JP2002251149A - 平面表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 一対のねじ軸を同期駆動させる一方のモータ
の不測な故障等に起因しての他方のモータの破損やねじ
軸の曲がり、その他、センサ載置フレームの変形といっ
た事態を確実に防止できるようにする。 【解決手段】 パネル載置ベースの両側に、回転軸線を
スキャン方向Ｙに向けてねじ軸３２を配置し、ねじ軸３
２に螺着の雌ねじ３３にスライドベース３０を取り付
け、かつ、ねじ軸３２に同期駆動されるモータ３４を連
結し、一方のスライドベース３０に、受光素子の配列方
向にスライド可能な第２のスライドベース３５を備え
て、この第２のスライドベース３５と他方のスライドベ
ース３０とにわたって、パネル表面に鉛直な方向の軸線
まわりで可動可能にセンサ載置フレーム３を枢着し、更
に、センサ載置フレーム３の回動検知センサ４６を備え
て、このセンサ４６からのフレーム回動の検知情報に基
づいてモータ３４を駆動停止させるように構成してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置（Li
quid Crystal Display）やプラズマ表示装置（Plasma D
isplay）などの平面表示装置に用いられる液晶セルやＰ
ＤＰ（Plasma Display Panel）などの平面表示パネルの
欠陥検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記の平面表示パネルの欠陥検査装置と
して、複数の受光素子を一直線上に配列してなるライン
センサの複数を、受光素子の配列方向に並べてフレーム
に載置すると共に、この複数のラインセンサによって平
面表示パネルの複数の画素を配列方向に直交する方向で
スキャンして、このラインセンサからの画素の輝度デー
タに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するようにし
たものがある。

【０００３】複数のラインセンサによって平面表示パネ
ルの複数の画素をスキャンする形態として、平面表示パ
ネルの載置ベースを固定的に設けて、複数のラインセン
サを並設したセンサ載置フレームを移動させるスキャン
の形態と、複数のラインセンサを並設したセンサ載置フ
レームを固定的に設けて、平面表示パネルの載置ベース
を移動させるスキャンの形態とが選択される。

【０００４】ここで、センサ載置フレームを移動させる
スキャンの構成によれば、パネル載置ベースをスキャン
させる構成に比較して、１枚の平面表示パネルに対する
欠陥検査のサイクルタイムが短くて済む利点がある。

【０００５】即ち、パネル載置ベースを移動させるスキ
ャンの形態では、ベースがホームポジションから一方の
移動端に往動する間に、平面表示パネルの画素をライン
センサでスキャンして、表示素子の輝度データをパソコ
ンの演算処理部に取り込む一方、ベースがホームポジシ
ョンに戻るのを待って、欠陥検査後の平面表示パネルを
次のステージに取り出し、次いで欠陥の検査対象とする
平面表示パネルをベースに供給することを繰り返し行う
ことになる。

【０００６】これに対して、センサ載置フレームを移動
させるスキャンの構成では、センサ載置フレームの移動
に伴って複数のラインセンサがベース上の平面表示パネ
ルをスキャンして、センサ載置フレームがホームポジシ
ョンに戻る遊びの間に、欠陥検査後の平面表示パネルを
次のステージに取り出し、更に時間的に余裕がある場合
は、次の欠陥検査対象の平面表示パネルをベースに供給
することができるのであって、センサ載置フレームがホ
ームポジションに戻る遊びの時間分、サイクルタイムが
短くなるのである。

【０００７】上記のセンサ載置フレームを移動させるス
キャンの形態をとる際の、このセンサ載置フレームのス
ライド装置として、固定的に備えるベースの両側に、回
転軸線をスキャン方向に向けてねじ軸を配置し、このね
じ軸のそれぞれにモータを連結する一方、ねじ軸に螺着
の雌ねじにスライドベースを取り付けて、このスライド
ベースにわたってセンサ載置フレームを搭載し、かつ、
ねじ軸に連結のモータを同期駆動させるものが考えられ
る。

【０００８】パネル載置ベースを移動させるスキャンの
形態をとる際のスライド装置も同様に構成することがで
きる。即ち、平面表示パネルの載置ベースに対してセン
サ載置フレームを固定的に設け、前記ベースの両側に、
回転軸線をスキャン方向に向けてねじ軸を配置し、この
ねじ軸に同期駆動されるモータを連結する一方、ねじ軸
に螺着の雌ねじにスライドベースを取り付けて、このス
ライドベースにわたってパネル載置ベースを搭載すれば
よいのである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成の
スライド装置では、一方のモータが不測にも故障した
り、或いは、ねじ軸と雌ねじとの間に異物を噛み込んだ
りした場合、センサ載置フレームまたはパネル載置ベー
スが片側駆動されることで、このフレームまたはベース
が瞬時にして傾き、それに伴ってベース両側のねじ軸が
引き寄せられて、ねじ軸が曲がったりセンサ載置フレー
ムが変形したりし、更には、それ以上の駆動が不能にな
ることで、他方のモータに過大な負荷が掛かって、この
モータが破損することが懸念される。

【００１０】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、その目的は、上記構成のスライド装置にお
いて、不測なモータの故障などに伴う不都合を解消する
ことにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、センサ載置フレームを移
動させるスキャン形態をとるために、平面表示パネルの
載置ベースを固定的に設け、このベースの両側に、回転
軸線をスキャン方向に向けてねじ軸を配置すると共に、
ねじ軸に螺着の雌ねじにスライドベースを取り付け、か
つ、ねじ軸に同期駆動されるモータを連結すると共に、
一方のスライドベースに、受光素子の配列方向にスライ
ド可能な第２のスライドベースを備えて、この第２のス
ライドベースと他方のスライドベースとにわたって、パ
ネル表面に鉛直な方向の軸線まわりで可動可能にセンサ
載置フレームを枢着し、更に、センサ載置フレームの回
動検知センサを備えて、このセンサからのフレーム回動
の検知情報に基づいてモータを駆動停止させるように構
成して成る点に特徴がある。

【００１２】請求項２記載の発明では、パネル載置ベー
スを移動させるスキャン形態をとるために、平面表示パ
ネルの載置ベースに対してセンサ載置フレームを固定的
に設け、前記ベースの両側に、回転軸線をスキャン方向
に向けてねじ軸を配置すると共に、ねじ軸に螺着の雌ね
じにスライドベースを取り付け、かつ、ねじ軸に同期駆
動されるモータを連結すると共に、一方のスライドベー
スに、受光素子の配列方向にスライド可能な第２のスラ
イドベースを備えて、この第２のスライドベースと他方
のスライドベースとにわたって、パネル表面に鉛直な方
向の軸線まわりで可動可能にパネル載置ベースを枢着
し、更にベースの回動検知センサを備えて、このセンサ
からのベース回動の検知情報に基づいてモータを駆動停
止させるように構成して成る点に特徴がある。

【００１３】上記いずれのスライド装置においても、一
方のスライドベースに第２のスライドベースを備えて、
このスライドベースと他方のスライドベースとにわたっ
て、センサ載置フレームまたはパネル載置ベースを枢着
したことで、フレームまたはベースの斜め姿勢への移行
が許容されることになる。

【００１４】従って、例えば一方のモータの故障などに
起因しての片側駆動の際に、フレームまたはベースが斜
め姿勢になることで、ねじ軸の引き寄せによる曲がりが
防止されるのであり、加えて、回動検知センサが、この
斜め姿勢への移行によるフレームまたはベースの回動を
検知して、モータの駆動を停止させることから、過大な
負荷を受けることによる他方のモータの破損も未然に防
止されるのである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明すると、図１〜図４は平面表示パネルの
欠陥検査装置１を示し、この欠陥検査装置１は、複数の
受光素子を一直線上に配列してなる第１及び第２のライ
ンセンサ２ａ，２ｂの複数を、受光素子の配列方向Ｘに
並べてフレーム３に載置すると共に、このセンサ載置フ
レーム３を受光素子の配列方向Ｘに直交する方向Ｙに移
動可能に構成して、このフレーム３の移動に伴って、ベ
ース４に載置された液晶セル（後述するように、平面表
示パネルの一例）５の複数の画素をラインセンサ２ａ，
２ｂでスキャンし、その画素の輝度データをパソコンの
演算処理部に取り入れて、これを演算処理し、液晶セル
５の欠陥の有無を検査するように構成されている。

【００１６】この実施の形態では、図８を参照して明ら
かなように、平面表示パネルの一例として、バックライ
トを備える前段の液晶セル５を欠陥の検査対象にしてい
ることから、この液晶セル５に投光するための光源６を
ベース４上に配置しているが、平面表示パネルとして、
液晶セル５の裏面側にバックライトを備えた液晶モジュ
ールを欠陥の検査対象にしてもよいのであり、この場
合、バックライトを備えることから、上記の光源６は必
要としないのである。更に、平面表示パネルとして、セ
ル裏面に反射板を備えた反射型液晶セルやＰＤＰなども
欠陥の検査対象にすることができる。

【００１７】尚、上記の液晶セル５は、上下一対のガラ
ス基板５ａ，５ｂと、この上下のガラス基板５ａ，５ｂ
の間に挟持される液晶５ｃと、各ガラス基板５ａ，５ｂ
の外面に貼着された偏光板（フィルム）５ｄ，５ｅとか
ら成る。

【００１８】図５は液晶セルの欠陥検査装置１の制御系
統図を示し、図において、１１はセンサ駆動ユニット、
１２はセンサ載置フレーム３をスキャン方向（上記の直
交する方向）Ｙに往復移動させるためのフレーム駆動ユ
ニットで、クロック同期信号に合わせて指示された速度
でセンサ載置フレーム３を移動させる位置制御ユニット
１２ａと、センサ載置フレーム３の正確な位置検出を行
なう位置検出ユニット１２ｂとからなる。１３は液晶セ
ル５に所定のパターンを表示するための信号発生ユニッ
トである。

【００１９】１４は各ユニット１１〜１３を制御するた
めの制御信号を出力する情報処理装置（以下、パソコン
という）、１５はパソコン１４に接続された情報の取り
込み処理部で、位置検出ユニット１２ｂからの信号Ｓ，
Ｃと第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂからの輝度
データＤ₀ を入力し、これを画像処理して、液晶セル５
の各部の輝度を示す画像データＤをパソコン１４に出力
する。

【００２０】情報の取り込み処理部１５は、輝度データ
Ｄ₀ のうち各画素に対応するものを割り付けるセンサ出
力割付機能部１５ａと、各画素に対応しない部分をブラ
ックマトリックスとして設定するブラックマトリックス
設定機能部１５ｂと、ラインセンサ２ａ，２ｂの位置補
正を行なうセンサ位置補正機能部１５ｃと、各画素内に
生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部１５ｄ
と、欠陥が異物である場合に、セル厚み方向での異物位
置を検知する異物検知機能部１５ｅとを有している。

【００２１】図６は欠陥検査装置１による液晶セル５の
検査手順を示すフローチャートで、Ｓ₁ は液晶セル５を
欠陥検査装置１のベース４に載置（ローディング）する
ステップ、Ｓ₂ は液晶セルの欠陥検査装置１に載置され
た液晶セル５の位置をその検査に適切な例えば精度５μ
ｍの許容範囲内のずれに収まるように位置補正（アライ
メント）するステップである。

【００２２】Ｓ₃ はアライメントが終了した液晶セル５
の接触電極（電極パターン）に、信号発生ユニット１３
に接続された接触電極（電極ピン）を接続（プロービン
グ）するステップである。

【００２３】Ｓ₄ はプロービングされたコネクタを介し
て信号発生ユニット１３からの適切な電力または電気信
号を供給し、液晶セル５に所定の検査パターンを表示す
るステップ、Ｓ₅ はロット単位で欠陥を検査する際の最
初の液晶セル５であるか否かを判別するステップ、Ｓ₆
は液晶セル５の画素の開始端部である原点位置を確認
（原点確認）するステップである。

【００２４】Ｓ₇ は第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂによって受光された液晶セル５の輝度データＤ₀ を
計測（輝度計測）するステップ、Ｓ₈ は計測した輝度デ
ータＤ₀ の取り込みステップ、Ｓ₉ はデータ処理ステッ
プで、ステップＳ₈ で取り込んだデータをまとめて演算
処理し、検査結果データを求める。

【００２５】Ｓ₁₀は情報の取り込み処理部１５によって
得られたデータＤをパソコン１４に入力し、検査結果を
出力するステップ、Ｓ₁₁は検査が終了した液晶セル５を
製造工程の下流側に移動させるセルアンローディングス
テップである。

【００２６】図１〜図４に戻って、及び、図７に基づい
て、以下に欠陥検査装置１の具体構造について説明す
る。これらの図において、図中の２１はセル載置ベース
４のステージ２２を形成するように設置された据え付け
架台、２３はステージ２２を挟んで架台２１の両側に立
設されたポストで、スキャン方向Ｙで各２本のポスト２
３，２３にわたって受けフレーム２４が設けられてい
る。

【００２７】２５は受けフレーム２４、２４にわたって
載置された平面視でコの字状のベースで、その四隅がク
ランク部材２６によって受けフレーム２４、２４に固定
されている。２７はコの字状ベース２５の位置調整手段
である。

【００２８】２８，２８はコの字状ベース２５の両側に
設置されたスライド手段で、スキャン方向Ｙに沿わせて
レール２９を配置すると共に、このレール２９に跨がら
せてスライドベース３０を設け、かつ、レール２９の両
端（片側のみを図示している。）に備えた軸受３１によ
って支持するように、レール２９の凹部にボールねじ軸
３２を配置する一方、このボールねじ軸３２に螺着され
るボール雌ねじ３３をスライドベース３０に備え、更
に、同期駆動されるモータ３４を各ボールねじ軸３２に
連結して、一対のスライドベース３０，３０をスキャン
方向Ｙに同期移動可能に構成している。

【００２９】尚、上記のボールねじ軸３２とボール雌ね
じ３３とを用いることに特定されるものではなく、単純
なねじ軸と雌ねじとの組み合わせに変更可能であること
は言うまでもない。

【００３０】３５は一方のスライドベース３０に備えら
れた第２のスライドベースで、スキャン方向Ｙに直交す
る方向（受光素子の配列方向）Ｘに移動可能に設けられ
ており、この第２のスライドベース３５と他方のスライ
ドベース３０のそれぞれに、ベース４に載置される液晶
セル５のセル表面Ｐに鉛直な軸線を有するフレーム回動
用の支軸３６，３６を立設している。

【００３１】上記のセンサ載置フレーム３は、一対の支
軸３６，３６まわりで回動可能な状態で、第２のスライ
ドベース３５と他方のスライドベース３０とにわたって
載置されており、このセンサ載置フレーム３は、支軸３
６，３６にわたって枢着されるメインフレーム３７と、
このメインフレーム３７に対してスキャン方向Ｙの両側
に、それぞれスライダー３８を介して且つ昇降位置の調
整手段（フレーム吊りボルト３９とナット４０からな
る。）４１によって昇降可能に吊り下げ保持されるセン
サ並設用のフレーム４２，４２とから成る。

【００３２】このセンサ並設用のフレーム４２，４２に
は、第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂを個々に備
えたセンサ保持フレーム４３が、中間フレーム４４を介
して下部側面板４５に並設されるもので、スキャン方向
Ｙで前方側のセンサ並設用フレーム４２の下部側面板４
５には、第１のラインセンサ２ａの６個が、セル表面Ｐ
に鉛直な方向Ｑで液晶セル５の輝度を測定するように配
置されている。

【００３３】スキャン方向Ｙで後方側のセンサ並設用フ
レーム４２の下部側面板４５には、第２のラインセンサ
２ｂの４個が、スキャン方向Ｙにおいて鉛直な方向Ｑと
或る角度（例えば３０度）θだけ傾斜した方向で、液晶
セル５の輝度を測定するように配置されている。

【００３４】そして、図８に示すように、第１及び第２
のラインセンサ２ａ，２ｂによって検出される液晶セル
の画素座標（ Pixel座標）Ｒを、液晶セル５の液晶５ｃ
の存在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように
調整している。

【００３５】４６は支軸３５まわりでのセンサ載置フレ
ーム３の回動を検知するための回動検知センサで、他方
のスライドベース３０と第２のスライドベース３５とに
備えたマイクロスイッチからなり、このセンサ４６から
のフレーム回動の検知情報に基づいてモータ３４を駆動
停止させるように構成されている。

【００３６】上記の構成よりなる欠陥検査装置１によれ
ば、図８に示すように、セル載置ベース４に液晶セル５
を供給し、かつ、光源６を点灯させて、センサ載置フレ
ーム３をスキャン方向Ｙに移動させ、ラインセンサ２
ａ，２ｂによって液晶セル５の複数の画素をスキャンし
て、第１のラインセンサ２ａからの画素の輝度データを
解析することで、液晶セル５の良否の判別すなわち液晶
セル５の画素の一部が点灯しない減点や、画素の一部が
不必要に点灯する輝点、その他、異物ａ〜ｅの混入など
の欠陥検知が行われ、第１及び第２のラインセンサ２ｂ
からの輝度データに基づいて、液晶セル５に混入した異
物ａ〜ｅの深さ位置の検知が行われるのである。

【００３７】即ち、液晶セル５の表面側に存する異物ａ
の検出に際しては、この異物ａを先ず第１のラインセン
サ２ａが検出し、次いで傾斜させた或る角度θ分の遅れ
時間−ｔ₁ をもって、この異物ａを第２のラインセンサ
２ｂが検出するのである。

【００３８】上部側の偏光フィルム５ｄとガラス基板５
ａとの間に存する異物ｂについても、上記と同様の検出
形態がとられるのであるが、この際は、第２のラインセ
ンサ２ｂによる異物検出の遅れ時間−ｔ₂ が時間的に短
くなるのであり、液晶５ｃの部分に存する異物ｃについ
ては、この異物ｃを第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂがほゞ同時に検出するのである。

【００３９】そして、下部側の偏光フィルム５ｅとガラ
ス基板５ｂとの間に異物ｄが存するときは、この異物ｄ
を先ずは第２のラインセンサ２ｂが検出し、次に傾斜さ
せた或る角度θ分の遅れ時間＋ｔ₂ をもって、この異物
ｄを第２のラインセンサ２ｂが検出するのである。

【００４０】液晶セル５の裏面側に存する異物ｅについ
ては、第２のラインセンサ２ｂによる異物検出よりも、
時間的に＋ｔ₁ の遅れ時間をもって、この異物ｅを第１
のラインセンサ２ａ検出するのであって、この異物検出
の遅れ時間は、偏光フィルム５ｄ，５ｅならびにガラス
基板５ａ，５ｂの厚みによって一義的に決定されるもの
である。

【００４１】従って、第１及び第２のラインセンサ２
ａ，２ｂが同一の異物ａ〜ｅを検出した際の遅れ時間の
差が、ゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイ
ドであるかを基にすることで、異物ａ〜ｅが液晶セル５
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを、正確に判別す
ることができるのである。

【００４２】尚、液晶セル５の液晶５ｃの厚みは極めて
薄いものであって、この液晶５ｃの部分に異物ｃが存す
るときは、液晶セル５が歪に膨らんで見えることから、
この液晶セル５が不良品であることを目視でチェックし
て、一般には、予め検出ラインがら排除される。

【００４３】このことから、欠陥検査装置１では、液晶
セル５の表裏に存する異物ａ，ｅとセル内に存する異物
ｂ，ｄとを検出し得ればよいのであって、これらの検出
結果に基づいて、液晶セル５の表裏のいずれかに異物
ａ，ｅが存することが判別された際には、これをクリー
ニングすることで、液晶セル５を良品の製品にすること
ができるのであり、上下のガラス基板５ａ，５ｂと偏光
フィルム５ｄ，５ｅとの間に異物ｂ，ｄが存することが
判別された際には、異物ｂ，ｄが存在する側の偏光フィ
ルム５ｄ，５ｅを剥がして、別の偏光フィルムを貼着す
ることで、廃棄の無駄を少なくして、液晶セル５を良品
化することができるのである。

【００４４】ここで、上記の欠陥検出の作業工程の途中
において、同期駆動されるモータ３４，３４の一方が不
測にも故障したり、或いは、ボールねじ軸３２とボール
ねじ３３との間に異物を噛み込んだりした場合、センサ
載置フレーム３が他方のモータ３４によって片側駆動さ
れることで、このフレーム３が瞬時にして傾くことで、
ボールねじ軸３２の曲がりやセンサ載置フレーム３の変
形、或いは、他方のモータ３４の破損することが懸念さ
れる。

【００４５】しかし、上記構成の欠陥検査装置１におい
ては、センサ載置フレーム３が片側駆動されて、センサ
載置フレーム３が傾くようになると、一方のスライドベ
ース３０に備えた第２のスライドベース３５が、このフ
レーム３の傾きに伴って他方のスライドベース３０側に
スライドし、かつ、この際の支軸３５まわりでのフレー
ム３の回動がセンサ４６によって検知されて、このセン
サ４６からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ
３４，３４が駆動停止されることで、ボールねじ軸３２
の曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の
破損といった事態が確実に回避されるのである。

【００４６】尚、上記の実施の形態では、セル載置ベー
ス４を固定的に設けて、センサ載置フレーム３を移動さ
せるセルスキャンの形態をとっているが、図９に概略を
示すように、複数のラインセンサ（図示を省略）を備え
た門型のセンサ載置フレーム３を固定的に設ける一方、
上記の構成にかゝるスライド手段２８，２８によってセ
ル載置ベース４を移動させるセルスキャンの形態をとっ
てもよいのである。

【００４７】この図９において、図中の４７はセル載置
ベース１０の保持フレームで、このフレーム４７の両端
側を、スライドベース３０，３５に立設の支軸３６，３
６まわりで回動可能に連結しており、その他のスライド
手段２８，２８の構成は、図２に示すものと構成的に同
じであることから、その構成部材に同符号を付してい
る。

【００４８】上記のベース移動の形態をとる際に、ベー
ス４の回動検知センサ４６を、他方のスライドベース３
０と第２のスライドベース３５とに備えて、このセンサ
４６からのベース回動の検知情報に基づいてモータ３
４，３４を駆動停止させるように構成することで、モー
タ３４が駆動停止した際の、不測なボールねじ軸３２の
曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の破
損といった事態は確実に防止される。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ラインセンサの載置フレームまたは平面表示パネルの載
置ベースの一方を、モータによって同期駆動されるねじ
軸と雌ねじとによるスライド手段によって、スキャン方
向に移動させる際に生じると懸念される問題点、即ち、
一方のモータの不測な駆動停止などに伴うねじ軸の曲が
りやセンサ載置フレームの変形、他方のモータの破損と
いった事態が確実に防止される欠陥検査装置が提供され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】欠陥検査装置の斜視図である。

【図２】欠陥検査装置の平面図である。

【図３】欠陥検査装置の正面図である。

【図４】欠陥検査装置の側面図である。

【図５】欠陥検査装置の制御系統図である。

【図６】欠陥検査装置による液晶セルの検査手順を示す
フローチャートである。

【図７】欠陥検査装置の分解斜視図である。

【図８】セル厚み方向での異物の検出深さ位置の判別説
明図である。

【図９】セル載置ベースをスキャン方向に移動させる形
態に構成した欠陥検査装置の概略平面図である。

【符号の説明】

２ａ，２ｂ…ラインセンサ、３…センサ載置フレーム、
４…セル載置ベース、５…液晶セル（平面表示パネ
ル）、３０…スライドベース、３２…ねじ軸、３３…雌
ねじ、３４…モータ、３５…第２のスライドベース、４
６…フレームの回動検知センサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 淳一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤井 史高 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 山本 孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 FA13 MA20 5G435 AA17 AA19 BB12 CC09 KK05 KK10

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
   るラインセンサの複数を、受光素子の配列方向に並べて
   フレームに載置すると共に、この複数のラインセンサに
   よって平面表示パネルの複数の画素を配列方向に直交す
   る方向でスキャンして、このラインセンサからの画素の
   輝度データに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査する
   ようにした欠陥検査装置であって、平面表示パネルの載
   置ベースを固定的に設け、このベースの両側に、回転軸
   線をスキャン方向に向けてねじ軸を配置すると共に、ね
   じ軸に螺着の雌ねじにスライドベースを取り付け、か
   つ、ねじ軸に同期駆動されるモータを連結すると共に、
   一方のスライドベースに、受光素子の配列方向にスライ
   ド可能な第２のスライドベースを備えて、この第２のス
   ライドベースと他方のスライドベースとにわたって、パ
   ネル表面に鉛直な方向の軸線まわりで可動可能にセンサ
   載置フレームを枢着し、更に、センサ載置フレームの回
   動検知センサを備えて、このセンサからのフレーム回動
   の検知情報に基づいてモータを駆動停止させるように構
   成して成ることを特徴とする平面表示パネルの欠陥検査
   装置。
2. 【請求項２】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
   るラインセンサの複数を、受光素子の配列方向に並べて
   フレームに載置すると共に、この複数のラインセンサに
   よって平面表示パネルの画素を配列方向に直交する方向
   でスキャンして、このラインセンサからの画素の輝度デ
   ータに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するように
   した欠陥検査装置であって、平面表示パネルの載置ベー
   スに対してセンサ載置フレームを固定的に設け、前記ベ
   ースの両側に、回転軸線をスキャン方向に向けてねじ軸
   を配置すると共に、ねじ軸に螺着の雌ねじにスライドベ
   ースを取り付け、かつ、ねじ軸に同期駆動されるモータ
   を連結すると共に、一方のスライドベースに、受光素子
   の配列方向にスライド可能な第２のスライドベースを備
   えて、この第２のスライドベースと他方のスライドベー
   スとにわたって、パネル表面に鉛直な方向の軸線まわり
   で可動可能にパネル載置ベースを枢着し、更にベースの
   回動検知センサを備えて、このセンサからのベース回動
   の検知情報に基づいてモータを駆動停止させるように構
   成して成ることを特徴とする平面表示パネルの欠陥検査
   装置。