JP7049157B2 - プローブ組立体及びプローブユニット - Google Patents

Description

本発明は、表示パネルのような平板状の被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体、及びそのプローブ組立体を備えたプローブユニットに関する。

従来から、フラットパネルディスプレイの表示パネル（例えば液晶表示パネル）のような平板状の被検査体の電気的試験には、薄板状の接触子であるブレード型プローブを複数備え、それらプローブの針先（接触端）が整列するように重ねて保持されているプローブ組立体が使用されている。このようなプローブ組立体を用いて検査される被検査体には、プローブ組立体を構成する各プローブの針先と接触させる多数の電極パッドが配列されており、プローブ組立体の各プローブの針先をその電極パッドに接触させた状態で被検査体に制御信号を送信することにより電気的試験が行われる。

しかしながら、液晶表示パネル等の表示パネルは、近年、集積化が進み、電極パッドが極めて狭い間隔で配列される場合がある。これに対応するため、被検査体においては、電極パッドの位置を互いにずらして配置し、プローブ組立体においては、針先位置が異なる複数種のプローブを組み合わせることによって、被検査体の電極パッドの位置に合わせてプローブの針先位置を互いにずらしたプローブ組立体が従来から知られている。

例えば、特許文献１には、複数の電極パッドが交互にずれて２列に配置されている被検査体に対応するように、針先位置が異なる２種類のブレード型プローブを交互に重ねて、プローブの針先が２列に並ぶようにしたプローブ組立体が開示されている。

特開２０１２－７９８７号公報

特許文献１で開示されるプローブ組立体を用いて電気的試験が行われる被検査体のように、電極パッドの列が複数列になっている被検査体においては、被検査体の種類などにより電極パッドの列同士の間隔が異なっている場合がある。このため、従来のプローブ組立体を使用して被検査体の電気的試験を実行する場合、被検査体の電極パッドの列同士の間隔に変更が有るときは、それに合わせてプローブ組立体のプローブの針先（接触端）の列同士の間隔も調整する必要がある。このため、プローブ組立体に備えられる複数種のブレード型プローブの一部の種類を、異なる針先位置を有する別の種類のブレード型プローブに交換して、針先の列同士の間隔を電極パッドの列同士の間隔に合わせる場合があった。例えば、針先位置の異なる２種類のブレード型プローブが組み合わされて針先位置が２列に配置されているプローブ組立体の場合には、その内の１列分のブレード型プローブを針先位置が異なる別の種類のブレード型プローブに交換する必要があり、また、その交換する１列分のブレード型プローブを別途用意する必要があった。

このように、複数種のブレード型プローブの一部を交換すること、及び、その交換用に針先位置の異なる別の種類のブレード型プローブを用意することは、手間や時間、コストもかかるという問題があった。

そこで、本発明の目的は、電極パッドの列同士の間隔が異なる被検査体に対して、針先位置が異なる別な種類のブレード型プローブに交換することなしに対応できるプローブ組立体を提供することである。

本発明の第１の態様に係るプローブ組立体は、プローブ支持体と、前記プローブ支持体の第１方向における両端部に取り付けられているサイドカバーと、前記両端部のサイドカバーに固定され、前記第１方向における一方側のサイドカバーから前記第１方向における他方側のサイドカバーまで延設されるバー部材と、前記バー部材を通す貫通穴を有するとともに前記第１方向と交差する第２方向に延設され、前記一方側のサイドカバーと前記他方側のサイドカバーとの間に複数配置されるブレード型プローブと、を備え、前記ブレード型プローブは、被検査体に接触させる接触端を各々有し、前記ブレード型プローブとして、前記第１方向に沿う第１列に各々の接触端が並ぶように配置される複数の第１列用ブレード型プローブと、前記第２方向において前記第１列とは異なる位置に形成される列であって前記第１方向に沿う第２列に各々の接触端が並ぶように配置される複数の第２列用ブレード型プローブと、を有し、前記第２列用ブレード型プローブに形成される前記貫通穴は、前記バー部材に対する前記第２方向における前記第２列用ブレード型プローブの移動を許容する、隙間を前記バー部材に対して有し、前記バー部材に対する前記第２方向における前記第２列用ブレード型プローブの移動を規制する規制部を備えることを特徴とする。

本態様によれば、共にバー部材を通す貫通穴を有する複数の第１列用ブレード型プローブと複数の第２列用ブレード型プローブとを有し、第２列用ブレード型プローブに形成される貫通穴は、バー部材に対する第２方向における第２列用ブレード型プローブの移動を許容する隙間をバー部材に対して有する。すなわち、該隙間があることで、１の被検査体の電気的試験を実行した後に別の被検査体の電気的試験を実行する場合、電極パッドの列同士の間隔の変更に合せて接触端の列同士の間隔（第１列と第２列の間隔）を調整することができる。このため、１列分の複数のブレード型プローブ（第２列用ブレード型プローブ）を交換することなく、第１列用ブレード型プローブの接触端の列と第２列用ブレード型プローブの接触端の列との間隔を調整することができる。したがって、様々な電極パッド配置の被検査体に対応することができる。

また、本態様によれば、バー部材に対する第２方向における第２列用ブレード型プローブの移動を規制する規制部を備えるので、第２列用ブレード型プローブを固定でき、第２列用ブレード型プローブの位置がずれることを抑制できる。

本発明の第２の態様に係るプローブ組立体は、前記第１の態様において、前記貫通穴は、前記第２方向に長い長穴であることを特徴とする。

本態様によれば、貫通穴は第２方向に長い長穴であるので、バー部材に対する第２方向における第２列用ブレード型プローブの移動を許容する構成を簡単に形成することができる。

本発明の第３の態様に係るプローブ組立体は、前記第１または第２の態様において、前記規制部は、前記両端部のサイドカバーに固定され、前記一方側のサイドカバーから前記他方側のサイドカバーまで延設される第２列用ブレード型プローブ用バー部材と、前記第２列用ブレード型プローブに形成され、前記バー部材を通すとともに前記バー部材に対して隙間が設けられていない第２列用ブレード型プローブ用貫通穴と、を有していることを特徴とする。

本態様によれば、サイドカバーに固定された第２列用ブレード型プローブ用バー部材で第２列用ブレード型プローブ用貫通穴を固定するという簡単な構成で、第２列用ブレード型プローブの位置がずれることを抑制できる。

本発明の第４の態様に係るプローブ組立体は、前記第１から第３のいずれか１つの態様において、前記プローブ支持体には、前記ブレード型プローブの一部を挿入可能であって、前記第２方向に延びる溝部が形成されており、前記第２列用ブレード型プローブを挿入可能な前記溝部は、前記第２列用ブレード型プローブの前記第２方向における移動範囲の移動を許容する形状に構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、溝部によりブレード型プローブの第１方向における位置を精度よく位置決めすることができる。また、溝部の内、前記第２列用ブレード型プローブを挿入可能な前記溝部は、第２列用ブレード型プローブの第２方向における移動範囲の移動を許容する形状に構成されているので、第２列用ブレード型プローブを第１方向において精度よく位置決めすることができるとともに、第２列用ブレード型プローブの第２方向における移動（位置の調整）を該溝部に沿って簡単に行うことができる。

本発明の第５の態様に係るプローブユニットは、前記第１から第４のいずれか１つの態様のプローブ組立体を複数備えることを特徴とする。

本態様によれば、プローブ組立体を複数備えることで、効率よく被検査体の電気的試験を実行することができる。

本発明の一実施形態に係るプローブユニットを示す概略斜視図である。 本発明の一実施形態に係るプローブユニットを示す側面図である。 図２に示すプローブユニットのプローブ組立体を分解して示す分解斜視図である。 図２に示すプローブユニットのプローブ組立体を下方から見た斜視図である。 図４に示すプローブ組立体を示す側面図である。 図４に示すプローブ組立体の外側サイドカバーを示す側面図である。 図４に示すプローブ組立体の内側サイドカバーを示す側面図である。 図２に示すプローブユニットのプローブ組立体の断面図である。 図２に示すプローブユニットのプローブ組立体の断面図である。 図２に示すプローブユニットのプローブ組立体の断面図である。 （Ａ）は図４に示すプローブ組立体で用いる第１列用ブレード型プローブを示す図であり、（Ｂ）は図４に示すプローブ組立体で用いる第２列用ブレード型プローブを示す図である。

［用語について］
以下の説明においては、図２における上下方向を上下方向又はＺ方向といい、ブレード型プローブが延設される方向（ブレード型プローブの長手方向）を前後方向又はＹ方向といい、ブレード型プローブが並べられる方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。それゆえに、プローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。

［プローブユニット］
最初に、本発明の一実施形態に係るプローブユニット１の概要について説明する。
図１は、本実施形態に係るプローブユニット１を示す概略斜視図であり、図２は、図１に示すプローブユニット１の一部（プローブベース１６の一部と、プロープ装置４）の側面図である。図１及び図２においては、プローブユニット１などの概略形状を表しているため一部の構成部材が省略されていたり形状が簡略化されて表されている。

本実施形態のプローブユニット１は、図１に示すように、被検査体２（具体的には液晶表示パネル等のような表示パネル）の検査装置に用いられる装置である。図１に示される被検査体２は、長方形の形状をしており、また複数の電極パッド１４（図２参照）を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極パッド１４は、被検査体２の表面の回路の高集積化に伴って複数段の千鳥状に配設されている。各電極パッド１４はこれが配置された縁部の辺に対して垂直方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ延びる帯状の形状を有している。

本実施形態のプローブユニット１は、不図示の本体フレームに取り付けられる板状のプローブベース１６と、プローブベース１６の前端部上側に左右方向（Ｘ方向）に延びる状態に配置された支持台１８と、支持台１８に左右方向（Ｘ方向）に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置４（図２においてはこのうち１つを示す。）と、プローブベース１６の上に配置された板状の中継ベース２２と、中継ベース２２に載置された中継基板２４とを含む。

プローブベース１６は、試験装置の本体フレームに、該プローブベース１６の前端部が被検査体２における電極パッド１４が配置された１つの縁部の長手方向（本実施例ではＸ方向）に沿う方向になるように（図１参照）、直接又は板状ベースのような部材などを介して取り付けられる。プローブベース１６は、本体フレーム側に固定された状態で、支持台１８を介してプローブ装置４を支持している。

支持台１８は、プローブベース１６にプローブ装置４を取り付けるための部材であり、左右方向（Ｘ方向）へ延びる板状の主体部１８ａと、主体部１８ａの左右方向（Ｘ方向）における端部から下方へ延びる一対の脚部１８ｂ，１８ｂとにより、門型の正面形状となるように形成されている。これにより、支持台１８は、前方、後方及び下方に開放する空間２６（図２参照）を有する。支持台１８は、プローブベース１６の左右方向（Ｘ方向）に離間した箇所を下方から上方に貫通して、脚部１８ｂに螺合された一対のねじ部材（図示せず）により、プローブベース１６の上に取り付けられている。

プローブ装置４は、被検査体２の電極パッド１４に電気的に接触させるための複数のプローブを含むプローブ組立体１０と、プローブ組立体１０を支持すると共に支持台１８に取り付ける構造とを備えている。図２で示される本実施形態のプローブユニット１の例では、支持台１８は、複数のプローブ装置４で共通とされている。したがって、プローブ装置４は、左右方向（Ｘ方向）に離間して、支持台１８の主体部１８ａの上に取り付けられている。しかし、１つ又は複数のプローブ装置４毎に支持台１８を設けてもよい。

［プローブ装置］
次に、図１及び図２で表される本実施形態に係るプローブユニット１が備えるプローブ装置４について更に詳細に説明する。
ここで、図３は、図２に示すプローブ装置４におけるプローブ組立体１０を分解して示す分解斜視図である。また、図４は、図２に示すプローブ装置４におけるプローブ組立体１０を下方から見た斜視図である。また、図５は、図４に示すプローブ組立体１０を示す側面図である。また、図６は、図４に示すプローブ組立体１０の外側サイドカバー５６を示す側面図である。また、図７は、図４に示すプローブ組立体１０の内側サイドカバー５４を示す側面図である。また、図８から図１０は、図２に示すプローブ装置４の一部断面図であり、各々第２列用ブレード型プローブ４０ｂの位置が異なる状態を表している。そして、図１１は、図４に示すプローブ組立体１０で使用されるブレード型プローブ４０を表しており、このうち、図１１（Ａ）は第１列用ブレード型プローブ４０ａを示す図であり、図１１（Ｂ）は第２列用ブレード型プローブ４０ｂを示す図である。なお、図３から図１１においても、図１及び図２と同様、必要に応じて一部の構成部材が省略されていたり形状が簡略化されて表されている。

各プローブ装置４は、プローブ組立体１０と、プローブ組立体１０を支持するブローブ組立体支持ブロック３２と、ブローブ組立体支持ブロック３２を支持する連結ブロック３４と、ブローブ組立体支持ブロック３２の下側に支持された結合ブロック３６と、ブローブ組立体支持ブロック３２と結合ブロック３６の間に配置されて、ブローブ組立体支持ブロック３２の下側に取り付けられた接続ブロック３８とを含む。

プローブ組立体１０は、複数のブレード型プローブ４０と、プローブ支持体７０と、サイドカバー５４、５６と、バー部材５０と、を含む。複数のブレード型プローブ４０は複数の第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び複数の第２列用ブレード型プローブ４０ｂを含んでおり、プローブ支持体７０は、支持片４４と、一対のスリットバー組立体４６及び４８とを含んでおり、サイドカバーは、内側サイドカバー５４と外側サイドカバー５６と含んでおり、バー部材５０は、第１列用ブレード型プローブ及び第２列用ブレード型プローブの両方を支持するためのバー部材５０ａ、５０ｂと、第２列用ブレード型プローブを支持するためのバー部材５０ｃとを含んでいる。

図３及び図４などに示すように、プローブ組立体１０は、導電性材料により製作された複数のブレード型プローブ４０（複数の第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び複数の第２列用ブレード型プローブ４０ｂ）を、一対のスリットバー組立体４６及び４８に設けられた溝部６６（スリット）に挿入させて、左右方向（Ｘ方向）に間隔をおいて前後方向（Ｙ方向）に延びる状態となるように、交互に配置している。スリットバー組立体４６及び４８は、ブロック状の支持片４４の下側に前後方向（Ｙ方向）に間隔をおいて組み付けられている。

スリットバー組立体４６は、支持片４４の前方側下方に取り付けられており、第１列用ブレード型プローブの先端側（後述する先端領域４２ｂ）が挿入される溝部６６である第１溝部６６ａを備えた第１スリットバー６２と、第２列用ブレード型プローブの先端側（後述する先端領域４３ｂ）が挿入される溝部６６である第２溝部６６ｂを備えた第２スリットバー６４とを備えている。スリットバー組立体４８は、支持片４４の後方側下方に取り付けられており、第２列用ブレード型プローブの後端側（後述する後端領域４３ｃ）が挿入される溝部６６である第３溝部６６ｃを備えた第３スリットバー７２と、第１列用ブレード型プローブの後端側（後述する後端領域４２ｃ）が挿入される溝部６６である第４溝部６６ｄを備えた第４スリットバー７４とを備えている。

第１列用ブレード型プローブ４０ａには、２つのバー部材５０（バー部材５０ａ及び５０ｂ）が貫通状態に挿通されている。また、第２列用ブレード型プローブ４０ｂには、３つのバー部材５０（バー部材５０ａ、５０ｂ及び５０ｃ）が貫通状態に挿通されている。第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、バー部材５０と、それらバー部材５０の各端部を受け入れている板状の内側サイドカバー５４と、内側サイドカバー５４の外側に位置された板状の外側サイドカバー５６とにより支持片４４に組み付けられている。ここで、内側サイドカバー５４には、バー部材５０ａを固定する固定穴５４ａ、バー部材５０ｂを固定する固定穴５４ｂ、バー部材５０ｃを固定する固定穴５４ｃ、が設けられている。

第１列用ブレード型プローブ４０ａは、図１１（Ａ）に示すように、略矩形をした板状の針主体部４２ａと、針主体部４２ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる先端領域４２ｂと、針主体部４２ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後端領域４２ｃとを備えたブレードタイプの針である。先端領域４２ｂは、被検査体２の電極バッドに接触させる接触端であって先端領域４２ｂの先端部から下方へ一体的に延びる先端針先４２ｄを有している。また、後端領域４２ｃは、後述する電気的接続具９６に接触させる接触端であって後端領域４２ｃの後端部から上方へ一体的に延びる後端針先４２ｅと、後端領域４２ｃから上方へ突出すると共に前後方向（Ｙ方向）へ延びる板状の突起部４２ｆとを有している。また、針主体部４２ａにはバー部材５０ａを通す貫通穴４５ａ及びバー部材５０ｂを通す貫通穴４５ｂが形成されている。そして、断面形状が円形であるバー部材５０ａ及びバー部材５０ｂに対応してこれらが隙間なく貫通されるように貫通穴４５ａ及び貫通穴４５ｂは共に円形状をしている。

第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、図１１（Ｂ）に示すように、板状の針主体部４３ａと、針主体部４３ａの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる先端領域４３ｂと、針主体部４３ａの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後端領域４３ｃとを備えたブレードタイプの針である。先端領域４３ｂは、被検査体２の電極バッドに接触させる接触端であって先端領域４３ｂの先端部から下方へ一体的に延びる先端針先４３ｄと、先端領域４３ｂから上方へ突出すると共に前後方向（Ｙ方向）へ延びる板状の突起部４３ｇとを備えている。また、後端領域４３ｃは、後述する電気的接続具９６に接触させる接触端であって後端領域４３ｃの後端部から上方へ一体的に延びる後端針先４３ｅと、後端領域４３ｃから上方へ突出すると共に前後方向（Ｙ方向）へ延びる板状の突起部４３ｆとを有している。また、針主体部４３ａにはバー部材５０ａを通す貫通穴４５ｃ、バー部材５０ｂを通す貫通穴４５ｄ、さらに、バー部材５０ｃを通す貫通穴４５ｅが形成されている。そして、断面形状が円形であるバー部材５０ａ及びバー部材５０ｂに対応して、図８から図１０で表されるように、バー部材５０ａ又はバー部材５０ｂに対してＺ方向に隙間なく接すると共にＹ方向に沿って隙間Ｓができるようにして貫通されるように貫通穴４５ｃ及び貫通穴４５ｄは共にＹ方向に長い長穴状をしている。一方、断面形状が円形であるバー部材５０ｃに対応してこれが隙間なく貫通されるように貫通穴４５ｅは円形状をしている。

なお、図９は、第１列用ブレード型プローブ４０ａに対して第２列用ブレード型プローブ４０ｂを、最も前方側（各先端針先４２ｄで構成される第１列Ｒ１に対して各先端針先４３ｄで構成される第２列Ｒ２が最も近くなる側）に位置させた状態を表している。図１０は、第１列用ブレード型プローブ４０ａに対して第２列用ブレード型プローブ４０ｂを、最も後方側（各先端針先４２ｄで構成される第１列Ｒ１に対して各先端針先４３ｄで構成される第２列Ｒ２が最も遠くなる側）に位置させた状態を表している。図８は、第１列用ブレード型プローブ４０ａに対する第２列用ブレード型プローブ４０ｂの位置が、図９で表される状態と図１０で表される状態の中間となっている状態を表している。

このように、第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、バー部材５０ａ又はバー部材５０ｂに対してＹ方向に沿って隙間Ｓができるように形成された、Ｙ方向に長い長穴状の貫通穴４５ｃ及び貫通穴４５ｄを有している。このため、固定穴５４ａ及び固定穴５４ｂに対してＹ方向における配置を異ならせた固定穴５４ｃを有する内側サイドカバー５４を用意して交換することで、第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂの少なくとも一方を交換することなく、第１列用ブレード型プローブ４０ａに対する第２列用ブレード型プローブ４０ｂのＹ方向における位置を簡単に変更することができる。

ここで一旦まとめると、本実施形態のプローブ組立体１０は、プローブ支持体７０と、プローブ支持体７０の第１方向（Ｘ方向）における両端部に取り付けられているサイドカバー（内側サイドカバー５４）と、両端部の内側サイドカバー５４，５４に固定され、Ｘ方向における一方側の内側サイドカバー５４からＸ方向における他方側の内側サイドカバー５４まで延設されるバー部材５０ａ及び５０ｂと、バー部材５０ａ及び５０ｂを通す貫通穴４５を有するとともに第１方向（Ｘ方向）と交差する第２方向（Ｙ方向）に延設され、一方側の内側サイドカバー５４と他方側の内側サイドカバー５４との間に複数配置されるブレード型プローブ４０と、を備えている。そして、ブレード型プローブ４０は、被検査体２に接触させる接触端（先端針先４２ｄ、先端針先４３ｄ）を各々有しており、また、該ブレード型プローブ４０として、Ｘ方向に沿う第１列Ｒ１に各々の先端針先４２ｄが並ぶように配置される複数の第１列用ブレード型プローブ４０ａと、Ｙ方向において第１列Ｒ１とは異なる位置に形成される列であってＸ方向に沿う第２列Ｒ２に各々の先端針先４３ｄが並ぶように配置される複数の第２列用ブレード型プローブ４０ｂと、を有している（図４参照）。そして、第２列用ブレード型プローブ４０ｂに形成される貫通穴４５ｃ及び４５ｄは、バー部材５０ａ及び５０ｂに対するＹ方向における第２列用ブレード型プローブ４０ｂの移動を許容する、隙間Ｓをバー部材５０ａ及び５０ｂに対して有している。また、移動が許容される第２列用ブレード型プローブ４０ｂの移動を規制する規制部も備えている。

本実施形態のプローブ組立体１０は、このように隙間Ｓがあることで、１の被検査体２の電気的試験を実行した後に別の被検査体２の電気的試験を実行する場合、電極パッド１４の列同士の間隔の変更に合せてブレード型プローブ４０の先端の列同士の間隔（第１列Ｒ１と第２列Ｒ２の間隔）を調整することができる。このため、１列分の複数のブレード型プローブ４０（第２列用ブレード型プローブ４０ｂ）を交換することなく、第１列用ブレード型プローブ４０ａの先端針先４２ｄの列（第１列Ｒ１）と第２列用ブレード型プローブ４０ｂの先端針先４３ｄの列（第２列Ｒ２）との間隔を調整することができる。したがって、本実施形態のプローブ組立体１０は、電極パッド１４の列同士の間隔が様々な被検査体２に対応することができる構成になっている。

また、上記規制部は、両端部の内側サイドカバー５４に固定され、一方側の内側サイドカバー５４から他方側の内側サイドカバー５４まで延設される第２列用ブレード型プローブ用バー部材５０ｃと、第２列用ブレード型プローブ４０ｂに形成され、バー部材５０ｃを通すとともにバー部材５０ｃに対して隙間が設けられていない第２列用ブレード型プローブ用貫通穴４５ｅと、を有している。

上記のように、第２列用ブレード型プローブ４０ｂには、長穴である貫通穴４５ｃ及び４５ｄのほかに、断面形状が円形であるバー部材５０ｃに対応してこれが隙間なく貫通されるように円形状に構成された貫通穴４５ｅを備えている。別の表現をすると、本実施形態のプローブ組立体１０は、内側サイドカバー５４に固定されたバー部材５０ｃに対してＹ方向における第２列用ブレード型プローブ４０ｂの移動を規制する規制部（第２列用ブレード型プローブ用貫通穴としての貫通穴４５ｅ及び第２列用ブレード型プローブ用バー部材としてのバー部材５０ｃ）を備えている。このため、本実施形態のプローブ組立体１０は、このような簡単な構成で、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを所定の位置に固定し、第２列用ブレード型プローブ４０ｂの位置がずれることを抑制している。

なお、本実施例のプローブ組立体１０は、サイドカバーとして内側サイドカバー５４と外側サイドカバー５６とを備えているが、サイドカバーはこのような構成に限定されない。例えば、内側サイドカバー５４に相当する部材のみで構成されていてもよいし、外側サイドカバー５６に相当する部材にバー部材５０ａ及び５０ｂがネジなどで直接固定されている構成でもよいし、内側サイドカバー５４と外側サイドカバー５６とが一体的に形成された構成でもよい。

ここで、図８から図１０で表されるように、貫通穴４５ｃ及び４５ｄはＹ方向に長い長穴であるので、バー部材５０ａ及び５０ｂに対するＹ方向における第２列用ブレード型プローブ４０ｂの移動（別の表現をすると、第１列用ブレード型プローブ４０ａに対するＹ方向における第２列用ブレード型プローブ４０ｂの移動）を許容する構成を簡単に形成している。

ここで、本実施例における支持片４４は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されている。また、図３で表されるように、支持片４４は、その先端部及び後端部が下方に突出しており、下方、左方及び右方に開放する凹所６０（図３参照）を有する。第１列用及び第２列用の、ブレード型プローブ４０ａ、４０ｂの針主体部４２ａ、４３ａは、凹所６０及びその下方に位置し、先端領域４２ｂ、４３ｂは、支持片４４の先端部の下方に位置し、後端領域４２ｃ及び４３ｃは支持片４４の後端部の下方に位置する。

図３で表されるように、前方に位置するスリットバー組立体４６は、支持片４４の先端部下側に配置された第１スリットバー６２と、第１スリットバー６２の下側に配置された第２スリットバー６４とを含む。第１スリットバー６２及び第２スリットバー６４は、それぞれ電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、Ｔ字状及び逆Ｌ字状の断面形状を有する形状に製作されている。

第１スリットバー６２及び第２スリットバー６４は、それぞれ、図３、図８から図１０に示すように、左右方向に間隔を置いて前後方向に延びると共に、前後方向両側及び下方に開放している複数の溝部６６を備えている。第１スリットバー６２に設けられている溝部６６を第１溝部６６ａ、第２スリットバー６４に設けられている溝部６６を第２溝部６６ｂとする。

第１スリットバー６２は、支持片４４の先端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第２スリットバー６４は、第１スリットバー６２の下側に、第２溝部６６ｂが第１溝部６６ａに対し左右方向に２分の１ピッチずれると共に後方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。

また、後方に位置するスリットバー組立体４８は、支持片４４の後端部下側に配置された第３スリットバー７２と、第３スリットバー７２の下側に配置された第４スリットバー７４とを含む。第３スリットバー７２及び第４スリットバー７４は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、逆Ｌ字状の断面形状を有する形状に製作されている。

第３スリットバー７２及び第４スリットバー７４は、それぞれ、図３、図８～１０に示すように、左右方向に間隔を置いて前後方向に延びると共に、前後方向両側及び下方に開放している複数の溝部６６を備えている。第３スリットバー７２に設けられている溝部６６を第３溝部６６ｃ、第４スリットバー７４に設けられている溝部６６を第４溝部６６ｄとする。

第３のスリットバー７２は、支持片４４の後端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第４のスリットバー７４は、第３のスリットバー７２の下側に、第４溝部６６ｄが第３溝部６６ｃに対し左右方向に２分の１ピッチずれると共に前方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。

第１溝部６６ａと第４溝部６６ｄはそれぞれ同一線上に位置し、その線から２分の１ピッチずれた同一線上に第２溝部６６ｂと第３溝部６６ｃがそれぞれ位置している。そして、第１列用ブレード型プローブ４０ａは、その先端領域４２ｂの一部が第１スリットバー６２の第１溝部６６ａに挿入可能になっていると共に、その後端領域４２ｃの一部が第４スリットバー７４の第４溝部６６ｄに挿入可能になっている。また、第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、その先端領域４３ｂの一部が第２スリットバー６４の第２溝部６６ｂに挿入可能になっていると共に、その後端領域４３ｃの一部が第３スリットバー７２の第３溝部６６ｃに挿入可能になっている。

このように、本実施形態のプローブ組立体１０のプローブ支持体７０には、ブレード型プローブ４０の一部を挿入可能であって、Ｙ方向に延びる溝部６６が形成されているので、該溝部６６によりブレード型プローブ４０のＸ方向における位置を精度よく位置決めすることができる。
なお、溝部６６には、本実施例のプローブ支持体７０のように、支持片４４に取り付けられた部材（例えばスリットバー組立体４６及び４８）に形成される溝部６６の他に、支持片４４に直接形成される溝部６６を含んでもよい。

なお、図８から図１０で表されるように、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを挿入可能な溝部６６（６６ｂ、６６ｃ）は、第２列用ブレード型プローブ４０ｂのＹ方向における移動範囲の移動を許容する形状に構成されている。このため、本実施形態のプローブ組立体１０は、第２列用ブレード型プローブ４０ｂをＸ方向において精度よく位置決めすることができるとともに、第２列用ブレード型プローブ４０ｂのＹ方向における移動（位置の調整）を該溝部６６に沿って簡単に行うことができる構成になっている。

詳細には、第２列用ブレード型プローブ４０ｂには突起部４３ｆ及び４３ｇが形成されており、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを挿入可能な溝部６６（６６ｂ及び６６ｃ）は、突起部４３ｆ及び４３ｇを挿入可能であって、第２列用ブレード型プローブ４０ｂのＹ方向における移動範囲の移動に伴う突起部４３ｆ及び４３ｇの移動を許容する長さに構成されている。別の表現をすると、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを最も前方に移動させたときの先端針先４３ｄ（又は後端針先４３ｅ）の位置と、最も後方に移動させたときの後端針先４３ｄ（又は後端針先４３ｅ）の位置との間隔（すなわち、隙間Ｓ）に基づいた長さで溝部（６６ｂ及び６６ｃ）の長さが設定されている。更に別な表現をすると、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを最も前方に移動させたときの突起部４３ｆ（又は突起部４３ｇ）のＹ方向後端の位置と、最も後方に移動させたときの突起部４３ｆ（又は突起部４３ｇ）のＹ方向前端の位置との間隔よりも大きい長さで溝部（６６ｂ及び６６ｃ）の長さが設定されている。本実施例では、第２列用ブレード型プローブ４０ｂが挿入される溝部６６ｂ及び６６ｃの長さは、第１列用ブレード型プローブ４０ａが挿入される溝部６６ａ及び６６ｄの長さより長くなっている。そして、第２列用ブレード型プローブ４０ｂを最も前方に移動させたとき及び最も後方に移動させたときに突起部４３ｆ及び突起部４３ｇが第２溝部６６ｂ及び第３溝部６６ｃ内にほぼ収まる長さ、すなわち隙間Ｓと突起部４３ｆ（又は突起部４３ｇ）のＹ方向幅を足した長さに溝部６６ｂ及び６６ｃの長さが設定されている。

バー部材５０（バー部材５０ａ、５０ｂ及び５０ｃ）は、何れも図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。しかし、それらのバー部材５０ａ、５０ｂ及び５０ｃは、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。

バー部材５０ａは、第１列用ブレード型プローブ４０ａの貫通穴４５ａ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂの貫通穴４５ｃに挿し通されていると共に、各端部を内側サイドカバー５４に設けられた固定穴５４ａ（図３及び図７参照）に受け入れられて、内側サイドカバー５４に支持されている。バー部材５０ｂも、第１列用ブレード型プローブ４０ａの貫通穴４５ｂ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂの貫通穴４５ｄに挿し通されていると共に、各端部を内側サイドカバー５４に設けられた固定穴５４ｂ（図３及び図７参照）に受け入れられて、内側サイドカバー５４に支持されている。そして、バー部材５０ｃは、第２列用ブレード型プローブ４０ｂの貫通穴４５ｅに挿し通されていると共に、各端部を内側サイドカバー５４に設けられた固定穴５４ｃ（図３及び図７参照）に受け入れられて、内側サイドカバー５４に支持されている。

第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、針主体部４２ａ及び４３ａの厚さ方向がＸ方向となりかつ先端針先４２ｄ及び４３ｄと後端針先４２ｅ及び４３ｅとがそれぞれ支持片４４から前方及び後方へ突出された状態となるように、スリットバー組立体４６及び４８に並列的に配置されている。第１列用ブレード型プローブ４０ａ及び第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、Ｘ方向に交互に位置されている。

第１列用ブレード型プローブ４０ａは、先端領域４２ｂを溝部６６ａに摺動可能に嵌合させるとともに、後端領域４２ｃの突起部４２ｆを溝部６６ｄに摺動可能に嵌合させている。そして、上記のように、第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、先端領域４３ｂの突起部４３ｇを溝部６６ｂに摺動可能に嵌合させるとともに、後端領域４３ｃの突起部４３ｆを溝部６６ｃに摺動可能に嵌合させている（図８から図１０参照）。

なお、本実施例では、第１列用ブレード型プローブ４０ａの先端領域４２ｂには溝部６６に嵌合させるために上方に突出した突起部を設けていないが、設けるようにしてもよい。また、突起部４２ｆ、４３ｆ、４３ｇを特段設けずに先端領域４２ｂ、４３ｂ又は後端領域４２ｃ、４３ｃの一部を溝部６６に嵌合させるようにしてもよい。

上記のように本実施例のブレード型プローブ４０は、その厚さ方向（Ｘ方向）に間隔をおいて並列的に揃えられている。このため、隣り合うブレード型プローブ４０の貫通穴４５は互いに整列されている。

内側サイドカバー５４及び外側サイドカバー５６は、電気絶縁材料または導電性材料で板状に製作されている。図３に示すように、内側サイドカバー５４は、ブレード型プローブ４０の貫通穴４５に通されたバー部材５０の端部を固定穴５４ａ、５４ｂ及び５４ｃに受け入れて、ブレード型プローブ４０を支持している。なお、第２列用ブレード型プローブ４０ｂの貫通穴４５ｃ及び４５ｄは上記のように長穴なので、固定穴５４ａ及び５４ｂに対するＹ方向における配置の異なる固定穴５４ｃを備える内側サイドカバー５４を交換して使用してバー部材５０ｃのＹ方向における位置を変えることで、第２列用ブレード型プローブ４０ｂをバー部材５０ａ及び５０ｂに対して移動可能である。

内側サイドカバー５４及び外側サイドカバー５６は、支持片４４をＸ方向における一方側から他方側まで貫通するねじ部材７５（図２及び４参照）及び不図示のナットにより、支持片４４のＸ方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。このような構成となっていることにより、ブレード型プローブ４０は、バー部材５０、内側サイドカバー５４、外側サイドカバー５６、ねじ部材７５により、支持片４４に分離可能に組み付けられている。

なお、第１列用ブレード型プローブ４０ａは、溝部６６（第１溝部６６ａ、第４溝部６６ｄ）によりＸ方向の位置が決められ、バー部材５０ａ及び５０ｂによりＹ方向の位置が決められる。一方、第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、溝部６６（第２溝部６６ｂ、第３溝部６６ｃ）によりＸ方向の位置が決められ、バー部材５０ｃによりＹ方向の位置が決められる。繰り返しとなるが、第２列用ブレード型プローブ４０ｂは、バー部材５０ａ及び５０ｂの位置（すなわち、第１列用ブレード型プローブ４０ａの位置）に対して隙間Ｓの分だけ、Ｙ方向の位置を調整可能である。ただし、該Ｙ方向の位置の調整の際は、内側サイドカバー５４の交換が必要になる。

なお、図２で表されるように、プローブ組立体１０は、ブローブ組立体支持ブロック３２の支持部３２ｂを上方から下方に貫通して支持片４４に螺合されたねじ部材のような適宜な結合具８４で、支持片４４がブローブ組立体支持ブロック３２の下側に組み付けられることにより、ブローブ組立体支持ブロック３２の下側に維持されている。

ブローブ組立体支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール８６と、両ガイドレール８６の間を上下方向へ延びるガイド８８とにより、連結ブロック３４の主体部３４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されている。そして、ボルト９０により、連結ブロック３４の延長部３４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。

両ガイドレール８６及びガイド８８は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール８６は、ブローブ組立体支持ブロック３２の支持部３２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド８８は、両ガイドレール８６がガイド８８に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール８６の間に配置されており、また連結ブロック３４の主体部３４ａの前端面に取り付けられている。

ボルト９０は、連結ブロック３４の延長部３４ｂを上方から下方へ貫通しており、またブローブ組立体支持ブロック３２に形成されたねじ穴（図示せず）に螺合されている。ブローブ組立体支持ブロック３２は、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね９２（図２においては、その１つを示す）により下方に付勢されている。

各圧縮コイルばね９２は、連結ブロック３４の延長部３４ｂの上に複数のねじ部材（図示せず）により取り付けられた板状のばね押え９４と、ブローブ組立体支持ブロック３２の支持部３２ａとの間に、配置されている。また、各圧縮コイルばね９２は、ボルト９０が該圧縮コイルばね９２と連結ブロック３４の延長部３４ｂとを上下方向に貫通する状態となるように、配置されている。これにより、連結ブロック３４の延長部３４ｂへのボルト９０のねじ込み量を調整することにより、ブローブ組立体支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体１０の高さ位置を調整することができる。

ばね押え９４は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト９０の回転量を調整する貫通穴９４ａを有する。これにより、ばね押え９４を連結ブロック３４から取り外すことなく、ブローブ組立体支持ブロック３２ひいてはプローブ組立体１０の高さ位置の調整を行うことができる。このため、そのような高さ位置の調整作業が容易になっている。

連結ブロック３４は、連結ブロック３４の主体部３４ａを上方から下方に貫通して支持台１８の主体部１８ａに螺合された複数のボルト（図示せず）により支持台１８に取り外し可能に取り付けられている。

中継ベース２２は、厚さ方向を上下方向とした状態に、不図示の複数のねじ部材によりプローブベース１６の上に配置されている。中継基板２４は、それぞれがプローブ装置２０のブレード型プローブ４０に対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。中継基板２４の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的接続具９６により、対応するブレード型プローブ４０に電気的に接続されている。

接続ブロック３８は、ブローブ組立体支持ブロック３２の下側をＸ方向へ延びており、また結合ブロック３６の後端部とブローブ組立体支持ブロック３２との間に位置されている。接続ブロック３８は、Ｘ方向に間隔をおいた複数のねじ部材（図示せず）によりブローブ組立体支持ブロック３２の下側に分離可能に取り付けられている。

電気的接続具９６は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域９６ａと、第１の配線領域９６ａから後方へ延びるシート状の第２の配線領域９６ｂとを含む。第１及び第２の配線領域９６ａ及び９６ｂは、それぞれ、Ｘ方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線９８ａ（図４及び図８から図１０参照）及び複数の第２の配線（図示せず）を有する。

第１の配線領域９６ａは、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。第１の配線領域９６ａは、結合ブロック３６の下側に位置されており、また被検査体２を駆動する集積回路１００（図２参照）を中間領域に配置しており、さらに結合ブロック３６の下側を後方に延びている。

図８から図１０に示すように、第１の配線領域９６ａの前端部は、第１の配線９８ａの先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック３６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各ブレード型プローブ４０の後端針先４２ｅ及び４３ｅは、第１の配線９８ａの先端部に押圧されて電気的に接続される。

図２に示すように、第１の配線領域９６ａの後端部は、第１の配線領域９６ａが結合ブロック３６の後端部において上方及び前方にＵ字状に折り返されていることにより、第１の配線領域９６ａの後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック３６の上面に維持されている。

図２に示すように、第２の配線領域９６ｂの先端部は、第１の配線領域９６ａの折り返し部の上方に位置する状態になり、第２の配線の先端部が下方となる状態になるように、接続ブロック３８の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線９８ａの後端部と第２の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。

第２の配線領域９６ｂは、接続ブロック３８の後端とプローブベース１６の前端との間から、プローブベース１６の上側に導かれ、また支持台１８の空間２６に通され、さらにプローブベース１６の上を後方に延びている。

第２の配線領域９６ｂは、その後端に設けられたコネクタ１０２（図２参照）により、中継基板２４に結合されている。コネクタ１０２は、電気的接続具９６の配線を介して、対応するプローブ装置２０のブレード型プローブ４０に接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板２４の前記した配線に接続される。

中継基板２４の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的接続具９６を介してブレード型プローブ４０に供給されて、被検査体２を駆動（点灯）させる。

プローブ組立体１０及び電気的接続具９６の交換は、結合ブロック３６をブローブ組立体支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。ブレード型プローブ４０の交換は、プローブ組立体１０を結合ブロック３６から分離した状態で行うことができる。電気的接続具９６の交換は、結合ブロック３６をブローブ組立体支持ブロック３２から分離し、接続ブロック３８をブローブ組立体支持ブロック３２から分離した状態で行うことができる。

プローブ組立体１０においては、プローブ装置４が、前方、後方及び下方に開放する空間を備える支持台１８を介してプローブベース１６に支持されている。このため、配線通し穴をプローブベース１６に設けることなく、電気的接続具９６の後部側の領域を、プローブベース１６の上側に導くことができると共に、支持台１８の空間２６を経るように延在させることができる。その結果、第１及び第２の配線領域９６ａ及び９６ｂの配線の電気的有効長さ寸法が短くなり、その分信号の減衰量が低下し、有効な試験信号を被検査体２に供給することができる。

本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子又は受光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。

本発明は、上述の実施例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１…プローブユニット、２…被検査体、４…プローブ装置、１０…プローブ組立体、
１４…電極パッド、１６…プローブベース、１８…支持台、１８ａ…主体部、
１８ｂ…脚部、３２…ブローブ組立体支持ブロック、 ３４…連結ブロック、
３６…結合ブロック、４０…ブレード型プローブ、
４０ａ…第１列用ブレード型プローブ、４０ｂ…第２列用ブレード型プローブ、
４２ａ…針主体部、４２ｂ…先端領域、４２ｃ…後端領域、
４２ｄ…先端針先（接触端）、４２ｅ…後端針先、４２ｆ…突起部、
４３ａ…針主体部、４３ｂ…先端領域、４３ｃ…後端領域、
４３ｄ…先端針先（接触端）、４３ｅ…後端針先、４３ｆ…突起部、４３ｇ…突起部、
４４…支持片、４５…貫通穴、４５ａ…貫通穴、４５ｂ…貫通穴、４５ｃ…貫通穴、
４５ｄ…貫通穴、４５ｅ…貫通穴（規制部：第２列用ブレード型プローブ用貫通穴）、
４６…スリットバー組立体、４８…スリットバー組立体、５０…バー部材、
５０ａ…バー部材、５０ｂ…バー部材、
５０ｃ…バー部材（規制部：第２列用ブレード型プローブ用バー部材）、
５４…内側サイドカバー、５４ａ…固定穴、５４ｂ…固定穴、５４ｃ…固定穴、
５６…外側サイドカバー、６０…凹所、６６…溝部、６６ａ…第１溝部、
６６ｂ…第２溝部、６６ｃ…第３溝部、６６ｄ…第４溝部、７０…プローブ支持体、
７５…ねじ部材、８４…結合具、９６…電気的接続具、９６ａ…第１の配線領域、
９６ｂ…第２の配線領域、Ｒ１…第１列、Ｒ２…第２列、Ｓ…隙間

Claims (5)

1. プローブ支持体と、
   前記プローブ支持体の第１方向における両端部に取り付けられているサイドカバーと、
   前記両端部のサイドカバーに固定され、前記第１方向における一方側のサイドカバーから前記第１方向における他方側のサイドカバーまで延設されるバー部材と、
   前記バー部材を通す貫通穴を有するとともに前記第１方向と交差する第２方向に延設され、前記一方側のサイドカバーと前記他方側のサイドカバーとの間に複数配置されるブレード型プローブと、
   を備え、
   前記ブレード型プローブは、被検査体に接触させる接触端を各々有し、
   前記ブレード型プローブとして、前記第１方向に沿う第１列に各々の接触端が並ぶように配置される複数の第１列用ブレード型プローブと、前記第２方向において前記第１列とは異なる位置に形成される列であって前記第１方向に沿う第２列に各々の接触端が並ぶように配置される複数の第２列用ブレード型プローブと、を有し、
   前記第２列用ブレード型プローブに形成される前記貫通穴は、前記バー部材に対する前記第２方向における前記第２列用ブレード型プローブの移動を許容する隙間を前記バー部材に対して有し、
   前記バー部材に対する前記第２方向における前記第２列用ブレード型プローブの移動を規制する規制部を備えることを特徴とするプローブ組立体。
2. 請求項１に記載のプローブ組立体において、
   前記第２列用ブレード型プローブに形成される前記貫通穴は、前記第２方向に長い長穴であることを特徴とするプローブ組立体。
3. 請求項１または２に記載のプローブ組立体において、
   前記規制部は、
   前記両端部のサイドカバーに固定され、前記一方側のサイドカバーから前記他方側のサイドカバーまで延設される第２列用ブレード型プローブ用バー部材と、
   前記第２列用ブレード型プローブに形成され、前記バー部材を通すとともに前記バー部材に対して隙間が設けられていない第２列用ブレード型プローブ用貫通穴と、
   を有していることを特徴とするプローブ組立体。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ組立体において、
   前記プローブ支持体には、前記ブレード型プローブの一部を挿入可能であって、前記第２方向に延びる溝部が形成されており、
   前記第２列用ブレード型プローブを挿入可能な前記溝部は、前記第２列用ブレード型プローブの前記第２方向における移動範囲の移動を許容する形状に構成されていることを特徴とするプローブ組立体。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ組立体を複数備えることを特徴とするプローブユニット。

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