KR20090040605A - 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 - Google Patents
듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090040605A KR20090040605A KR1020070106040A KR20070106040A KR20090040605A KR 20090040605 A KR20090040605 A KR 20090040605A KR 1020070106040 A KR1020070106040 A KR 1020070106040A KR 20070106040 A KR20070106040 A KR 20070106040A KR 20090040605 A KR20090040605 A KR 20090040605A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- probe
- support frame
- frame
- main board
- block
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 제 1 면과, 상기 제 1 면에 반대되는 제 2 면과, 상기 제 2 면에 설치된 인터포저를 갖는 메인 보드와;상기 메인 보드의 제 1 면에 설치되는 메인 프레임과;상기 메인 프레임 위에 설치되는 제 1 서포트 프레임과;상기 메인 보드의 제 2 면에 배치되는 제 2 서포트 프레임과;상기 메인 보드와 상기 메인 프레임을 관통하여 상기 제 1 서포트 프레임과 상기 제 2 서포트 프레임을 서로 체결하며, 상기 메인 보드의 제 2 면에서 상기 제 2 서포트 프레임을 이격되게 설치하는 복수의 체결 부재와;상기 인터포저에 접속되며, 상기 제 2 서포트 프레임 아래로 돌출된 상기 체결 부재들에 결합되어 상기 제 2 서포트 프레임에 설치되는 복수의 프로브 블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 1항에 있어서, 상기 체결 부재는,상기 메인 보드와 상기 메인 프레임에 형성된 관통 구멍에 삽입되며, 내부에 상기 관통 구멍이 형성된 방향에 평행하게 삽입 구멍이 형성된 서포트 블록과;상기 서포트 블록의 삽입 구멍에 삽입되어 상기 제 1 서포트 프레임과 상기 제 2 서포트 프레임을 서로 체결하여 상기 서포트 블록의 양단에 밀착되게 설치하는 체결 나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 2항에 있어서, 상기 서포트 블록의 길이는 상기 메인 보드와 상기 메인 프레임의 두께의 합보다는 길며, 상기 서포트 블록의 외경은 상기 관통 구멍의 내경보다는 좁은 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 3항에 있어서, 상기 서포트 블록의 외경과 상기 관통 구멍의 내경 차이는 상기 메인 보드와 상기 메인 프레임의 열팽창에 따른 변위보다는 적어도 큰 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 4항에 있어서, 제 2 서포트 프레임은,상기 프로브 블록들의 외곽에 체결되며, 중심 부분에 개방부가 형성된 외곽 프레임과;상기 프로브 블록들을 가로지르는 방향으로 상기 개방부에 형성되어 상기 외곽 프레임에 양단이 연결되는 적어도 하나 이상의 서포트 바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 5항에 있어서, 상기 서포트 바는 상기 인터포저가 접속되는 상기 프로브 블록의 영역에서 이격된 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 6항에 있어서, 상기 프로브 블록은,니들 형태의 프로브들과;상기 프로브들의 일 측 끝이 동일 평면 상에 위치하며 웨이퍼 상에 형성된 집적회로 칩의 전극 패드들과 동일한 배열 상태를 가지게 상기 프로브들이 고정되는 프로브 고정 블록과;상기 프로브 고정 블록에 결합되고 상기 프로브들의 다른 쪽 끝 부분이 전기적으로 연결되며, 상기 인터포저가 접속되는 서브 보드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1 서포트 프레임과 상기 제 2 서포트 프레임은 상기 프로브 고정 블록과 동일하거나 유사한 열팽창계수를 갖는 재질로 제조된 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 8항에 있어서, 상기 프로브 고정 블록, 상기 제 1 서포트 프레임 및 상기 제 2 서포트 프레임의 재질은 각각 세라믹, 인바, 노비나이트 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 9항에 있어서, 상기 메인 프레임은 상기 메인 보드와 동일하거나 유사한 열팽창계수를 갖는 재질로 제조된 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 10항에 있어서, 상기 메인 보드의 재질은 BT(BT resin), 폴리이미드, 넬코, 아론 중에 어느 하나이며, 상기 메인 프레임의 재질은 SUS, 탄소강 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 11항에 있어서, 상기 인터포저는 웨이퍼 테스트시 상기 프로브 블록에 작용하는 웨이퍼 접촉 하중보다 큰 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
- 제 12항에 있어서, 상기 인터포저는 포고 핀인 것을 특징으로 하는 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070106040A KR100903290B1 (ko) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070106040A KR100903290B1 (ko) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090040605A true KR20090040605A (ko) | 2009-04-27 |
KR100903290B1 KR100903290B1 (ko) | 2009-06-16 |
Family
ID=40763928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070106040A KR100903290B1 (ko) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100903290B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101411982B1 (ko) | 2013-10-11 | 2014-06-26 | 주식회사 세디콘 | 프로브 카드 |
KR102566685B1 (ko) | 2016-07-18 | 2023-08-14 | 삼성전자주식회사 | 프로브 카드용 클램핑 장치 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3829099B2 (ja) | 2001-11-21 | 2006-10-04 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
KR20030065978A (ko) * | 2002-02-02 | 2003-08-09 | 에이엠에스티 주식회사 | 프로브 카드의 구조 |
KR200370650Y1 (ko) | 2004-09-17 | 2004-12-23 | 주식회사 코리아 인스트루먼트 | 세라믹 블록을 이용한 프로브 카드 |
KR100675487B1 (ko) * | 2005-06-02 | 2007-01-30 | 주식회사 파이컴 | 프로브 카드 |
-
2007
- 2007-10-22 KR KR1020070106040A patent/KR100903290B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100903290B1 (ko) | 2009-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9588139B2 (en) | Probe card assembly for testing electronic devices | |
KR100967339B1 (ko) | 웨이퍼 테스트용 프로브 카드 | |
KR101674135B1 (ko) | 프로브 카드 | |
US7482821B2 (en) | Probe card and the production method | |
KR100926535B1 (ko) | 전기적 접속 장치 및 그 조립 방법 | |
KR101422566B1 (ko) | 프로브 및 프로브 카드 | |
KR102401214B1 (ko) | 접속기, 소켓, 소켓 조립체 및 배선판 조립체 | |
JP2007017234A (ja) | 検査装置用ソケット | |
JP2008309787A (ja) | プローブカード用プローブ組立体 | |
KR20210018087A (ko) | 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치 | |
JP2008309786A (ja) | プローブ及びプローブ組立体、並びにこれを有するプローブカード | |
US20100039133A1 (en) | Probe head controlling mechanism for probe card assemblies | |
JP4916763B2 (ja) | プローブ組立体 | |
KR20140059896A (ko) | 탐침 구조물 및 이를 갖는 프로브 카드 | |
KR100903290B1 (ko) | 듀얼 서포트 프레임을 갖는 프로브 카드 | |
US7622936B2 (en) | Contact device for touch contacting an electrical test specimen, and corresponding method | |
KR101506624B1 (ko) | 프로브 구조물 및 이를 갖는 프로브 카드 | |
KR101506623B1 (ko) | 프로브 카드 | |
JP5506165B2 (ja) | プローブカード配置物 | |
KR100725456B1 (ko) | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 | |
JP2007121223A (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2003035725A (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2010043957A (ja) | プローブカード | |
KR20060080635A (ko) | 반도체 소자 검침용 프로브 카드와 그 제조 방법 | |
KR100866644B1 (ko) | 프로브 및 프로브 조립체 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130530 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140423 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160325 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170406 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180406 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190327 Year of fee payment: 11 |