JP2003043089A - パネル検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度
に接触させ得るパネル検査装置を提供すること。 【解決手段】検査ユニット２４ａには、上部及び下部加
圧レバー５７ａ，５７ｂが、固定ブロック５４に固定さ
れた検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触可
能な位置に保持した状態で、ＰＤＰパネル２２から離間
する方向に移動可能に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はパネル検査装置に係
り、詳しくはＰＤＰ等の平面表示ディスプレイに用いら
れる表示パネルの電極に対して検査用電極を接触させて
表示パネルの検査を行うパネル検査装置に関するもので
ある。

【０００２】近年、表示装置の発展は目覚ましく、特に
平面ディスプレイは薄型・軽量などの特徴から急速に普
及してきた。プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP: Pl
asmaDisplay Panel)は大型画面の表示装置として従来の
背面投射型ディスプレイ（ＣＲＴ）に代わる次世代の平
面表示ディスプレイである。

【０００３】ＰＤＰ等の表示パネルは、表示装置として
組み立てる前に、パネル単体での表示電極端子列の良否
検査や、表示素子の全点灯検査等が行われる。それら検
査のために、表示パネルの電極に対して駆動回路から検
査用信号を供給するための検査用電極を精度良く接触さ
せる必要がある。

【０００４】

【従来の技術】図１１は、従来のパネル検査装置を示す
概略図である。同図に示すように、表示パネル、例え
ば、プラズマ・ディスプレイ・パネル（PDP:Plasma Dis
play Panel）等のガラス製のパネル７１には、複数の電
極（以下、ＰＤＰ電極）７２が形成されている。ＰＤＰ
電極７２は、ＰＤＰパネル７１の辺上に沿って所定の電
極幅及び電極ピッチにて形成されるとともに所定数毎に
一定の間隔で離間して形成され、複数（図では例えば３
つ）のＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃを構成している。

【０００５】パネル検査装置８１には、加圧機構を有す
る複数の検査ユニット８２ａ〜８２ｃが上記複数のＰＤ
Ｐ電極群７２ａ〜７２ｃに対応して設けられている（図
では、例えば３つのＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃに対応
して３つの検査ユニット８２ａ〜８２ｃが設けられてい
る）。各検査ユニット８２ａ〜８２ｃには、それぞれ検
査用電極８３ａ〜８３ｃが備えられている。つまり、パ
ネル検査装置８１には、検査用電極８３ａ〜８３ｃをそ
れぞれ備えた検査ユニット８２ａ〜８２ｃがＰＤＰ電極
群７２ａ〜７２ｃ毎に独立して設けられている。

【０００６】各検査ユニット８２ａ〜８２ｃは、それぞ
れ上部加圧レバー８４と下部加圧レバー８５とを有した
加圧機構であって、それらの加圧面にはそれぞれ弾性体
８６が取着されている。そして、検査ユニット８２ａ〜
８２ｃは、その加圧機構によりＰＤＰパネル７１と検査
用電極８３ａ〜８３ｃとを挟み込み、該検査用電極８３
ａ〜８３ｃを対応するＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃに接
触させる。

【０００７】図１２は、検査ユニット８２ａの検査用電
極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気的に接続した状
態を示す概略側面図である。パネル検査装置８１には、
ＰＤＰパネル７１に対して検査用の電気信号を供給する
ための駆動回路８７が該パネル７１の裏面側（図ではパ
ネル７１の下側）にて固定されている。この駆動回路８
７は、検査用電極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気
的に接続するためのフィルム基板等よりなる配線基板８
８を有している。

【０００８】そして、図１２に示すように、配線基板８
８をＰＤＰパネル７１及び検査用電極８３ａとともに挟
み込むことにより、ＰＤＰ電極群７２ａに対して駆動回
路８７から電気信号が供給され、パネル点灯検査等の所
定の検査が行われる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ＰＤＰ等の
パネル検査装置８１において、ＰＤＰ電極群７２ａ〜７
２ｃと検査用電極８３ａ〜８３ｃとの位置合わせは、Ｐ
ＤＰパネル７１上に設けられた通常１又は２ヶ所のアラ
イメントマークを基準として行われる。つまり、ＰＤＰ
パネル７１上のアライメントマークに基づいて位置決め
された各検査ユニット８２ａ〜８２ｃは、それぞれの検
査用電極８３ａ〜８３ｃとＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃ
とを接触させる。

【００１０】しかしながら、近年、ＰＤＰ等の表示パネ
ルは大型化されてきている。そのため、パネル製造工程
における電極加工工程での熱処理の影響で、パネル自体
に反りが発生し、ＰＤＰ電極７２の電極ピッチが設計時
の寸法から大きくずれる場合がある。電極ピッチのずれ
は、アライメントマークから離れた位置に形成されるＰ
ＤＰ電極７２ほど顕著に現れ、これにより各ＰＤＰ電極
群７２ａ〜７２ｃと検査用電極８３ａ〜８３ｃとの位置
合わせはより困難なものとなっていた。

【００１１】そこで、従来のパネル検査装置８１では、
上記のようなパネルの反りに対応するため、図１１に示
すように、各検査ユニット８２ａ〜８２ｃの上下加圧レ
バー８４，８５がパネル７１の厚み方向（同図に示す矢
印方向）に移動可能に構成されている。

【００１２】ところが、各ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃ
はパネル７１の反りにともなって円弧状に変位するた
め、それら全ての電極群７２ａ〜７２ｃに検査用電極８
３ａ〜８３ｃを均一に接触させるには、非常に大きな加
圧力によってパネル７１の反りを矯正させる必要があ
る。このように、パネル７１に対して大きな圧力を加え
ることは、検査用電極８３ａ〜８３ｃの短寿命化や、パ
ネル検査の非正確性の要因となっていた。

【００１３】また、従来のパネル検査装置８１では、各
ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃ間のピッチが異なるパネル
に対応するためには、各検査ユニット８２ａ〜８２ｃの
連結部分を調整する必要があり、その調整作業が煩雑な
ものとなっていた。その結果、パネルサイズの変更時に
おいて、その調整作業に多大な時間を要していた。

【００１４】さらに、従来では、上記したように検査用
電極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気的に接続する
配線基板８８が挟み込まれるため（図１２参照）、その
加圧時に配線基板８８自身の断線等を引き起こしてい
た。

【００１５】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、表示パネルの電極に
対して検査用電極を高精度に接触させ得るパネル検査装
置を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、検査用電極を表示パネ
ルの周辺に沿って配列される電極群に接触させる検査ユ
ニットは、前記電極群に前記検査用電極を圧接させる加
圧機構を、該検査用電極と電極群とが接触可能とする位
置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交す
る方向に双方向に移動可能に設けた。従って、検査用電
極と電極群との接触具合を視認可能とすることができ、
これにより高精度に両電極を接触させることができる。

【００１７】請求項２に記載の発明では、前記検査用電
極は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾させて
前記検査ユニットに固定される。これにより、両電極の
接触時におけるワイピング効果（酸化膜除去効果）が高
められ、当該両電極の安定した接触性を得ることができ
る。

【００１８】請求項３に記載の発明では、前記検査ユニ
ットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数
の電極群に対応して複数設けられ、それら複数の検査ユ
ニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め
手段を有する治具に接続される。これにより、複数の検
査ユニットは、前記複数の位置決め手段を介して治具と
接続されることで、前記複数の電極群に対応した位置に
位置決めされる。

【００１９】請求項４に記載の発明では、前記位置決め
手段に設けられた調整手段により、前記複数の検査ユニ
ットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置
されるように、各検査ユニットの位置を前記表示パネル
の辺方向に沿って双方向に微調整可能とした。これによ
り、表示パネルの辺方向に沿った複数の検査ユニットの
位置合わせをさらに高精度に行うことができる。

【００２０】請求項５に記載の発明では、前記加圧機構
は、所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に
対して接触させる一対の加圧レバーを備えている。そし
て、一対の加圧レバーは、検査用電極を対応する前記電
極群と接触可能とする位置に保持した状態で、表示パネ
ルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間す
る方向に、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位
置まで移動可能に設けられる。従って、検査用電極と電
極群との接触具合を視認可能とすることができ、これに
より高精度に両電極を接触させることができる。

【００２１】請求項６又は７に記載の発明によれば、前
記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで上部加
圧レバー及び下部加圧レバーが移動した時の該上部加圧
レバーの加圧方向の回動量は、回動量調節手段によって
調節される。従って、検査用電極と電極群との接触具合
の確認時には、該検査用電極が電極群に対して接触保持
される加圧力で押し下げられるため、検査用電極が損傷
することはない。

【００２２】請求項８に記載の発明では、前記一対の加
圧レバーは支点ブロックに回動可能に支持され、該支点
ブロックは、前記表示パネルの辺方向に直交する方向に
沿って設けられる回動軸を支軸として回動可能に設けら
れている。これにより、前記表示パネルに歪みが発生し
た場合にも、一対の加圧レバーは前記表示パネルに対し
て追従可能となり、両電極を高精度に接触させることが
できる。

【００２３】請求項９に記載の発明によれば、前記一対
の加圧レバーは前記検査用電極を非加圧する方向へ回動
した時に回動規制手段に当接し、これにより前記支点ブ
ロックの回動が規制される。従って、前記一対の加圧レ
バーが前記検査用電極から離間する方向に回動したとき
に、該一対の加圧レバーが前記表示パネルを損傷させる
ことが防止される。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、例えばプラズマ
・ディスプレイ・パネル(以下、PDP: PlasmaDisplay Pa
nel)のパネル検査装置に具体化した一実施形態を図１〜
図１０に従って説明する。

【００２５】図１は、本実施形態のパネル検査装置を示
す平面図である。パネル検査装置１１にはステージ２１
が設けられ、そのステージ２１には被試験パネルとして
のＰＤＰ等の表示パネル（以下、ＰＤＰパネル）２２が
吸着機構等の固定手段（図示略）によって所定の位置に
固定されている。

【００２６】ＰＤＰパネル２２の所定の複数辺には、そ
れぞれ複数の電極（以下、ＰＤＰ電極）２３が各辺に沿
って形成されている。尚、説明の都合上、以下では、１
つの辺に沿って形成された電極２３について説明する。

【００２７】ＰＤＰ電極２３は、所定の電極幅及び電極
ピッチにて形成されるとともに、所定数毎に一定の間隔
を空けて形成され、複数（本実施形態では６つ）の電極
群（以下、ＰＤＰ電極群）２３ａ〜２３ｆを構成してい
る。つまり、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆは、１つの
辺に沿って互いに所定の間隔（電極群ピッチ）で離間さ
れて形成されている。

【００２８】このように構成されるＰＤＰパネル２２に
対して、パネル検査装置１１には、加圧機構を有した複
数（本実施形態では６つ）の検査ユニット２４ａ〜２４
ｆが該パネル２２に形成された複数のＰＤＰ電極群２３
ａ〜２３ｆに対応して設けられている。

【００２９】各検査ユニット２４ａ〜２４ｆには、それ
ぞれ検査用電極２５ａ〜２５ｆが備えられている。尚、
本実施形態において、検査用電極２５ａ〜２５ｆには、
可撓性を有する、例えばフレキシブルプリント基板(FP
C： Flexible Print Circuit)が使用される。検査ユニ
ット２４ａ〜２４ｆは、ＰＤＰパネル２２上に形成され
る複数のアライメントマーク（図示略）を基準として各
検査用電極２５ａ〜２５ｆと、それらに対応するＰＤＰ
電極群２３ａ〜２３ｆとの位置合わせを行う。そして、
検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、その加圧機構により検
査用電極２５ａ〜２５ｆとＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ
とを接触させることで、後述する駆動回路から出力され
る検査用信号が該検査用電極２５ａ〜２５ｆを介して各
ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆからＰＤＰパネル２２に供
給される。

【００３０】パネル検査装置１１には、ＰＤＰパネル２
２の辺方向に沿って第１レール２６が敷設され、各検査
ユニット２４ａ〜２４ｆは、該第１レール２６に沿って
双方向（図１に示す矢印Ａ方向）に移動可能に設けられ
ている。

【００３１】また、パネル検査装置１１には、所定の長
さを有する棒状の治具２７が第１レール２６に対して平
行にキャッチブロック２８，２９にて支持されている。
この治具２７は、キャッチブロック２８，２９に対して
着脱可能である。

【００３２】治具２７には、位置決め手段としての複数
の接続ブロック３０ａ〜３０ｆが所定の間隔毎に取着さ
れている。詳しくは、接続ブロック３０ａ〜３０ｆは、
各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極群ピッチに対応し
た位置にて治具２７に予め取着されるものであり、本実
施形態では、６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆに対応
して６つの接続ブロック３０ａ〜３０ｆが設けられてい
る。即ち、治具２７は、ＰＤＰパネル２２の一つの辺に
形成されるＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極群数、さ
らには電極群ピッチに対応した所定ピッチ毎に接続ブロ
ック３０ａ〜３０ｆを有している。

【００３３】各接続ブロック３０ａ〜３０ｆには、該接
続ブロック３０ａ〜３０ｆと検査ユニット２４ａ〜２４
ｆとをそれぞれ連結するキャッチクリップ３１ａ〜３１
ｆが取着されている。そして、検査ユニット２４ａ〜２
４ｆは、それらキャッチクリップ３１ａ〜３１ｆを介し
て、上記治具２７に予め取着される接続ブロック３０ａ
〜３０ｆと連結固定されている。

【００３４】また、各キャッチクリップ３１ａ〜３１ｆ
は、各接続ブロック３０ａ〜３０ｆが有する調整手段と
しての微調整用ネジ３２ａ〜３２ｆにて、各検査ユニッ
ト２４ａ〜２４ｆをキャッチする位置をＰＤＰパネル２
２の辺方向に沿って若干調整可能に形成されている。こ
れにより、接続ブロック３０ａ〜３０ｆと連結された各
検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、各ＰＤＰ電極群２３ａ
〜２３ｆの電極群ピッチに合わせてＰＤＰパネル２２の
辺方向に沿って微調整可能である。

【００３５】図２は、パネル検査装置１１の拡大平面図
であって、上記キャッチブロック２８の周辺を拡大して
示したものである。パネル検査装置１１には、上記ＰＤ
Ｐパネル２２の辺方向と直交する方向に沿って複数の第
２レール３３が敷設され、その第２レール３３に沿って
双方向（図２に示す矢印Ｂ方向）に移動可能にベース部
材３４が支持されている。このベース部材３４は、第１
レール２６に沿った方向、即ちＰＤＰパネル２２の辺方
向（図２に示す矢印Ａ方向）に沿って移動不能である。
そして、ベース部材３４の双方向の移動は、それぞれア
ブソーバ３５又はストッパ３６により規制される。ま
た、ベース部材３４がＰＤＰパネル２２に近接する時の
移動速度がアブソーバ３５により制御される。

【００３６】ベース部材３４には、スライドブロック３
７がＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って双方向（図２に
示す矢印Ａ方向）に移動可能に支持され、そのスライド
ブロック３７は、上記治具２７の一端部を支持するキャ
ッチブロック２８に取着されている。つまり、治具２７
とスライドブロック３７とは、キャッチブロック２８に
より連結固定されている。

【００３７】スライドブロック３７はアライメント用モ
ータ３８を有し、該モータ３８の回転軸３８ａには偏心
カム３９が軸着されている。この偏心カム３９には、ス
ライドブロック３７に設けられたカムフォロア４０が当
接されている。さらに、スライドブロック３７は、ベー
ス部材３４に設けられたスプリング４１によって、図２
に示す矢印Ａの右方向に付勢されている。

【００３８】従って、アライメント用モータ３８の回転
軸３８ａが回転されると、偏心カム３９によってカムフ
ォロア４０が図２に示す矢印Ａの左方向に移動する。す
ると、スライドブロック３７及びそのスライドブロック
３７に連結された治具２７が同じく矢印Ａの左方向に移
動する。その結果、図１に示す各検査ユニット２４ａ〜
２４ｆは、第１レール２６に沿って同図に示す矢印Ａの
左方向に同一の変位量で移動する。

【００３９】また、上記したように、スライドブロック
３７は、スプリング４１によって図２に示す矢印Ａの右
方向に付勢されている。従って、アライメント用モータ
３８の回転軸３８ａがさらに回転すると、カムフォロア
４０は偏心カム３９から離間せずに該偏心カム３９の回
転に基づいて矢印Ａの右方向に移動する。その結果、図
１に示す各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、第１レール
２６に沿って同図に示す矢印Ａの右方向に同一の変位量
で移動する。

【００４０】このようにして、各検査ユニット２４ａ〜
２４ｆは、アライメント用モータ３８による偏心カム３
９の回転に基づきＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って第
１レール２６上を各検査ユニット２４ａ〜２４ｆ間のピ
ッチを維持したまま移動する。つまり、各検査ユニット
２４ａ〜２４ｆは同一の変位量で移動するので、ＰＤＰ
パネル２２の辺方向の位置ずれに対応した位置合わせが
容易に可能となる。

【００４１】次に、パネルサイズを変更する際のＰＤＰ
電極群２３ａ〜２３ｆと検査ユニット２４ａ〜２４ｆと
の位置合わせを行う場合について図３〜図５に従って説
明する。

【００４２】図３に示すＰＤＰパネル２２は、その一辺
の長さ（幅又は高さ）がＬ１であって、所定の電極幅及
び電極ピッチ（図示略）で構成される６つのＰＤＰ電極
群２３ａ〜２３ｆが電極群ピッチＰ１を有して形成され
ている。

【００４３】このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネ
ル２２に対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び
電極群ピッチＰ１に対応した位置に接続ブロック３０ａ
〜３０ｆを有した治具２７が準備される。従って、各検
査ユニット２４ａ〜２４ｆは、治具２７の各接続ブロッ
ク３０ａ〜３０ｆにより、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２
３ｆ及び電極群ピッチＰ１に対応した位置に位置決めさ
れて連結される。

【００４４】図４に示すＰＤＰパネル２２ａは、その一
辺の長さ（幅又は高さ）がＬ２（Ｌ２＜Ｌ１）であっ
て、所定の電極幅及び電極ピッチ（図示略）で構成され
る６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆが電極群ピッチＰ
２（Ｐ２＜Ｐ１）を有して形成されている。尚、ＰＤＰ
電極群２３ａ〜２３ｆを構成する電極幅及び電極ピッチ
は、上記図３のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆのそれらと
同一である。

【００４５】このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネ
ル２２ａに対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及
び電極群ピッチＰ２に対応した位置に接続ブロック３０
ａ〜３０ｆを有した治具２７ａが準備され、上記図３に
示す治具２７と交換される。この際、パネル２２ａは、
電極群ピッチＰ２（＜Ｐ１）で構成されているため、治
具２７ａにおける各接続ブロック３０ａ〜３０ｆ間のピ
ッチは、上記治具２７におけるそれらのピッチに比べて
短く設定される（即ち、電極群ピッチＰ２に対応したピ
ッチに設定される）。

【００４６】これにより、各検査ユニット２４ａ〜２４
ｆは、治具２７ａの各接続ブロック３０ａ〜３０ｆに連
結され、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び電極群ピ
ッチＰ２に対応した位置に位置決めされる。

【００４７】図５に示すＰＤＰパネル２２ｂは、その一
辺の長さ（幅又は高さ）がＬ３（Ｌ３＜Ｌ２＜Ｌ１）で
あって、所定の電極幅及び電極ピッチ（図示略）で構成
される５つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅが電極群ピッ
チＰ２（Ｐ２＜Ｐ１）を有して形成されている。尚、Ｐ
ＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅを構成する電極幅及び電極ピ
ッチ、電極群ピッチＰ２は、上記図４に示すＰＤＰ電極
群２３ａ〜２３ｅのそれらと同一である。

【００４８】このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネ
ル２２ｂに対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ及
び電極群ピッチＰ２に対応した位置に接続ブロック３０
ａ〜３０ｅを有した治具２７ｂが準備され、上記図４に
示す治具２７ａと交換される。この治具２７ｂは、ＰＤ
Ｐ電極群２３ａ〜２３ｅに対応する接続位置に固定され
た接続ブロック３０ａ〜３０ｅと、それらと離間した非
接続位置に固定された接続ブロック３０ｆを有する。こ
こで、治具２７ｂの各接続ブロック３０ａ〜３０ｅ間の
ピッチは、パネル２２ｂのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ
及び電極群ピッチＰ２が上記図４に示すパネル２２ａの
それらと同様であるため、治具２７ａの各接続ブロック
３０ａ〜３０ｅ間のピッチと同じ値に設定される。

【００４９】つまり、図５に示すように、検査ユニット
２４ａ〜２４ｅは各接続ブロック３０ａ〜３０ｅに連結
固定され、パネル２２ｂに形成された５つのＰＤＰ電極
群２３ａ〜２３ｅと対応する配置に設置される。そし
て、検査ユニット２４ｆは、接続ブロック３０ｆに連結
固定され、パネル２２ｂとの非接触位置に退避させられ
る。尚、接続ブロック３０ｆは、治具２７ｂから抜脱さ
せてもよい。

【００５０】これにより、各検査ユニット２４ａ〜２４
ｅは、治具２７ｂの各接続ブロック３０ａ〜３０ｅと連
結され、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ及び電極群ピ
ッチＰ２に対応した位置に位置決めされる。そして、検
査ユニット２４ｆは接続ブロック３０ｆと連結され、Ｐ
ＤＰパネル２２ｂとの非接触位置に位置決めされる。

【００５１】次に、検査ユニット２４ａの構成を図６〜
図８に従って説明する。尚、説明の都合上、以下では、
検査ユニット２４ａの構成について説明するが、他の検
査ユニット２４ｂ〜２４ｆも同様に構成されている。

【００５２】図６に示すように、パネル検査装置１１
（図１参照）には、位置測定手段としてのカメラ４２が
設けられている。このカメラ４２は、検査ユニット２４
ａが備える検査用電極２５ａと、ＰＤＰパネル２２に形
成されたＰＤＰ電極群２３ａとが接触した状態での両電
極２３ａ，２５ａ同士の重なり具合を測定するために設
けられている。

【００５３】また、図７に示すように、ＰＤＰパネル２
２を吸着機構等によって載置固定するステージ２１の裏
面（図では、ステージ２１の下側）には、上記したよう
に、ＰＤＰパネル２２を検査するための検査用信号を供
給する駆動回路４３が設けられている。駆動回路４３
は、ＰＤＰパネル２２に形成されたＰＤＰ電極群２３ａ
と検査ユニット２４ａが備える検査用電極２５ａとを電
気的に接続するためのフィルム状配線基板（以下、フィ
ルム基板）４４を備えている。このフィルム基板４４
は、ＰＤＰパネル２２と駆動回路４３とを接続し得る長
さを有している。

【００５４】このため、検査ユニット２４ａには、検査
用電極２５ａと駆動回路４３のフィルム基板４４とを中
継する中継基板として中継用フィルム基板（以下、中継
フレキ）４５が備えられ、該中継フレキ４５は検査用電
極２５ａと一体に接続されている。そして、中継フレキ
４５とフィルム基板４４とは、それらとの接触面にて弾
性絶縁体を有するバネ性の中継クリップ４６により接続
される。これにより、駆動回路４３から出力される検査
用信号は、フィルム基板４４、中継フレキ４５、検査用
電極２５ａ、及びＰＤＰ電極群２３ａを介してＰＤＰパ
ネル２２に供給される。

【００５５】検査ユニット２４ａは、第１レール２６上
をＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って双方向に移動可能
なベース５１を備え、このベース５１は上記キャッチク
リップ３１ａを介して接続ブロック３０ａに接続され
る。

【００５６】ベース５１には、ＰＤＰパネル２２の辺方
向と直交する方向に移動可能なスライダ５２と、該スラ
イダ５２を駆動する駆動シリンダ５３と、検査用電極２
５ａ及び中継フレキ４５を固定する固定ブロック５４と
が設けられている。図６及び図７に示すように、この固
定ブロック５４は、その上端部がＰＤＰパネル２２側に
向かって前傾する傾斜状に形成され、検査用電極２５ａ
を水平面に対して所定の傾斜角度を有する状態で固定す
る。

【００５７】スライダ５２には、回動軸５５が該スライ
ダ５２に対し回転不能に支持され、その回動軸５５に
は、支点ブロック５６が図８に示す矢印Ｃ方向に回動可
能に支持されている。この支点ブロック５６には、検査
用電極２５ａの上面を加圧する上部加圧レバー５７ａ
と、検査用電極２５ａの下面を加圧する下部加圧レバー
５７ｂとが設けられ、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの先
端部にはそれぞれ弾性体５８ａ，５８ｂが取着されてい
る。また、図８に示すように、下部加圧レバー５７ｂの
先端部下方は一部切り欠かれており、上記中継フレキ４
５の通過経路５９が設けられている。

【００５８】図６に示すように、上部加圧レバー５７ａ
は回動軸６０ａに回動可能に支持され、下部加圧レバー
５７ｂは回動軸６０ｂに回動可能に支持されている。ま
た、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの基端部には、加圧シ
リンダ６１が接続されている。そして、上部加圧レバー
５７ａ、下部加圧レバー５７ｂ、及び加圧シリンダ６１
とにより平行リンク機構が構成され、該加圧シリンダ６
１により各加圧レバー５７ａ，５７ｂが駆動され回動す
る。

【００５９】詳述すると、加圧シリンダ６１により各加
圧レバー５７ａ，５７ｂの基端部が互いに遠ざかる方向
に移動するとき、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、検査
用電極２５ａの上下面を加圧する方向に回動する。逆
に、加圧シリンダ６１により各加圧レバー５７ａ，５７
ｂの基端部が互いに近づく方向に移動するとき、各加圧
レバー５７ａ，５７ｂは、検査用電極２５ａを非加圧す
る方向（検査用電極２５ａから離間する方向）に回動す
る。そして、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極
２５ａを加圧する際の加圧面の上下方向の位置は、加圧
シリンダ６１の上下方向の移動に基づいて調整される。

【００６０】上記支点ブロック５６の後方（加圧シリン
ダ６１側）には、該支点ブロック５６の回動を規制する
回動規制手段としての回動規制板６２が設けられてい
る。この回動規制板６２は、加圧シリンダ６１により各
加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを非加圧
する方向（検査用電極２５ａから離間する方向）に回動
したときに、支点ブロック５６の回動（図８に示す矢印
Ｃ方向の回動）を規制する。

【００６１】詳述すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂ
が検査用電極２５ａから離間する方向に回動すると、各
加圧レバー５７ａ，５７ｂが回動規制板６２に当接し、
支点ブロック６１の回動が規制される。逆に、各加圧レ
バー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを加圧する方向
に回動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが回動規制
板６２から離間し、支点ブロック６１は回動可能とな
る。従って、この状態では、各加圧レバー５７ａ，５７
ｂは、図８に示す矢印Ｃ方向に回動可能となる。

【００６２】このような回動規制板６２を設けること
で、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａか
ら離間する方向に回動したときには、支点ブロック５６
が回動不能となるため、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの
先端部によりパネル２２を損傷することが防止される。
一方、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａ
を加圧する方向に回動したときには、支点ブロック５６
が回動可能となるため、パネル２２の歪みに対して各レ
バー５７ａ，５７ｂを追従可能とする構成にすることが
できる。

【００６３】上部加圧レバー５７ａには、回動量調節手
段としてのストッパボルト６３が設けられている。この
ストッパボルト６３は、検査用電極２５ａ上面を加圧す
る方向への上部加圧レバー５７ａの回動量を調節する。
詳しくは、図６に示すように、ストッパボルト６３が固
定ブロック５４の上部に当接して、上部加圧レバー５７
ａの回動量が規制される。そして、後述するように、こ
のストッパボルト６３により上部加圧レバー５７ａの加
圧方向の回動量を調節することにより、検査用電極２５
ａの押し下げ量が決定される。

【００６４】次に、このように構成される検査ユニット
２４ａの作用を説明する。上記したように、検査ユニッ
ト２４ａは、ＰＤＰ電極群２３ａに対応して予め位置決
めされて固定される接続ブロック３０ａを有する治具２
７とキャッチクリップ３１ａを介して接続される。これ
により、ＰＤＰパネル２２の辺方向における検査用電極
２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの接触位置がほぼ決定さ
れる。

【００６５】次いで、検査ユニット２４ａは、検査用電
極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとが接触可能となる位置
に達するまで、第２レール３３に沿って図６に示す右矢
印方向に移動する。この状態から、駆動シリンダ５３に
よってスライダ５２が図６に示す左矢印方向に移動する
と、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが固定ブロック５４に
対して後退する。つまり、図６に示すように、検査用電
極２５ａがＰＤＰ電極群２３ａとの接触位置に保持され
たまま、各加圧レバー５７ａ，５７ｂがＰＤＰパネル２
２から離間する方向に後退する。

【００６６】この状態で、加圧シリンダ６１によって上
部加圧レバー５７ａが加圧方向に回動すると、該加圧レ
バー５７ａは、検査用電極２５ａの先端と固定端との略
中間部分を押し下げる。

【００６７】これにより、図６に示すように、検査用電
極２５ａの先端部が視認可能な状態で、該検査用電極２
５ａをＰＤＰ電極群２３ａに接触させることができる。
尚、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触さ
せる際の上部加圧レバー５７ａによる検査用電極２５ａ
の押し下げ量は、固定ブロック５４上端に当接させるス
トッパボルト６３によって調整可能である。即ち、スト
ッパボルト６３によって検査用電極２５ａの押し下げ量
を調整することで、検査用電極２５ａ先端部をＰＤＰ電
極群２３ａに接触保持させるような加圧力に設定するこ
とができる。これにより、上部加圧レバー５７ａによる
検査用電極２５ａの損傷を防止することができる。

【００６８】このようにして、検査用電極２５ａとＰＤ
Ｐ電極群２３ａとを接触させた状態で、検査用電極２５
ａの先端部をカメラ４２により撮像することで、該検査
用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの重なり具合を認
識する。その結果、両電極２３ａ，２５ａの接触位置に
ズレが生じている場合には、検査用電極２５ａの電極位
置を補正する。

【００６９】そして、ＰＤＰ電極群２３ａに対する検査
用電極２５ａの接触位置が決定された後、駆動シリンダ
５３によってスライダ５２が図６に示す右矢印方向に移
動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが固定ブロック
５４に対して前進する。つまり、図７に示すように、各
加圧レバー５７ａ，５７ｂの先端部が検査用電極２５ａ
の先端部まで移動する。

【００７０】この状態で、加圧シリンダ６１によって各
加圧レバー５７ａ，５７ｂが加圧方向に回動すると、Ｐ
ＤＰパネル２２及び検査用電極２５ａが各加圧レバー５
７ａ，５７ｂ先端部の弾性体５８ａ，５８ｂによって挟
み込まれる。これにより、検査ユニット２４ａは、検査
用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに対して予め位置決
めされた位置で精度良く接触させることができる。

【００７１】図９は、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群
２３ａとの接触状態を示す側面図である。尚、図９
（ａ）には、本実施形態の検査ユニット２４ａに設けら
れる固定ブロック５４を示し、図９（ｂ）には、従来構
成の固定ブロック５４ａの一例を比較のため示す。

【００７２】本実施形態の固定ブロック５４は、上記し
たようにその上端部がＰＤＰパネル２２側に向かって前
傾する傾斜状に形成されている。つまり、検査用電極２
５ａは、水平面に対して所定の傾斜角度を有して固定ブ
ロック５４に固定される。一方、図９（ｂ）に示すよう
に、従来の固定ブロック５４ａは、その上端部が平坦状
に形成されており、検査用電極２５ａを水平面と平行す
るように固定する。

【００７３】ここで、各固定ブロック５４，５４ａにそ
れぞれ支持される検査用電極２５ａを、同一変位量で垂
直方向に変位させて両電極２３ａ，２５ａを接触させた
場合、検査用電極２５ａを斜めに固定した場合における
水平方向変位ｆ１は、検査用電極２５ａを水平に固定し
た場合における水平方向変位ｆ２よりも大きくなる。

【００７４】ＰＤＰ電極群２３ａは、ガラス製のＰＤＰ
パネル２２表面にクロム（Ｃｒ）等の金属を蒸着するこ
とによって形成されるが、大気中に晒されることで該パ
ネル２２表面には酸化膜が形成される。このような酸化
膜が形成されると、該酸化膜が絶縁層となり両電極２３
ａ，２５ａの接触性を阻害する場合がある。このため、
安定した接触性を得るには、上記酸化膜を除去した状態
で両電極２３ａ，２５ａを接触させることが好ましい。

【００７５】上記したように、本実施形態では、固定ブ
ロック５４に検査用電極２５ａを斜めに固定すること
で、該検査用電極２５ａを垂直方向に加圧した際の水平
方向変位を大きくすることができる。従って、ＰＤＰ電
極群２３ａ上に形成される酸化膜を除去するワイピング
効果を高め、該酸化膜を除去した状態で安定した接触性
を得ることをも可能としている。

【００７６】図１０は、ＰＤＰパネル２２の伸縮（反
り）が発生した場合の検査ユニット２４ａの作用を説明
する断面図である。ＰＤＰパネル２２自体の反りが発生
した場合、検査ユニット２４ａの各加圧レバー５７ａ，
５７ｂは、同図に示すｅを回動中心として一点鎖線で示
す位置に回動する。つまり、上記したように、各加圧レ
バー５７ａ，５７ｂと加圧シリンダ６１とは平行リンク
機構を構成しているため、各加圧レバー５７ａ，５７ｂ
は、パネル２２の厚み方向への変位に対して追従可能で
ある。さらに、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、支点ブ
ロック５６が回動軸５５を支軸として回動可能であるた
め、パネル２２の円弧状の変位に対しても追従可能であ
る（図６及び図７参照）。これにより、検査用電極２５
ａとＰＤＰ電極群２３ａとを均一に接触させることがで
きる。

【００７７】この際、ＰＤＰ電極群２３ａのピッチ方向
に微小なズレｄが生じるが、検査用電極２５ａと上部加
圧レバー５７ａの弾性体５８ａとは固着されていないた
め、検査用電極２５ａは、ズレｄの影響を受けずに予め
位置決めされた位置にてＰＤＰ電極群２３ａと高精度に
接触する。

【００７８】尚、上記のパネル検査装置は図示しない制
御装置を備え、該制御装置により図１に示す検査ユニッ
ト２４ａ〜２４ｆ等が制御される。制御装置は操作盤を
備え、作業者により操作盤の操作に応答して検査ユニッ
ト２４ａ〜２４ｆの移動、検査用電極２５ａ〜２５ｆの
加圧を行う。

【００７９】詳しくは、制御装置には複数のバルブが接
続され、該バルブを開閉制御し、図６に示す検査ユニッ
ト２４ａの駆動シリンダ５３、加圧シリンダ６１に供給
する空気の供給方向を切り替える。これにより、制御装
置は、検査ユニット２４ａを移動させ、検査用電極２５
ａとＰＤＰパネル２２を挟持する上部及び下部加圧レバ
ー５７ａ，５７ｂを回動させる。

【００８０】また、制御装置には複数のバルブが接続さ
れ、該バルブを開閉制御し、図２に示すベース部材３４
を移動させるシリンダに供給する空気の供給方向を切り
替える。これにより、制御装置は、ベース部材３４を、
各検査ユニット２４ａ〜２４ｆがＰＤＰパネル２２に近
接する検査位置と、ＰＤＰパネル２２から離間した非検
査位置とに選択的に配置する。

【００８１】更に、制御装置にはアライメント用モータ
３８が接続され、操作盤の操作に応じて該モータ３８を
回転駆動する。これにより、制御装置は、スライドブロ
ック３７をＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って移動させ
る。

【００８２】以上記述したように、本実施形態によれ
ば、以下の効果を奏する。 （１）検査ユニット２４ａには、上部及び下部加圧レバ
ー５７ａ，５７ｂが、固定ブロック５４に固定された検
査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触可能な位
置に保持した状態で、ＰＤＰパネル２２から離間する方
向に移動可能に設けられる。これにより、検査用電極２
５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの重なり具合が視認可能な
状態にて、両電極２３ａ，２５ａの位置合わせを予め行
うことができる。従って、検査ユニット２４ａは、検査
用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに対して高精度に接
触させることができ、ひいてはパネル検査効率を向上さ
せることができる。

【００８３】（２）各加圧レバー５７ａ，５７ｂと加圧
シリンダ６１とにより構成される平行リンク機構によ
り、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、ＰＤＰパネル２２
の厚み方向の変位に対して追従可能である。さらに、各
加圧レバー５７ａ，５７ｂは、支点ブロック５６が回動
軸５５を支軸として回動可能であるため、パネル２２の
円弧状の変位に対して追従可能である。従って、検査ユ
ニット２４ａは、ＰＤＰパネル２２自体の伸縮（反り）
が発生した場合にも、検査用電極２５ａをＰＤＰ電極群
２３ａに対して高精度に接触させることができる。

【００８４】（３）固定ブロック５４は、検査用電極２
５ａをＰＤＰパネル２２側に所定の傾斜角度で前傾した
状態で固定する。これにより、検査用電極２５ａとＰＤ
Ｐ電極群２３ａとの接触時におけるワイピング（酸化膜
除去）効果を向上させることができる。従って、両電極
２３ａ，２５ａの接触性を高めることができる。

【００８５】（４）ＰＤＰパネル２２の一つの辺に対応
して設けられる複数の検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、
該パネル２２における複数のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３
ｆの電極幅及び電極ピッチ、さらには電極群ピッチＰ１
に対応した位置に接続ブロック３０ａ〜３０ｆを有した
治具２７と接続される。そして、予め位置決めされた位
置にそれら接続ブロック３０ａ〜３０ｆが固定された治
具２７は、パネルサイズに応じて準備される。これによ
り、パネルサイズ変更時における位置合わせの調整作業
を容易に行うことができる。

【００８６】（５）検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２
３ａとを電気的に接続するための中継用フィルム配線基
板（中継フレキ）４５が設けられ、該中継フレキ４５
は、下部加圧レバー５７ａの先端部下方にて切り欠き形
成された通過経路５９を通過して駆動回路４３のフィル
ム基板４４と接続される。これにより、中継フレキ４５
及びフィルム基板４４は、検査用電極２５ａとともに加
圧されないため、加圧による破損が防止される。従っ
て、検査用電極２５ａの長寿命化の実現が可能となるた
め、パネル検査装置１１のランニングコスト（維持費）
を低減することができる。

【００８７】尚、本実施形態は、以下の態様で実施して
もよい。 ・本実施形態では、中継フレキ４５と検査用電極２５ａ
とが一体に接続されて設けられているが、必ずしも一体
に設ける必要はない。

【００８８】・本実施形態では、ＰＤＰパネル２２の一
つの辺に６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆが構成され
る場合に具体化したが、これに限らず５以下又は７以上
構成される場合に具体化してもよい。

【００８９】・本実施形態の治具２７内には、制御装置
（本実施形態では図示せず）から各検査ユニット２４ａ
〜２４ｆへのエア配管・配線を内蔵することもできる。
このようにすれば、検査ユニット２４ａ〜２４ｆの脱着
時にそれら配管・配線の接続作業を容易に行うことが可
能となる。

【００９０】・本実施形態では、ＰＤＰパネル２２の辺
方向に沿った各検査ユニット２４ａ〜２４ｆ（図１参
照）の位置を微調整用ネジ３２ａ〜３２ｆによって微調
整可能としたが、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆが、該
パネル２２の辺方向に沿ってスライド可能とする駆動機
構を個別に備えるようにしてもよい。

【００９１】本実施形態の特徴をまとめると以下のよう
になる。 （付記１） 検査用電極を備えた検査ユニットが表示パ
ネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けら
れ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査
装置において、前記検査ユニットは、前記電極群に前記
検査用電極を圧接させる加圧機構を備えてなり、該加圧
機構は、前記検査用電極と前記電極群とを接触可能とす
る位置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直
交する方向に双方向に移動可能に設けられていることを
特徴とするパネル検査装置。 （付記２） 前記検査用電極は、所定の傾斜角度で前記
表示パネル側に前傾させて前記検査ユニットに固定され
ることを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。 （付記３） 前記検査ユニットは、前記表示パネルの周
辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設け
られ、前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に
対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続される
ことを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。 （付記４） 前記位置決め手段は、前記表示パネルのパ
ネルサイズに応じて形成される前記複数の電極群に対応
した位置で前記治具に予め設けられることを特徴とする
付記３記載のパネル検査装置。 （付記５） 前記治具は、前記複数の電極群の電極群数
及び電極群ピッチに対応した数及びピッチにて前記位置
決め手段を複数有し、該治具は、前記表示パネルのパネ
ルサイズに応じてそれぞれ準備されるものであることを
特徴とする付記３記載のパネル検査装置。 （付記６） 前記治具は、前記複数の電極群との対応位
置に固定された位置決め手段と、当該複数の電極群との
非対応位置に固定された位置決め手段とを有することを
特徴とする付記３記載のパネル検査装置。 （付記７） 前記位置決め手段には、前記複数の検査ユ
ニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配
置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表示
パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手段
がさらに設けられていることを特徴とする付記３記載の
パネル検査装置。 （付記８） 前記表示パネルに検査用信号を供給する駆
動回路を備え、前記検査ユニットは、前記検査用電極と
前記電極群とを電気的に接続させる中継基板を、該検査
用電極と電極群との非接触位置にて前記駆動回路と中継
させ且つ該駆動回路に対して着脱可能としたことを特徴
とする付記１乃至７のいずれか一記載のパネル検査装
置。 （付記９） 前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前記
検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加圧
レバーを備え、前記一対の加圧レバーのいずれか一方に
は、前記中継基板の通過経路が形成されていることを特
徴とする付記８記載のパネル検査装置。 （付記１０） 前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前
記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加
圧レバーを備え、前記一対の加圧レバーは、前記検査用
電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持
した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向且
つ該表示パネルから離間する方向に前記検査用電極の先
端部が視認可能となる位置まで移動可能に設けられるこ
とを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。 （付記１１） 前記一対の加圧レバーは、前記検査用電
極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧
レバーとから構成され、前記検査ユニットには、前記検
査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及
び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバー
の加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えた
ことを特徴とする付記１０記載のパネル検査装置。 （付記１２） 前記回動量調節手段は、前記検査用電極
の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されて
いることを特徴とする付記１１記載のパネル検査装置。 （付記１３） 前記一対の加圧レバーは支点ブロックに
回動可能に支持され、該支点ブロックは、前記表示パネ
ルの辺方向に直交する方向に沿って設けられる回動軸を
支軸として回動可能に設けられることを特徴とする付記
１０又は１１記載のパネル検査装置。 （付記１４） 前記一対の加圧レバーが前記検査用電極
を非加圧する方向へ回動したときに該一対の加圧レバー
と当接し、前記支点ブロックの回動を規制する回動規制
手段を備えたことを特徴とする付記１３記載のパネル検
査装置。

【００９２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度に接触さ
せ得るパネル検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施形態のパネル検査装置を示す平面図で
ある。

【図２】 パネル検査装置を示す拡大平面図である。

【図３】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する
平面図である。

【図４】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する
平面図である。

【図５】 パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する
平面図である。

【図６】 検査ユニットを示す側面図である。

【図７】 検査ユニットを示す側面図である。

【図８】 検査ユニットを示す正面図である。

【図９】 検査ユニットの作用を説明する側面図であ
る。

【図１０】 検査ユニットの作用を説明する断面図であ
る。

【図１１】 従来のパネル検査装置を示す断面図であ
る。

【図１２】 従来の検査ユニットを示す側面図である。

【符号の説明】

１１ パネル検査装置 ２２ 表示パネルとしてのＰＤＰパネル ２３ａ〜２３ｆ 電極群としてのＰＤＰ電極群 ２４ａ〜２４ｆ 検査ユニット ２５ａ〜２５ｆ 検査用電極 ５７ａ，５７ｂ 加圧機構としての上部及び下部加圧レ
バー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G036 AA19 AA25 AA27 BA32 BB12 CA02 4M106 AA20 AB09 AD11 AD23 BA01 DD12 DD13 DD16 5C012 AA05 AA09 VV10

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査用電極を備えた検査ユニットが表示
   パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設け
   られ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検
   査装置において、 前記検査ユニットは、前記電極群に前記検査用電極を圧
   接させる加圧機構を備えてなり、該加圧機構は、前記検
   査用電極と前記電極群とを接触可能とする位置に保持し
   た状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向に双
   方向に移動可能に設けられていることを特徴とするパネ
   ル検査装置。
2. 【請求項２】 前記検査用電極は、所定の傾斜角度で前
   記表示パネル側に前傾させて前記検査ユニットに固定さ
   れることを特徴とする請求項１記載のパネル検査装置。
3. 【請求項３】 前記検査ユニットは、前記表示パネルの
   周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設
   けられ、 前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応し
   て複数の位置決め手段を有する治具に接続されることを
   特徴とする請求項１記載のパネル検査装置。
4. 【請求項４】 前記位置決め手段には、前記複数の検査
   ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して
   配置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表
   示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手
   段がさらに設けられていることを特徴とする請求項３記
   載のパネル検査装置。
5. 【請求項５】 前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前
   記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加
   圧レバーを備え、 前記一対の加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前
   記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で、前記
   表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルか
   ら離間する方向に前記検査用電極の先端部が視認可能と
   なる位置まで移動可能に設けられることを特徴とする請
   求項１記載のパネル検査装置。
6. 【請求項６】 前記一対の加圧レバーは、前記検査用電
   極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧
   レバーとから構成され、 前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認
   可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動
   したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調
   節する回動量調節手段を備えたことを特徴とする請求項
   ５記載のパネル検査装置。
7. 【請求項７】 前記回動量調節手段は、前記検査用電極
   の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されて
   いることを特徴とする請求項６記載のパネル検査装置。
8. 【請求項８】 前記一対の加圧レバーは支点ブロックに
   回動可能に支持され、該支点ブロックは、前記表示パネ
   ルの辺方向に直交する方向に沿って設けられる回動軸を
   支軸として回動可能に設けられることを特徴とする請求
   項５又は６記載のパネル検査装置。
9. 【請求項９】 前記一対の加圧レバーが前記検査用電極
   を非加圧する方向へ回動したときに該一対の加圧レバー
   と当接し、前記支点ブロックの回動を規制する回動規制
   手段を備えたことを特徴とする請求項８記載のパネル検
   査装置。