TWI434045B - Probe assembly - Google Patents

Description

探針組裝體

本發明係關於一種用於如液晶顯示面板之被檢查體之電氣測試之探針組裝體。

作為用於如液晶顯示面板之平板狀被檢查體之電氣測試之探針組裝體之一，存在專利文獻1所記載者。

專利文獻1所記載之探針組裝體包含：支承片；複數個探針，其係具備分別向帶狀之安裝區域之前後方向(Y方向)延伸之前部區域及後部區域者，且於安裝區域之寬度方向(Z方向)為上下方向之狀態下於支承片之下側使安裝區域相對向而並列地配置；細長之支承條，其將該等探針之安裝區域於其厚度方向(X方向)貫通而延伸並於兩端部以支承片支承；及一對狹縫條，其配置於支承片上並向探針之排列方向(X方向)延伸。

各狹縫條具備於其長度方向(X方向)空開間隔而向前後方向延伸且於下方開放之複數條狹縫。支承條於以螺釘固定於探針之排列方向之支承片(塊體)之各端部之板狀之側蓋上收納長度方向之端部。藉此，探針藉由支承條及側蓋組裝於支承片上。

各探針於其一個面上具有覆蓋該面之一部分之絕緣膜，又，將自前部區域之前端部向下方突出之部分作為推壓至被檢查體之電極之前端針尖，且將自後部區域之前端部向上方突出之部分作為推壓至薄片狀連接具之配線之後端針尖。

探針中，進一步將前部區域及後部區域之一部分分別收納於一個及另一個狹縫條之狹縫。藉此，可防止各探針之針尖區域於狹縫條之長度方向位移，從而防止於左右方向相鄰之探針電氣接觸。

然而，於機械強度之關係上，使狹縫條之狹縫之間距變小具有限度。然而，於上述先前之探針組裝體中，因探針之前部區域收納於共通之狹縫條之狹縫，故必需將與探針之數量為相同數量之狹縫設置於狹縫條中。因此，於上述先前之探針組裝體中，狹窄間距之狹縫無法形成於狹縫條中，且無法以狹窄間距配置探針。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-303969號公報

本發明之目的在於不使狹縫條之狹縫之間距變小而可以狹窄間距配置探針。

本發明之探針組裝體包含：支承片；複數個探針，其係具備帶狀之安裝區域、自該安裝區域向前方延伸之前部區域、及自該前部區域向下方突出之前端針尖者，且於上述安裝區域之寬度方向為上下方向之狀態下於上述支承片之下側使上述安裝區域對向而並列地配置；及狹縫條，其係配置於上述支承片之前端部下側者，且具備於左右方向隔著間隔且於下方開放之複數條狹縫。於左右方向相鄰之至少2個探針之前部區域之至少一部分收納於共通之狹縫。

收納於上述共通之狹縫之探針之至少1個之前部區域亦可相對於上述安裝區域於左右方向及前後方向產生變形。

各狹縫亦可相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸。

前部區域之至少一部分收納於上述共通之狹縫之至少2個探針可具有於前後方向隔著間隔之針尖，亦可具有於前後方向及左右方向之兩個方向隔著間隔之針尖。

收納於上述共通之上述狹縫之探針之前部區域之至少一部分亦可於上下方向隔著間隔。

探針組裝體進一步可包含第2狹縫條，其係配置於上述支承片之後端部下側者，且具備於左右方向隔著間隔且於下方開放之複數條第2狹縫。於此情形時，各探針進一步可具備：後部區域，其自上述安裝區域向後方延伸；及後端針尖，其自該後部區域向上方突出；上述複數個探針可屬於具備上述後部區域之至少一部分收納於上述第2狹縫之複數個第1探針之第1探針群、及具備位於左右方向相鄰之上述第1探針之間之複數個第2探針之第2探針群中的任一者。各第1探針進一步可具備突部，其自上述後部區域向下方突出，又，亦可將上述後部區域之至少一部分收納於上述第2狹縫。各第2探針之上述後部區域亦可於位於該第2探針之左方及右方之第1探針之上述突部之間延伸。

各第2狹縫於前後方向延伸，或亦可相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸。上述第1及第2狹縫之各自亦可進一步於前後方向之一者及另一者之側開放。

探針組裝體進一步可包含：棒構件，其將於上述第1及第2探針之安裝區域之長度方向隔著間隔之部位於該部位之厚度方向貫通並延伸；及側蓋，其係收納該棒構件之長度方向之各端部之板狀者，且可拆卸地組裝於上述支承片之側部。

各探針之上述前部區域亦可藉由彈性變形而相對於上述安裝區域產生變形。於上述前部區域之中，至少收納於狹縫之部分電氣絕緣亦可。

於本發明之探針組裝體中，因於左右方向鄰接之至少2個探針之前部區域之至少一部分收納於相同狹縫，故將總探針數的2分之1以下之狹縫設置於狹縫條中即可，且狹縫之間之壁之數量變少。因此，可以適當之程度使狹縫之間距變小，其結果與先前相比可以狹窄間距配置探針。

若收納於上述相同之狹縫之探針之至少1個之前部區域相對於上述安裝區域於左右方向及前後方向產生變形，則將此探針之前部區域推壓至狹縫之間之壁上。其結果，相對於狹縫條之此探針之前部區域之前端(針尖)的位置維持為固定。

若各狹縫相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸，則各探針之前部區域亦根據相對於左右方向及前後方向之狹縫之角度而相對於安裝區域對於左右方向及前後方向彎曲而延伸。如此，若前部區域相對於安裝區域因彈性變形而彎曲，則於將前部區域收納於相同之狹縫之探針之中，1個探針將前部區域推壓至狹縫之間之壁上，且其他探針將前部區域推壓至上述1個探針之前部區域。其結果，即便於狹縫條與前部區域之間存在間隙，亦可使相對於狹縫條之各前部區域之前端(針尖)之位置維持為固定。

[關於術語]

於本發明中，於圖1中，將上下方向稱作上下方向或Z方向，將左右方向稱作將探針之前部區域之側作為前方之前後方向或Y方向，將紙背方向稱作左右方向或X方向。然而，該等方向根據接收於如工作台之平板接收裝置上之被檢查體之姿勢而不同。

因此，將探針單元及探針組裝體於本發明中所謂上下方向(Z方向)實際為上下方向之狀態、上下相反之狀態、傾斜方向之狀態等任一方向之狀態下安裝於測試裝置而使用。

[探針單元之實施例]

參照圖1，探針單元10係將一部分用於圖1及圖5所示之被檢查體12之點亮檢查。被檢查體12係封入有液晶之液晶顯示面板，且具有長方形之形狀，又，至少於與長方形之2個邊對應之緣部以特定之間距形成複數個電極14。各電極14具有向與配置有其之緣部正交之X方向或Y方向延伸之帶狀之形狀。

探針單元10包含：板狀之探針基座16，其安裝於測試裝置之本體框架(未圖示)中；支承台18，其於向左右方向延伸之狀態下配置於探針基座16之前端部上側；複數個探針裝置20(於圖1中表示1個)，其於左右方向隔著間隔而載置於支承台18上；板狀之轉接基座22，其配置於探針基座16之上；及轉接基板24，其配置於轉接基座22之上。

探針基座16於向配置有被檢查體12之電極14之1個緣部之長度方向(於圖示之例中為左右方向)延伸且厚度方向為上下方向之狀態下，直接或介隔如板狀基座之適當之構件安裝於上述之本體框架上。

支承台18藉由向左右方向延伸之板狀之主體部18a、及自主體部18a之左右方向之端部向下方延伸之一對腳部18b、18b形成為門型。藉此，支承台18具有於前方、後方及下方開放之空間26(參照圖1)。支承台18自下方向方貫通於探針基座16之左右方向相隔之部位，而藉由螺合於腳部18b、18b上之一對螺釘構件(未圖示)，安裝於探針基座16之上。

於圖示之例中，支承台18於複數個探針裝置20中為共通。因此，探針裝置20於左右方向相隔而安裝於主體部18a之上。然而，亦可於每1個、2個或3個探針裝置20上設置支承台18。

各探針裝置20包含：探針組裝體30；支承塊體32，其對探針組裝體30進行支承；連結塊體34，其對支承塊體32進行支承；結合塊體36，其支承於支承塊體32之下側，且使探針組裝體30組裝於支承塊體32上；及連接塊體38，其配置於支承塊體32與結合塊體36之間，且安裝於支承塊體32之下側。

如圖2至圖4所示，探針組裝體30中，將藉由導電氣材料製作為板狀之複數個第1探針40及複數個第2探針42於左右方向隔著間隔而向前後方向延伸之狀態下，交替地配置於塊體狀之支承片44之下側於前後方向隔著間隔而組裝之第1及第2狹縫條46及48中。

至少外周面具有電氣絕緣性之棒構件50、52於貫通狀態下插通於第1及第2之探針40及42中。第1及第2探針40及42藉由棒構件50及52、收納該等棒構件50及52之各端部之板狀之側蓋54、及位於側蓋54之外側之板狀之其他側蓋56而組裝於支承片44中。

各第1探針40如圖13(B)所示，具備：針主體部，即安裝區域40a，其為矩形之板狀；前部區域40b，其自安裝區域40a向前方一體地延伸為懸臂梁狀；後部區域40c，其自安裝區域40a向後方一體地延伸為懸臂梁狀；前端針尖40d，其自前部區域40b之前端向下方一體地延伸；後端針尖40e，其自後部區域40c之後端向上方一體地延伸；及舌片狀之突部40f，其自後部區域40c向下方突出並且向前後方向延伸。

各第2探針42如圖13(C)所示，係刀片型之針，其具備：板狀之針主體部，即安裝區域42a，其為矩形；前部區域42b，其自安裝區域42a向前方一體地延伸為懸臂梁狀；後部區域42c，其自安裝區域42a向後方一體地延伸為懸臂梁狀；前端針尖42d，其自前部區域42b之前端向下方一體地延伸；及後端針尖42e，其自後部區域42c之後端向上方一體地延伸。然而，各第2探針42不具備與第1探針40之突部40f對應之突部。

前部區域40b、42b與後部區域40c、42c具有較安裝區域40a、42a之寬度尺寸小之寬度尺寸，又，自安裝區域40a、42a之對應之前端下部或後端中央部延伸為懸臂梁狀。前端針尖40d、42d及後端針尖40e、42e形成為三角形，且較尖銳。

第1探針40及第2探針42之各自於安裝區域40a或42a之中央部具有棒構件50貫通之圓形之貫通孔40g或42g，並且於安裝區域40a或42a之前部具有棒構件52貫通且較貫通孔40g、42g小之圓形之貫通孔40h或42h。

第1及第2探針40及42具有相同厚度尺寸，又，於左右方向之各面具有電氣絕緣膜。至少前部區域40b、42b及後部區域40c、42c相對於相對應之安裝區域40a或42a可產生彈性變形。

如圖2至圖4、圖9至圖11等所示，支承片44藉由具有電氣絕緣性之陶瓷、合成樹脂等製作，又，於後端部下側具有於下方、左方及右方開放之槽，即凹部64(參照圖2)。

第1及第2狹縫條46及48藉由具有電氣絕緣性之陶瓷、合成樹脂等製作。位於前方之第1狹縫條46及位於後方之第2狹縫條48分別藉由螺合固定、接著等適當之方法安裝於支承片44之前端部下側及後端部下側。

第1狹縫條46具有自其前端部上表面向上方突出且向左右方向延伸之抵接部66(參照圖2、圖9及圖10)，且將抵接部66抵接於支承片44之前面下部。藉此，第1狹縫條46與支承片44定位於前後方向。

第2狹縫條48具有自其後端部上表面向上方突出且向左右方向延伸之抵接部68(參照圖2、圖9及圖10)，且將抵接部68插入至支承片44之凹部64，而使抵接部68抵接於形成凹部64之朝向前面之面。藉此，第2狹縫條48與支承片44定位於前後方向。

如圖5至圖11等所示，第1狹縫條46具備於左右方向隔著間隔而相對於前後方向及左右方向具有角度地傾斜地延伸之複數條第1狹縫60(參照圖11(B))。第2狹縫條48具備於左右方向隔著間隔而向前後方向延伸之複數條第2狹縫62(參照圖11(C))。第1及第2狹縫60及62分別作為於前後方向兩側及下方開放之槽。

各第1狹縫60以於使第1及第2探針40及42之前部區域40b及42b於上下方向位移之狀態下可收納之方式，具有與第1及第2探針40及42之前部區域40b及42b之厚度尺寸幾乎相同之於左右方向之寬度尺寸。

各第2狹縫62以可收納第1探針40之後部區域40c之方式，具有與第1探針40之後部區域40c之左右後方之厚度尺寸幾乎相同之於左右方向之寬度尺寸。第1及第2狹縫60及62形成於以相同間距對應之狹縫條46或48。

棒構件50及52於圖示之例中具有圓形之剖面形狀，又，藉由如陶瓷之硬質之電氣絕緣性材料而形成。然而，該等棒構件50、52亦可為以電氣絕緣性材料覆蓋導電氣材料者，又，亦可具有如矩形、六角形等多角形之其他之橫剖面形狀。於後者之情形時，該等棒構件貫通之各探針及各側蓋之貫通孔亦具有與該等棒構件之剖面形狀相同之形狀。

棒構件50插通於探針40及42之貫通孔40g、42g中，並且將各端部收納於設置於內側之側蓋54上之孔54a(參照圖2)中，而以此側蓋54支承。棒構件52亦插通於探針40及42之貫通孔40h、42h中，並且將各端部收納於設置於內側之側蓋54上之孔54b(參照圖2)中，而以此側蓋54支承。

第1及第2探針40及42於安裝區域40a及42a之厚度方向為左右方向且交替地位於左右方向之狀態下，與第1及第2狹縫條46及48並列地配置。

各第1狹縫60如圖5、圖6(A)、圖7所示，於使1組第1及第2探針40及42之前部區域40b及42b之一部分於上下方向相隔之狀態下收納該等。各第2狹縫62收納1個第1探針40之後部區域40c之一部分。各第2探針42之後部區域42c於相鄰之兩個第1探針40之突部40f之間延伸。

各第1探針40之前部區域40b於第1狹縫60內相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸。各第1探針40之後部區域40c於第2狹縫62內於前後方向延伸。各第1探針40之前端針尖40d於較第1狹縫60更前方之位置向下方延伸。各第1探針40之後端針尖40e及突部40f分別自第2狹縫62向後方及下方突出。

各第2探針42之前部區域42b於其前端針尖42d自第1狹縫60之前後方向之中途向前方突出之狀態下，於第1狹縫60內並較第1探針40之前部區域40b之高度位置更下側向前後方向延伸。各第2探針42之後部區域42c以後端針尖42e自第2狹縫62向後方突出而向上方延伸之方式，於相鄰之第1探針40之突部40i之間向前後方向延伸。

第1探針40之前端針尖40d及後端針尖40e之位置分別位於較第2探針42之前端針尖42d及後端針尖42e更前方。因此，第1探針40之前端針尖40d及後端針尖40e、與第2探針42之前端針尖42d及後端針尖42e雖於前後方向隔著間隔，但可使第1及第2探針40及42之前後方向之長度尺寸，尤其是有效電氣長度相同。

第1及第2探針40及42之前端針尖40d及42d因以與前端針尖40d對於前後方向之第1狹縫60之角度θ(參照圖11(B))相同之角度而相對於前後方向傾斜地延伸、及前端針尖40d位於較前端針尖42d更前方，故於左右方向亦空開間隔。

側蓋54、56由電氣絕緣材料或導電氣材料製作為板狀。如圖2所示，位於內側之各側蓋54將通過探針之貫通孔40g、42g及40h、42h之棒構件50及52之端部收納於貫通孔54a及54b中，從而可位移地支承探針40、42。

側蓋54、56貫通於該等側蓋54、56之前後方向隔著間隔之部位，並藉由如螺合於支承片44上之螺栓之銷狀之複數個螺釘構件65(參照圖1及圖2)，而可拆卸地安裝於支承片44之左右方向之側面。

側蓋54，又，貫通於前後方向隔著間隔而設置於側蓋54及支承片44上之複數個貫通孔70(參照圖2)，而藉由到達至另一側之側蓋54上於前後方向隔著間隔而設置之其他複數個貫通孔70(參照圖2)之定位銷72(參照圖1)，對支承片44進行定位。

上述之結果，第1及第2探針40及42可藉由棒構件50及52、側蓋54及56、螺釘構件65、定位銷72等，間隔地組裝於支承片44上，從而決定左右方向及前後方向之位置。

各探針藉由將棒構件50及52組裝於側蓋54及56上、將第1及第2狹縫條46及48組裝於支承片44上、且將側蓋54、56組裝於支承片44上，而組裝並保持於支承片44上。

於圖中，以相鄰之探針於左右方向空開較大間隔之方式表示，但實際上探針之排列間距較小。探針之數量、厚度尺寸及排列間距、以及狹縫條之狹縫之數量、配置間距及寬度尺寸根據被檢查體之種類尤其電極之配置間距與寬度尺寸而不同。

探針組裝體30可藉由將第1及第2探針40及42於上述之狀態下安裝於狹縫條46及48上，並與其並行或於其前後將兩個狹縫條46、48於上述之狀態下安裝於支承片44上，且將該後側蓋54、56以螺釘構件75於上述之狀態下安裝於支承片44上而組裝。

再次參照圖1，將支承塊體32藉由板狀之2個支承部32a及32b製作為L字狀之剖面形狀。連結塊體34藉由安裝於支承台18上之主體部34a、及自主體部34a之上部向前方延伸之延長部34b，而具有倒L字狀之形狀。

結合塊體36藉由適當之結合具78安裝於支承塊體32之支承部32b之下側，且探針組裝體30藉由如將結合塊體36自上方至下方貫通而螺合於支承片44上之螺釘構件之適當的結合具(未圖示)而組裝於結合塊體36之下側。

於圖示之例中表示了例如日本專利特願2009-174248所記載者作為結合具78，但亦可係將支承塊體32之支承部32b於上下方向貫通而螺合於結合塊體36上之螺釘構件。

將支承塊體32藉由於左右方向隔著間隔而向上下方向延伸之一對導軌80、及於兩導軌80之間向上下方向延伸之滑軌82，而可向上下方向移動地連結於連結塊體34之主體部34a之前面，並且藉由螺釘84可調整上下方向之位置地連結於連結塊體34之延長部34b上。

兩導軌80及滑軌82分別為線性導軌及線性滑軌。兩導軌80安裝於支承塊體32之支承部32a之後端面。與此相對，滑軌82以兩導軌80可相對於滑軌82向上下方向移動之方式配置於左右方向之兩導軌80之間，又，安裝於連結塊體34之主體部34a之前端面。

螺釘84自上方向下方貫通連結塊體34之延長部34b，又，螺合於形成於支承塊體32中之螺釘孔86中。支承塊體32藉由於左右方向隔著間隔而配置之一對壓縮線圈彈簧88(於圖1中表示其中，1個)向下方施力。

各壓縮線圈彈簧88配置於藉由複數個螺釘構件90(於圖1中表示其中，1個)而安裝於連結塊體34之延長部34b之上的板狀之彈簧擠壓件92與支承塊體32之支承部32a之間。藉此，可藉由調整對連結塊體34之延長部34b之螺釘84之擰入量，而調整支承塊體32甚至探針組裝體30之高度位置。

彈簧擠壓件92具有自上方插入如螺絲刀之工具之前端部從而調整螺釘84之旋轉量之貫通孔92a。藉此，因可不自連結塊體34拆卸彈簧擠壓件92即可進行支承塊體32甚至探針組裝體30之高度位置之調整，故如此之高度位置之調整作業變得容易。

連結塊體34藉由將連結塊體34之主體部34a自上方向下方貫通而螺合於支承台18之主體部18a上之複數個螺釘94(於圖1中表示1個)，而可拆卸地安裝於支承台18上。

轉接基座22於將厚度方向作為上下方向之狀態下藉由未圖示之複數個螺釘構件配置於探針基座16上。轉接基板24為具有分別與探針裝置20之探針對應之複數根配線(未圖示)之配線基板。轉接基板24之配線藉由每個探針裝置20均具備之薄片狀之電氣連接具100而電氣連接於對應之探針。

連接塊體38於支承塊體32之下側向左右方向延伸，又，配置於結合塊體36之後端部上側與支承塊體32之後端部下側之間。連接塊體38藉由於左右方向隔著間隔之複數個螺釘構件(未圖示)而可分離地安裝於支承塊體32之下側。

電氣連接具100具有向前後方向延伸之複數根配線，又，包含自探針裝置20向後方延伸之薄片狀之第1配線區域102、與自第1配線區域102向後方延伸之薄片狀之第2配線區域104。第1及第2配線區域102及104分別具有於左右方向隔著間隔而向前後方向延伸之複數根第1配線(未圖示)及複數根第2配線(未圖示)。

第1配線區域102為可撓性印刷配線電路(FPC(Flexible Printed Circuit))、捲帶式自動接合(TAB(Tape Automated Bonding))、或將該等組合之複合電路薄片。第2配線區域為可撓性印刷配線電路(FPC)。第1配線區域102位於結合塊體36之下側，又，將驅動被檢查體12之積體電路(未圖示)配置於中間區域，進一步於結合塊體36之下側向後方延伸。

如圖1所示，第1配線區域102之前端部於第1配線之前端部於下方露出之狀態下維持於結合塊體36之下表面。藉此，於組裝探針裝置20之狀態下，將各探針之後端針尖e推壓至第1配線之前端部而電氣連接(參照圖5)。

如圖1所示，第1配線區域102之後端部於藉由將第1配線區域102於結合塊體36之後端部中向上方及前方翻折為橫U字狀，而使第1配線區域102之第1配線之後端部於上方露出之態下，維持於結合塊體36之上表面。

如圖1所示，於第2配線區域104之前端部位於第1配線區域102之翻折部分之上方之狀態下、及於第2配線區域104之第2配線之前端部為下方之狀態下，將第2配線區域104之前端部位維持於連接塊體38之下表面。藉此，於組裝探針裝置20之狀態下，第1配線區域102之第1配線之後端部與第2配線區域104之第2配線之前端部相互推壓而電氣連接。

將第2配線區域104自連接塊體38之後端與探針基座16之前端之間，向探針基座16之上側引導，又，通過支承台18之空間26，進一步於探針基座16之上向後方延伸。

第2配線區域104藉由設置於其後端之連接器(未圖示)，而結合於轉接基板24上。該連接器具備經由電氣連接具100之配線而連接於對應之探針裝置20之探針的複數個端子。該等端子連接於轉接基板24之上述之配線上。

轉接基板24之配線連接於產生測試信號之電氣電路(未圖示)。測試信號自如此之電氣電路經由電氣連接具96而供給至探針，使被檢查體12驅動(點亮)。

於探針組裝體30中，因使於左右方向相鄰之2個探針40、42之前部區域40b、42b之至少一部分於前端針尖40d及42d於前後方向隔著間隔之狀態下，收納於相對於左右方向及前後方向傾斜地延伸之第1狹縫60中，故將總探針數之2分之1以下之第1狹縫60設置於第1狹縫條46中即可。因此，第1狹縫60之間之壁之數量變少，從而可以適當之程度使第1狹縫60之間距變小。

同樣地，因使各第2探針42之後部區域42d位於相鄰之2個探針40之凸部40f之間，故將總探針數之2分之1以下之第2狹縫62設置於第2狹縫條48中即可。因此，第2狹縫62之間之壁的數量變少，從而可使此數量之第2狹縫62之間距變小。

上述之結果，根據探針組裝體30，與先前相比，可不使狹縫之間距變小而以狹窄間距配置探針40、42。

於探針組裝體30中，又，因各第1狹縫60相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸，故探針40、42之前部區域40b、42b亦相對於安裝區域40a、42a於左右方向及前後方向產生彈性變形而彎曲地延伸。因此，前部區域40b、42b之至少一部分收納於相同第1狹縫60中之探針40、42之前端針尖40d、d2d與該等前端針尖40d、d2d於前後方向隔著間隔之情形相互作用而於左右方向相隔。

若前部區域40b、42b藉由相對於安裝區域40a、42a產生彈性變形而彎曲，則於將前部區域收納於相同之第1狹縫60中之探針40、42之中，1個探針將前部區域推壓至第1狹縫60之間之壁上，則其他探針將前部區域推壓至上述1個探針之前部區域。其結果，即便於第1狹縫條46與前部區域之間存在間隙，亦可使相對於第1狹縫條46之各前部區域之前端(針尖)之位置維持為固定。

若相對於前後方向之第1狹縫60之角度θ(參照圖11)過小，則相對於安裝區域之前部區域之彈性變形量變少，且對第1狹縫60之間之壁之1個探針之前部區域的推壓力、及對該1個探針之前部區域之其他探針之前部區域的推壓力變得過小。其結果，相對於第1狹縫條46之各前端針尖之位置變得不穩定。相反地，若角度θ過大，則相對於安裝區域之前部區域之變形量變得過大，則前部區域有折損之虞。

其結果，相對於前後方向之第1狹縫60之角度θ可為3度至60度，較佳為5度至30度。然而，角度θ係根據分別於左右方向及前後方向之中之前端針尖40d及42d之目標位置、甚至根據分別於左右方向及前後方向中之被檢查體之電極之位置而決定。

於探針組裝體30中，於左右方向相鄰之探針之電氣絕緣性藉由各探針具有電氣絕緣膜而維持。然而，代替將電氣絕緣膜設置於各探針之厚度方向中之兩面，可將電氣絕緣薄片配置於相鄰探針之間，亦可將電氣絕緣膜僅設置於相鄰之探針接觸之範圍，例如前部區域、後部區域及突部上。

於上述實施例中，將2個探針40、42之前部區域40b、42b配置於各第1狹縫60中，但亦可將1個探針之前部區域配置於1條第1狹縫，亦可如第1、第2、第1探針、第1、第2、第1、第2探針般將3個以上之探針之前部區域配置於各第1狹縫。

代替使各第2探針42之後部區域42c通過突部40f之間，亦可使各第2探針42之後部區域42c之一部分位於對應之第2狹縫62中。亦可使第2狹縫62與第1狹縫60相同地以相對於左右方向及前後方向具有角度之方式延伸。

參照圖14至圖18，探針組裝體110使用圖13(C)所示之複數個第2探針42、與圖15所示之複數個第3探針112。各第3探針112除了於前部區域112b中設置有倒U字狀之彎曲部112i這一點以外，以與圖13(B)所示之第1探針40相同之方式形成。

因此，各第3探針112具備：板狀之針主體部，即安裝區域112a，其為矩形；前部區域112b，其自安裝區域112a向前方一體地延伸為懸臂梁狀；後部區域112c，其自安裝區域112a向後方一體地延伸為懸臂梁狀；前端針尖112d，其自前部區域112b之前端向下方一體地延伸；後端針尖112e，其自後部區域112c之後端向上方一體地延伸；舌片狀之突部112f，其自後部區域112c向下方突出並且向前後方向延伸；貫通孔112g、112h；及電氣絕緣膜(未圖示)。

探針組裝體110除了第2及第3探針42及112之前部區域42d及112d於第1狹縫60內相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸、及前部區域112d藉由彎曲部112i於前端側中於前部區域42d之上方延伸以外，與使用第1及第2探針40及42之探針組裝體30為相同構造。

前端針尖112d及後端針尖112e之位置分別位於較前端針尖42d及後端針尖42e更前方。因此，前端針尖42d及後端針尖42e、與前端針尖11d及後端針尖112e於前後方向隔著間隔。

根據探針組裝體110，亦與探針組裝體30同樣地，與先前相比可不使狹縫之間距變小而以狹窄間距配置探針40、42，又，可使第2及第3探針42及112之前後方向之長度尺寸，尤其是有效電氣長度相同。

上述之實施例中，均為第1狹縫60相對於左右方向及前後方向具有角度，但亦可為如圖19及圖20所示之探針組裝體120般使第1狹縫60為僅於前後方向延伸之構造。於探針組裝體120中，使第1探針40之前部區域40b相對於安裝區域40a產生彈性變形，而使其與相鄰之第2探針42之前部區域42b一併配置於相同第1狹縫60中。

又，上述之實施例中，均為使2個探針40、42或42、112之前部區域40b、42b或42b、112b配置於相同之第1狹縫60中，但亦可以圖21及圖22所示之探針組裝體130之方式，使3個以上之探針132、134、136之前部區域132b、134b、136b配置於相同之第1狹縫60中。

於圖21及圖22所示之探針組裝體130中，探針132、134及136係於前部區域132b及134b以及後部區域132c及134c中產生彈性變形，而使前部區域132b、134b及136b收納於相同之第1狹縫60中，且使後部區域132c、134c及136c收納於相同之第2狹縫之狀態下配置。

前部區域132b、134b及136b分別位於上段、中段及下段，且後部區域132c、134c及136c分別位於上段、中段及下段。前端針尖132d及134d分別位於較前端針尖134d及136d更前方，且後端針尖132e及134e分別位於較後端針尖134e及136e更後方。

根據探針組裝體120及130，亦與探針組裝體30、110同樣地，與先前相比，可不使狹縫之間距變小而以狹窄間距配置探針40、42，又，可使第2及第3探針42及112之前後方向之長度尺寸，尤其是有效電氣長度相同。

[產業上之可用性]

本發明不僅可應用於封入有液晶之液晶顯示面板，亦可應用於如液晶顯示面板用之玻璃基板之其他平板狀被檢查體之電氣測試使用之探針組裝體。

本發明並不限定於上述實施例，只要不脫離申請專利範圍所記載之主旨則可進行各種變更。

10．．．探針單元

12．．．被檢查體

14．．．被檢查體之電極

16．．．探針基座

18．．．支承台

18a、34a．．．主體部

18b．．．腳部

20．．．探針裝置

22．．．轉接基座

24．．．轉接基板

26．．．空間

30、110、120、130．．．探針組裝體

32．．．支承塊體

32a、32b．．．支承部

34．．．連結塊體

34b．．．延長部

36．．．結合塊體

38．．．連接塊體

40、42．．．第1及第2探針

40a、42a、112a、132a、134a、136a．．．安裝區域

40b、42b、112b、132b、134b、136b．．．前部區域

40c、42c、112c、132c、134c、136c．．．後部區域

40d、42d、112d、132d、134d、136d．．．前端針尖

40e、42e、112e、132e、134e、136e．．．後端針尖

40f、112f．．．突部

40g、42g、40h、42h、70、92a、112g、112h．．．貫通孔

44．．．支承片

46、48．．．第1及第2狹縫條

50、52．．．棒構件

54、56．．．側蓋

54a、54b．．．孔

60、62．．．第1及第2狹縫

64．．．凹部

65、90．．．螺釘構件

66、68．．．抵接部

72．．．定位銷

78．．．結合具

80．．．導軌

82．．．滑軌

84、94．．．螺釘

86．．．螺釘孔

88．．．壓縮線圈彈簧

92．．．彈簧擠壓件

96．．．電氣連接具

100．．．電氣連接具

102．．．第1配線區域

104．．．第2配線區域

112、130、132、134、136．．．探針

112i．．．彎曲部

圖1係表示使用本發明之探針組裝體之第1實施例之探針單元之一實施例的圖。

圖2係將圖1所示探針組裝體分解表示之分解立體圖。

圖3係於卸除側蓋之狀態下自斜前方觀察圖1所示之探針組裝體之圖。

圖4係於卸除側蓋之狀態下自斜後方觀察圖1所示之探針組裝體之圖。

圖5係表示第1及第2狹縫條與2種探針之位置關係之圖。

圖6(A)係沿著圖5中之6A-6A線而得之剖視圖，(B)係沿著圖5中之6B-6B線而得之剖視圖。

圖7係圖3中之7部分之放大圖。

圖8係圖4中之8部分之放大圖。

圖9係表示第1及第2狹縫條與一者之探針之位置關係之圖。

圖10係表示第1及第2狹縫條與另一者之探針之位置關係之圖。

圖11(A)係表示支承片以及第1及第2狹縫條之一實施例之圖，(B)係第1狹縫條之仰視圖，(C)係第2狹縫條之仰視圖。

圖12係表示2種探針之位置關係之圖。

圖13(A)係探針之俯視圖，(B)係表示第1探針之一實施例之圖，(C)係表示第2探針之一實施例之圖。

圖14係表示於探針組裝體之第2實施例中之兩探針之位置關係之圖。

圖15係表示於第2實施例中使用之第3探針之一實施例之圖。

圖16係於圖14中之16部分之放大圖。

圖17係圖14之左側視圖。

圖18係第2實施例之仰視圖。

圖19係表示於探針組裝體之第3實施例中之兩探針之位置關係之圖。

圖20係第3實施例之仰視圖。

圖21係表示探針組裝體之第4實施例之3個探針之位置關係的圖。

圖22係第4實施例之仰視圖。

10．．．探針單元

12．．．被檢查體

14．．．被檢查體之電極

16．．．探針基座

18．．．支承台

18a．．．主體部

18b．．．腳部

20．．．探針裝置

22．．．轉接基座

24．．．轉接基板

26．．．空間

30．．．探針組裝體

32．．．支承塊體

32a、32b．．．支承部

34．．．連結塊體

34a．．．主體部

34b．．．延長部

36．．．結合塊體

38．．．連接塊體

65、90．．．螺釘構件

72．．．定位銷

78．．．結合具

80．．．導軌

82．．．滑軌

84、94．．．螺釘

86．．．螺釘孔

88．．．壓縮線圈彈簧

92．．．彈簧擠壓件

92a．．．貫通孔

100．．．電氣連接具

102．．．第1配線區域

104．．．第2配線區域

Claims (13)

1. 一種探針組裝體，其包含：支承片；複數個探針，其係具備帶狀之安裝區域、自該安裝區域向前方延伸之前部區域、及自該前部區域向下方突出之前端針尖者，且於該安裝區域之寬度方向為上下方向之狀態下使該安裝區域對向而並列地配置於該支承片之下側；及狹縫條，其係配置於該支承片之前端部下側者，且具備於左右方向隔著間隔而於下方開放之複數條狹縫；於左右方向相鄰之至少2個探針之前部區域之至少一部分收納於共通之狹縫。
2. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，收納於該共通之狹縫之探針之至少1個前部區域相對於該安裝區域於左右方向及前後方向產生變形。
3. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，各狹縫相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸。
4. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，各狹縫於前後方向延伸。
5. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，該前部區域之至少一部分收納於該共通之狹縫之至少2個探針，具有於前後方向隔著間隔之針尖。
6. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，該前部區域之至少一部分收納於該共通之狹縫之至少2個探針， 具有於前後方向及左右方向隔著間隔之針尖。
7. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，收納於該共通之該狹縫之探針之前部區域之至少一部分於上下方向隔著間隔。
8. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其進一步包含第2狹縫條，其係配置於該支承片之後端部下側者，且具備於左右方向隔著間隔而於下方開放之複數條第2狹縫；各探針進一步具備：後部區域，其自該安裝區域向後方延伸；及後端針尖，其自該後部區域向上方突出；該複數個探針屬於具備該後部區域之至少一部分收納於該第2狹縫之複數個第1探針之第1探針群、及具備位於左右方向相鄰之該第1探針之間之複數個第2探針之第2探針群中的任一者；各第1探針進一步具備自該後部區域向下方突出之突部，又，將該後部區域之至少一部分收納於該第2狹縫；各第2探針之該後部區域於位於該第2探針之左方及右方之第1探針之該突部之間延伸。
9. 如申請專利範圍第8項之探針組裝體，其中，各第2狹縫於前後方向延伸，或者相對於左右方向及前後方向具有角度地延伸。
10. 如申請專利範圍第8項之探針組裝體，其中，該第1及第2狹縫分別於前後方向之一方及另一方之側進一步開放。
11. 如申請專利範圍第9項之探針組裝體，其進一步包 含：棒構件，其將於該第1及第2探針之安裝區域之長度方向隔著間隔之部位於該部位之厚度方向貫通並延伸；及側蓋，其係收納該棒構件之長度方向之各端部之板狀者，且可拆卸地組裝於該支承片之側部。
12. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，各探針之該前部區域藉由彈性變形而相對於該安裝區域產生變形。
13. 如申請專利範圍第1項之探針組裝體，其中，於該前部區域之中，至少使收納於狹縫之部分電氣絕緣。