TWI292826B - - Google Patents

Description

1292826 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及檢查夾具及檢查裝置，特別是涉及適於進 行電路板與電子零部件等的電氣試驗的情況下使用的檢查 夾具的結構。 【先前技術】

通常，為了發現電路板的配線圖案和1C等集成電路的 短路和斷線等異常情況而進行電氣檢查時，使用裝有具備 與檢查對象導電接觸的多支探針的檢查夾具的檢查裝置。 在這種情況下，形成多支探針的前端部與檢查對象接觸時 能夠彈性變形的結構。這樣，使全部探針對檢查對象施加 適當的接觸壓力，同時與其電導通。 近年來，隨著電路板的配線圖案的複雜化和集成電路 的高集成化等的發展，檢查夹具的探針的排列間距變得越 來越小，因此，各探針的直徑也有必要做得小。因此，代 替以往的内裝彈簧的探針，使用具備可屈曲的彈性的導線 ㈤叫狀探針的檢查夹具越來越多。已知有這樣的結構，即 在這樣的檢查夾具中’冑置配置於檢查對象側的前端側支 持板和保持間隔配置於該前端側支持板後方的後端側支持 板’在所述前端側支持板上形成使探針的前端部出入自如 :㈣插通孔，在後端側支持板上以探針的後端部，使 =於則端側支持板與後端側支持板之間的探針的的 ^刀適當屈曲構成的結構（例如參照專利文獻1 ) 。 ° 另外，具備有與上面所述相同的前端側支持板及可屈 5 1292826 曲的具有彈性的探針，保持間隔配置於前端側支持體的後 方的後端側支持板上也形成探針插通孔，將探針插入該探 針插通孔’將該探針的後端部固定在後端側支持板的更背 後配置的電極上’以此提高探針與電極之間的導電性連接 的可靠性’同時使探針能夠容易更換的檢查夾具（參照例 如專利文獻2 )也被公開。這種檢查夾具以前端側支持板的 探針插通孔與後端側支持板的探針插通孔配置於平面重疊 的位置上那樣地構成兩枚支持板的狀態，使探針插通兩枚 支持板的探針插通孔，其後，通過使前端側支持板與後端 側支持板在平面方向上相互移動，使得在前端側支持板與 後知侧支持板之間探針的中間部分發生屈曲。 專利文獻1 ··日本特開平9_ 274054號公報 專利文獻2:日本特開2〇〇2_9〇419號公報 【發明内容】 發明要解決的問題

但是’使用上述能夠屈曲、具有彈性的探針的檢查失 具中，使用在後端側支持板上固定探針後端部的檢查爽具 的情況下，在一部分探斜;^人、由μ & 刼針不合適的情況下，探針替換不便， 因此存在維修保養麻須，或必彡冑a i 7絲整個檢查夾具加以替換 的問題。 入 W便端部固定於配置在後端側支持板的 “麦的電極上的結構的情況下’存在通過取下電極，容易 將不合適的探針從後端侧支持板㈣㈣㈣ 點。但是，為了便於進行探針 、 叩朁換，必g形成使前端側 6 1292826 m - 支持板與後端側支持板在平面方向上移動的結構，因此存 在檢查夾具的結構複雜化的問題。 因此，本發明的課題在於，在利用可屈曲具有彈性的 探針的撓曲進行檢查用的檢查夾具中，實現儘管能夠方便 地進行探針的交換，還是可以採用簡單的結構的檢查夾具 的新結構。 ^ 為了解決上述課題，本發明的檢查夾具，其特徵在於， 具備：具有有向檢查對象的探針引導方向的前端側插通孔 籲的前端側支持體，在前端側支持體的後方保持間隔配置、 具有沿相對於前端側插通孔的探針引導方向傾斜的探針引 導方向的後端側插通孔的後端側支持體，具有能夠使其前 端在檢查對象侧出沒地插通所述前端側插通孔的前端側部 分以及插通所述後端側插通孔的後端側部分的、可屈曲的 具有彈性的探針，以及配置於所述後端側支持體的後方、 與後端側部分接觸的電極；探針的前端側部分配置於相對 後端側部分向後端側插通孔的探針引導方向的傾斜側偏移 •的位置上。 ^採用本發明，通過後端側支持孔的探針引導方向相對 於前端側插通孔的探針引導方向傾斜，在前端側支持體與 後端側支持體之間能夠使探針的中間部分傾斜，因此探針 的前端抵住檢測對象時能夠使探針順利挽曲。這時，通過 將探針的前端側部分配置於相對於後端側部分向後端側插 通孔的探針引導方向的傾斜側偏移的位置上，後端側插通 、向探針弓丨導方向的傾斜的方向與安裝的探針或應該安 7 1292826 裝的探針的傾斜姿勢的方向可以一致，因此，容易將探針 從後端側支持體的後方拔出和插入。因此，不像以往那樣 設置使前端侧支持體和後端側支持體在平面方向上移動用 的構件等複雜的結構也能夠方便地進行探針的更換。

在本發明中，最好是前端侧插通孔的後端側的開口位 置，從後端側插通孔來看配置於後端側插通孔的探針引導 方向上。採用這樣的結構，前端側插通孔的後端側的開口 位置從後端側插通孔來看配置於該探針引導方向上，這 樣，在將直線狀的探針從後端側支持體的後方插入後端側 l孔夺侯貝通後端側支持體延伸的探針的前端部保持 原樣地到達前端側支持體的前端側插通孔的後端側的開口 位置上，因此探針的安裝操作容易進行。 在本發明中，設置多個前端側插通孔、後端側插通孔、 以及探針，能夠形成多個後端側插通孔的探針引導方向相 對於前端側插通孔的探針引導方向向相同的方向傾斜的結 構知用乂種結構，多個後端側插通孔的探 對於前端側插通孔的探針引導方向向相同的方向傾斜= 2端側切體與後端側支持體之間的多個探針的中間部 :也目互向同方向傾斜，所以即使將探針的排列間距做得 互二？檢查時，探針撓曲時探針中間部分也不容易相 觸’因此能夠確保探針的接觸壓力的穩定性和均勻性。 以及=發:月中’設置多個前端側插通孔、後端侧插通孔、 相對於、多個後端側插通孔的探針引導方向能夠 相對於别端側插通孔的探針引導方向向不同的方向傾斜。 8 1292826 採用這錄4士诚 〇 ^ '^種、構，即使探針的前端側部分的排列間距做得 小’也能夠將多支探針的後端側部分相互之間的間距做得 因此探針後端側部分連接的電極的配置變得容易。又， 因為能夠將多支探針的後端側部分的相互間的間距做得 大因此能夠將電極做得大。從而即使是形成探針直徑小 的、、"構’也能夠可靠地使探針的後端側部分與電極接觸。 在本發明中，最好是相鄰的多個後端側插通孔的探針 引導方向交互向垂直於前端側插通孔的排列方向的一個方 向以及與作為該一個方向的相反方向的另一方向的不同方 員斜採用這種結構，插通後端側插通孔的探針的後端 側部分可以有規則地正確地排列。因此，能夠高效率地配 置與探針的後端側部分接觸的電極。 在本發明中，最好是設定多個不同的傾斜角度作為多 個後端側插通孔的探針引導方向傾斜的角度。採用這樣的 結構’即使是將探針的前端側部分的排列間距做得小，也 月b夠將夕支探針的後端側部分的相互間的間距做得更大。 因此，更容易配置與探針的後端側部分接觸的電極。又， 由於能夠將電極做得大，因此即使是採用探針直徑小的結 構，也能夠更可靠地使探針的後端側部分與電極接觸。 在本發明中，最好是具有支持電極的電極支持體，後 端側支持體與電極支持體形成可裝卸的結構。採用這樣的 結構，通過設置支持電極的電極支持體，組裝和維修變得 容易’同時由於形成後端側支持體與電極支持體可裝卸的 結構，因此形成只要從後端側支持體上取下電極支持體就 9 1292826 ， 能夠替換探針的狀態。特別是在設置多個探針和電極的情 況下，採用利用電極支持體成一整體地支持多個電極的結 構是有效的。 在本發明中，最好是在後端側支持體與電極之間可裝 卸地配置疋位板，疋位板上設置與後端側插通孔連通，形 成比後端側插通孔直徑小的直徑的定位孔。採用這樣的結 構，在定位板上利用比後端側插通孔直徑小的小直徑（具有 小開口範圍地形成的）的定位孔能夠將插入後端側插通孔的 籲探針的後端側部分加以定位，因此能夠更可靠得到相對於 電極的導電接觸狀態。又，通過設置定位板可以將後端側 插通孔的孔徑擴大到容易將探針插入拔出的程度，因此， 能夠形成可以更方便地替換探針的結構。在這里，上述定 位孔只要具備不妨礙探針的後端部位與電極之間的導電接 觸的孔徑（開口範圍）即可。 又，為了解決上述課題，本發明的檢查夾具，其特徵 在於，具備：具有有規定的探針引導方向的前端側插通： 和與檢查對象相對的對向面的前端側支持體，在所述前端 側支持體的後方保持間隔配置、具有有規定的探針引導方 向的後端側插通孔的後端側支持體，具有能夠使其前端在 檢查對象側出沒地插通前端側插通孔的前端部分以及插通 後端側插通孔的後端側部分的、可屈曲的具有彈性的探 針，以及配置於後端側支持體的後方、與後端側部分接觸 的電極；前端側插通孔及所述後端側插通孔中的至少一方 具備其探針的引導方向相對於對向面的垂直方向傾斜的傾

Claims (1)

1292826 十、申請專利範圍：:二 1 一種檢查夾具，其特徵在於，具備： 具有有向檢查對象的探針引導方向的前端側插通孔的 前端側支持體， 在所述前端側支持體的後方保持間隔配置、具有沿相 對於所述前端側插通孔的探針引導方向傾斜的探針引導方 向的後端側插通孔的後端側支持體， 具有能夠使其前端在所述檢查對象側出沒地插通所述 |前端側插通孔的前端側部分以及插通所述後端側插通孔的 後端側部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及 配置於所述後端側支持體的後方 '與所述後端側部分 接觸的電極； 所述探針的前端側部分配置於相對所述後端側部分向 所述後端侧插通孔的探針引導方向的傾斜側偏移的位置 上0

2.如申凊專利範圍第彳項所述的檢查夾具，所述前端側 插通孔的後端侧的開σ位置，從所述後端側插通孔來看配 置於所述後端側插通孔的探針引導方向上。 3·如申請㈣範圍第彳或2項所述的檢查夾具，設置多 個所述前端側插通孔、後端側插通孔以及探針，所述多個 ，端側插通孔的探針料方向相對於所述前端侧插通孔的 探針引導方向向相同的方向傾斜。 々巾β專利關第彳或2項所述的檢查夾具，設置多 個所述前端側插通孔、後端侧插通孔以及探針，相鄰的所 34 1292826 * νβ ，述多個後端側插通孔的探針引導方向相對於所述前端側插 •通孔的探針引導方向向不同的方向傾斜。 5·如申請專利範圍第4項所述的檢查夾具，所述相鄰的 夕们後、側插通孔的探針引導方向交互向垂直於所述前端 Uf H #排列方向的—個方向以及與作為該一個方向的 相反方向的另一方向的不同方向傾斜。 6 _如申明專利範圍第4或5項所述的檢查夾具，設定多 不同的傾斜角度作為所述多個後端側插通孔的探針引導 方向傾斜的角度。 …7_如申凊專利範圍第1項所述的檢查夾具，具有支持所 述私極的電極支持體，所、述後端側支持體與所述電極支持 體形成可裝卸的結構。 8·如申喷專利範圍第1項所述的檢查夾具，在所述後 端側支持體與所述電極之間可I卸地配置定位板，所述定 位板上設置與所述後端側插通孔連通、形成比所述後端側 插通孔直徑小的直徑的定位孔。 9· 一種檢查夾具，其特徵在於，具備： 〃有有規定的捸針引導方向的前端側插通孔和與檢查 對象相對的對向面的前端側支持體， …j所述削端側支持體的後方保持間隔配置、具有有規 疋的^針引導方向的後端側插通孔的後端側支持體， &山具有能夠使其前端在所述檢查對象側出沒地插通所述 ;山彳插通孔的刖端部分以及插通所述後端側插通孔的後 端側部分的、可屈曲的具有彈性的探針，以及 35 1292826 ^ > 配置於所述後端側支持體的後方、與所述後端側部分 接觸的電極； 所述前端側插通孔及所述後端側插通孔中的至少一方 具備其探針的引導方向相對於所述對向面的垂直方向傾斜 的傾斜部， 所迹探針的所述前端側部分及所述後端側部分中的任 意的一方，相對於所述前端側部分及所述後端側部分中的 任思的另一方，配置於向所述傾斜部的傾斜側偏移的位置 I "°10_ 種k查1置’其特徵在於，具有如申請專利範圍 第1 9員中的任一項所述的檢查夾具、以及與該檢查夾具 的所述多個電極電連接的電氣檢查部。 十一、圖式： 如次頁 36