의 체결정도에 따라 홈부(410)에 대한 쐐기(800)의 진입 정도를 쉽고 정밀하게 조절할 수 있게 된다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 설명하였지만, 이하의 청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 개조 및 변화될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 포함되어야 한다.

100...스테이지 200...xy축 얼라인유닛
300...y축이송유닛 400...컨택유닛
410...홈부 420...나사공
500...제1각도보정부 510...x축 얼라인부재
520...승강유닛 530...y축 회전유닛
540...변위센서 600...제2각도보정부
610...얼라인카메라 620...z축 회전유닛
700...카메라유닛 800...쐐기
810...조임볼트 820...볼트결합공
A...OLED 원장

Claims (13)

1. OLED 원장이 놓여지는 스테이지;
   상기 스테이지의 외측에 좌우로 설치된 한 쌍의 y축이송유닛;
   상기 y축이송유닛을 따라 전후로 이동하면서 OLED 원장에 형성된 OLED 기판들의 전극패드들과 컨택되는 컨택유닛;
   상기 컨택유닛이 OLED 원장과 평형상태를 이루도록 컨택유닛의 y축 각도를 보정하는 제1각도보정부;
   상기 y축이송유닛을 따라 전후로 이동하면서 상기 컨택유닛에 컨택되어 점등된 OLED 기판들을 촬영하는 카메라유닛; 및
   상기 카메라유닛로부터 입력되는 이미지 데이터를 통해 OLED 기판의 화소 이상 유무를 판단하는 제어부를 포함하는 OLED 원장 점등 검사 장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 제1각도보정부는
   상기 y축이송유닛을 따라 이동하는 x축 얼라인부재;
   상기 x축 얼라인부재의 상부에 설치되어 상기 x축 얼라인부재를 따라 좌우방향으로 이동하는 승강유닛;
   상기 승강유닛과 컨택유닛의 단부를 연결하는 y축 회전유닛;
   상기 컨택유닛에 설치되어 OLED 원장에 대한 컨택유닛의 기울어짐을 감지하는 적어도 하나 이상의 변위센서; 및
   상기 변위센서로부터 입력되는 변위데이터로부터 y축 각도보정값을 추출하여 y축 회전유닛의 구동을 제어하는 y축 회전유닛 제어부를 구비하는 OLED 원장 점등 검사 장치.
3. 제 2항에 있어서,
   상기 y축 회전유닛 제어부는 컨택유닛이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 y축 각도보정이 이루어지도록 컨택유닛의 일측단에 설치된 y축 회전유닛의 구동을 제어하는 OLED 원장 점등 검사 장치.
4. 제 2항에 있어서,
   상기 변위센서는 스테이지에 레이저를 조사하여 컨택유닛과 스테이지 사이의 거리를 측정하는 레이저 변위센서인 것을 특징으로 하는 OLED 원장 점등 검사 장치.
5. 제 2항에 있어서,
   상기 변위센서는 컨택유닛을 따라 x축 방향으로 좌우로 이동하면서 변위량을 측정하도록 된 OLED 원장 점등 검사 장치.
6. 제 2항에 있어서,
   상기 컨택유닛이 OLED 원장과 좌우방향으로 동일 x축선상에 위치하도록 컨택유닛의 z축 각도를 보정하는 제2각도보정부를 구비한 OLED 원장 점등 검사 장치.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 제2각도보정부는
   상기 컨택유닛에 설치되어 OLED 원장에 표시된 얼라인마크를 촬영하는 얼라인카메라;
   상기 컨택유닛의 양측단에 설치된 z축 회전유닛; 및
   상기 얼라인카메라로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 z축 각도보정값을 추출하여 상기 z축 회전유닛의 구동을 제어하는 z축 회전유닛 제어부를 구비한 OLED 원장 점등 검사 장치.
8. 제 7항에 있어서,
   상기 z축 회전유닛 제어부는 컨택유닛이 일측단을 중심으로 타측단이 선회하면서 z축 각도보정이 이루어지도록 컨택유닛의 일측단에 설치된 z축 회전유닛의 구동을 제어하는 OLED 원장 점등 검사 장치.
9. 제 7항에 있어서,
   상기 스테이지에는 xy축 얼라인유닛과, 상기 얼라인카메라로부터 입력되는 촬영이미지를 통해 xy축 얼라인유닛의 구동을 제어하는 xy축 얼라인유닛 제어부가 구비된 OLED 원장 점등 검사 장치.
10. 제 1항에 있어서,
    상기 컨택유닛은 중앙이 아래로 처지는 것을 막도록 단면계수를 최대화하는 단면 형태를 가진 OLED 원장 점등 검사 장치.
11. 제 10항에 있어서,
    상기 컨택유닛의 단면은 x축 및 y축 방향의 밑변 길이 보다 z축 방향의 측변 길이가 긴 직사각형 형태로 이루어진 OLED 원장 점등 검사 장치.
12. 제 1항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 컨택유닛이 중앙이 아래로 처지는 것을 막도록,
    상기 컨택유닛의 상면에는 형성된 적어도 하나 이상의 홈부가 형성되고;
    상기 홈부에는 홈부로의 진입이 심화됨에 따라 컨택유닛의 상면에 x축 방향의 응력을 부여하는 쐐기가 삽입된 OLED 원장 점등 검사 장치.
13. 제 12항에 있어서,
    상기 홈부의 바닥에 나사공이 형성되고 상기 쐐기에는 상기 나사공에 체결되는 조임볼트가 끼워지는 볼트결합공이 형성된 OLED 원장 점등 검사 장치.

Images