KR20030025839A - 전자부품 측정장치 및 측정방법 - Google Patents
전자부품 측정장치 및 측정방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20030025839A KR20030025839A KR1020020056949A KR20020056949A KR20030025839A KR 20030025839 A KR20030025839 A KR 20030025839A KR 1020020056949 A KR1020020056949 A KR 1020020056949A KR 20020056949 A KR20020056949 A KR 20020056949A KR 20030025839 A KR20030025839 A KR 20030025839A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electronic component
- lead
- sides
- tip
- measuring
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2644—Adaptations of individual semiconductor devices to facilitate the testing thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0425—Test clips, e.g. for IC's
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- 전자부품의 여러 개의 리드 각각에 제 1 및 제 2 측자를 접촉시키고, 켈빈콘택트 방식에 의해 상기 전자부품을 측정하는 전자부품 측정장치에 있어서,상기 제 1 및 제 2 측자는, 탄성을 갖는 도전재료로 형성되고, 상기 리드의 동일면의 기저부측 및 선단측에 각각 접촉하도록 설치되며,상기 제 1 측자는, 상기 제 2 측자보다도 선단부가 돌출하여, 상기 리드의 기저부측에서 보아 둔각을 이루는 방향으로 선단부가 상기 리드로 밀어 붙여지는 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 측자 사이에 절연부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 제 2항에 있어서,상기 절연부재는 상기 제 1 또는 제 2 측자의 선단부의 선단영역에만 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 측자는 상기 제 2 측자보다도 직경방향의 단면적이 큰 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 제 1항에 있어서,상기 전자부품의 측정위치에서 상기 전자부품을 협지하는 협지부재를 구비한 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 전자부품의 여러개의 리드 각각에 한 쌍의 제 1 및 제 2 측자를 접촉시키고 켈빈콘택트 방식에 의해 상기 전자부품을 측정하는 전자부품 측정장치에 있어서,상기 리드와 직교하는 상기 제 1 및 제 2 측자의 각 기저부를 보유하는 보유부재와상기 제 1 및 제 2 측자가 두께 방향으로 이동이 자유롭게 끼워져 통하는 관통공을 여러개 가지고, 상기 제 1 및 제 2 측자의 상기 리드의 배열방향과 평행한 제 1 방향으로의 이동을 규제하는 규제부재와,상기 규제부재를 압압하여 상기 제 1 및 제 2 측자를 상기 리드에 근접하는 방향으로 이동시키는 풋셔를 구비하고,상기 제 1 및 제 2 측자의 각 선단부가 상기 리드측으로 구부려져 선단영역이 상하 방향으로 서로 대향하고,상기 규제부재의 관통공은 제 1 방향과 수직한 제 2 방향의 길이가 상기 제 1 또는 제 2 측자의 제 2 방향의 길이보다 큰 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 전자부품의 여러개의 리드 각각에 제 1 및 제 2 측자를 접촉시키고 켈빈콘택트 방식에 의해 상기 전자부품을 측정하는 전자부품 측정장치에 있어서,상기 리드와 직교하는 상기 제 1 및 제 2 측자의 각 기저부를 보유하는 보유부재와,상기 제 1 및 제 2 측자가 두께 방향으로 이동이 자유롭게 끼워져 통하는 관통공을 여러개 가지고, 상기 리드의 배열방향으로의 상기 제 1 및 제 2 측자의 이동을 규제하는 규제부재와,상기 규제부재를 압압하여 상기 제 1 및 제 2 측자를 상기 리드에 근접하는 방향으로 이동시키는 풋셔를 구비하고,상기 제 1 및 제 2 측자의 각 선단부는 상기 전자부품의 리드측으로 구부려지고, 그 선단영역이 상기 리드의 배열방향으로 넓어져 상하 방향으로 서로 대향하는 것을 특징으로 하는 전자부품 측정장치.
- 리드를 갖는 전자부품을 측정위치로 반송하여 협지부재로 협지하는 제 1 공정과,전자부품 측정용의 제 1 및 제 2 측자를 상기 전자부품의 리드로 밀어 붙이는 제 2 공정과,상기 제 1 및 제 2 측자를 사용하여 상기 전자부품의 전기적 특성의 측정 하는 제 3 공정과,상기 전자부품의 측정 후에, 상기 협지부재에 의해 상기 전자부품에 대한 협지를 정지하는 제 4 공정과,상기 제 1 및 제 2 측자를 상기 전자부품의 리드로부터 떼어놓는 제 5 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품 측정방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001286629A JP4024023B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 電子部品測定装置及び方法 |
JPJP-P-2001-00286629 | 2001-09-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030025839A true KR20030025839A (ko) | 2003-03-29 |
KR100508376B1 KR100508376B1 (ko) | 2005-08-17 |
Family
ID=19109574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0056949A KR100508376B1 (ko) | 2001-09-20 | 2002-09-18 | 전자부품 측정장치 및 측정방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4024023B2 (ko) |
KR (1) | KR100508376B1 (ko) |
CN (1) | CN1204615C (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1314974C (zh) * | 2004-08-06 | 2007-05-09 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 纳电子器件性能测试用的器件结构及制备方法 |
JPWO2006068156A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2008-06-12 | 株式会社 オプト・システム | ケルビンプローブ |
JP4831614B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2011-12-07 | 株式会社ヨコオ | ケルビン検査用治具 |
JP5144997B2 (ja) * | 2007-09-21 | 2013-02-13 | 東京特殊電線株式会社 | コンタクトプローブユニット及びその製造方法 |
JP5086872B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2012-11-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 電子部品測定装置の測子の接触機構及びそれを用いた電子部品測定装置 |
KR20140020892A (ko) * | 2011-05-26 | 2014-02-19 | 이스메카 세미컨덕터 홀딩 에스.아. | 클램프 |
CN111366811B (zh) * | 2020-03-19 | 2022-06-21 | 北京广利核系统工程有限公司 | 一种电子元器件的集成式自动检验装置及方法 |
CN114325339B (zh) * | 2021-12-31 | 2024-04-05 | 苏州思迈尔电子设备有限公司 | 传感器电路板检测装置及其检测方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58158939A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-21 | Nec Corp | 半導体ウエハ−、チツプの測定方法 |
JPH05144895A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-11 | Nec Yamagata Ltd | プローブカード |
US6121783A (en) * | 1997-04-22 | 2000-09-19 | Horner; Gregory S. | Method and apparatus for establishing electrical contact between a wafer and a chuck |
KR19980084369A (ko) * | 1997-05-23 | 1998-12-05 | 배순훈 | 켈빈 프로브 팁 |
JPH1164385A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-03-05 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 検査用基板のプローブ |
-
2001
- 2001-09-20 JP JP2001286629A patent/JP4024023B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-09-18 KR KR10-2002-0056949A patent/KR100508376B1/ko active IP Right Grant
- 2002-09-20 CN CNB021424950A patent/CN1204615C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003090849A (ja) | 2003-03-28 |
CN1405873A (zh) | 2003-03-26 |
JP4024023B2 (ja) | 2007-12-19 |
CN1204615C (zh) | 2005-06-01 |
KR100508376B1 (ko) | 2005-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR910000997B1 (ko) | 전자부품 장착장치 | |
JP5016892B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
KR101186915B1 (ko) | 검사용 접촉 구조체 | |
KR100508376B1 (ko) | 전자부품 측정장치 및 측정방법 | |
US4943768A (en) | Testing device for electrical circuit boards | |
JP2017036997A (ja) | 両面回路基板の検査装置及び検査方法 | |
JP4209696B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
TW200924310A (en) | Semiconductor device socket | |
JP4886422B2 (ja) | 四端子測定用プローブ | |
KR101999834B1 (ko) | 테스트 장비 | |
KR20200115103A (ko) | 전기적 접촉자 및 프로브 카드 | |
WO2021149668A1 (ja) | プローブ、測定装置、及び測定方法 | |
US4887030A (en) | Testing device for electrical circuit boards | |
JPH0385456A (ja) | プローバ | |
US4950981A (en) | Apparatus for testing a circuit board | |
JPH06784Y2 (ja) | 電子部品の検査用治具 | |
KR102182216B1 (ko) | 프로브 카드 | |
JPS62298781A (ja) | デバイス特性測定用ハンドラ装置 | |
JPH04206752A (ja) | 面実装形icの検査装置 | |
JPH06201750A (ja) | 配線基板の検査装置 | |
JP4334684B2 (ja) | 基板検査用センサおよび基板検査装置 | |
JP3748151B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JPH1026646A (ja) | コンタクト装置 | |
JPH0745021Y2 (ja) | プローブの接点構造 | |
JP3172305B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130719 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140701 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150629 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160721 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170718 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180706 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190709 Year of fee payment: 15 |