JP6407239B2 - 垂直型プローブモジュールのプローブホルダー - Google Patents
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Description
従来のプローブカードは回路基板およびプローブモジュールから構成されるか、それらおよびスペーストランスフォーマから構成される。スペーストランスフォーマは回路基板とプローブモジュールとの間に配置される。従来の垂直型プローブモジュールはホルダーと、ホルダーを縦方向に貫通する複数の垂直型プローブ(vertical probe)とを備える。複数の垂直型プローブ、例えポコピン(pogo pin)は測定対象の電気接点に対応するように配列され、同時に測定対象の電気接点にプロービングを行う。
垂直型プローブは上ガイドプレートの穿孔、中ガイドプレートの貫通溝および下ガイドプレートの穿孔を貫通し、先端が下ガイドプレートに突出し、測定対象の電気接点にプロービングを行う。
しかしながら、中ガイドプレートは中空状を呈するため、プローブモジュールの剛性を低下させるだけでなく、上ガイドプレートと下ガイドプレートとを弾性的に変形させる空間を生じる。かつプローブモジュールの大量のプローブが同時にプロービングを行う際に生じた反発力はプローブモジュールを湾曲させやすい。特に、平行測定プローブモジュール(Multi−DUT probe head)のホルダーはガイドプレートの面積および中ガイドプレートの貫通溝の範囲が大きく、かつプローブの数が多ければ反発力が大きくなるため、湾曲および変形が起こりやすい。
また、以下の詳細な説明および本発明により提示された実施形態は本発明を説明するための一例に過ぎず、本発明の請求範囲を限定できないことは、本発明にかかわる領域において常識がある人ならば理解できるはずである。
(一実施形態)
本発明の一実施形態による垂直型プローブモジュールのプローブホルダー10は、下ガイドプレート20、中ガイドプレート30、二つの上ガイドプレート40および二つの補強板50を備える。
検測エリア12は測定対象(図中未表示)に対応する。プローブホルダー10の四つの検測エリア12にプローブ(図中未表示)が配置してあれば、同時に四つの測定対象にプロービングを行うことができる。上述したとおり、本発明によるプローブホルダーは同時に複数の測定対象にプロービングをできるが、これに限らない。つまり、本発明によるプローブホルダーは単一の検測エリアしかなくてもよい。
二つの補強板50と二つの貫通溝32とは相互に補い合う形に製作される。詳しく言えば、補強板50の外の輪郭の形は貫通溝32の内側の形と同じであるが、補強板50のサイズは貫通溝32のサイズより小さい。
図6および図8に示すように、ねじ61は下ガイドプレート20の下方から下ガイドプレート20を貫通し、中ガイドプレート30に締め付けられる。下ガイドプレート20は四つのプローブ貫通エリア22と、それらに形成された複数の下方穿孔24とを有する。プローブ貫通エリア22はプローブ格納エリア36に対応する。下方穿孔24は対応するプローブ格納エリア36の下方に位置する。複数のプローブ(図中未表示)は下ガイドプレート20の下方穿孔24に差し込まれ、装着され、中ガイドプレート30の貫通溝32を貫通する。
図6および図8に示すように、ねじ62は補強板50の上方から補強板50を貫通し、下ガイドプレート20に締め付けられる。補強板50は下ガイドプレート20に固定されるが、これに限らない。つまり、貫通溝32内に補強板50を固定することさえできればよい。二つの補強板50はそれぞれ二つのプローブ貫通エリア52と、それらに形成された複数の中間穿孔54とを有する。プローブ貫通エリア52はプローブ格納エリア36内に位置する。複数のプローブは複数の中間穿孔54に差し込まれ、装着される。
突起辺部26および中央突起部28は中ガイドプレート30の貫通溝32に入り込む。貫通溝32において、中央突起部28は二つの相対する辺縁部321、322に突出した補強部34の間に位置する。二つの突起辺部26は別の二つの相対する辺縁部323、324に位置する。補強板50は突起辺部26および中央突起部28に固定される。
図2に示すように、二つの上ガイドプレート40はそれぞれ二つのプローブ貫通エリア42と、それらに形成された複数の上方穿孔44とを有する。プローブ貫通エリア42はプローブ格納エリア36に対応する。上方穿孔44は対応するプローブ格納エリア36の上方に位置する。複数のプローブは上方穿孔44に差し込まれ、装着される。
本実施形態では、図面を簡単化し、穿孔を明確にするために、プローブ貫通エリア22、42、52には五つの穿孔24、44、54のみが表示される。また、図面の比率と実物の比率とは一致しない。
一方、中ガイドプレート30の貫通溝32の辺縁部321、322に位置する補強部34と、下ガイドプレート20に位置する突起辺部26および中央突起部28とはプローブホルダー10の剛性を向上させることができる。特に突起辺部26および中央突起部28はさらに中ガイドプレート30と下ガイドプレート20とを相互に安定させることができる。また、本実施形態は複数の補強板50を貫通溝32内に配置し、かつプローブの長さに応じて重なる補強板50の枚数を調整することができる。
隣り合う検測エリア12の間に適当な距離を置く必要があるため、貫通溝32は相当な範囲に保持される。補強部34および中央突起部28は二つの隣り合う検測エリア12の間に位置するため、貫通溝32および補強板50の中央に支持効果を生じることができるだけでなく、同じプローブ装着ブロック14の隣り合う検測エリア12の間に支持効果を生じることができる。従って、剛性がさらに良好になる。
12 検測エリア
14 プローブ装着ブロック
20 下ガイドプレート
22 プローブ貫通エリア
24 下方穿孔
26 突出辺部
28 中央突起部
30 中ガイドプレート
32 貫通溝
321、322、323、324 辺縁部
34 補強部
36 プローブ格納エリア
40 上ガイドプレート
42 プローブ貫通エリア
44 上方穿孔
50 補強板
52 プローブ貫通エリア
54 中間穿孔
61、62、63 ねじ
Claims (1)
- 下ガイドプレート、中ガイドプレート、少なくとも一つの上ガイドプレート、および少なくとも一つの補強板を備え、
前記下ガイドプレートは、複数の下方穿孔を有し、複数のプローブは複数の前記下方穿孔に差し込まれ、装着され、
前記中ガイドプレートは、前記下ガイドプレートの上に固定され、少なくとも一つの貫通溝を有し、複数の前記下方穿孔は前記中ガイドプレートの前記貫通溝の下方に位置し、複数の前記プローブは前記中ガイドプレートの前記貫通溝を貫通し、
少なくとも一つの前記上ガイドプレートは、前記中ガイドプレートの上に固定され、複数の上方穿孔を有し、複数の前記上方穿孔は前記中ガイドプレートの前記貫通溝の上方に位置し、複数の前記プローブは複数の前記上方穿孔に差し込まれ、装着され、
少なくとも一つの前記補強板は、前記中ガイドプレートの前記貫通溝のサイズより小さく、前記中ガイドプレートの少なくとも一つの前記貫通溝内に固定され、複数の中間穿孔を有し、複数の前記プローブは複数の中間穿孔に差し込まれ、装着されることを特徴とする、
垂直型プローブモジュールのプローブホルダー。
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